JP5037653B2 - インプリントリソグラフィ装置 - Google Patents

Description

[0001] 本発明は、インプリントリソグラフィ装置に関する。

[0002] リソグラフィでは、所与の基板面積あたりのフィーチャ密度を高めるために、リソグラフィパターンにおけるフィーチャサイズの微細化を図りたいという要望が継続的に存在している。フォトリソグラフィの分野においては、より微細なフィーチャを求める取組みが、液浸リソグラフィおよび極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィなどの技術の発達をもたらしたが、これらには、かなり高いコストがかかってしまう。

[0003] 近年注目を集めている潜在的に低コストなフィーチャの微細化手段として、いわゆるインプリントリソグラフィが挙げられるが、これには、一般に、パターンを基板上に転写するための「スタンプ」（インプリントテンプレートと称されることが多い）の使用を伴う。そして、インプリントリソグラフィの利点は、フィーチャの解像度が、例えば放射源の波長または投影システムの開口数等による制限を受けないことである。その代わりに、解像度は、主にインプリントテンプレート上のパターン密度に制限される。

[0004] インプリントリソグラフィには、パターン付けされるべき基板の表面上にインプリント可能媒体のパターン付けをすることが含まれる。このパターン付けは、当該インプリント可能媒体がパターン付けされた表面内の凹部に流れ込み、かつパターン付けされた表面上の凸部からは押し退けられるように、インプリントテンプレートのパターン付けされた表面をインプリント可能媒体の層に接触させることを含み得る。凹部は、インプリントテンプレートのパターン付けされた表面のパターンフィーチャを画定する。一般的に、インプリント可能媒体は、パターン付けされた表面がインプリント可能媒体に接触したときに流動可能なものである。インプリント可能媒体のパターン付けに続いて、インプリント可能媒体は、好適に、流動不能状態または硬化（frozen）状態にされ、インプリントテンプレートのパターン付けされた表面とパターン付けされたインプリント可能媒体とは分離される。基板およびパターン付けされたインプリント可能媒体は、通常、基板にパターン付けまたはさらなるパターン付けをするために、その後さらに処理される。インプリント可能媒体は、通常、パターン付けされるべき基板の表面上のインプリント可能媒体の小滴から形成される。

[0005] インプリント可能媒体に正確かつ一定のパターンを付与するために、インプリントテンプレートアレンジメント（imprint template arrangement）を基板の目標部分（例えば、パターンがインプリントされる基板の部分）に対して正確に位置決めすることが望ましい。インプリントテンプレートアレンジメントは、インプリントテンプレート、（インプリントテンプレートを保持し得る）インプリントテンプレートホルダ、または、インプリントテンプレートを保持しているインプリントテンプレートホルダとすることができる。

[0006] インプリント可能媒体中に正確かつ一定のパターンを付与するために、インプリントテンプレートアレンジメントを６自由度方向に、または６自由度で（in or with six degrees of freedom）正確に位置決めすることが望ましい。６自由度とは、第１の軸に沿った移動と、第２の軸に沿った移動と、第３の軸に沿った移動と、第１の軸周りの回転と、第２の軸周りの回転と、第３の軸周りの回転と、であり、ここで、第１、第２、および第３の軸は互いに直交する。デカルト座標では、第１、第２、および第３の軸は、それぞれ、例えばｘ軸、ｙ軸、ｚ軸とすることができる。ｘ‐方向およびｙ‐方向は、パターンがインプリントされる基板の表面に実質的に平行に延在し得る。ｚ軸は、基板表面に対して実質的に垂直に延在し得る。テンプレートのｚ軸に沿った位置決め、ならびに、ｘおよびｙ軸周りの回転は、インプリントテンプレートアレンジメントの、パターンがインプリントされる基板とは反対側（つまり、インプリントテンプレートアレンジメントの上方）に配置されたアクチュエータアレンジメントにより行われ得る。ｘ軸および／またはｙ軸に沿ったインプリントテンプレートアレンジメントの位置決め、ならびにｚ軸周りの回転は、インプリントテンプレートアレンジメントの周囲（例えば、同一面上）に配置された１つ以上のアクチュエータアレンジメントにより行われ得る。

[0007] インプリントテンプレートアレンジメントを６自由度方向に、または６自由度で位置決めする既存のアクチュエータアレンジメントは、（例えば、アクチュエータのスタックにより）煩雑であり、かつ相当量の空間を占有する。煩雑さのより少ない、かつ占有空間がより小さいアクチュエータアレンジメントを提供することが望ましい。煩雑さのより少ない構造は、より迅速に加速および減速することが可能であり、これによりインプリントテンプレートアレンジメントもまたより迅速に加速および減速することが可能となる。これにより、所与の時間においてより多くのインプリントが可能となり、スループットを増加させることができる。占有空間がより小さいアクチュエータアレンジメントは、当該空間内にさらなる有用な装置を配置することを可能とする。その代わりに、または、それに加えて、占有空間がより小さいアクチュエータアレンジメントは、複数のインプリントテンプレートアレンジメントを使用して基板上にパターンをインプリントする多重インプリントテンプレートアレンジメント構成の実施を可能または容易にし得る。多重インプリントテンプレートアレンジメント構成の使用には、基板上にインプリントされるパターンのスループットを向上させるという利点がある。

[0008] 例えば、本明細書内またはそれ以外で特定される少なくとも１つの問題を除去または軽減する、あるいは既存のインプリントリソグラフィ装置の代替物を提供する、インプリントリソグラフィ装置を提供することが望ましい。

[0009] 一態様によると、インプリントリソグラフィ装置であって、基板上に供給されたインプリント可能媒体中にパターンをインプリントするのに使用されるインプリントテンプレートアレンジメントと、前記基板を保持するように構成された基板ホルダと、前記インプリントテンプレートアレンジメントを移動させるように構成された電磁ローレンツアクチュエータアレンジメントと、を含み、前記電磁ローレンツアクチュエータアレンジメントは、磁石アレイと、各導体が電流を搬送するように構成された導体アレイを含み、前記磁石アレイまたは前記導体アレイの一方は、移動可能であって、かつ前記インプリントテンプレートアレンジメントに接続され、前記磁石アレイまたは前記導体アレイの他方は、少なくとも部分的に前記基板ホルダの周囲に延在するか、または前記基板ホルダの一部を形成し、前記磁石アレイおよび前記導体アレイは、合わせて、前記磁石アレイまたは前記導体アレイのうち前記移動可能な一方の６自由度方向の移動であって、前記インプリントテンプレートアレンジメントもまた６自由度方向に移動可能とするような移動を容易にする構成である、インプリントリソグラフィ装置を提供する。

[0010] 導体アレイまたは磁石アレイのうち移動可能な一方は、導体アレイまたは磁石アレイの（固定された）他方に対して、基板の側面に沿って、および／または、基板の周囲を、移動し得る（つまり、基板上、基板の上方、または基板を横断して移動可能ではない）。

[0011] 装置は、１つ以上のさらなるインプリントテンプレートアレンジメントをさらに含むことができ、当該さらなるインプリントテンプレートアレンジメントの各々は、磁石アレイまたは導体アレイのうちさらなる移動可能な一方に接続され、前記磁石アレイまたは前記導体アレイのうち他方は、少なくとも部分的に前記基板ホルダの周囲に延在するか、または前記基板ホルダの一部を形成する。

[0012] 装置は、前記インプリントテンプレートアレンジメントを変形または保持するように構成されたアクチュエータをさらに含み得る。

[0013] 装置は、構造であって、前記インプリントテンプレートアレンジメントが、使用中、前記構造と前記基板ホルダとの間に配置されるように、前記基板ホルダから離れて配置され、かつ前記基板ホルダを横断して延在する構造をさらに含むことができ、前記構造は１つ以上のラインアレイを有し、前記インプリントテンプレートアレンジメントは、前記１つ以上のラインアレイのうちの１つ以上に対向する１つ以上のエンコーダを有する。

[0014] 前記１つ以上のラインアレイの数および／または配置、ならびに、前記１つ以上のエンコーダの数および／または配置は、合わせて、前記インプリントテンプレートアレンジメントと前記構造との間の４自由度方向の相対的な構成を決定し得るのに十分であり得て、前記４自由度は、第１方向の並進と、第２方向の並進と、回転と、膨張または収縮である。

[0015] 前記相対的な構成は、相対的な並進位置、相対的な回転位置、相対的な膨張の程度（例えば、相対的な位置または向き）である。

[0016] 前記１つ以上のラインアレイの数および／または配置、ならびに、前記１つ以上のエンコーダの数および／または配置は、合わせて、前記インプリントテンプレートアレンジメントと前記構造との間の６自由度方向の相対的な構成を決定し得るのに十分であり得て、前記６自由度方向は、（例えば、３つの直交する方向である）第１方向の並進と、第２方向の並進と、第３方向の並進と、前記第１方向、前記第２方向、および前記第３方向周りの回転と、を含む。

[0017] 前記ラインアレイは、第１方向に延びるラインと第２方向に延びるラインとを含むことができ、前記エンコーダは、少なくとも４つのエンコーダを含んでよく、前記少なくとも４つのエンコーダのうち少なくとも２つは、それぞれ第１方向に対する方向の移動を決定するように構成され、前記少なくとも４つのエンコーダのうち少なくとも他の２つは、それぞれ第２方向に対する方向の移動を決定するように構成され、前記少なくとも４つのエンコーダは前記インプリントテンプレートアレンジメントの周囲に配置される。あるいは、前記エンコーダは、少なくとも２つのエンコーダを含んでよく、前記少なくとも２つのエンコーダのそれぞれは、第１方向に対する方向と第２方向に対する方向の移動を決定し、前記少なくとも２つのエンコーダは、前記インプリントテンプレートアレンジメントの周囲に配置される。

[0018] 前記第１方向に対する方向は、前記第１方向に実質的に垂直とすることができ、前記第２方向に対する方向は、前記第２方向に対して実質的に垂直とすることができる。

[0019] 第１方向は、第２方向に実質的に垂直とすることができる。

[0020] 前記磁石アレイは、前記磁石アレイの外側の磁力線を増加させるように構成された（例えば、磁石アレイ間に配置される）ハルバッハエレメントを備え得る。

[0021] 前記装置は、前記導体アレイの導体に電流を通過させ、前記磁石アレイまたは前記導体アレイのうち前記移動可能な一方を移動させるように構成された制御アレンジメントをさらに含み得る。

[0022] 前記磁石アレイの磁石は、Ｎ極およびＳ極を有し得て、前記磁石アレイの１つ以上の磁石の前記Ｎ極および前記Ｓ極は、第１方向に位置合わせされ、前記磁石アレイの他の１つ以上の磁石の前記Ｎ極および前記Ｓ極は、異なる第２方向に位置合わせされ、前記第１方向および前記第２方向は、実質的に互いに平行であり、かつ対向している。

[0023] 前記導体アレイの１つ以上の導体は、電流が第１方向および／または第２方向に搬送されるように構成され得る。前記第１方向および前記第２方向は、実質的に互いに垂直である

[0024] 前記磁石アレイまたは前記導体アレイのうち前記移動可能な一方は、使用中、前記磁石アレイまたは前記導体アレイのうちの前記他方の上方に浮上（つまり、浮遊）させられるように構成され得る。これは、前記導体アレイの１つ以上の導体に適切な電流が通過することにより１つ以上の（ローレンツ）力が発生することによって実現され得る。

[0025] 前記導体アレイは、移動可能であり、かつ、前記インプリントテンプレートアレンジメントに接続されることができ（前記磁石アレイは適切な位置に固定される）、または、前記磁石アレイは、移動可能であり、かつ、前記インプリントテンプレートアレンジメントに接続されることができる（前記導体アレイは適切な位置に固定される）。

[0026] 前記６自由度は、第１の軸に沿った移動と、第２の軸に沿った移動と、第３の軸に沿った移動と、前記第１の軸周りの回転と、前記第２の軸周りの回転と、前記第３の軸周りの回転と、であり、前記第１、第２、および第３の軸は、互いに対して直交する。

[0027] インプリントテンプレートアレンジメントは、インプリントテンプレート、（インプリントテンプレートを保持し得る）インプリントテンプレートホルダ、またはインプリントテンプレートホルダを保持しているインプリントテンプレートホルダとすることができる。

[0028]本発明のいくつかの実施形態を、添付の図を参照して以下に説明する。

[0029] ホットインプリントリソグラフィおよびＵＶインプリントリソグラフィの例を概略的に示す。 ホットインプリントリソグラフィおよびＵＶインプリントリソグラフィの例を概略的に示す。 [0030] 図２は、インプリントテンプレートアレンジメントと、当該インプリントテンプレートアレンジメントを位置決めするように構成されたアクチュエータアレンジメントとの一実施形態を概略的に示す。 [0031] 図３は、本発明の一実施形態に係る電磁ローレンツアクチュエータアレンジメントを含むインプリント装置の平面図を概略的に示す。 [0032] 図４は、図３に示し、かつ図３を参照して説明される装置の側面図を概略的に示す。 [0033] 図５は、図３に示し、かつ図３を参照して説明する装置の真横から見た図（end-on view）を概略的に示す。 [0034] 図６は、図３に示し、かつ図３を参照して説明する装置の別の真横から見た図を概略的に示す。 [0035] 図７は、本発明の一実施形態に係る電磁ローレンツアクチュエータに関連した動作原理を概略的に示す。 [0036] 図８は、磁石アレイの平面図を概略的に示す。 [0037] 図９は、図８に示し、かつ図８を参照して説明する磁石アレイを、この磁石アレイに対して移動可能な導体アレイと共に概略的に示す。 [0038] 図１０は、本発明の一実施形態に係る多重インプリントテンプレートアレンジメントを備えたインプリントリソグラフィ装置であって、各インプリントテンプレートアレンジメントは、電磁ローレンツアクチュエータを使用して位置決め可能である、インプリントリソグラフィ装置を概略的に示す。 [0039] 図１１は、本発明の一実施形態に従い、電磁ローレンツアクチュエータを使用してインプリントテンプレートアレンジメントを移動可能とするインプリントリソグラフィ装置を、インプリントテンプレートアレンジメントの位置を決定するために共に使用され得る複数のエンコーダおよびラインアレイを備えた構造と共に概略的に示す。 [0040] 図１２は、図１１に示し、かつ図１１を参照して説明する装置の一部の平面図を概略的に示す。 [0041] 図１３は、本発明の一実施形態に係るインプリントリソグラフィ装置であって、当該装置のインプリントテンプレートアレンジメントは、電磁ローレンツアクチュエータアレンジメントを使用して位置決め可能である、インプリントリソグラフィ装置の側面図（side-on view）を概略的に示す。

[0042] インプリントリソグラフィに対する既知の２つのアプローチの例を図１ａおよび図１ｂに概略的に示す。

[0043] 図１ａは、いわゆるホットインプリントリソグラフィ（またはホットエンボス）の例を示す。典型的なホットインプリントプロセスにおいて、テンプレート２は、基板６の表面上に流し込まれた熱硬化性または熱可塑性インプリント可能媒体４にインプリントされる。インプリント可能媒体４は、例えば樹脂であり得る。樹脂は、例えば、スピンコートされて基板表面上にベークしてよく、あるいは、図示されている例のように、基板６の平坦化・転写層８上にベークしてもよい。熱硬化性ポリマ樹脂を使用する場合、樹脂は、テンプレートと接触した際に、テンプレート上に画定されたパターンフィーチャ内へと流入するのに十分に流動可能であるような温度まで加熱される。その後、樹脂が固まり、かつ不可逆的に所望のパターンを取り込むべく樹脂を熱硬化（架橋）させるために、樹脂の温度は高められる。次いで、テンプレート２を除去して、パターン付けされた樹脂を冷却してよい。熱可塑性ポリマ樹脂の層を使用するホットインプリントリソグラフィにおいては、テンプレート２を用いるインプリントの直前に熱可塑性樹脂が流動自在な状態となるように、熱可塑性樹脂を加熱する。樹脂のガラス転移温度を大幅に上回る温度まで熱可塑性樹脂を加熱することが必要な場合がある。テンプレートは流動可能な樹脂に接触し、次いで、テンプレート２が適切な位置にある状態で、その樹脂を樹脂のガラス転移温度よりも低温まで冷却し、パターンを硬化させる。その後、テンプレート２は除去される。パターンは、インプリント可能媒体の残留層から浮き彫りになっているフィーチャからなり、その残留層は、その後パターンフィーチャのみを残すように適切なエッチングプロセスによって除去され得る。ホットインプリントリソグラフィプロセスで使用される熱可塑性ポリマ樹脂の例は、ポリ（メチルメタクリレート）、ポリスチレン、ポリ（ベンジルメタクリレート）またはポリ（シクロヘキシルメタクリレート）である。ホットインプリントに関するより詳細な情報については、例えば、米国特許第４,７３１,１５５号および米国特許第５,７７２,９０５号を参照されたい。

[0044] 図１ｂは、ＵＶインプリントリソグラフィの例を示し、これは、ＵＶ（紫外線）を透過させる透明または半透明テンプレートおよびインプリント可能媒体としてのＵＶ硬化性液体の使用を伴う（ここで使用される「ＵＶ」という用語は、便宜上のものであり、インプリント可能媒体の硬化に適したあらゆる化学線を含むものとして解釈されるべきである）。ＵＶ硬化性液体は、多くの場合、ホットインプリントリソグラフィで使用される熱硬化性および熱可塑性樹脂よりも粘性が低く、従って、より一層速く動いてテンプレートパターンフィーチャを埋めることができる。クォーツテンプレート１０は、図１ａのプロセスと同様の方法でＵＶ硬化性インプリント可能媒体１２に当てられる。しかしながら、ホットプリントのように加熱または温度サイクリングを用いる代わりに、クォーツテンプレートを介してインプリント可能媒体に当てられるＵＶ放射１４を用いてインプリント可能媒体を硬化させることによって、パターンを硬化させる。テンプレートを除去した後、パターンは、インプリント可能媒体の残留層から浮き彫りになっているフィーチャからなり、その残留層は、その後パターンフィーチャのみを残すように適切なエッチングプロセスによって除去され得る。ＵＶインプリントリソグラフィによって基板にパターン付けをする特定の方法は、いわゆる「ステップアンドフラッシュインプリントリソグラフィ（ＳＦＩＬ）」と呼ばれ、これは、ＩＣ製造において従来使用されている光ステッパと同様の態様で複数の小さなステップで基板のパターン付けをするために使用することができる。ＵＶインプリントに関するより詳細な情報については、例えば、米国特許出願公開第２００４−０１２４５６６号、米国特許第６,３３４,９６０号、ＰＣＴ国際公開公報第ＷＯ０２／０６７０５５号、および"Mold-assisted nanolithography: A process for reliable pattern replication"と題した、J. Vac. Sci. Technol. B14(6)、１９９６年１１月／１２月号のJ. Haismaによる論文を参照されたい。

[0045] 上記のインプリント技術を組み合わせることもできる。例えば、インプリント可能媒体の加熱およびＵＶ硬化の組み合わせについて言及する米国特許出願公開第２００５−０２７４６９３号を参照されたい。

[0046] 図２は、基板２０を概略的に示す。基板２０上には、インプリント可能媒体２２の層が提供される。インプリントテンプレート２４をインプリント可能媒体２２中にインプリントすることにより、インプリント可能媒体２２中に１つ以上のパターンがインプリントされる。

[0047]インプリントテンプレート２４は、インプリントテンプレートホルダ２６により保持される。インプリントテンプレートホルダ２６は、アクチュエータアレンジメント２８に接続される。

[0048] アクチュエータアレンジメント２８は、インプリントテンプレートホルダ２６、ひいてはこのインプリントテンプレートホルダ２６に保持されるインプリントテンプレート２４を位置決めするために使用される。アクチュエータアレンジメント２８は、インプリントテンプレートホルダ２６、ひいてはインプリントテンプレート２４を、６自由度で、または６自由度方向に位置決めする。６自由度は、第１方向（例えば、ｘ‐方向）の移動、第２方向（例えば、ｙ‐方向）の移動、第３方向（例えばｚ‐方向）の移動、第１方向周りの回転（例えば、ｘ‐方向周りの回転）、第２方向周りの回転（例えば、ｙ‐方向周りの回転）、および、第３方向周りの回転（例えば、ｚ‐方向周りの回転）である。このような移動は、アクチュエータアレンジメント２８の好適な移動、またはアクチュエータアレンジメント２８の一部を形成する、あるいはアクチュエータアレンジメント２８に取り付けられたアクチュエータの作動などにより、実現され得る。

[0049] 既知のアクチュエータアレンジメントは、煩雑であり、相当量の空間を占有する。このような既知のアクチュエータアレンジメントの煩雑な性質は、アクチュエータアレンジメント、ならびにこのアクチュエータアレンジメントに取り付けられたインプリントテンプレートホルダおよびインプリントテンプレートを容易に加速させたり減速させたりするのを困難にしている。これにより、各インプリントにかかる時間が増加し、ひいてはスループットの低下が引き起こされ得る。アクチュエータアレンジメントにより占有される相当量の空間は、アクチュエータアレンジメントに占有されなければインプリントリソグラフィ装置の他の構成要素に占有され得る空間である。さらに、アクチュエータアレンジメントにより占有される相当量の空間により、複数のインプリントテンプレートアレンジメントが並行使用され、かつ１つ以上の基板上の異なる領域に対して並行的にまたは立て続けにパターンをインプリントするような多重インプリントテンプレートアレンジメントを実現するのが困難になるか、または不可能になる。

[0050] 本発明の一実施形態に従い、インプリントリソグラフィ装置が提供される。このインプリントリソグラフィ装置は、基板上に供給されたインプリント可能媒体中にパターンをインプリントするために使用されるインプリントテンプレートアレンジメントを含む。インプリントテンプレートアレンジメントは、インプリントテンプレート、インプリントテンプレートを保持するように構成されたインプリントテンプレートホルダ、または、インプリントテンプレートを保持しているインプリントテンプレートホルダであってよく、あるいはこれを含むものでもよい。インプリントリソグラフィ装置は、基板を保持するように構成された基板ホルダをさらに含む。また、インプリントテンプレートアレンジメントを移動させるために電磁ローレンツアクチュエータアレンジメントも設けられる。電磁ローレンツアクチュエータアレンジメントは、磁石アレイと導体アレイとを含む。導体アレイの各導体は、電流を搬送するように構成される（つまり、導体は導電体である）。磁石アレイまたは導体アレイアの一方は移動可能であり、かつインプリントテンプレートアレンジメントに接続されている。磁石アレイまたは導体アレイの他方（つまり、移動可能でない方）は、少なくとも部分的に基板ホルダの周囲に延在する、および／または、基板ホルダの一部を形成する。磁石アレイおよび導体アレイは、合わせて、磁石アレイまたは導体アレイの移動可能な方の６自由度方向の、または６自由度での移動を容易にする構成をしている。磁石アレイまたは導体アレイの移動可能な方はインプリントテンプレートアレンジメントに接続されるため、インプリントテンプレートアレンジメントも６自由度方向に移動可能な構成となる。

[0051] 電磁ローレンツアクチュエータアレンジメントの使用は、多くの理由から有益である。その理由の１つとして、電磁ローレンツアクチュエータが、滑らかで、かつ摩擦のほぼ無い移動を提供することが挙げられる。さらに有益な点として、単一の電磁ローレンツアクチュエータアレンジメントにより、インプリントテンプレートアレンジメントの６自由度方向の、または６自由度での移動を提供することが可能であることが挙げられる（つまり、インプリントテンプレートに対する異なる平面に対してインプリントテンプレートを移動させるために、当該異なる平面にアクチュエータを設ける必要がない）。インプリントテンプレートアレンジメントを６自由度方向に、または６自由度で移動させ得ることが必要な電磁ローレンツアクチュエータアレンジメントの一部は、単一平面内の単一のアクチュエータユニット内に配置され、これにより既存のアクチュエータと比較して、アクチュエータの寸法または複雑さを減少させ得る。インプリントテンプレートアレンジメントを移動させるために使用するローレンツ力は、当該力が作用する導体に搬送される電流に比例する。したがって、電流を正確に制御することで、導体上の力、ひいてはインプリントテンプレートアレンジメントの移動の正確な制御が得られる。

[0052] 単一のアレンジメントのみが使用されるため、既存のアクチュエータアレンジメントよりも占有するスペースが小さい。これは、このスペースを他の装置に使用することができることを意味し、余ったスペースにより、多重インプリントテンプレートアレンジメント構成を構築することが可能または容易になる。

[0053] 本明細書において、磁石または導体のアレイとは、規定された向き、位置、構成、またはレイアウトを有する１つ以上の磁石または導体である（つまり、配置、構成、位置、またはレイアウトは、ランダムではなく予め定められている）。アレイは、磁石または導体の１つのラインであってもよく、あるいは、例えば、列または行に配置された複数のラインであってもよい。例えば、アレイは、チェッカボードパターンなどを有し得る。

[0054] 本発明の特定の実施形態を、単なる例として、図３〜１３を参照して以下に説明する。

[0055] 図３は、本発明の一実施形態に係るインプリントリソグラフィ装置の平面図を概略的に示す。基板３０は、基板ホルダ３２により適切な位置に保持される。基板ホルダ３２は、磁石アレイ３４に囲まれている。装置は、導体アレイ３６も含む。アレイ内の各導体は、電流を搬送するように構成される。導体アレイ３６は、基板の側面に沿って、および／または、基板の周りを磁石アレイ３４に対して移動可能である（つまり、基板上、基板の上方、または基板を横断して移動可能ではない）。導体アレイ３６は、インプリントテンプレートアレンジメント３８に接続される。導体アレイ３６とインプリントテンプレート構造３８との間は、接続部材４０によって接続される。この接続部材は、例えば、フレーム、サポート、支柱（strut）、または、他のあらゆる好適な接続部材とすることができる。

[0056] 使用中、移動可能な導体アレイ３６は、磁石アレイ３４に対して（例えば、磁石アレイ３４の上方に）浮上（浮遊）されるように構成される。この浮上は、導体アレイ３６の１つ以上の導体を通過する電流を制御し、導体に対し、ｚ‐方向の磁石アレイ３４から離れる方向にローレンツ力を発生させることにより実現され得る。そのような導体アレイ３６の１つ以上の導体を通過する電流の制御と、磁石アレイ３４の好適な構成との組み合わせにより、導体アレイ３６の移動（つまり、位置）が６自由度方向に制御され得る状況が得られる。ここで、６自由度とは、第１の軸（例えば、ｘ‐方向）に沿った移動と、第２の軸（例えばｙ‐方向）に沿った移動と、第３の軸（例えばｚ‐方向）に沿った移動と、第１の軸周りの回転（例えば、ｘ‐方向周りの回転）と、第２の軸周りの回転（例えば、ｙ‐方向周りの回転）と、第３の軸周りの回転（例えば、ｚ‐方向周りの回転）と、であり、第１、第２、および第３方向は互いに直行している。導体アレイ３６は、接続部材４０を介してテンプレート構造３８に接続されるため、導体アレイ３６の移動（つまり、位置決め）は、インプリントテンプレートアレンジメント３８の（接続部材４０の可撓性および他の機械的特性に応じた）類似のまたは実質的に同一の移動（つまり、位置決め）も引き起こす。導体アレイ３６の１つ以上の導体を通過する電流を制御するために制御アレンジメント（図示なし）を設けてもよい。

[0057] 図３は、導体アレイ３６のｙ‐方向およびｘ‐方向の移動、ならびにｚ‐方向周りの回転を示す矢印を含む。図３は、さらに、インプリントテンプレートアレンジメント３８の対応するｘ‐方向、ｙ‐方向の移動、またはｚ‐方向の回転を示す矢印も含む。

[0058] 図４は、図３に示し、かつ図３を参照して説明した装置の側面図である。図４は、磁石アレイ３４の上方に浮遊する導体アレイ３６を概略的に示す。図４中の矢印は、導体アレイ３６のｚ‐方向の可能な移動、および、代替的または追加的なｙ‐方向周りの回転を概略的に示す。インプリントテンプレート構造３８の対応する移動も矢印を用いて示されている。

[0059] 図５は、図３に示し、かつ図３を参照して説明した装置の側面図である。図５の矢印は、導体アレイ３６のｘ‐方向周りの可能な回転を概略的に示す。図６は、図５に示す装置の反対側側面図であり、同図中、矢印は、インプリントテンプレートアレンジメント３８のｘ‐方向周りの対応する回転を示す。

[0060] インプリントテンプレートアレンジメントの６自由度方向の移動（つまり、位置決め）は、多くの方法のうちのいずれか１つにおいて使用され得る。例えば、ｘまたはｙ‐方向の（つまり、基板の表面に対して平行な）移動、またはｚ‐方向周りの回転（つまり、基板に平行な回転）は、基板上のインプリント可能媒体中にパターンをインプリントする前にインプリントテンプレートアレンジメントを位置決めおよび／または位置合わせするために使用され得る。ｚ‐方向の移動は、インプリントテンプレートアレンジメントをインプリント可能媒体中にインプリントするために、またはインプリントテンプレートアレンジメントがインプリント可能媒体中にインプリントされた後にこのインプリントテンプレートアレンジメントを取り外すために、使用され得る。ｘ、ｙまたはｚ‐方向のうち１つ以上の方向の回転は、例えば、インプリント可能媒体またはインプリント可能媒体が供給された基板のトポグラフィを考慮するために、または加熱などによる基板の変形を考慮するために、使用され得る。その代わりに、または、それに加えて、ｘ、ｙ、またはｚ‐方向のうち１つ以上の方向の回転は、例えば、インプリントの前に、インプリントテンプレート（または、そのパターン付け表面）を基板と正確に水平化させるために使用してもよい。

[0061] 図７は、本発明の実施形態に関連した動作原理を概略的に示す。サポート構造５０が設けられている。このサポート構造内には、複数の磁石５２が固定されている。複数の磁石５２は磁石アレイを形成している。

[0062] 磁石アレイの磁石５２は、Ｎ極およびＳ極を有する。磁石アレイにおける１つ以上の磁石のＮ極およびＳ極は、第１方向に位置合わせされる。磁石アレイにおける１つ以上の他の磁石５２のＮ極およびＳ極は、異なる第２方向に位置合わせされる。第１方向および第２方向は、実質的に互いに平行かつ反対、例えば、図示されるｚ‐方向の正方向および負方向とすることができる。図中の各磁石５２には、各磁石５２のＮ極およびＳ極の位置合わせ方向を示す参照用矢印が付与されている。隣り合う磁石５２は、この隣り合う磁石５２のＮ極およびＳ極が異なる方向、例えば、それぞれｚ‐方向の正方向および負方向に位置合わせされるように、方向付けされ得る。磁力線５４は、磁石５２に対して示され、これら磁力線５４は磁石５２のＮ極から磁石５２のＳ極へと延びる従来の様態で示されている。

[0063] 第１の導体５６は、磁力線５４内に配置されて示されている。電流Ｉは、
は、ｙ‐方向かつ図が描かれている平面の面外方向に第１の導体５６を通過する。導体５６内の電流Ｉが通過する位置において、磁力線５４はｘ‐方向に延びる。

[0064] （記載されるアクチュエータを一例とする電気モータに対する）フレミングの左手の法則に従うと、電流Ｉおよび磁界Ｂの方向により、ｚ‐方向の磁石５２のアレイから離れる方向に第１の導体５６に対して作用する力Ｆ（ローレンツ力、故にローレンツアクチュエータという用語になる）が得られる。したがって、このように第１の導体５６に作用する力Ｆがこの第１の導体を磁石５２のアレイの上方へ浮遊させ得る。

[0065] 第２の導体５８もまた図示されている。電流Ｉ’は、ｙ‐方向かつ図が描かれている平面の面内方向に第２の導体５８を通過するものとして示される。電流Ｉ’が通過する位置において、磁界Ｂ’はｚ‐方向の磁石５２のアレイに向かう方向に作用する。（記載されるアクチュエータを一例とする電気モータに対する）フレミングの左手の法則に従うと、これによりｘ‐方向に第２の導体５８に対して作用する力Ｆ’（ローレンツ力）が得られる。このような力Ｆ’は、したがって、第２の導体５８をｘ−方向に移動させるために使用され得る。

[0066] 第１の導体５６および第２の導体５８は、組み合わされて導体アレイを形成することができ、各導体５６、５８は、磁石５２のアレイの異なる部分（例えば、異なる磁石）の上方に延在する。各導体５６、５８を通過する電流の通路を適正に制御することにより、異なる力が生成され、組み合わされた導体５６、５８の異なる部分に付与され得る。これらの組み合わされた力は、例えば、組み合わされた導体５６、５８を浮遊させたり（つまり、これらの導体をｚ‐方向に移動させる／位置決めする）、組み合わされた導体５６、５８をｚまたはｙ‐方向に移動させたりするために使用することができる。

[0067] 一般的には、導体アレイを設けてもよい。導体アレイにおける１つ以上の導体は、第１方向および第２方向のうち１つ以上の方向に電流が搬送されるように構成され得る。ここで、第１方向および第２方向は、実質的に互いに垂直である。（記載されるアクチュエータを一例とする電気モータに対する）フレミングの左手の法則に従うと、所定の構成により、１つ以上の導体に対して、例えば第１方向、第２方向、または第３方向に対して垂直な１つ以上の方向に選択的に力を付与させることができ、これに移動（つまり、アレイ全体の位置決め）が伴う。当然のことながら、これらの力の大きさおよび方向は、磁石アレイにより生成される磁界に対する導体アレイの１つまたは複数の導体の位置に依存することとなる。

[0068] 図７は、磁石アレイおよび２つの導体の１次元描写を概略的に示した。図８は、本発明の実施形態のより現実的な実施の平面図を概略的に示す。図８は、サポート構造６２内に配置された二次元的な磁石６０のアレイを概略的に示す。磁石６０のアレイは、Ｎ極およびＳ極を有する。磁石６０のアレイにおける１つ以上の磁石６０のＮ極およびＳ極は、第１方向に位置合わせされ、磁石６０のアレイにおける１つ以上の異なる（つまり、他の）磁石６０のＮ極およびＳ極は、異なる第２方向に位置合わせされる。第１方向および第２方向は、実質的に互いに平行かつ反対である。図を参照すると、第１および第２方向は、それぞれ、ｚ‐方向の正方向および負方向である。

[0069] 磁石６０は、行および列に配置されるため、２次元アレイを形成している。任意の列または行内の隣り合う磁石のＮ極およびＳ極の向きは、互いに反対である。各磁石６０内の丸印は、磁石のＳ極からＮ極へと引かれた線が図の描かれた平面から離れる方向へ垂直に存在するように方向付けられた磁石を特定する。反対に、×印は、磁石のＳ極からＮ極へと引かれた線が図の描かれた平面内へと延びるように方向付けられた磁石を示す。矢印６４は、隣り合う磁石６０の極間に延在する磁力線を概略的に示す。

[0070] 図９は、図８に示し、かつ図８を参照して説明したものと同一の磁石アレイを概略的に示す。導体アレイ７０は、磁石６０のアレイと関連して示される。導体アレイ７０は、（移動不可能な）磁石６０のアレイに対して移動可能である。導体アレイ７０は、複数の導体７２を含む。導体７２は、コイルなどであってよい。導体７２は、上述したように、導体アレイ７０全体を６自由度で移動する（位置決めする）制御を可能とするような任意の好適な様態で方向付けられ得る。導体７２は、コントローラ（図示なし）に接続され得る。コントローラは、導体アレイ７０の１つ、複数、または全ての導体７２を通る電流の大きさおよび／または方向を制御するように構成される。

[0071] 図８または図９では、導体は、（例えば、磁石の行または列に平行な）ｘまたはｙ‐方向に延在するように示された。他の実施形態では、導体は、ｘまたはｙ‐方向に対して４５°（例えば、磁石の行または列に対して４５°）といった異なる方向に延在してもよい。

[0072] 図３は、単一のインプリントテンプレートアレンジメントと、当該インプリントテンプレートアレンジメントと移動可能な導体アレイとの接続を示した。図１０を参照すると、インプリントリソグラフィ装置は、複数（つまり、本実施形態では４つ）のインプリントテンプレートアレンジメント８０を含むものとして示されている。各インプリントテンプレートアレンジメント８０は、図３に関連して上述したものと同様の様態で各接続部材８４により移動可能な導体アレイ８０に接続される。図１０に戻り、各導体アレイ８２は、単一の磁石アレイ８６に対して移動させられ得る。もしくは、１つ以上の磁石アレイは、個々の導体アレイ８２がそれぞれ移動可能となり得るように設けられてもよい。

[0073] 各インプリントテンプレートアレンジメント８０は、単一のインプリントテンプレートアレンジメントの実施形態に関連して上述したように、移動可能であってよい。各インプリントテンプレートアレンジメント８０は、特定の導体アレイ８２により、基板３０の特定の四分円形８８内を移動させられ得る（つまり、位置決められ得る）。上述したような電磁ローレンツアクチュエータを使用することで、各インプリントテンプレートアレンジメント８０の上方にアクチュエータアレンジメントを設ける必要がなくなる。代わりに、本発明の一実施形態に係る電磁ローレンツアクチュエータの移動可能な部分（本例では、導体アレイ８２）は、基板に沿っておよび／または基板の周りを移動可能である。したがって、図に示すような多重インプリントテンプレートアレンジメント構成を実施するのがより容易となり得る。これは、１つまたは複数のインプリントテンプレートアレンジメントの上方に、かさ張り、かつ煩雑な大量の機器を設ける必要がないためである。装置は、導体アレイを確実に平面的な形状とすることにより、全体として相対的に（ｚ‐方向に）平坦になり得る。ローレンツアクチュエータは、まさにその性質上、実質的に平面的である。

[0074] インプリントリソグラフィ装置は、インプリントテンプレートアレンジメントの位置を決定するために干渉計を使用し得る。しかし、複数のインプリントテンプレートアレンジメントを使用する場合、全てのインプリントテンプレートアレンジメントの位置（または、各インプリントテンプレートアレンジメントの膨張もしくは回転の程度）を決定するのは、困難であるか、または不可能であるかもしれない。これは、インプリントテンプレート自体の存在が、インプリントテンプレートアレンジメントの位置、膨張の程度、および／または、回転の程度を決定するために干渉計が使用する必要のある１つ以上の放射ビームを遮蔽する可能性があるためである。

[0075] 図１１は、この問題を解決しうるインプリントリソグラフィ装置を概略的に示す。図１１は、図４に示し、かつ図４を参照して説明したものと実質的に同一のインプリントリソグラフィ装置を概略的に示す。したがって、図４および図１１に示す同様の特徴には、同一の参照符号が付与されている。図４に示す装置とは対照的に、図１１の装置は、１つ以上の参照点に対してインプリントテンプレートアレンジメント３８の構造を決定するように構成された構成決定アレンジメントを備える。相対的な構成とは、例えば、相対的な遷移位置、相対的な回転位置、および／または、相対的な膨張の程度（例えば、位置または向き）である。一例では、構成決定アレンジメントは、基板ホルダから離れて配置され、かつ基板ホルダ３２を横断して（つまり、基板ホルダ３２と実質的に平行に）延在する構造９０を含む。構造９０は、使用中、インプリントテンプレートアレンジメント３８が当該構造９０と基板ホルダ３２との間に配置されるように配置される。構造９０は、（互いに隣り合うラインか、または格子などであり得る）１つ以上のラインアレイを備え、これにより前述した１つまたは複数の固定の参照点を提供する。構造９０は、実質的に平面的な形状であってよい。構造９０は、プレート状の形状等とすることができる。インプリントテンプレートアレンジメント３８は、構造９０に設けられる１つ以上のラインアレイのうち１つ以上に対向する１つ以上のエンコーダ９２を備える。

[0076] エンコーダ９２およびラインアレイは、合わせて、構成決定アレンジメントを構成する。図１１の矢印は、エンコーダ９２と構造９０との間の通路が遮断されていないことを示し、したがって、インプリントテンプレートアレンジメント３８の構成は容易に決定され得る。さらに、１つ以上（例えば、４つ）のインプリントテンプレートアレンジメントが存在しても、エンコーダ９２と構造９０に設けられるラインアレイとの間の通路は遮断されない。これは、装置内で使用される１つ、複数、または全てのインプリントテンプレートアレンジメントの構成が容易に決定され得ることを意味する。

[0077] １つ以上のラインアレイの数および／または配置、ならびにエンコーダの数および／または配置は、合わせて、インプリントテンプレートアレンジメントと構造との間の４自由度方向の相対的構成を決定し得るのに十分であり得る。４自由度とは、第１方向の移動または並進、第２方向の移動または並進、回転、および、膨張または収縮とすることができる。インプリントテンプレート構造のあらゆる膨張または収縮は、考慮されなければ、基板上に供給されたインプリント可能媒体に付与されるパターンにおいて変形またはオーバレイの問題を引き起こすことになるため、インプリントリソグラフィにおいてインプリントテンプレートアレンジメントの膨張を決定することは重要である。４自由度方向の相対的構成の決定を可能にするために、ラインアレイは、第１方向に延在するラインと、第２方向に延在するラインとを（例えば、格子の形で）含み得る。エンコーダは、少なくとも４つのエンコーダを含み得て、少なくとも４つのエンコーダのうち少なくとも２つは、それぞれ第１方向に対する方向の移動を決定するように構成され、少なくとも４つのエンコーダのうち少なくとも他の２つは、それぞれ第２方向に対する方向の移動を決定するように構成され、少なくとも４つのエンコーダは、インプリントテンプレートアレンジメントの周囲に配置される。もしくは、少なくとも２つのエンコーダを設けてもよく、少なくとも２つのエンコーダのそれぞれは、第１方向に対する方向と第２方向に対する方向の移動を決定し、当該少なくとも２つのエンコーダは、インプリントテンプレートアレンジメントの周囲に配置される。第１方向に対する方向は、第１方向に実質的に垂直であってよく、第２方向に対する方向は、第２方向に対して実質的に垂直であってよい。第１方向は、第２方向に実質的に垂直であり得る。

[0078] その代わりに、または、それに加えて、１つ以上のラインアレイの数および／または配置、ならびにエンコーダの数および／または配置は、合わせて、インプリントテンプレートアレンジメントと構造との間の６自由度方向の相対的構成を決定し得るのに十分であり得る。ここで、６自由度は、（例えば、３つの直行する方向である）第１方向の並進と、第２方向の並進と、第３方向の並進と、第１、第２および第３方向周りの回転と、である。エンコーダは、少なくとも６つのエンコーダを含み得て、当該少なくとも６つのエンコーダのうち少なくとも３つのエンコーダはそれぞれ第１方向に対する方向の移動を決定するように構成され、少なくとも６つのエンコーダのうち少なくとも３つの他のエンコーダはそれぞれ第２方向に対する方向の移動を決定し、少なくとも６つのエンコーダはインプリントテンプレートアレンジメントの周りに配置される。もしくは、少なくとも３つのエンコーダを設けてもよく、少なくとも３つのエンコーダは、それぞれ、第１方向に対する方向および第２方向に対する方向の移動を決定するように構成され、少なくとも３つのエンコーダはインプリントテンプレートアレンジメントの周りに配置される。第１方向に対する方向は、第１方向に実質的に垂直であってよく、第２方向に対する方向は、第２方向に対して実質的に垂直であってよい。第１方向は、第２方向に実質的に垂直であり得る。もしくは、少なくとも３つのエンコーダを設けてもよく、これらは、合わせて、ｚ‐方向（つまり、第３方向）において、かつ３つの接線方向自由度（three tangential degrees of freedom）であって、うち２つが平行であり３つ目が他の２つに直行する接線方向自由度での３つの異なる測定を行う。接線方向自由度は、第１および第２方向、またはこれらの方向に対して４５°の方向とすることができる。

[0079] 図１２は、図１１に示し、かつ図１１を参照して説明した装置の平面図である。ただし、図１２では、１つ以上のラインアレイを設けた構造９０を取り除き、装置の残りの部分がより明確に見えるようにしている。平面図では、インプリントテンプレートアレンジメント３８は、４つのエンコーダ９２を備え、この４つのエンコーダ９２のうち２つはｚ‐方向の移動を決定し、４つのエンコーダ９２のうち他の２つはｙ‐方向の移動を決定するように構成される（これらの移動は、ライン格子の異なる向きにより示される）。エンコーダのこの構成により、位置、回転、および／または膨張における変化を決定することが可能となる。上述した電磁ローレンツアクチュエータは、図１１および１２に示し、これらの図を参照して説明した実施形態に特に適している。

[0080] 電磁ローレンツアクチュエータは、まさにその性質上、実質的に平面的である。平面的な形状により、アクチュエータは、例えば１つ以上の積層されたアクチュエータを含む場合等、アクチュエータが平面的でない場合に比べて、ラインアレイを備える構造と基板ホルダとの間により容易に配置することが可能となる。したがって、ローレンツアクチュエータの平面的な形状により、ラインアレイを備える構造を基板ホルダおよびインプリントテンプレートアレンジメントに対してより近づけて配置することが可能となり、これにより、より容易にまたはより高い精度で、エンコーダを用いてインプリントテンプレートアレンジメントの構成を決定することが可能となる。

[0081] 上述した実施形態において、電磁ローレンツアクチュエータアレンジメントは、インプリントテンプレートアレンジメントを６自由度方向に、または、６自由度方向で移動させる（つまり、位置決めする）ために使用されるものとして説明した。電磁ローレンツアクチュエータアレンジメントは、インプリントテンプレートアレンジメントを保持（例えば、クランプする）または変形することが可能であるのが望ましいことがある。インプリントリソグラフィ装置は、このため、インプリントテンプレートアレンジメントを変形または保持するように構成された１つ以上のアクチュエータを含み得る。１つ以上のアクチュエータは、インプリントテンプレートアレンジメントの周囲に延在するか、またはインプリントテンプレートアレンジメントの一部を形成し得る。１つ以上のアクチュエータとしては、例えば、１つ以上のピエゾアクチュエータ、ボイスコイルアクチュエータ、ねじ構成などが挙げられる。

[0082] ここまで説明した本発明の実施形態では、導体アレイは、磁石アレイに対して移動可能なものとして説明してきた。代替的な構成では、適切な位置に固定された１つ以上の導体アレイに対して移動可能である（かつ、１つ以上の導体アレイに対して浮上させられ得る）１つ以上の磁石アレイを設けてもよい。移動可能な磁石アレイは、移動可能なインプリントテンプレートアレンジメントに接続されることになる。図１３は、そのような代替的な実施形態を概略的に示す。基板ホルダ３２は、基板３０を保持した状態で示される。基板３０の上方には、インプリントテンプレートアレンジメント３８が配置される。インプリントテンプレートアレンジメント３８は、磁石アレイ１０４（例えば、本発明の他の実施形態に関連して上述した磁石アレイ）を支持する本体１０２に接続部材１００を介して接続される。磁石アレイ１０４は、導体アレイ１０６（例えば、他の実施形態に関連して上述した導体アレイ）の上方に、かつこの導体アレイ１０６に対して、浮上している状態で示される。磁石アレイ１０４、ひいてはこの磁石アレイ１０４に接続されるインプリントテンプレートアレンジメント３８は、他の実施形態に関連して説明したのと同様に移動させられ（位置決めされ）得る。本実施形態では、移動可能な磁石アレイを移動させるために、適切な位置に固定された導体を電流が通過する点で、前述の実施形態とは異なる。前述の実施形態では、固定された磁石アレイに対して導体を移動させるために、導体アレイの導体を電流が通過した。

[0083] 端的に言うと、導体アレイは、移動可能であって、かつインプリントテンプレートアレンジメントに接続されてもよく、ここで、導体アレイは、固定された磁石アレイ（１つ以上のアレイ）に対して移動可能である。代替的な実施形態では、磁石アレイは、移動可能であって、かつインプリントテンプレートアレンジメントに接続されてもよく、ここで、磁石アレイは固定された導体アレイ（１つ以上のアレイ）に対して移動可能である。各代替的な実施形態には、それぞれに関連する長所と短所がある。導体アレイが移動可能である実施形態では、必要とする導体および関連する回路がより少なくてよい。これにより、導体アレイおよび電磁ローレンツアクチュエータが全体としてより安価になり、さらに、この構成でなければインプリントテンプレートの望ましくない膨張を引き起こし得る熱の生成がより少なくなる。しかし、移動可能な導体アレイを設けられるようにするためには、移動可能なコネクタを設けることが必要になる。このコネクタは、１つ以上の導体を通過する電流の通路の制御を可能にするために、移動可能な導体を接続するのに必要なワイヤまたはケーブルを含み得る。このコネクタは、さらに、導体アレイのうち１つ以上の導体に対して冷媒を供給する１つ以上の導管も含み得る。その代わりに、または、それに加えて、無線の電力伝達アレンジメント（power transfer arrangement）を使用してもよいが、装置全体のコストが増すことになる。もしくは、コイルが適切な位置に固定され、磁石が移動可能である場合は、移動するワイヤは設けられない。しかし、移動可能な磁石アレイの移動を可能にするためには、より大きな磁石アレイが必要となり、これを実施するにはより高い費用がかかり、より多くの熱が生成され得る。

[0084]１つ以上のエレメントを磁石アレイの磁石間に配置し、所望の方法により磁界を操作してもよい。例えば、ハルバッハエレメントを使用し、（例えば、浮遊を容易にするために）磁石アレイの外側の磁力線を増加させてもよい。そのようなエレメントは、ローレンツアクチュエータの性能（例えば、電気モータ性能‐Ｋ係数）を向上させるために使用され得る。

[0085] 説明および図示した実施形態は、例示的なものであり、制限的な性質のものではないとみなされるべきであって、単に好ましい実施形態が図示および説明されたものであること、および請求の範囲に定義された本発明の範囲に入る全ての変更および変形は保護されることが望まれることを理解されたい。本明細書で「好ましい（preferable）」、「好ましくは（preferably）」、「好ましい（preferred）」「より好ましい（more preferred）」などの語を使用することは、そのように記述されたある特徴が望ましいことがあることを示唆するとはいえ、その特徴が必要ではないこともあり、このような特徴を欠いている実施形態が、添付の特許請求の範囲に定義された本発明の範囲内にあるとして企図されうることを理解されたい。特許請求の範囲に関連して、「１つの（a, an）」、「少なくとも１つの（at least one）」、または「少なくとも１つの部分（at least one portion）」などの語が、ある特徴の前置きに使用された場合、このような１つの特徴だけに特許請求の範囲を限定する意図は、特許請求の範囲に逆のことが特に提示されない限り、ないものとする。「少なくとも一部分（at least a portion）」および／または「一部分（a portion）」という言葉が使用された場合、その項目は、逆のことが特に提示されない限り、一部分および／または項目全体を含み得る。

[0086] 一実施形態では、複数（例えば、２、３または４つ）の基板ホルダを含む装置が提供される。一実施形態では、複数（例えば、２、３または４つ）のインプリントテンプレートアレンジメントを含む装置が提供される。一実施形態では、１つの基板ホルダにつき１つのテンプレートホルダアレンジメントを使用するように構成された装置が提供される。一実施形態では、１つの基板ホルダにつき複数のテンプレートホルダアレンジメントを使用するように構成された装置が提供される。一実施形態では、複数（例えば、２、３または４つ）のインプリント可能媒体ディスペンサを含む装置が提供される。一実施形態では、１つの基板ホルダにつき１つのディスペンサを使用するように構成された装置が提供される。一実施形態では、１つのインプリントテンプレートアレンジメントにつき１つのディスペンサを使用するように構成された装置が提供される。

[0087] 複数の基板ホルダを含む装置が提供される一実施形態では、基板ホルダは装置内の機能を共有してもよい。例えば、基板ホルダは、基板ハンドラ、基板カセット、（例えば、インプリント中にヘリウム環境を生成するための）ガス供給システム、インプリント可能媒体ディスペンサ、および／または、（インプリント可能媒体を硬化させるための）放射源を共有し得る。一実施形態では、２つ以上（例えば、３または４つ）の基板ホルダは、装置の１つ以上の機能（例えば、１、２、３、４または５つの機能）を共有する。一実施形態では、装置の１つ以上の機能（例えば、１、２、３、４または５つの機能）は、全ての基板ホルダの間で共有される。

Claims (15)

1. インプリントリソグラフィ装置であって、
   基板上に供給されたインプリント可能媒体中にパターンをインプリントするのに使用されるインプリントテンプレートアレンジメントと、
   前記基板を保持する基板ホルダと、
   前記インプリントテンプレートアレンジメントを移動させる電磁ローレンツアクチュエータアレンジメントと、を含み
   前記電磁ローレンツアクチュエータアレンジメントは、
   磁石アレイと、
   各導体が電流を流す導体アレイと、を含み、
   前記磁石アレイまたは前記導体アレイの一方は、移動可能であって、かつ前記インプリントテンプレートアレンジメントに接続され、前記磁石アレイまたは前記導体アレイの他方は、少なくとも部分的に前記基板ホルダの周囲に延在するか、または前記基板ホルダの一部を形成し、
   前記磁石アレイおよび前記導体アレイは、合わせて、前記磁石アレイまたは前記導体アレイのうち前記移動可能な一方の６自由度方向の移動であって、前記インプリントテンプレートアレンジメントもまた６自由度方向に移動可能とするような移動を容易にする、
   インプリントリソグラフィ装置。
2. １つ以上のさらなるインプリントテンプレートアレンジメントをさらに含み、前記さらなるインプリントテンプレートアレンジメントの各々は、磁石アレイまたは導体アレイのうちさらなる移動可能な一方に接続され、前記磁石アレイまたは前記導体アレイのうち他方は、少なくとも部分的に前記基板ホルダの周囲に延在するか、または前記基板ホルダの一部を形成する、請求項１に記載の装置。
3. 前記インプリントテンプレートアレンジメントを変形または保持するアクチュエータをさらに含む、請求項１または２に記載の装置。
4. 構造であって、前記インプリントテンプレートアレンジメントが、使用中、前記構造と前記基板ホルダとの間に配置されるように、前記基板ホルダから離れて配置され、かつ前記基板ホルダを横断して延在する構造をさらに含み、前記構造は１つ以上のラインアレイを有し、前記インプリントテンプレートアレンジメントは、前記１つ以上のラインアレイのうちの１つ以上に対向する１つ以上のエンコーダを有する、請求項１〜３のいずれか１の請求項に記載の装置。
5. 前記１つ以上のラインアレイの数および／または配置、ならびに、前記１つ以上のエンコーダの数および／または配置は、合わせて、前記インプリントテンプレートアレンジメントと前記構造との間の６自由度方向の相対的な構成を決定し得るのに十分であり、前記６自由度は、
   第１方向の並進と、
   第２方向の並進と、
   第３方向の並進と、
   前記第１方向周りの回転と、
   前記第２方向周りの回転と、
   前記第３方向周りの回転と、を含む、
   請求項４に記載の装置。
6. 前記１つ以上のラインアレイの数および／または配置、ならびに、前記１つ以上のエンコーダの数および／または配置は、合わせて、前記インプリントテンプレートアレンジメントと前記構造との間の４自由度方向の相対的な構成を決定し得るのに十分であり、前記４自由度方向は、
   第１方向の並進と、
   第２方向の並進と、
   回転と、
   膨張または収縮と、を含む、
   請求項４に記載の装置。
7. 前記相対的な構成は、相対的な並進位置および／または相対的な回転位置である、請求項５または６に記載の装置。
8. 前記磁石アレイは、前記磁石アレイの外側の磁力線を増加させるハルバッハエレメントを備える、請求項１〜７のいずれか１の請求項に記載の装置。
9. 前記導体アレイの導体に電流を通過させ、前記磁石アレイまたは前記導体アレイのうち前記移動可能な一方を移動させる制御アレンジメントをさらに含む、請求項１〜８のいずれか１の請求項に記載の装置。
10. 前記磁石アレイの磁石は、Ｎ極およびＳ極を有し、前記磁石アレイにおける１つ以上の磁石の前記Ｎ極および前記Ｓ極は、第１方向に位置合わせされ、前記磁石アレイの他の１つ以上の磁石の前記Ｎ極および前記Ｓ極は、異なる第２方向に位置合わせされ、前記第１方向および前記第２方向は、実質的に互いに平行であり、かつ反対である、請求項１〜９のいずれか１の請求項に記載の装置。
11. 前記導体アレイの１つ以上の導体は、電流が第１方向および／または第２方向に流れるように構成されており、前記第１方向および前記第２方向は、実質的に互いに垂直である、請求項１〜１０のいずれか１の請求項に記載の装置。
12. 前記磁石アレイまたは前記導体アレイのうち前記移動可能な一方は、使用中、前記磁石アレイまたは前記導体アレイのうちの前記他方の上方に浮上させられるように構成される、請求項１〜１１のいずれか１の請求項に記載の装置。
13. 前記導体アレイは、移動可能であり、かつ、前記インプリントテンプレートアレンジメントに接続される、請求項１〜１２のいずれか１の請求項に記載の装置。
14. 前記磁石アレイは、移動可能であり、かつ、前記インプリントテンプレートアレンジメントに接続される、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の装置。
15. 前記６自由度は、
    第１の軸に沿った移動と、
    第２の軸に沿った移動と、
    第３の軸に沿った移動と、
    前記第１の軸周りの回転と、
    前記第２の軸周りの回転と、
    前記第３の軸周りの回転と、を含み、
    前記第１、第２、および第３の軸は、互いに対して直交する、
    請求項１〜１４のいずれか１の請求項に記載の装置。