JP5043439B2 - 遊離炭素を取り除くために扱われた半導体基板処理装置の炭化シリコン部品 - Google Patents
遊離炭素を取り除くために扱われた半導体基板処理装置の炭化シリコン部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5043439B2 JP5043439B2 JP2006539942A JP2006539942A JP5043439B2 JP 5043439 B2 JP5043439 B2 JP 5043439B2 JP 2006539942 A JP2006539942 A JP 2006539942A JP 2006539942 A JP2006539942 A JP 2006539942A JP 5043439 B2 JP5043439 B2 JP 5043439B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- plasma
- free carbon
- semiconductor substrate
- carbide component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
- C23C16/4405—Cleaning of reactor or parts inside the reactor by using reactive gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
- C23C16/4407—Cleaning of reactor or reactor parts by using wet or mechanical methods
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F1/00—Electrolytic cleaning, degreasing, pickling or descaling
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32458—Vessel
- H01J37/32477—Vessel characterised by the means for protecting vessels or internal parts, e.g. coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/34—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies not provided for in groups H01L21/0405, H01L21/0445, H01L21/06, H01L21/16 and H01L21/18 with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/46—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/428
- H01L21/461—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/428 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/02—Details
- H01J2237/022—Avoiding or removing foreign or contaminating particles, debris or deposits on sample or tube
Description
半導体基板材料は、金属材料、誘電体材料及び半導体材料の化学気相成長法(CVD)のような成膜プロセス、エッチングプロセス、及びフォトレジスト除去プロセスを含む様々なプロセスによって処理される。プラズマエッチングは、金属材料、誘電体材料、および半導体材料をエッチングするのに従来より使用される。
半導体基板処理装置の炭化シリコン部品を処理する方法、そのような部品を製造する方法、およびそれらの方法によって処理される部品が提供される。その方法では、その部品から遊離炭素、例えば黒鉛を取り除く。この結果、プラズマ処理チャンバーでの半導体基板の処理において、半導体基板のパーティクル汚染が減少する。
別の好適な実施形態によれば、プラズマ処理チャンバーと、少なくとも1つの炭化シリコン部品とを備える半導体基板処理装置が提供される。炭化シリコン部品は、例えば、バッフル板、ガス供給プレート、プラズマ閉込めリング、エッジリング、フォーカスリング、バッキングプレート、チャンバーライナー、電極、ウェハ通路インサート、ウィンドウ、プラズマスクリーン、またはチャンバー壁であってもよい。好適な実施形態において、炭化シリコン部品は、プラズマ処理チャンバーにプロセスガスを供給するためのシャワーヘッド電極アセンブリの少なくとも1つのバッフル板である。
1つの一例となるタイプの半導体基板処理装置は平行平板リアクタである。平行平板リアクタは、上部電極と、半導体ウエハなどの基板がプラズマ処理の間に支えられる基板支持体とを含むプラズマ処理チャンバーを備える。基板支持体は、下部電極と、基板を固定するためのクランプ機構、例えば、機械的なチャックや静電気のチャック(ESC)などとを含んでいる。上部電極は、プラズマチャンバーでプロセスガスを供給するためのシャワーヘッド電極アセンブリの一部であってもよい。シャワーヘッド電極アセンブリは、シャワーヘッド上部電極を介してシャワーヘッド電極へのプロセスガスの供給を制御するように鉛直方向に間隙が設けられたバッフル板を含んでもよい。
バッフル板などの処理された炭化シリコン部品の使用に適した別の一例となる電極アセンブリは、本願と同じ出願人によるU.S.Patent No.6,391,787でに示されており、ここでその全体が参照されて用いられても良い。
Claims (28)
- 半導体基板処理装置の炭化シリコン部品であって、
前記炭化シリコン部品は、多孔性であり、内部と露出された表面とを含み、
前記炭化シリコン部品は、(i)内部に黒鉛形態の遊離炭素を含む前記炭化シリコン部品を生じさせる黒鉛変換工程によって作られ、(ii)黒鉛形態の遊離炭素を有する露出された表面を作り出すように処理され、(iii)少なくとも前記露出された表面から前記遊離炭素がなくなるように前記遊離炭素を除去するように処理されたものであり、
前記炭化シリコン部品は、バッフル板、プラズマ閉込めリング、エッジリングから構成されるグループから選択される
ことを特徴とする炭化シリコン部品。 - 前記炭化シリコン部品は、バッフル板である
ことを特徴とする請求項1に記載の炭化シリコン部品。 - プラズマ処理チャンバと、
前記プラズマ処理チャンバに設けられた少なくとも1つの請求項1に記載の炭化シリコン部品と、
を備えたことを特徴とする半導体基板処理装置。 - 前記プラズマ処理チャンバは、エッチングチャンバである
ことを特徴とする請求項3に記載の半導体基板処理装置。 - シャワーヘッド電極と、そこを通過してプロセスガスが前記シャワーヘッド電極へと向かうバッフルチャンバと、前記バッフルチャンバに設けられた請求項2に記載の炭化シリコンバッフル板とを含むシャワーヘッド電極アセンブリによってプロセスガスが中に供給される半導体基板処理装置のプラズマ処理チャンバにおける半導体基板の処理方法であって、
生産する半導体基板を前記ブラズマ処理チャンバの基板支持体の上に載せる載置工程と、
プロセスガスを前記バッフルチャンバへ供給して、前記プロセスガスを前記炭化シリコンバッフル板を通過させて前記炭化シリコンバッフル板と前記シャワーヘッド電極との間の空間へと導き、さらに前記シャワーヘッド電極を通過させて前記プラズマ処理チャンバの内部へと導く供給工程と、
前記シャワーヘッド電極を通過した前記プロセスガスで前記生産する半導体基板を処理する処理工程と、
を備えたことを特徴とする半導体基板の処理方法。 - 前記シャワーヘッド電極にRFパワーが供給されて、前記半導体基板の露出された表面に接触するように前記プロセスガスがプラズマを形成することにより、前記生産する半導体基板の上の誘電体材料層がエッチングされるエッチング工程をさらに備えた
ことを特徴とする請求項5に記載の半導体基板の処理方法。 - 前記生産する半導体基板を前記ブラズマ処理チャンバの前記基板支持体の上に載せる載置工程の前に、前記プラズマ処理チャンバをプラズマ調整するプラズマ調整工程をさらに備えた
ことを特徴とする請求項5に記載の半導体基板の処理方法。 - 前記プラズマ調整工程は、前記生産する半導体基板を処理する前に前記プラズマ処理チャンバにおいてダミーウェハーを次に処理する次処理工程を含み、
前記プラズマ処理チャンバでは、少なくともおよそ0.2μmの大きさを有し前記ダミーウェハーに付着する付着パーティクル数が、高周波電力を供給してプラズマを生成するRF時間単位でおよそ2RF時間までプラズマ調整された後に、およそ20以下である
ことを特徴とする請求項7に記載の半導体基板の処理方法。 - 少なくともおよそ0.2μmの大きさを有し前記ダミーウェハーに付着する前記付着パーティクル数は、およそ2RF時間までプラズマ調整された後に、およそ10以下である
ことを特徴とする請求項8に記載の半導体基板の処理方法。 - 前記炭化シリコンバッフル板は、前記プラズマ処理チャンバをプラズマ調整する前に、前記プラズマ処理チャンバの中に置かれる
ことを特徴とする請求項7に記載の半導体基板の処理方法。 - 請求項1に記載の炭化シリコン部品から黒鉛形態の遊離炭素を除去する除去方法であって、
前記炭化シリコン部品は、多孔性であり、内部と露出された表面とを含み、
前記炭化シリコン部品は、前記内部及び前記露出された表面に黒鉛形態の遊離炭素を含み、
前記除去方法は、前記露出された表面にある黒鉛形態の遊離炭素を除去するように、前記炭化シリコン部品を処理する処理工程を備える
ことを特徴とする除去方法。 - 前記炭化シリコン部品は、シリコン蒸気と炭素との反応生成により形成される
ことを特徴とする請求項11に記載の除去方法。 - 前記処理工程は、酸素含有雰囲気中で所定温度において、少なくとも前記露出された表面から黒鉛形態の遊離炭素を除去するのに有効な所定時間、前記炭化シリコン部品を加熱する加熱工程を含む
ことを特徴とする請求項11に記載の除去方法。 - 前記所定温度は、およそ750℃からおよそ1200℃である、あるいは、およそ800℃からおよそ900℃であり、
前記所定時間は、およそ2時間からおよそ12時間である
ことを特徴とする請求項13に記載の除去方法。 - 前記処理工程は、炭化シリコンを除去せずに少なくとも前記露出された表面から黒鉛形態の遊離炭素を除去するのに有効な化学溶液に、前記炭化シリコン部品を接触させる接触工程を含む
ことを特徴とする請求項11に記載の除去方法。 - 前記処理工程は、少なくとも前記露出された表面から黒鉛形態の遊離炭素を除去するように、酸素プラズマで前記炭化シリコン部品を処理する工程を含む
ことを特徴とする請求項11に記載の除去方法。 - 前記処理工程の後に、前記炭化シリコン部品の前記露出された表面を調整する調整工程をさらに備えた
ことを特徴とする請求項11に記載の除去方法。 - 前記黒鉛形態の遊離炭素は、炭素パーティクル及び炭素クラスターの少なくともいずれかの形であり、
前記処理工程では、前記炭化シリコン部品の内部において少なくともおよそ50μmの大きさを有する炭素パーティクル及び炭素クラスターの少なくともいずれかのうち、少なくともおよそ90%の個数の炭素パーティクル及び炭素クラスターの少なくともいずれかが除去される、
ことを特徴とする請求項11に記載の除去方法。 - 前記炭化シリコン部品は、炭化シリコン及び黒鉛形態の遊離炭素から本質的に構成されている
ことを特徴とする請求項11に記載の除去方法。 - 前記炭化シリコン部品は、シャワーヘッド電極アセンブリのバッフル板である
ことを特徴とする請求項11に記載の除去方法。 - 請求項1に記載の炭化シリコン部品を製造する製造方法であって、
内部に黒鉛形態の遊離炭素を含む炭化シリコン部品を生成する黒鉛変換工程によって、前記炭化シリコン部品を製造する製造工程と、
上部に黒鉛形態の遊離炭素を有する露出された表面を生成するように、前記炭化シリコン部品の一部を除去する除去工程と、
前記露出された表面にある黒鉛形態の遊離炭素を除去するように、前記炭化シリコン部品を処理する処理工程と、
を備えたことを特徴とする製造方法。 - 前記炭化シリコン部品は、シリコン蒸気と炭素との反応生成により形成される
ことを特徴とする請求項21に記載の製造方法。 - 前記処理工程は、
酸素含有雰囲気中で所定温度において、少なくとも前記露出された表面から黒鉛形態の遊離炭素を除去するのに有効な所定時間、前記炭化シリコン部品を加熱する加熱工程を含む
ことを特徴とする請求項21に記載の製造方法。 - 前記所定温度は、およそ750℃からおよそ1200℃である、あるいは、およそ800℃からおよそ900℃であり、
前記所定時間は、およそ2時間からおよそ12時間である
ことを特徴とする請求項23に記載の製造方法。 - 前記処理工程は、
炭化シリコンを除去せずに少なくとも前記露出された表面から黒鉛形態の遊離炭素を除去するのに有効な化学溶液に、前記炭化シリコン部品を接触させる接触工程を含む
ことを特徴とする請求項21に記載の製造方法。 - 前記処理工程は、
少なくとも前記露出された表面から黒鉛形態の遊離炭素を除去するように、酸素プラズマで前記炭化シリコン部品を処理する工程を含む
ことを特徴とする請求項21に記載の製造方法。 - 前記炭化シリコン部品は、バッフル板である
ことを特徴とする請求項21に記載の製造方法。 - 前記除去工程は、
炭化シリコンを除去するように、前記炭化シリコン部品を機械的に処理する機械処理工程を含む
ことを特徴とする請求項21に記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/706,938 US7267741B2 (en) | 2003-11-14 | 2003-11-14 | Silicon carbide components of semiconductor substrate processing apparatuses treated to remove free-carbon |
US10/706,938 | 2003-11-14 | ||
PCT/US2004/037945 WO2005050705A2 (en) | 2003-11-14 | 2004-11-12 | Silicon carbide components of semiconductor substrate processing apparatuses treated to remove free-carbon |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012047250A Division JP2012134535A (ja) | 2003-11-14 | 2012-03-02 | 遊離炭素の除去方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007511911A JP2007511911A (ja) | 2007-05-10 |
JP5043439B2 true JP5043439B2 (ja) | 2012-10-10 |
Family
ID=34573409
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006539942A Expired - Fee Related JP5043439B2 (ja) | 2003-11-14 | 2004-11-12 | 遊離炭素を取り除くために扱われた半導体基板処理装置の炭化シリコン部品 |
JP2012047250A Withdrawn JP2012134535A (ja) | 2003-11-14 | 2012-03-02 | 遊離炭素の除去方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012047250A Withdrawn JP2012134535A (ja) | 2003-11-14 | 2012-03-02 | 遊離炭素の除去方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7267741B2 (ja) |
EP (1) | EP1691938B1 (ja) |
JP (2) | JP5043439B2 (ja) |
KR (1) | KR101134328B1 (ja) |
CN (1) | CN1890034B (ja) |
TW (1) | TWI364861B (ja) |
WO (1) | WO2005050705A2 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050253313A1 (en) * | 2004-05-14 | 2005-11-17 | Poco Graphite, Inc. | Heat treating silicon carbide articles |
US7728823B2 (en) * | 2004-09-24 | 2010-06-01 | Apple Inc. | System and method for processing raw data of track pad device |
US8679252B2 (en) * | 2005-09-23 | 2014-03-25 | Lam Research Corporation | Actively heated aluminum baffle component having improved particle performance and methods of use and manufacture thereof |
KR101332206B1 (ko) | 2005-12-02 | 2013-11-25 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈, 엘.엘.씨. | 반도체 처리 방법 |
US8789493B2 (en) * | 2006-02-13 | 2014-07-29 | Lam Research Corporation | Sealed elastomer bonded Si electrodes and the like for reduced particle contamination in dielectric etch |
US8440049B2 (en) * | 2006-05-03 | 2013-05-14 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for etching high aspect ratio features |
US7848075B2 (en) * | 2006-07-19 | 2010-12-07 | Ngk Insulators, Ltd. | Electrostatic chuck with heater |
US7875824B2 (en) * | 2006-10-16 | 2011-01-25 | Lam Research Corporation | Quartz guard ring centering features |
US8088684B2 (en) * | 2007-02-05 | 2012-01-03 | Suss Microtec Ag | Apparatus and method for semiconductor wafer bumping via injection molded solder |
US20090151870A1 (en) * | 2007-12-14 | 2009-06-18 | Tokyo Electron Limited | Silicon carbide focus ring for plasma etching system |
KR20110044195A (ko) | 2008-06-09 | 2011-04-28 | 포코 그래파이트, 인코포레이티드 | 서브-애퍼쳐 반응성 원자 식각을 이용하는 성분의 전처리에 의해 반도체 제조 유닛의 수율을 증가시키고 고장 시간을 저감하는 방법 |
US8500047B2 (en) * | 2008-11-14 | 2013-08-06 | Chengjin Yu | Method of removing backing adhesive of carpet and the device thereof |
JP5630333B2 (ja) | 2011-03-08 | 2014-11-26 | 信越化学工業株式会社 | 易焼結性炭化ケイ素粉末及び炭化ケイ素セラミックス焼結体 |
JP5569445B2 (ja) * | 2011-03-17 | 2014-08-13 | 新日鐵住金株式会社 | 鋼中介在物の分離方法および粒度分布分析方法 |
US9048066B2 (en) | 2012-07-03 | 2015-06-02 | Spts Technologies Limited | Method of etching |
US8883029B2 (en) * | 2013-02-13 | 2014-11-11 | Lam Research Corporation | Method of making a gas distribution member for a plasma processing chamber |
FR3011124A1 (fr) * | 2013-09-26 | 2015-03-27 | St Microelectronics Tours Sas | Composant scr a caracteristiques stables en temperature |
JP7152846B2 (ja) * | 2017-06-19 | 2022-10-13 | 日本特殊陶業株式会社 | 炭化珪素部材の製造方法 |
WO2020242292A1 (en) * | 2019-05-27 | 2020-12-03 | Schunk Xycarb Technology B.V. | A chemical vapor deposition chamber article |
USD943539S1 (en) | 2020-03-19 | 2022-02-15 | Applied Materials, Inc. | Confinement plate for a substrate processing chamber |
US11380524B2 (en) | 2020-03-19 | 2022-07-05 | Applied Materials, Inc. | Low resistance confinement liner for use in plasma chamber |
USD979524S1 (en) | 2020-03-19 | 2023-02-28 | Applied Materials, Inc. | Confinement liner for a substrate processing chamber |
Family Cites Families (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59142839A (ja) | 1983-02-01 | 1984-08-16 | Canon Inc | 気相法装置のクリ−ニング方法 |
US4702900A (en) * | 1985-04-08 | 1987-10-27 | Bridgestone Corporation | Method of producing silicon carbide |
US5589116A (en) * | 1991-07-18 | 1996-12-31 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Process for preparing a silicon carbide sintered body for use in semiconductor equipment |
FR2740170B1 (fr) * | 1995-10-20 | 1998-01-02 | Schlumberger Services Petrol | Procedes et dispositifs de mesure de la resistivite de la boue dans un puits d'hydrocarbure |
US5820723A (en) | 1996-06-05 | 1998-10-13 | Lam Research Corporation | Universal vacuum chamber including equipment modules such as a plasma generating source, vacuum pumping arrangement and/or cantilevered substrate support |
US5911833A (en) * | 1997-01-15 | 1999-06-15 | Lam Research Corporation | Method of in-situ cleaning of a chuck within a plasma chamber |
US6379575B1 (en) * | 1997-10-21 | 2002-04-30 | Applied Materials, Inc. | Treatment of etching chambers using activated cleaning gas |
US6136211A (en) | 1997-11-12 | 2000-10-24 | Applied Materials, Inc. | Self-cleaning etch process |
US6872322B1 (en) * | 1997-11-12 | 2005-03-29 | Applied Materials, Inc. | Multiple stage process for cleaning process chambers |
US6464843B1 (en) * | 1998-03-31 | 2002-10-15 | Lam Research Corporation | Contamination controlling method and apparatus for a plasma processing chamber |
US6129808A (en) | 1998-03-31 | 2000-10-10 | Lam Research Corporation | Low contamination high density plasma etch chambers and methods for making the same |
US6073577A (en) | 1998-06-30 | 2000-06-13 | Lam Research Corporation | Electrode for plasma processes and method for manufacture and use thereof |
WO2000007959A1 (fr) * | 1998-08-07 | 2000-02-17 | Bridgestone Corporation | Fritte de carbure de silicium et son procede de production |
US6419757B2 (en) * | 1998-12-08 | 2002-07-16 | Bridgestone, Corporation | Method for cleaning sintered silicon carbide in wet condition |
JP3433392B2 (ja) * | 1999-01-12 | 2003-08-04 | セントラル硝子株式会社 | クリーニングガス及び真空処理装置のクリーニング方法 |
JP2001019552A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-01-23 | Bridgestone Corp | 炭化ケイ素焼結体及びその製造方法 |
US6322716B1 (en) * | 1999-08-30 | 2001-11-27 | Cypress Semiconductor Corp. | Method for conditioning a plasma etch chamber |
US6451157B1 (en) * | 1999-09-23 | 2002-09-17 | Lam Research Corporation | Gas distribution apparatus for semiconductor processing |
US6274500B1 (en) * | 1999-10-12 | 2001-08-14 | Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. | Single wafer in-situ dry clean and seasoning for plasma etching process |
US6890861B1 (en) * | 2000-06-30 | 2005-05-10 | Lam Research Corporation | Semiconductor processing equipment having improved particle performance |
US6506254B1 (en) * | 2000-06-30 | 2003-01-14 | Lam Research Corporation | Semiconductor processing equipment having improved particle performance |
US6391787B1 (en) | 2000-10-13 | 2002-05-21 | Lam Research Corporation | Stepped upper electrode for plasma processing uniformity |
JP4567867B2 (ja) * | 2000-10-24 | 2010-10-20 | キヤノンアネルバ株式会社 | 磁気記録ディスク用成膜装置及び磁気記録ディスク製作方法 |
JP2003106404A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Jatco Ltd | トルクコンバータ |
JP4141158B2 (ja) * | 2001-09-28 | 2008-08-27 | 新日本製鐵株式会社 | 耐食性、耐スポーリング性、乾燥性に優れた不定形耐火物用SiC、及び不定形耐火物原料 |
US6899785B2 (en) * | 2001-11-05 | 2005-05-31 | International Business Machines Corporation | Method of stabilizing oxide etch and chamber performance using seasoning |
JP4290551B2 (ja) * | 2001-11-08 | 2009-07-08 | 株式会社ブリヂストン | 炭化ケイ素焼結体治具の製造方法 |
JP4056774B2 (ja) * | 2002-03-26 | 2008-03-05 | 住友大阪セメント株式会社 | 発熱体及びその製造方法 |
JP4028274B2 (ja) * | 2002-03-26 | 2007-12-26 | 住友大阪セメント株式会社 | 耐食性材料 |
US6767836B2 (en) * | 2002-09-04 | 2004-07-27 | Asm Japan K.K. | Method of cleaning a CVD reaction chamber using an active oxygen species |
US7509962B2 (en) * | 2005-01-21 | 2009-03-31 | Tokyo Electron Limited | Method and control system for treating a hafnium-based dielectric processing system |
-
2003
- 2003-11-14 US US10/706,938 patent/US7267741B2/en active Active
-
2004
- 2004-11-12 TW TW093134783A patent/TWI364861B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-11-12 WO PCT/US2004/037945 patent/WO2005050705A2/en active Application Filing
- 2004-11-12 JP JP2006539942A patent/JP5043439B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-11-12 EP EP04810924A patent/EP1691938B1/en not_active Not-in-force
- 2004-11-12 KR KR1020067009360A patent/KR101134328B1/ko active IP Right Grant
- 2004-11-12 CN CN2004800363476A patent/CN1890034B/zh active Active
-
2007
- 2007-07-20 US US11/878,144 patent/US20080023029A1/en not_active Abandoned
-
2012
- 2012-03-02 JP JP2012047250A patent/JP2012134535A/ja not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101134328B1 (ko) | 2012-04-09 |
CN1890034A (zh) | 2007-01-03 |
KR20070039471A (ko) | 2007-04-12 |
EP1691938A4 (en) | 2010-04-14 |
JP2007511911A (ja) | 2007-05-10 |
TW200525795A (en) | 2005-08-01 |
WO2005050705A3 (en) | 2006-03-02 |
JP2012134535A (ja) | 2012-07-12 |
EP1691938A2 (en) | 2006-08-23 |
WO2005050705A2 (en) | 2005-06-02 |
TWI364861B (en) | 2012-05-21 |
US20050106884A1 (en) | 2005-05-19 |
EP1691938B1 (en) | 2012-10-17 |
CN1890034B (zh) | 2012-04-18 |
US20080023029A1 (en) | 2008-01-31 |
US7267741B2 (en) | 2007-09-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5043439B2 (ja) | 遊離炭素を取り除くために扱われた半導体基板処理装置の炭化シリコン部品 | |
KR100807138B1 (ko) | 개선된 파티클 성능을 가지는 반도체 공정 설비 | |
KR102551996B1 (ko) | 정전 척 본딩들에 대한 영구적인 2차 부식 방지 | |
US6451157B1 (en) | Gas distribution apparatus for semiconductor processing | |
US6506254B1 (en) | Semiconductor processing equipment having improved particle performance | |
EP1145273B1 (en) | Low contamination high density plasma etch chambers and methods for making the same | |
US8883029B2 (en) | Method of making a gas distribution member for a plasma processing chamber | |
JP2007516921A (ja) | 半導体材料処理装置におけるイットリアでコーティングされたセラミック部品及びその部品を製造する方法 | |
US20030155078A1 (en) | Plasma processing apparatus, and electrode plate, electrode supporting body, and shield ring thereof | |
WO2020036715A1 (en) | Coating material for processing chambers |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071108 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101022 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110722 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111004 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111104 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120523 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120712 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5043439 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150720 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |