JP5051525B2 - 変位計測システム - Google Patents
変位計測システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5051525B2 JP5051525B2 JP2007149721A JP2007149721A JP5051525B2 JP 5051525 B2 JP5051525 B2 JP 5051525B2 JP 2007149721 A JP2007149721 A JP 2007149721A JP 2007149721 A JP2007149721 A JP 2007149721A JP 5051525 B2 JP5051525 B2 JP 5051525B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- displacement
- light receiving
- emitting element
- frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
また、発光素子と受光素子との間に光遮蔽部を有する。これによって、発光素子と受光素子との間の光の干渉を抑制できる。また、光遮蔽部は、発光素子と受光素子との間を遮蔽する遮蔽高さが、変位量と周波数偏差との間の変換率の関数形が線形となる条件の下で設定される。これにより、変位量の算出がより容易になる。
また、光プローブは、先端に設けられる照光部と受光部との間に光遮蔽部を有する。これによって、照光部と受光部との間の光の干渉を抑制できる。また、光遮蔽部は、照光部と受光部との間を遮蔽する遮蔽高さが、変位量と周波数偏差との間の変換率の関数形が線形となる条件の下で設定される。これにより、変位量の算出がより容易になる。
Claims (3)
- 被測定対象に光を入射する発光素子と、
被測定対象からの反射波を検出する受光素子と、
受光素子の出力端に入力端が接続された増幅器と、
増幅器の出力端と発光素子の入力端との間に設けられ、発光素子と受光素子との間の空間と増幅器と共に閉ループ回路を形成し、発光素子への入力波形と受光素子からの出力波形に位相差が生じるときは、その位相差について周波数を変化させてゼロにシフトさせ、閉ループ回路の共振を持続させる位相シフト回路と、
閉ループ回路について、任意に定めた共振周波数を原点用基準周波数として記憶する不揮発性メモリと、
被測定対象の変位により位相シフト回路によってシフトされた周波数と、原点用基準周波数との間の周波数偏差に基づいて、被測定対象の絶対変位量を出力する出力手段と、
発光素子と受光素子との間に設けられる光遮蔽部であって、発光素子と受光素子との間を遮蔽する遮蔽高さが、変位量と周波数偏差との間の変換率の関数形が線形となる条件の下で設定される光遮蔽部と、
を備えることを特徴とする変位計測システム。 - 被測定対象に向かい合う先端部に設けられ被測定対象に光を照射する照光部と、照光部と共に先端部に設けられ被測定対象からの反射光を受け取る受光部と、照光部に接続されて末端部に延びる照光用導光路と、受光部に接続されて末端部に延びる受光用導光路と、を有する光プローブと、
光プローブの末端部に接続され、照光用導光路に光を入射する発光素子と、
光プローブの末端部に接続され、受光用導光路から反射光を受け取る受光素子と、
受光素子の出力端に入力端が接続された増幅器と、
増幅器の出力端と発光素子の入力端との間に設けられ、発光素子と受光素子との間の空間と増幅器と共に閉ループ回路を形成し、発光素子への入力波形と受光素子からの出力波形に位相差が生じるときは、その位相差について周波数を変化させてゼロにシフトさせ、閉ループ回路の共振を持続させる位相シフト回路と、
閉ループ回路について、任意に定めた共振周波数を原点用基準周波数として記憶する不揮発性メモリと、
被測定対象の変位により位相シフト回路によってシフトされた周波数と、原点用基準周波数との間の周波数偏差に基づいて、被測定対象の絶対変位量を出力する出力手段と、
光プローブの先端部の照光部と受光部との間に設けられる光遮蔽部であって、照光部と受光部との間を遮蔽する遮蔽高さが、変位量と周波数偏差との間の変換率の関数形が線形となる条件の下で設定される光遮蔽部と、
を備えることを特徴とする変位計測システム。 - 請求項2に記載の変位計測システムにおいて、光プローブは、2軸の光ファイバであることを特徴とする変位計測システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007149721A JP5051525B2 (ja) | 2007-06-05 | 2007-06-05 | 変位計測システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007149721A JP5051525B2 (ja) | 2007-06-05 | 2007-06-05 | 変位計測システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008304229A JP2008304229A (ja) | 2008-12-18 |
JP5051525B2 true JP5051525B2 (ja) | 2012-10-17 |
Family
ID=40233094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007149721A Expired - Fee Related JP5051525B2 (ja) | 2007-06-05 | 2007-06-05 | 変位計測システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5051525B2 (ja) |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5271266A (en) * | 1975-12-11 | 1977-06-14 | Fuji Electric Co Ltd | Measurement of distance using modulated light |
JPS59134005U (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-07 | 横河電機株式会社 | 光学式機械量測定装置 |
JPS62165112A (ja) * | 1986-01-17 | 1987-07-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 距離測定装置 |
JPS62188907A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-18 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 距離計 |
JPS6450907A (en) * | 1987-08-21 | 1989-02-27 | Omron Tateisi Electronics Co | Optical displacement meter |
JPS6459109A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-06 | Japan Radio Co Ltd | Moving position measuring apparatus for moving object |
DE4002356C2 (de) * | 1990-01-26 | 1996-10-17 | Sick Optik Elektronik Erwin | Abstandsmeßgerät |
JP2721575B2 (ja) * | 1990-03-15 | 1998-03-04 | 松下電工株式会社 | 光学式変位センサー |
JP3230625B2 (ja) * | 1993-06-29 | 2001-11-19 | オムロン株式会社 | 反射型光電センサ |
KR0160692B1 (ko) * | 1995-05-04 | 1999-03-20 | 김광호 | 산업용 제어기의 절대 원점 찾는 방법 |
DE19520993A1 (de) * | 1995-06-08 | 1996-12-12 | Sick Optik Elektronik Erwin | Verfahren und Vorrichtung zur Abstandsmessung |
JP3151153B2 (ja) * | 1995-09-20 | 2001-04-03 | 定夫 尾股 | 周波数偏差検出回路及びそれを利用した測定器 |
JP2002090455A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-27 | Hokuyo Automatic Co | 光波を用いた距離計 |
JP4357731B2 (ja) * | 2000-10-31 | 2009-11-04 | サンクス株式会社 | 反射型光電センサの検出ヘッド |
JP3888427B2 (ja) * | 2001-10-30 | 2007-03-07 | 学校法人日本大学 | 変位センサ |
JP5354706B2 (ja) * | 2006-02-01 | 2013-11-27 | アズビル株式会社 | レーザ測長器 |
-
2007
- 2007-06-05 JP JP2007149721A patent/JP5051525B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008304229A (ja) | 2008-12-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5310098B2 (ja) | レーザ距離測定装置 | |
JP4545882B2 (ja) | 二重外部共振器つきレーザダイオード式距離・変位計 | |
JP2009063339A (ja) | 走査式測距装置 | |
CN110914706B (zh) | Lidar测量装置 | |
JP5765698B2 (ja) | マルチ信号処理装置、測距装置、及びマルチ測距システム | |
JP5051525B2 (ja) | 変位計測システム | |
JP2000227367A (ja) | 光ファイバを用いた力センサ及びこれを用いた制御システム | |
JPH0589480A (ja) | 変位検出装置 | |
CN110312939B (zh) | 扫描型探针显微镜 | |
US20180224269A1 (en) | Shape calculating apparatus | |
CN104880147A (zh) | 一种磁性微位移平台式角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法 | |
US10948334B2 (en) | Non-contact displacement sensor | |
JP6172465B2 (ja) | ステージの位置制御装置及び方法 | |
JP5284838B2 (ja) | 屈曲操作システム | |
JP4229793B2 (ja) | 光学式距離計測装置 | |
US20230160692A1 (en) | Temperature compensation for liquid lens | |
JP2006071549A (ja) | 温度センサ | |
CN219455119U (zh) | 一种激光对焦传感器垂直结构及光学装置 | |
JP2005010133A (ja) | レーザ距離計における距離算出方法およびその装置 | |
JP6341325B2 (ja) | ステージの位置制御装置 | |
JP2010223725A (ja) | 光学式エンコーダ及び線状動力伝達部材の変位検出方法 | |
JP2011095196A (ja) | 測距方法及びレーザ測距装置 | |
JP4266171B2 (ja) | 変位検出装置、マイクロホン装置および変位検出方法 | |
JP2002214021A (ja) | 液面検出センサ | |
RU2308677C2 (ru) | Волоконно-оптический преобразователь перемещения |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100602 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120327 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120525 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120703 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120712 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150803 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |