JP5036225B2 - ヘテロ接合電界効果型トランジスタ - Google Patents
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信学技報、ED2005−205、pp.35−39
図1は、本発明の実施形態1によるHFETの一部を模式的な断面図で示している。このHFETの作製においては、まずMOCVD(有機金属化学気相堆積)法またはMBE(分子線エピタキシ)法によってサファイア基板1のA面上にGaNからなる低温バッファ層2とGaNチャネル層3を順次に成長させる。GaNチャネル層3の厚さは1μm以上であって、数μ程度であることが好ましい。また、そのGaNチャネル層3における不純物によるキャリア濃度は、可能な限り小さいことが好ましい(1015cm-3以下が好ましい)。
図3は、本発明の実施形態2によるHFETの一部を模式的な断面図で示している。このHFETの作製においては、まずSiC基板1aのA面上において、Cl2やSiCl4などの塩素系のガスまたはCF4やSF6などのフッ素系のガスを用いたプラズマエッチング(RIEまたはICP)によって、一対の矩形の凹部22が形成される。このとき、矩形の凹部22の一辺が[0001]方向に対して垂直になるようにエッチングされる。
Claims (8)
- 分極性を有する六方晶の化合物半導体を用いて作製されたヘテロ接合電界効果型トランジスタであって、前記化合物半導体のA面上またはM面上にゲート電極が形成されており、前記A面上または前記M面上に形成された一対の凹部内に現れた前記化合物半導体のC面上に一対のソース・ドレイン電極が形成されていることを特徴とするトランジスタ。
- 前記分極性を有する化合物半導体が、窒化物系III−V族化合物半導体であることを特徴とする請求項1に記載のトランジスタ。
- 第一の化合物半導体層を基板上に形成し、
前記第一化合物半導体層上の任意の一対の位置に任意形状の凹部を形成し、
その後に前記第一化合物半導体層上に第二の化合物半導体層を形成し、前記第一と第二の化合物半導体層は分極性を有する六方晶であってA面またはM面の上面を有しており、
前記第二化合物半導体層上であって前記一対の前記凹部上の領域に現れたC面上に一対のソース・ドレイン電極を形成し、
前記一対のソース・ドレイン電極の間で前記A面上または前記M面上にゲート電極を形成する工程を含むことを特徴とするヘテロ接合電界効果型トランジスタの製造方法。 - 基板上の任意の一対の位置に任意形状の凹部を形成し、
第一の化合物半導体層を前記基板上に形成し、
前記第一の化合物半導体層上に第二の化合物半導体層を積層し、前記第一と第二の化合物半導体層は分極性を有する六方晶であってA面またはM面の上面を有しており、
前記第二化合物半導体層上であって前記一対の前記凹部上の領域に現れたC面上に一対のソース・ドレイン電極を形成し、
前記一対のソース・ドレイン電極の間で前記A面上または前記M面上にゲート電極を形成する工程を含むことを特徴とするヘテロ接合電界効果型トランジスタの製造方法。 - 前記化合物半導体層が、ウルツ鉱型結晶構造を有する窒化物系III‐V族化合物半導体であることを特徴とする請求項3または4に記載のトランジスタの製造方法。
- 前記化合物半導体層のC面が前記基板の表面に対して垂直の関係にあることを特徴とする請求項5に記載のトランジスタの製造方法。
- 前記凹部の底面形状が、矩形であることを特徴とする請求項3から6のいずれかに記載のトランジスタの製造方法。
- 前記凹部における対向する一対の側面が、c軸方向に対して直交していることを特徴とする請求項7に記載のトランジスタ製造方法。
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