JP5045739B2 - 光学系 - Google Patents

光学系 Download PDF

Info

Publication number
JP5045739B2
JP5045739B2 JP2009291199A JP2009291199A JP5045739B2 JP 5045739 B2 JP5045739 B2 JP 5045739B2 JP 2009291199 A JP2009291199 A JP 2009291199A JP 2009291199 A JP2009291199 A JP 2009291199A JP 5045739 B2 JP5045739 B2 JP 5045739B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin layer
resin
refractive index
optical element
optical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2009291199A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2010102353A (ja
Inventor
晶子 宮川
徹 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2009291199A priority Critical patent/JP5045739B2/ja
Publication of JP2010102353A publication Critical patent/JP2010102353A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5045739B2 publication Critical patent/JP5045739B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/18Diffraction gratings
    • G02B5/1814Diffraction gratings structurally combined with one or more further optical elements, e.g. lenses, mirrors, prisms or other diffraction gratings
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29DPRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D11/00Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
    • B29D11/0073Optical laminates
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0018Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means for preventing ghost images
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00Simple or compound lenses
    • G02B3/02Simple or compound lenses with non-spherical faces
    • G02B3/08Simple or compound lenses with non-spherical faces with discontinuous faces, e.g. Fresnel lens
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24479Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
    • Y10T428/24612Composite web or sheet

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
  • Lenses (AREA)

Description

本発明は、回折レンズ等、母材の上に2層以上の樹脂を積層することにより所定の光学特性を持たせた光学素子を含む光学系に関するものである。
ガラス等の母材の表面に、当該母材と屈折率の異なる樹脂層を形成し、この母材と樹脂層の界面を特殊な形状とすることにより、全体として回折レンズ等の光学素子としての特性を持たせた光学素子が公知となっている。しかしながら、このような光学素子においては、ガラス等の母材表面の加工を行わなければならないため、その加工に手間がかかるという問題点がある。
このような問題点を解決する光学素子として、ガラス等の母材の表面上に、所定の表面形状パターンを有する第1層目の樹脂層を形成し、その上に第1層目の樹脂と異なる屈折率を有する第2層目の樹脂層を形成し、これらの樹脂間での光の干渉や屈折を利用して所定の光学特性を有するようにしたものがある。その例を図6に示す。図6は断面図であるが、かえって分かりにくくなるのでハッチングを省略する。
図6において母材であるガラス等の透明基板11の上にシランカップリング処理層を介して、第1層目の樹脂層12が形成されている。そして、樹脂層12の表面には回折レンズ等の光学的特性を与えるようにパターンが形成されている。樹脂層12の上にはさらにシランカップリング処理層が形成され、その上に1層目の樹脂層12と屈折率の異なる2層目の樹脂層13が形成されている。そして、1層目の樹脂層12と2層目の樹脂層13の屈折率の違いと、両者の間に形成されたパターン形状によって、所定の光学特性を有するようになっている。なお、シランカップリング処理層を形成することは、必ずしも、必須の条件ではない。
図6は、母材である透明基板11と、2層の樹脂層12、13からなるものであるが、さらに必要に応じて、樹脂層13の上に、層間で屈折率が異なる単数又は複数の樹脂層を設けることも可能である。このような光学素子の例は、例えば、特開平9−127321号公報に記載されている。
このように母材の上に複数層の樹脂層を重ねて形成される光学素子の場合、母材の上に単層の樹脂層を形成したものと同じ思想で設計されていた。一般的に使用される母材であるガラスの方が樹脂よりも屈折率が大きいため、それと同じ思想で設計された場合、2層の樹脂のうち、屈折率の大きな方を母材側に設け、屈折率の小さな方を外気に曝すような設計がされ、耐環境性を考慮した設計がなされていなかった。そのため、最上層(母材と反対側の表面)に形成され、外気に曝される樹脂層に傷が入ったり、反射防止膜の密着性が悪かったりすることがあった。
また、回折光学面を型により樹脂成形するとき、型と成形された樹脂との剥離性を良くするために、回折光学面の段差構造部分に「抜き勾配」と呼ばれる勾配をつけることがある。前記発明は、このような場合においても、抜き勾配の部分でフレアが発生するという問題もある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、母材の上に複数層の樹脂層を重ねて形成される光学素子であって、耐環境性の良い光学素子を提供することを第1の目的とする。また、抜き勾配が設けられた回折光学面において、フレアが発生しにくい回折光学素子を提供することを第2の目的とする。
前記第1の目的を達成するための第1の形態は、母材の上に第1の樹脂層を形成し、その上に第1の樹脂層と屈折率の異なる第2の樹脂層を形成し、さらに必要に応じて、その上に、その下に形成された樹脂層と屈折率の異なる樹脂層を順次形成し、前記樹脂層間の界面に所定の形状を持たせることにより、所望の光学的特性を有するようにした光学素子であって、最上面に形成される前記樹脂層を構成する樹脂が、前記樹脂層を形成する樹脂のうちで、最も耐環境性に優れたものであることを特徴とするものである。
樹脂は、ガラス等の母材に比べて加工がし易いので、例えば2層の樹脂層を重ね合わせてその界面の形状により所定の特性を持たせる場合、どちらを上層(母材と反対側)にしても、界面の形状を逆転させることにより同じ特性を有するようにすることが容易である。
形態はこのことを利用して、最上面(母材と反対側)に形成される前記樹脂層を構成する樹脂が、前記樹脂層を形成する樹脂のうちで、最も耐環境性に優れたものであるようにしている。このようにすれば、直接外気に触れる樹脂層の表面が、最も耐環境性に優れた樹脂の表面となるので、この光学素子を耐環境性に優れたものとすることができる。
前記第1の目的を達成するための第2の形態は、前記第1の形態であって、前記耐環境性が、樹脂の硬度であることを特徴とするものである。
耐環境性の指標として、硬度(特に鉛筆硬度)を使用し、硬度の高い樹脂を、最上面に形成される前記樹脂層を構成する樹脂とすることにより、樹脂の表面に傷が付きにくい光学素子とすることができる。
前記第1の目的を達成するための第3の形態は、前記第1の形態であって、前記耐環境性が、吸水による寸法変化率であることを特徴とするものである。
耐環境性の指標として、吸水による寸法変化率を使用し、この変化率が小さい樹脂を、最上面に形成される前記樹脂層を構成する樹脂とすることにより、耐湿性の良い光学素子とすることができる。
前記第1の目的を達成するための第4の形態は、前記第1の形態であって、前記耐環境性が、ゲル分率であることを特徴とするものである。
耐環境性の指標として、ゲル分率(70℃のメチルエチルケトン中に6時間浸漬する前後の重量比)を使用し、ゲル分率の大きい樹脂を、最上面に形成される前記樹脂層を構成する樹脂とすることにより、表面に傷が付きにくく、かつ、耐湿性の良い光学素子とすることができる。
前記第1の目的を達成するための第5の形態は、前記第1の形態であって、前記耐環境性が、ガラス転移点であることを特徴とするものである。
耐環境性の指標として、ガラス転移点を使用し、ガラス転移点が高い樹脂を、最上面に形成される前記樹脂層を構成する樹脂とすることにより、高温まで使用でき、温度変化に強い光学素子とすることができる。
前記目的を達成するための第6の形態は、前記第1の形態であって、前記耐環境性が、線膨張係数であることを特徴とするものである。
耐環境性の指標として、線膨張係数を使用し、線膨張係数の小さい樹脂を、最上面に形成される前記樹脂層を構成する樹脂とすることにより、温度変化に強い光学素子とすることができる。
前記目的を達成するための第7の形態は、前記第1の形態であって、前記耐環境性が、耐湿性であることを特徴とするものである。
耐環境性の指標として、耐湿性を使用し、耐湿性の高い樹脂を、最上面に形成される前記樹脂層を構成する樹脂とすることにより、湿度が高かったり水分が多い状態においても、その影響を受けにくい光学素子とすることができる。
前記第1の目的を達成するための第8の形態は、母材の上に第1の樹脂層を形成し、その上に第1の樹脂層と屈折率の異なる第2の樹脂層を形成し、さらに必要に応じて、その上に、その下に形成された樹脂層と屈折率の異なる樹脂層を順次形成し、前記樹脂層間の界面に所定の形状を持たせることにより、所望の光学的特性を有するようにした光学素子であって、前記樹脂層を形成する樹脂のうち、カーボンフェードメータによる耐光性試験における透過率変化が最大のものが、光を入射させる側の最初の樹脂層とはされていないことを特徴とするものである。
カーボンフェードメータから発生する紫外線に曝されることにより、樹脂が変質し透過率が低下するが、本発明においては、光を入射させる側の最初の樹脂層とはされていない。よって、紫外線を受けた場合に、その感受性が高い樹脂が、最初に紫外線を受けることが防止され、その結果、紫外線に対して強い光学素子とすることができる。
前記第1の目的を達成するための第9の形態は、母材の上に第1の樹脂層を形成し、その上に第1の樹脂層と屈折率の異なる第2の樹脂層を形成し、さらに必要に応じて、その上に、その下に形成された樹脂層と屈折率の異なる樹脂層を順次形成し、前記樹脂層間の界面に所定の形状を持たせることにより、所望の光学的特性を有するようにした光学素子であって、フッ素含有樹脂が樹脂層に用いられている場合、当該樹脂層が、最上層の樹脂層とされていないことを特徴とするものである。
形態においては、フッ素含有樹脂層の表面が直接外気に触れることがないので、光学素子の表面に傷が付きにくく、又、反射防止膜の密着性が悪くなることを防止できる。なお、フッ素含有樹脂は、複数の樹脂の混合物や重合体からなる樹脂であってもよい。
前記第1の目的を達成するための第10の形態は、前記第9の形態であって、前記フッ素含有樹脂とその上に形成される樹脂との界面が、回折光学面とされていることを特徴とするものである。
フッ素含有樹脂と他の樹脂との間で、レリーフパターンや段差形状等からなる回折光学面を形成する場合、型を用いて下側に形成される樹脂の表面形状を回折光学面とし、固化した当該樹脂の表面に、他の樹脂を流し込むことにより、両者を接合させる。回折光学面とは、その面において回折効果を生じる面のことであり、一般に球面レンズや非球面レンズの面のように滑らかな部分(連続面)から構成されず、何らかの非連続面(面形状が非連続関数で表される面)を有している。
この場合、発明者の発見によると、フッ素含有樹脂は、型(特に金型)との剥離性が良く、表面がレリーフパターンや段差形状等、複雑な形状からなる回折光学面である型を用いても、その形状を正確に転写することができる。
前記第2の目的を達成するための第11の形態は、正の光学パワーを持つ母材の上に、第1の樹脂層を形成し、その上に第1の樹脂層と屈折率の異なる第2の樹脂層を形成し、さらに必要に応じて、その上に、その下に形成された樹脂層と屈折率の異なる樹脂層を順次形成し、前記樹脂層間の界面に所定の形状を持たせることにより、所望の光学的特性を有するようにした光学素子であって、前記第1の樹脂層の屈折率が前記第2の樹脂層に比べて小さくされており、かつ、前記第1の樹脂層と前記第2の樹脂層との界面がレリーフパターン形状とされていて、前記レリーフパターンの形状は、前記第1の樹脂層の中心から周縁に行くに従って緩やかに前記第1の樹脂層の厚さが増加し、その後急激な勾配で前記第1の樹脂層の厚さが減少するようなパターンの繰り返しからなることを特徴とする回折光学素子である。
形態においては、母材が正の光学パワーを持つと共に、第1の樹脂層と第2の樹脂層の間のレリーフパターンにより正の光学パワーが生じるようにされている。
後に発明を実施するための最良の形態で説明するように、本形態においては、母材と型の間に第1の樹脂層を形成した後に、第1の樹脂と型との剥離性を容易にするために、レリーフパターンにおいて、第1の樹脂層の厚さが減少する部分を、段差的に減少させず、急激な勾配を持たせて減少させている。その際、レリーフパターン面に入射する光線は、母材の正の光学パワーにより第1の樹脂層の中心に向かうが、前記急激な勾配の方向が、この光線の方向と同じ方向であるので、光線が急激な勾配をもつ界面を横切ることを少なくでき、そのために、フレアの発生を減少させることができる。
前記第2の目的を達成するための第12の形態は、負の光学パワーを持つ母材の上に、第1の樹脂層を形成し、その上に第1の樹脂層と屈折率の異なる第2の樹脂層を形成し、さらに必要に応じて、その上に、その下に形成された樹脂層と屈折率の異なる樹脂層を順次形成し、前記樹脂層間の界面に所定の形状を持たせることにより、所望の光学的特性を有するようにした光学素子であって、前記第1の樹脂層の屈折率が前記第2の樹脂層に比べて小さくされており、かつ、前記第1の樹脂層と前記第2の樹脂層との界面がレリーフパターン形状とされていて、前記レリーフパターンの形状は、前記第1の樹脂層の中心から周縁に行くに従って緩やかに前記第1の樹脂層の厚さが減少し、その後急激な勾配で前記第1の樹脂層の厚さが増加するようなパターンの繰り返しからなることを特徴とする回折光学素子である。
形態においても、第11の形態と同様な理由により、フレアの発生を減少させることができる。
本発明の実施の形態の例を説明するための図である。 本発明の他の実施の形態を説明するための図である。 図2に示す回折光学面を拡大して見た模式図である。 回折光学素子に凹パワーを持たせる場合に、透明基板にも凹パワーを持たせた場合の構造を示す図である。 図4に示す回折光学面を拡大して見た模式図である。 従来の2層樹脂による光学素子の例を示す図である。
以下、本発明の実施の形態である光学素子の例を、図を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態の例を説明するための図であり、断面図であるが、ハッチングを省略している。なお、この光学素子は平面で見ると円形をしている。これらのことは、以下の図においても同様である。図1(a)において母材であるガラス等の透明基板1の上にシランカップリング処理層を介して、第1層目の樹脂層2が形成されている。そして、樹脂層2の表面には回折レンズ等の光学的特性を与えるようにパターンが形成されている。1層目樹脂層2の上にはさらにシランカップリング処理層が形成され、その上に1層目の樹脂層2と屈折率の異なる2層目の樹脂層3が形成されている。そして、1層目の樹脂層2と2層目の樹脂層3の屈折率の違いと、両者の間に形成されたパターン形状によって、所定の光学特性を有するようになっている。
図1(a)に示すような光学素子と同じ光学特性を与える光学素子は、図1(b)のような構成でも実現することができる。図1(b)において、母材であるガラス等の透明基板1の上にシランカップリング処理層を介して、第1層目の樹脂層3が形成されている。そして、樹脂層3の表面には回折レンズ等の光学的特性を与えるようにパターンが形成されている。樹脂層3の上にはさらにシランカップリング処理層が形成され、その上に1層目の樹脂層3と屈折率の異なる第2層目の樹脂層2が形成されている。そして、1層目の樹脂層3と2層目の樹脂層2の屈折率の違いと、両者の間に形成されたパターン形状によって、所定の光学特性を有するようになっている。なお、シランカップリング処理層を形成することは、必ずしも、必須の条件ではない。
図1(a)の場合と(b)の場合とでは、樹脂層2と樹脂層3の界面の形状が、上下反転したものとなっている。すなわち、(a)における樹脂層2と樹脂層3を組み合わせたものの上下を、そっくり反転したものが(b)となっている。よって、(a)と(b)とが、同一の光学特性を有することは、説明を要しないであろう。
樹脂層2と樹脂層3のうち、基板1と最上部の樹脂層に挟まれた樹脂層((a)では樹脂層2、(b)では樹脂層3)は、その表面が直接外気に触れないが、最上層の樹脂層((a)では樹脂層3、(b)では樹脂層2)は、その表面が外気に触れる。
よって、樹脂層2の樹脂と樹脂層3の樹脂の耐環境性を比較し、もし、樹脂層2の樹脂の耐環境性が樹脂層3の樹脂の耐環境性より優れているのであれば、(b)に示すような構成を採用し、もし、樹脂層3の樹脂の耐環境性が樹脂層2の樹脂の耐環境性より優れているのであれば、(a)に示すような構成を採用すればよい。
耐環境性を示す指標には、例えば、樹脂の硬度、吸水による寸法変化率、ゲル分率、ガラス転移点、線膨張係数等がある。
又、樹脂層2の樹脂と樹脂層3の樹脂との、紫外線に対する強さ(変質のしにくさ)を比較し、樹脂層2の樹脂の方が樹脂層3の樹脂よりも優れていれば、樹脂層2を光が入射する方向に位置させ、樹脂層3の樹脂の方が樹脂層2の樹脂よりも優れていれば、樹脂層3を光が入射する方向に位置させるようにしてもよい。
さらに、樹脂層2の樹脂がフッ素含有樹脂であれば、(a)に示すような構成を採用し、樹脂層3の樹脂がフッ素含有樹脂であれば、(b)に示すような構成を採用することにより、傷が入りにくくすることができ、さらには、反射防止膜の密着性が悪化するのを防ぐことができる。
なお、図1に示すような光学素子の製造方法の例を以下に述べる。
透明基板1の表面にシランカップリング処理を施し、所定の形状を有する金型と透明基板1とを対面させ、ディスペンサ等を使用して、透明基板1と金型との間に、樹脂層2(図1(a)の場合)、又は樹脂層3(図1(b)の場合)を形成する紫外線硬化型樹脂を充填する。そして、透明基板1側から紫外線を照射し、樹脂を硬化させて樹脂層を形成し、金型を剥離する。そして、形成された樹脂層の表面にシランカップリング処理を施し、当該表面を、表面が平面の透明型に対面させ、前記樹脂層と透明型との間に、表面の樹脂層3(図1(a)の場合)、又は樹脂層2(図1(b)の場合)を形成する紫外線硬化型樹脂を充填する。そして、透明型側から紫外線を照射し、充填した樹脂を硬化させて樹脂層を形成し、透明型を剥離する。
図1に示すように、樹脂層2と樹脂層3の間に複雑な回折光学面が形成される場合、その回折光学面が形成された金型との剥離性がよくなるように、樹脂層2(図1(a)の場合)、又は樹脂層3(図1(b)の場合)として、フッ素含有樹脂を使用することが好ましい。
図2は、本発明の他の実施の形態を説明するための図である。回折光学素子においては、回折光学面での回折作用の他に、透明基板1にも光学的パワーを持たせる場合がある。図2は、透明基板1に正の光学パワーを持たせた場合を示す図である。この場合には、透明基板1の光学パワーと協働させる意味で、2つの樹脂層の界面に形成される回折光学面にも正の光学パワーを持たせるのが一般的である。
図2に示す例において、4は低屈折率樹脂層であり、5は高屈折率樹脂層である。図2に示す光学素子は、図1に示した光学素子と同じ方法で製造される。
ここで、透明基板1の上に高屈折率樹脂層5を形成し、その上に低屈折率樹脂層4を形成する場合は、その間の回折光学面は、図2(a)に示すようになる。すなわち、中心から周縁に向かうに従って、高屈折率樹脂層5の厚さは滑らかに減少し、ある位置に達すると段差的に厚くなり、さらにそこから滑らかに減少するという構造の繰り返しとなる。
一方、透明基板1の上に低屈折率樹脂層4を形成し、その上に高屈折率樹脂層5を形成する場合は、その間の回折光学面は、図2(b)に示すようになる。すなわち、中心から周縁に向かうに従って、低屈折率樹脂層4の厚さは滑らかに増加し、ある位置に達すると段差的に薄くなり、さらにそこから滑らかに増加するという構造の繰り返しとなる。
しかしながら、このように段差を設けると、製作過程において、透明基板1と型との間に形成された樹脂層から型を剥離するときに容易に剥離することができない場合がある。よって、段差構造とせず、段差構造に相当する部分を、急激な勾配を有する部分とすることが多い。この勾配のことを抜き勾配と呼んでいる。
図3は、図2に示す回折光学面を拡大して見た模式図である。図3(a)は図2(a)における高屈折率樹脂層5と低屈折率樹脂層4の間の回折光学面(レリーフパターン面)の拡大図、図3(b)は図2(b)における高屈折率樹脂層5と低屈折率樹脂層4の間の回折光学面(レリーフパターン面)の拡大図である。これらの図において6が抜き勾配面を示す。
図3においては、図2における透明基板1の凸パワーにより、透明基板1側から入射する光線は矢印のように、周縁部から中心部に向かいながら回折光学面に入射する。よって、(a)の場合、この光線が抜き勾配面6を通過することになる。これに対して(b)の場合には、光線は抜き勾配面6と平行に近くなり、抜き勾配面6を通過する光線は極わずかとなる。よって、(b)の場合には、(a)の場合に比して、フレアが発生しにくくなる。
図4は、回折光学素子に凹パワーを持たせる場合に、透明基板にも凹パワーを持たせた場合の構造を示す図である。回折光学面に凹パワーを持たせる場合には、図2における高屈折率樹脂層5と低屈折率樹脂層4を逆にすればよい。よって、図4(a)、(b)に示すように高屈折率樹脂層5と低屈折率樹脂層4を配置し、その界面を図4(a)、(b)に示すようにすれば、回折光学面に凹パワーを持たせることができる。
この場合にも、その製造工程(図1に示した光学素子の製造工程と同じ)において、透明基板1と型との間に樹脂層(図4(a)の場合低屈折率樹脂層4、図4(b)の場合高屈折率樹脂層5)を形成してから型を剥離するとき、その剥離性を良くするため抜き勾配を設ける。
図5は、図4に示す回折光学面を拡大して見た模式図である。図5(a)は図4(a)における高屈折率樹脂層5と低屈折率樹脂層4の間の回折光学面(レリーフパターン面)の拡大図、図5(b)は図4(b)における高屈折率樹脂層5と低屈折率樹脂層4の間の回折光学面(レリーフパターン面)の拡大図である。これらの図において6が抜き勾配面を示す。
図5においては、図4における透明基板1の凹パワーにより、透明基板1側から入射する光線は矢印のように、中心部から周縁部に向かいながら回折光学面に入射する。よって、(b)の場合、この光線が抜き勾配面6を通過することになる。これに対して(a)の場合には、光線は抜き勾配面6と平行に近くなり、抜き勾配面6を通過する光線は極わずかとなる。よって、(a)の場合には、(b)の場合に比して、フレアが発生しにくくなる。
(実施例1)
図1に示すような形状を有する光学素子(凸レンズの機能を有する回折レンズ)を形成した。光学素子(樹脂部分)の外径は外径60mm、回折格子は円形であり、レンズ中心付近でピッチが2mm、図1に示すように外周に行くほどピッチが細かくなり、外周付近では0.12mmとなっている。
樹脂2としてウレタンアクリレートを主成分とする樹脂を使用し、樹脂3としてフッ素系アクリレートを含む樹脂を使用した。樹脂2の屈折率の方が、樹脂3の屈折率よりも大きい。樹脂2と樹脂3の硬化物の特性は、表1に示すとおりである。表1において、カーボンフェードメータによる耐光性試験前後の透過率変化(「カーボンフェード前後の透過率変化」と略して記述)は、カーボンフェードメータ装置から出る紫外線に500時間暴露した結果を示すものである。又、基板1としてはガラス(BK7)を使用した。
Figure 0005045739
成形された光学素子について、反射防止コートを施した場合のコートクラックの有無、エタノールを含ませた拭き布(商品名:サヴィーナ ミニマックス(ワイピングクロス)、カネボウ合繊社製)により10回手拭きを行った場合の表面傷の有無、60℃、湿度80%の雰囲気に200時間曝した耐湿テスト、及び−40℃〜70℃の温度サイクルを5回行う温度サイクルテストを行った。図1に示す(a)方式のもの(樹脂3の表面が外気に曝されるもの)と、(b)方式のもの(樹脂2の表面が外気に曝されるもの)との比較結果を表2に示す。
Figure 0005045739
表2の結果から明らかなように、耐環境性の良い樹脂2を外気に曝すようにした図1(b)の構成の方が、耐環境性が高い。なお、反射防止コートのコートクラックの有無に影響を与えているのは、ガラス転移点と線膨張係数、耐擦傷性に影響を与えているのは、鉛筆硬度とゲル分率、耐湿テストに影響を与えているのは、吸水率とゲル分率、温度サイクルにおける樹脂の剥離に影響を与えているのはガラス転移点と線膨張係数であると考えられる。
(実施例2)
正のパワーを有する回折レンズを製造した。回折格子の形状は、図2(b)に示すような形状のものであり、光学素子の外形60mm、格子高20μm、格子ピッチは中心付近で2mm、外周付近で0.12mmであって、外周面に行くほどピッチが細かくなるようになっている。
高屈折率樹脂5としてはウレタンアクリレートを主成分とする樹脂を使用し、低屈折樹脂4としては、フッ素系アクリレートを含む樹脂を使用した。
第1の回折レンズにおいては、レリーフパターンに抜き勾配をつけず、垂直な段差構造を有するものとし、第2の回折レンズにおいては、図3に示したようにレリーフパターンに抜き勾配を付け、当該抜き勾配は回折レンズの周縁部に行くほど傾きが大きくなるようにし、最外周での勾配は7°とした。
これらの2つの回折レンズについて、低屈折樹脂4を型により成形した後、型を剥離するときの剥離力を測定した。その結果、第1の回折レンズについては、100kgfであったが、第2の回折レンズについては、50kgfと半減し、容易に剥離を行うことができた。また、成形した格子を顕微鏡で観察したところ、第1の回折レンズでは格子が欠けている様子が見られたのに対し、第2の回折レンズではこのような格子の欠けは全く見られなかった。
このようにして形成された回折レンズについて、レーザ光を用いて、3つの波長における1次回折光の割合を測定した。結果を表3に示す。1次回折光の割合が大きいほど、性能が優れている。表3を見ると分かるように、第2の回折レンズの方が性能が光学特性においても、第1の回折レンズに比して優れている。
Figure 0005045739

Claims (2)

  1. 光線を発する光源と、回折光学素子からなる光学系であって、
    前記回折光学素子は、正の光学パワーを持つ母材の上に、第1の樹脂層を形成し、その上に第1の樹脂層と屈折率の異なる第2の樹脂層を形成し、さらに必要に応じて、その上に、その下に形成された樹脂層と屈折率の異なる樹脂層を順次形成し、前記樹脂層間の界面に所定の形状を持たせることにより、所望の光学的特性を有するようにした光学素子であって、前記第1の樹脂層の屈折率が前記第2の樹脂層に比べて小さくされており、かつ、前記第1の樹脂層と前記第2の樹脂層との界面がレリーフパターン形状の回折光学面とされていて、前記レリーフパターンの形状は、前記第1の樹脂層の中心から周縁に行くに従って緩やかに前記第1の樹脂層の厚さが増加し、その後急激な勾配で前記第1の樹脂層の厚さが減少するようなパターンの繰り返しからなる回折光学素子であり、
    前記光線は前記母材の正の光学パワーにより、周縁部から中心部に向かいながら回折光学面に入射する、光学系
  2. 光線を発する光源と、回折光学素子からなる光学系であって、
    前記回折光学素子は、負の光学パワーを持つ母材の上に、第1の樹脂層を形成し、その上に第1の樹脂層と屈折率の異なる第2の樹脂層を形成し、さらに必要に応じて、その上に、その下に形成された樹脂層と屈折率の異なる樹脂層を順次形成し、前記樹脂層間の界面に所定の形状を持たせることにより、所望の光学的特性を有するようにした光学素子であって、前記第1の樹脂層の屈折率が前記第2の樹脂層に比べて小さくされており、かつ、前記第1の樹脂層と前記第2の樹脂層との界面がレリーフパターン形状の回折光学面とされていて、前記レリーフパターンの形状は、前記第1の樹脂層の中心から周縁に行くに従って緩やかに前記第1の樹脂層の厚さが減少し、その後急激な勾配で前記第1の樹脂層の厚さが増加するようなパターンの繰り返しからなる回折光学素子であり、
    前記光線は前記母材の負の光学パワーにより、中心部から周縁部に向かいながら回折光学面に入射する、光学系
JP2009291199A 2003-06-19 2009-12-22 光学系 Expired - Lifetime JP5045739B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009291199A JP5045739B2 (ja) 2003-06-19 2009-12-22 光学系

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003174382 2003-06-19
JP2003174382 2003-06-19
JP2009291199A JP5045739B2 (ja) 2003-06-19 2009-12-22 光学系

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005507268A Division JPWO2004113971A1 (ja) 2003-06-19 2004-06-17 光学素子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010102353A JP2010102353A (ja) 2010-05-06
JP5045739B2 true JP5045739B2 (ja) 2012-10-10

Family

ID=33534789

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005507268A Pending JPWO2004113971A1 (ja) 2003-06-19 2004-06-17 光学素子
JP2009291199A Expired - Lifetime JP5045739B2 (ja) 2003-06-19 2009-12-22 光学系

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005507268A Pending JPWO2004113971A1 (ja) 2003-06-19 2004-06-17 光学素子

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20060182934A9 (ja)
EP (1) EP1635197B1 (ja)
JP (2) JPWO2004113971A1 (ja)
CN (2) CN101458350A (ja)
DE (1) DE602004030335D1 (ja)
WO (1) WO2004113971A1 (ja)

Families Citing this family (62)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200641387A (en) * 2005-02-21 2006-12-01 Dainippon Printing Co Ltd Anti-glare optical multilayer body
EP1862826A4 (en) * 2005-02-22 2010-02-17 Nikon Corp OPTICAL ELEMENT AT DIFFRACTION
GB0718706D0 (en) 2007-09-25 2007-11-07 Creative Physics Ltd Method and apparatus for reducing laser speckle
US20090169897A1 (en) * 2007-12-27 2009-07-02 Yuya Agata Barrier laminate, barrier film substrate, device and optical component
US11726332B2 (en) 2009-04-27 2023-08-15 Digilens Inc. Diffractive projection apparatus
US9335604B2 (en) 2013-12-11 2016-05-10 Milan Momcilo Popovich Holographic waveguide display
US10795160B1 (en) 2014-09-25 2020-10-06 Rockwell Collins, Inc. Systems for and methods of using fold gratings for dual axis expansion
US11300795B1 (en) 2009-09-30 2022-04-12 Digilens Inc. Systems for and methods of using fold gratings coordinated with output couplers for dual axis expansion
US8233204B1 (en) 2009-09-30 2012-07-31 Rockwell Collins, Inc. Optical displays
US8659826B1 (en) 2010-02-04 2014-02-25 Rockwell Collins, Inc. Worn display system and method without requiring real time tracking for boresight precision
WO2012136970A1 (en) 2011-04-07 2012-10-11 Milan Momcilo Popovich Laser despeckler based on angular diversity
JP5834458B2 (ja) * 2011-04-13 2015-12-24 株式会社ニコン 光学素子の製造方法および光学素子
WO2016020630A2 (en) 2014-08-08 2016-02-11 Milan Momcilo Popovich Waveguide laser illuminator incorporating a despeckler
EP2995986B1 (en) 2011-08-24 2017-04-12 Rockwell Collins, Inc. Data display
US10670876B2 (en) 2011-08-24 2020-06-02 Digilens Inc. Waveguide laser illuminator incorporating a despeckler
US9366864B1 (en) 2011-09-30 2016-06-14 Rockwell Collins, Inc. System for and method of displaying information without need for a combiner alignment detector
US9715067B1 (en) 2011-09-30 2017-07-25 Rockwell Collins, Inc. Ultra-compact HUD utilizing waveguide pupil expander with surface relief gratings in high refractive index materials
US9599813B1 (en) 2011-09-30 2017-03-21 Rockwell Collins, Inc. Waveguide combiner system and method with less susceptibility to glare
US8634139B1 (en) 2011-09-30 2014-01-21 Rockwell Collins, Inc. System for and method of catadioptric collimation in a compact head up display (HUD)
WO2013102759A2 (en) 2012-01-06 2013-07-11 Milan Momcilo Popovich Contact image sensor using switchable bragg gratings
US9523852B1 (en) 2012-03-28 2016-12-20 Rockwell Collins, Inc. Micro collimator system and method for a head up display (HUD)
CN106125308B (zh) 2012-04-25 2019-10-25 罗克韦尔柯林斯公司 用于显示图像的装置和方法
CN103513324A (zh) * 2012-06-25 2014-01-15 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 光纤装置
US9933684B2 (en) 2012-11-16 2018-04-03 Rockwell Collins, Inc. Transparent waveguide display providing upper and lower fields of view having a specific light output aperture configuration
KR101977250B1 (ko) * 2012-11-30 2019-08-28 엘지디스플레이 주식회사 입체영상표시장치 및 이의 제조방법
US9674413B1 (en) 2013-04-17 2017-06-06 Rockwell Collins, Inc. Vision system and method having improved performance and solar mitigation
US9727772B2 (en) 2013-07-31 2017-08-08 Digilens, Inc. Method and apparatus for contact image sensing
US10732407B1 (en) 2014-01-10 2020-08-04 Rockwell Collins, Inc. Near eye head up display system and method with fixed combiner
US9519089B1 (en) * 2014-01-30 2016-12-13 Rockwell Collins, Inc. High performance volume phase gratings
US9244280B1 (en) 2014-03-25 2016-01-26 Rockwell Collins, Inc. Near eye display system and method for display enhancement or redundancy
JP6297932B2 (ja) * 2014-06-11 2018-03-20 マクセル株式会社 光学装置
WO2016020632A1 (en) 2014-08-08 2016-02-11 Milan Momcilo Popovich Method for holographic mastering and replication
WO2016042283A1 (en) 2014-09-19 2016-03-24 Milan Momcilo Popovich Method and apparatus for generating input images for holographic waveguide displays
US9715110B1 (en) 2014-09-25 2017-07-25 Rockwell Collins, Inc. Automotive head up display (HUD)
US10088675B1 (en) 2015-05-18 2018-10-02 Rockwell Collins, Inc. Turning light pipe for a pupil expansion system and method
CN107873086B (zh) 2015-01-12 2020-03-20 迪吉伦斯公司 环境隔离的波导显示器
US9632226B2 (en) 2015-02-12 2017-04-25 Digilens Inc. Waveguide grating device
US11366316B2 (en) 2015-05-18 2022-06-21 Rockwell Collins, Inc. Head up display (HUD) using a light pipe
US10247943B1 (en) 2015-05-18 2019-04-02 Rockwell Collins, Inc. Head up display (HUD) using a light pipe
US10126552B2 (en) 2015-05-18 2018-11-13 Rockwell Collins, Inc. Micro collimator system and method for a head up display (HUD)
US10108010B2 (en) 2015-06-29 2018-10-23 Rockwell Collins, Inc. System for and method of integrating head up displays and head down displays
WO2017060665A1 (en) 2015-10-05 2017-04-13 Milan Momcilo Popovich Waveguide display
US10598932B1 (en) 2016-01-06 2020-03-24 Rockwell Collins, Inc. Head up display for integrating views of conformally mapped symbols and a fixed image source
JP6895451B2 (ja) 2016-03-24 2021-06-30 ディジレンズ インコーポレイテッド 偏光選択ホログラフィー導波管デバイスを提供するための方法および装置
EP3433658B1 (en) 2016-04-11 2023-08-09 DigiLens, Inc. Holographic waveguide apparatus for structured light projection
US10197804B2 (en) * 2016-04-25 2019-02-05 Microsoft Technology Licensing, Llc Refractive coating for diffractive optical elements
EP3548939A4 (en) 2016-12-02 2020-11-25 DigiLens Inc. UNIFORM OUTPUT LIGHTING WAVEGUIDE DEVICE
US10545346B2 (en) 2017-01-05 2020-01-28 Digilens Inc. Wearable heads up displays
US10295824B2 (en) 2017-01-26 2019-05-21 Rockwell Collins, Inc. Head up display with an angled light pipe
EP3698214A4 (en) 2017-10-16 2021-10-27 Digilens Inc. SYSTEMS AND METHODS FOR MULTIPLICATION OF THE IMAGE RESOLUTION OF A PIXELIZED DISPLAY
JP7404243B2 (ja) 2018-01-08 2023-12-25 ディジレンズ インコーポレイテッド 導波管セル内のホログラフィック格子の高スループット記録のためのシステムおよび方法
KR20200104402A (ko) 2018-01-08 2020-09-03 디지렌즈 인코포레이티드. 도파관 셀을 제조하기 위한 시스템 및 방법
WO2019136476A1 (en) 2018-01-08 2019-07-11 Digilens, Inc. Waveguide architectures and related methods of manufacturing
JP7481796B2 (ja) * 2018-07-09 2024-05-13 大日本印刷株式会社 反射型回折光学素子、反射型回折光学素子の製造方法
US11402801B2 (en) 2018-07-25 2022-08-02 Digilens Inc. Systems and methods for fabricating a multilayer optical structure
US10483309B1 (en) 2018-09-07 2019-11-19 Semiductor Components Industries, Llc Image sensors with multipart diffractive lenses
EP3924759A4 (en) 2019-02-15 2022-12-28 Digilens Inc. METHODS AND APPARATUS FOR MAKING A HOLOGRAPHIC WAVEGUIDE DISPLAY WITH INTEGRATED GRIDINGS
JP2022525165A (ja) 2019-03-12 2022-05-11 ディジレンズ インコーポレイテッド ホログラフィック導波管バックライトおよび関連する製造方法
EP3722841A1 (en) * 2019-04-08 2020-10-14 Canon Kabushiki Kaisha Diffractive optical element, optical device, and imaging apparatus
WO2020247930A1 (en) 2019-06-07 2020-12-10 Digilens Inc. Waveguides incorporating transmissive and reflective gratings and related methods of manufacturing
US11681143B2 (en) 2019-07-29 2023-06-20 Digilens Inc. Methods and apparatus for multiplying the image resolution and field-of-view of a pixelated display
EP4022370A4 (en) 2019-08-29 2023-08-30 Digilens Inc. VACUUM BRAGG GRATINGS AND METHODS OF MANUFACTURING

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3035851B2 (ja) * 1988-08-02 2000-04-24 オムロン株式会社 光学装置
JPH0416910A (ja) * 1990-05-11 1992-01-21 Omron Corp 光学レンズ
US5847877A (en) * 1994-09-12 1998-12-08 Olympus Optical Co., Ltd. Diffractive optical element
US6157488A (en) * 1995-08-29 2000-12-05 Olympus Optical Company Ltd. Diffractive optical element
JP4149021B2 (ja) * 1998-01-14 2008-09-10 オリンパス株式会社 光学系
JP4141016B2 (ja) * 1998-08-26 2008-08-27 大日本印刷株式会社 凹凸パターンの形成方法
JP3530776B2 (ja) * 1999-07-28 2004-05-24 キヤノン株式会社 回折光学素子及びそれを用いた光学系
US6366542B1 (en) * 1999-11-17 2002-04-02 Konica Corporation Optical pickup apparatus and objective lens
JP3467018B2 (ja) * 2000-03-08 2003-11-17 キヤノン株式会社 光学系及び光学機器
US6473232B2 (en) * 2000-03-08 2002-10-29 Canon Kabushiki Kaisha Optical system having a diffractive optical element, and optical apparatus
JP2001305305A (ja) * 2000-04-26 2001-10-31 Omron Corp 耐光性マイクロレンズアレイ
JP4683597B2 (ja) * 2000-06-23 2011-05-18 大日本印刷株式会社 ホログラム転写箔
JP4587418B2 (ja) * 2000-09-27 2010-11-24 キヤノン株式会社 回折光学素子及び該回折光学素子を有する光学系
JP2002285132A (ja) * 2001-03-23 2002-10-03 Omron Corp 部材貼り合わせ方法及びその装置
JP4248805B2 (ja) * 2001-09-14 2009-04-02 大日本印刷株式会社 光硬化性樹脂組成物、シート、転写箔、微細凹凸パターン形成方法、及び光学用物品
CN100454042C (zh) * 2001-11-30 2009-01-21 株式会社尼康 光学用树脂前体组合物、光学用树脂、光学元件及光学物品
JP2003262713A (ja) * 2002-03-11 2003-09-19 Nikon Corp 回折光学素子及び回折光学素子の製造方法
EP1489440A4 (en) * 2002-03-18 2007-02-07 Nikon Corp OPTICAL BENDING ELEMENT AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE AND OPTICAL ESTABLISHMENT
JP2006177994A (ja) * 2004-12-20 2006-07-06 Shimadzu Corp レプリカ光学素子

Also Published As

Publication number Publication date
WO2004113971A1 (ja) 2004-12-29
EP1635197A4 (en) 2007-10-10
EP1635197B1 (en) 2010-12-01
CN1809769A (zh) 2006-07-26
DE602004030335D1 (de) 2011-01-13
JPWO2004113971A1 (ja) 2006-08-03
US20060093793A1 (en) 2006-05-04
CN100514091C (zh) 2009-07-15
CN101458350A (zh) 2009-06-17
EP1635197A1 (en) 2006-03-15
JP2010102353A (ja) 2010-05-06
US20060182934A9 (en) 2006-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5045739B2 (ja) 光学系
CN101233429B (zh) 成像光学系统
JP4197100B2 (ja) 反射防止物品
US7957063B2 (en) Diffractive optical device, optical system using the diffractive optical device and method for manufacturing diffractive optical device
US8154803B2 (en) Diffractive optical element with improved light transmittance
JP4378433B2 (ja) 回折光学素子およびその製造方法
KR100623026B1 (ko) 선 격자 편광자 및 그 제조방법
US9696469B2 (en) Multilayer diffractive optical element
JP2015068853A (ja) 積層体、撮像素子パッケージ、撮像装置および電子機器
JP2008242186A (ja) 回折光学素子及びそれを用いた光学系
JP2005316414A (ja) 回折光学素子及び回折光学素子の製造方法
WO2019024572A1 (zh) 抗反射结构、显示装置及抗反射结构制作方法
JP6929897B2 (ja) 回折光学素子
JP2012118501A (ja) 光学素子
US20120002286A1 (en) Optical Element and Method of Producing the Same
JPWO2007142186A1 (ja) 光学部材
US20170276838A1 (en) Antireflection member
JP2001033611A (ja) プラスチック製回折成形レンズ及び該レンズを用いた光学系
JP2013061612A (ja) 光学素子
JP7106279B2 (ja) 回折光学素子及び光学機器
WO2016006651A1 (ja) 光学部材およびその製造方法
JP2013205534A (ja) 回折光学素子及びその製造方法並びに回折光学素子を用いた光学系
JPWO2009013872A1 (ja) 保護膜付きレンズ及びその製造方法
JP5526990B2 (ja) レプリカ非球面光学素子の製造方法
US8564882B2 (en) Diffractive optical element and optical device

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120327

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120528

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120619

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120702

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150727

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5045739

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150727

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term