JP5035188B2 - 撮像装置の製造方法および撮像装置 - Google Patents
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また、請求項2の発明は、請求項1の発明に係る撮像装置の製造方法において、前記第2固定部としてのカバーを前記光学ユニットに取り付ける取付工程をさらに備え、前記c)工程は、前記取付工程よりも後で行われる。
また、請求項3の発明は、請求項2の発明に係る撮像装置の製造方法において、前記c)工程は、前記第1固定部としての前記撮像部と前記第2固定部としての前記カバーとを前記光軸方向に引き離して、前記レンズ層の駆動空間を確保した後に、前記撮像部と前記カバーとを接合する工程を含む。
また、請求項7の発明は、撮像装置であって、請求項1から請求項6のいずれかに記載の撮像装置の製造方法で製造される。
図1は、本発明の実施形態に係るカメラモジュール500Aを搭載した携帯電話機100の概略構成を示す模式図である。なお、図1および図1以降の図では方位関係を明確化するために、XYZの相互に直交する3軸が適宜付されている。
図3は、カメラモジュール500Aの断面模式図であり、矢印YJ1の示す方向が+Z方向となっている。
以下では、カメラモジュール500Aを構成する各機能層の詳細について説明する。なお、各機能層においては、−Z方向側の面を一主面側の面と称し、+Z方向側の面を他主面側の面と称するものとする。
図3に示されるように、撮像素子層11は、撮影光学系を通過した被写体光を受光して被写体像に関する画像信号を生成する撮像素子111と、その周辺回路、および撮像素子111を囲む外周部を備える部材である。
撮像素子ホルダ層12は、例えば、樹脂などの素材によって形成され、接着剤などによって接合される撮像素子層11を保持する部材である。撮像素子ホルダ層12の略中央には、開口が設けられている。
赤外カットフィルタ層13は、透明基板上に屈折率の異なる透明薄膜を多層化して構成される。
レンズ層16は、ガラス基板を基材としてウエハレベルで作製され、例えば、2枚以上のレンズを重ね合わせて成形される。本実施形態では、3枚のレンズを重ね合わせてレンズ層16が構成される場合について例示する。図4は、レンズ層16の断面模式図であり、矢印YJ2の示す方向が+Z方向となっている。図5は、レンズ層16の下面外観図である。
図7は、第1平行ばね15の上面外観図である。図8は、レンズ層16に装着された第1平行ばね15を示す図である。
アクチュエータ層14は、金属またはシリコン(Si)等の基板上に、駆動力を発生させる変位素子(「アクチュエータ素子」とも称する)を設けた薄板状の部材である。図9は、アクチュエータ層14の上面図である。図10は、アクチュエータ層の側面図である。
図7に示されるように、第2平行ばね17は、第1平行ばね15と同様の構成および機能を有する弾性部材であり、固定枠体171と弾性部172とを備えている。
カバー20は、樹脂材料を素材として、型を用いたプレス加工によって成形される。カバー20は、駆動機構KBを保護するとともに、被駆動体(レンズ層16)に対する固定部となる。
ここで、カメラモジュール500Aの製造工程について詳述する。
まず、ステップSP1では、カメラモジュール500Aを形成する各機能層に関するシートが、層ごとに形成される。図12は、準備するシートの構成例を示す平面図である。なお、ここでは、円盤状のシートが準備されるものとする。
ステップSP2では、各シートHU1〜HU7が接合される。図13は、準備されたシートHU1〜HU7を順次に積層させて接合する様子を模式的に示す図である。
次のステップSP3では、7つのシートHU1〜HU7を積層して形成された積層部材が、ダイシングテープ等で保護された後、ダイシング装置によってチップ毎に切り離される。これにより、図14に示されるような積層された7つの層11〜17を有する光学系のユニット(光学ユニット)50が多数生成される。
ステップSP4では、光学ユニット50にカバー20が取り付けられる。図15は、カバー20が取り付けられた光学ユニット50を示す図である。
ステップSP5では、被駆動体(レンズ層16)の駆動空間が確保される。図16は、レンズ層16の駆動空間を確保する工程を説明するための図である。
以上、この発明の実施の形態について説明したが、この発明は、上記に説明した内容に限定されるものではない。
100 携帯電話機
11 撮像素子層
111 撮像素子
12 撮像素子ホルダ層
13 赤外カットフィルタ層
14 アクチュエータ層
141 梁部
143 アクチュエータ素子
15 第1平行ばね
16 レンズ層
161 突起部
17 第2平行ばね
20 カバー
50 光学ユニット
Claims (7)
- ウエハレベルで作製されるレンズ層と、
ウエハレベルで作製され、前記レンズ層を光軸方向に移動させる駆動機構と、
を備え、
前記駆動機構は、
前記レンズ層の一主面側において、第1固定部と前記レンズ層との間に介挿され、一部が前記第1固定部に固定されるとともに、他の一部が前記レンズ層に固定され、前記レンズ層の光軸方向に弾性変形可能な第1弾性部材と、
前記レンズ層の他主面側において、第2固定部と前記レンズ層との間に介挿され、一部が前記第2固定部に固定されるとともに、他の一部が前記レンズ層に固定され、前記光軸方向に弾性変形可能な第2弾性部材と、
前記レンズ層に駆動変位を与える駆動層と、
を有する撮像装置を製造する方法であって、
a)被写体像に関する撮影画像を取得する撮像部を、所定の方向に所定の間隔で複数個配列したシートと、前記駆動層を所定の方向に所定の間隔で複数個配列したシートと、前記第1弾性部材を所定の方向に所定の間隔で複数個配列したシートと、前記レンズ層を所定の方向に所定の間隔で複数個配列したシートと、前記第2弾性部材を所定の方向に所定の間隔で複数個配列したシートとを積層して接合し、積層部材を形成する工程と、
b)前記積層部材を切り離して光学ユニットを形成する工程と、
c)前記第1固定部としての前記撮像部と前記第2固定部とを前記光軸方向に引き離して、前記レンズ層の駆動空間を確保した上で、前記第1固定部と前記第2固定部とを相対的に固定する工程と、
を備え、
前記c)工程により、
前記第1弾性部材と前記第2弾性部材とは、それぞれ前記光軸方向に弾性変形され、
前記レンズ層は、静止状態において、弾性変形した前記第1弾性部材と前記第2弾性部材とによって保持される撮像装置の製造方法。 - 前記第2固定部としてのカバーを前記光学ユニットに取り付ける取付工程をさらに備え、
前記c)工程は、前記取付工程よりも後で行われる請求項1に記載の撮像装置の製造方法。 - 前記c)工程は、
前記第1固定部としての前記撮像部と前記第2固定部としての前記カバーとを前記光軸方向に引き離して、前記レンズ層の駆動空間を確保した後に、前記撮像部と前記カバーとを接合する工程を含む請求項2に記載の撮像装置の製造方法。 - 前記レンズ層は、前記一主面側に突出した突起部を有し、
前記駆動層は、前記一主面側から前記他主面側に向かう方向に前記駆動変位を発生させる変位発生部を有し、
前記変位発生部は、前記静止状態において前記突起部と接する請求項1から請求項3のいずれかに記載の撮像装置の製造方法。 - 前記駆動層は、
基板と、当該基板上に形成される形状記憶合金の薄膜とを有している請求項1から請求項4のいずれかに記載の撮像装置の製造方法。 - 前記駆動層は、
基板と、当該基板上に形成される圧電素子の薄膜とを有している請求項1から請求項5のいずれかに記載の撮像装置の製造方法。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の撮像装置の製造方法で製造された撮像装置。
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