JP5407409B2 - 撮像装置およびその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、撮像装置およびその製造方法に関する。

近年、マイクロカメラユニット（Micro Camera Unit：ＭＣＵ）を搭載することで撮影機能が付加された小型の電子機器（例えば携帯電話機）が急速に普及している。これに伴い、ＭＣＵに採用されるカメラモジュールに対しては、更に小型化が望まれている。

従来のカメラモジュールにおいては、レンズを支持するレンズバレルおよびレンズホルダ、赤外線（ＩＲ）カットフィルタを支持するホルダ、基板、撮像素子、ならびに光学素子からなる積層体を保持する筐体、このような積層体を封止する樹脂等が必要とされている。このため、上記多数の部品の小型化を図り、各部品を精度良組み合わせてカメラモジュールを作製することが困難であった。

このような問題に対して、基板と、多数の撮像素子が形成された半導体シートと、多数の撮像レンズが形成されたレンズアレイシートとを樹脂層を介して貼り付けて積層部材を形成し、該積層部材をダイシングして、個々のカメラモジュールを完成させる技術が提案されている（例えば、特許文献１等）。

特開２００７−１２９９５号公報

しかしながら、上記特許文献１の技術では、撮像素子を含む層、およびレンズを含む層等をウエハ状態で（ウエハレベルで）積層させてカメラモジュールが形成される。このため、カメラモジュールにおいてオートフォーカスまたはズーム等の機能を実現するためのレンズを移動させる駆動機構を形成することが困難である。

また、仮にレンズを移動させる駆動機構を形成する場合には、撮像装置の大型化を抑制しつつ、レンズを移動させるための空間を確保するとともに、レンズの姿勢を安定させることが要求される。そして、このような要求は、撮像装置一般に共通する。

そこで、本発明は、装置の大型化を抑制しつつ、レンズが変位可能であり且つレンズの姿勢の安定化を図ることが可能な撮像装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明に係る撮像装置の第１の態様は、撮像素子と、１以上のレンズを含む移動対象物と、前記移動対象物を所定方向に移動させるアクチュエータと、前記移動対象物が前記所定方向に移動する際に、該所定方向とは反対方向の力を該移動対象物に対して付与する弾性部材と、を備え、前記弾性部材は、前記移動対象物の前記撮像素子側となる一方主面側から前記移動対象物を付勢する下側弾性部材を有し、前記アクチュエータ、前記下側弾性部材および前記移動対象物は、それぞれレイヤー構造をなし、前記撮像素子側からこの順に積層され、前記アクチュエータは、外周部を構成する枠体と、前記枠体の内側の中空部分に位置し、一方端部が自由端となった板状の可動部とを有し、前記自由端が変位発生部として光軸方向に変位するように前記枠体から突出しており、前記下側弾性部材は、外周部を構成する固定枠体と、前記固定枠体の内側の中空部分に位置し、前記固定枠体と前記移動対象物とに接続する板状の弾性部とを有し、前記移動対象物は、前記一方主面から前記撮像素子側に向けて突出するように設けられた突起部を有し、前記突起部が、前記下側弾性部材の前記固定枠体と前記板状の弾性部との隙間を通って前記アクチュエータの前記変位発生部に当接し、前記アクチュエータの変位が前記突起部を介して前記移動対象物に伝達される。

本発明に係る撮像装置の第２の態様は、前記弾性部材が、前記移動対象物の前記一方主面とは反対の他方主面側から前記移動対象物を付勢する上側弾性部材を有する。

本発明に係る撮像装置の第３の態様は、前記突起部が、前記移動対象物と一体的に形成される。

本発明に係る撮像装置の第４の態様は、前記上側弾性部材および前記下側弾性部材は、板状の弾性体によって構成される。

本発明に係る撮像装置の第５の態様は、前記下側弾性部材が、平面輪郭形状が４角形状であって、前記突起部は、前記下側弾性部材の平面視において対角部に設けられた前記隙間を通るように前記移動対象物の前記一方主面側に形成される。

本発明に係る撮像装置の製造方法の第１の態様は、請求項１記載の撮像装置の製造方法であって、前記移動対象物を準備するステップ(ａ)と、前記撮像素子、前記アクチュエータおよび前記弾性部材のそれぞれの機能を有する複数のレイヤーを積層して積層体を形成するステップ(ｂ)と、前記積層体を個片に分割するステップ(ｃ)とを有し、前記ステップ(ｂ)は、前記複数のレイヤーの積層途中で、前記移動対象物を組み込むステップを含んでいる。

本発明に係る撮像装置の製造方法の第２の態様は、前記ステップ(ａ)は、透明基板上に透明樹脂を一体的に盛り上げて形成されたレンズ部を有するウエハレベルレンズを準備するステップと、前記ウエハレベルレンズを個片に分割して前記移動対象物を形成するステップとを含んでいる。

撮像装置の第１から第５のいずれの態様によっても、弾性部材の弾性力に抗して移動対象物を移動させるための装置の厚みの増大が抑制されるとともに、移動対象物の姿勢が安定化されるため、装置の大型化を抑制しつつ、レンズが変位可能であり、且つレンズの姿勢の安定化を図ることが可能な撮像装置を提供することができる。

撮像装置の第２の態様によれば、下側および上側弾性部材によって移動対象物を挟むことになるので、移動対象物の姿勢をより安定させることができる。

撮像装置の第３の態様によれば、突起部が移動対象物と一体的に形成されるので、突起部を比較的容易に、且つ精度良製作することができる。

撮像装置の第４の態様によれば、下側および上側弾性部材が板状の弾性体によって構成されるので、装置の厚みの増大の抑制に寄与する。

撮像装置の第５の態様によれば、突起部が下側弾性部材に影響を与えることなくアクチュエータに当接するために適した構造が得られる。

撮像装置の製造方法の第１および第２の態様によれば、請求項１記載の撮像装置をウエハレベルカメラとして得ることができる。

本発明の実施形態に係るカメラモジュールを搭載した携帯電話機の概略構成を示す模式図である。 本発明の実施形態に係る第１の筐体に着目した断面模式図である。 本発明の実施形態に係るカメラモジュールの断面模式図である。 レンズ群の断面模式図である。 レンズ群の断面模式図である。 第１レンズ構成層の下面外観図である。 第２レンズ構成層の上面外観図である。 スペーサ層の形状を説明するための図である。 レンズ位置調整層の上面外観図である。 レンズ位置調整層の側面外観図である。 アクチュエータ層の上面外観図である。 アクチュエータ層の側面外観図である。 第１および第２平行ばねの下面外観図である。 レンズ群に装着された第１平行ばねを示す図である。 レンズ群に装着された第２平行ばねを示す図である。 カメラモジュールの製造工程を示すフローチャートである。 第１および第２レンズ構成層に係るレンズ構成層ウエハの平面図である。 スペーサ層に係るスペーサ層ウエハの平面図である。 第１レンズ構成層の作製の様子を示す図である。 第２レンズ構成層の作製の様子を示す図である。 準備するシートの構成例を示す平面図である。 組み立て治具の準備工程を示す図である。 準備されたシート等を積層させて接合する様子を模式的に示す図である。 第１枠層シートの載置工程を示す図である。 第１平行ばねシートの接合工程を示す図である。 第２枠層シートの接合工程を示す図である。 レンズ群の取り付け工程を示す図である。 第２平行ばねシートの接合工程を示す図である。 アクチュエータ層シートの接合工程を示す図である。 カバー層シートの接合工程を示す図である。 レンズ位置調整層シートの接合工程を示す図である。 本発明の変形例に係るカメラモジュールの断面模式図である。 本発明の変形例に係る第１レンズ構成層の下面外観図である。 変形例に係るレンズ群に装着された第１平行ばねを示す図である。 レンズ群の初期位置とレンズ群の焦点の位置との関係を示す図である。 レンズ群の初期位置とレンズ群の焦点の位置との関係を示す図である。 非ウエハレベルカメラへの適用例を示す図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

＜携帯電話機の概略構成＞
図１は、本発明の実施形態に係るカメラモジュール５００を搭載した携帯電話機１００の概略構成を示す模式図である。なお、図１および図１以降の図では方位関係を明確化するために、ＸＹＺの相互に直交する３軸が適宜付されている。

図１で示されるように、携帯電話機１００は、折り畳み式の携帯電話機として構成され、第１の筐体２００と、第２の筐体３００と、ヒンジ部４００とを有している。

第１の筐体２００および第２の筐体３００は、それぞれ板状の直方体であり、各種電子部材を格納する筐体としての役割を有している。具体的には、第１の筐体２００は、カメラモジュール５００および表示ディスプレイ（不図示）を有し、第２の筐体３００は、携帯電話機１００を電気的に制御する制御部とボタン等の操作部材（不図示）とを有している。

ヒンジ部４００は、第１の筐体２００と第２の筐体３００とを回動可能に接続している。このため、携帯電話機１００は、折り畳み可能となっている。

図２は、携帯電話機１００のうち第１の筐体２００に着目した断面模式図である。

図１および図２で示されるように、カメラモジュール５００は、ＸＹ断面のサイズが約５ｍｍ四方であり、厚さ（Ｚ方向の奥行き）が約３ｍｍ程度である小型の撮像装置、いわゆるマイクロカメラユニット（ＭＣＵ）となっている。

以下、カメラモジュール５００の構成、およびその製造工程等について順次説明する。

＜カメラモジュールの構成＞
図３は、カメラモジュール５００の断面模式図であり、矢印ＡＲ１の示す方向が＋Ｚ方向に対応する。なお、図３以降の図面においても、方位関係の明確化のために、＋Ｚ方向に対応する方向を示す矢印ＡＲ１が付されている。

図３で示されるように、カメラモジュール５００は、撮影光学系としてのレンズ群２０が移動可能に設けられている光学ユニットＫＢと、被写体像に関する撮影画像を取得する撮像部ＰＢとを有している。

撮像部ＰＢは、例えば、ＣＯＭＳセンサまたはＣＣＤセンサ等の撮像素子１８１を有する撮像素子層１８と、カバーガラス層１７とが＋Ｚ方向にこの順序で積層された構成を有する。なお、カバーガラス層１７が、赤外線（ＩＲ）をカットするフィルタ層を含むようにしても良い。

光学ユニットＫＢは、蓋層１０、第１枠層１１、第１平行ばね（上層平行ばね）１２、第２枠層１３、第２平行ばね（下層平行ばね）１４、アクチュエータ層１５、レンズ位置調整層１６、およびレンズ群２０を備えて構成される。蓋層１０、第１枠層１１、第１平行ばね１２、第２枠層１３、第２平行ばね１４、アクチュエータ層１５、レンズ位置調整層１６、およびレンズ群２０は、いずれもウエハ状態（ウエハレベルで）製作される。これらの製作工程については後述する。

光学ユニットＫＢでは、レンズ位置調整層１６、アクチュエータ層１５、第２平行ばね１４、第２枠層１３、第１平行ばね１２、第１枠層１１、および蓋層１０が＋Ｚ方向にこの順序で積層され、第２平行ばね１４と第１平行ばね１２との間にレンズ群２０が保持された構成を有している。そして、第１平行ばね１２と第２平行ばね１４とアクチュエータ層１５とが互いに協働することで、レンズ群２０をＺ軸に沿った方向に移動させる。

カメラモジュール５００では、蓋層１０、第１および第２枠層１１，１３、レンズ位置調整層１６、カバーガラス層１７、および撮像素子層１８が、レンズ群２０に対する固定部となる。そして、レンズ群２０は、固定部に結合された第１および第２平行ばね１２，１４によって支持される。

より詳細には、レンズ群２０の−Ｚ側におけるアクチュエータ層１５と該レンズ群２０との間には、第２平行ばね１４が介挿される。また、レンズ群２０の＋Ｚ側における第１枠層１１と該レンズ群２０との間には、第１平行ばね１２が介挿される。つまり、レンズ群２０は、第１平行ばね１２と第２平行ばね１４とによって挟まれている。

ここでは、第１および第２平行ばね１２，１４によってレンズ群２０が挟持されるため、レンズ群２０の移動に拘わらず、レンズ群２０の姿勢が保持され、レンズ群２０の光軸が略一定に保持される。

また、第１および第２平行ばね１２，１４は、移動対象物であるレンズ群２０が＋Ｚ方向に移動する際に、レンズ群２０の移動方向（すなわち＋Ｚ方向）とは反対方向の力を、該レンズ群２０に対して付与する。なお、レンズ群２０が−Ｚ方向に移動する際には、第１および第２平行ばね１２，１４がレンズ群２０に対して付与する力の方向は、レンズ群２０の移動方向（すなわち−Ｚ方向）と一致する。

更に、レンズ群２０が＋Ｚ方向に移動していない非駆動状態（例えば駆動前の静止状態）では、第１および第２平行ばね１２，１４の弾性力によってレンズ群２０がレンズ位置調整層１６の突起部１６２の上端面に対して押し付けられ、レンズ群２０がレンズ位置調整層１６によっても支持される。そして、この非駆動状態では、レンズ群２０がＺ軸に沿って変位可能な範囲（変位可能範囲）の最も−Ｚ側の所定位置に配置されて静止する。

この所定位置は、例えば、撮像素子１８１において多数の画素回路が配列されている＋Ｚ側の面（以下「撮像面」とも称する）上に光学ユニットＫＢの焦点が配置されるような位置に設定される。ここで言う光学ユニットＫＢの焦点とは、＋Ｚ側から平行光線を光学ユニットＫＢに入射したときに、該光学ユニットＫＢから射出される光線が一点に集まる点のことを言う。なお、本実施形態では、光学ユニットＫＢが、本発明の「光学系」に相当する。

このように、非駆動状態では、レンズ群２０は、第１および第２平行ばね１２，１４の弾性力によってレンズ位置調整層１６に対して押し付けられるため、カメラモジュール５００に対して強い衝撃が付与される場合でも、レンズ群２０の姿勢が保持される。

アクチュエータ層１５は、＋Ｚ方向への駆動変位を発生させる変位発生部を有し、レンズ群２０の−Ｚ側に配置されている。変位発生部は、レンズ群２０の−Ｚ側に突出した第１突起部２０１と接触し、変位発生部で生じる駆動変位は、第１突起部２０１を介してレンズ群２０に伝達される。つまり、アクチュエータ層１５は、移動対象物であるレンズ群２０を所定方向（ここでは、＋Ｚ方向）に移動させる。なお、変位発生部における＋Ｚ方向への駆動変位が小さくなっていく場面では、第１および第２平行ばね１２，１４の弾性力によって、レンズ群２０が所定方向とは反対方向（−Ｚ方向）に移動する。

以上のように、カメラモジュール５００では、移動対象物であるレンズ群２０が、該レンズ群２０を介して互いに対向する位置に配置された第１および第２平行ばね１２，１４と結合され、該第１および第２平行ばね１２，１４がレンズ群２０に垂直な方向（＋Ｚ方向）に弾性変形しつつ、レンズ群２０の姿勢を保持する。そして、レンズ群２０は、アクチュエータ層１５の変位発生部から駆動力を受けて、その位置をＺ軸に沿って変位させる。

このように、カメラモジュール５００に設けられた光学ユニットＫＢは、レンズ群２０を該レンズ群２０の光軸方向（＋Ｚ方向）に変位させることができ、カメラモジュール５００をレンズ群２０を変位させる駆動装置として機能させる。

＜レンズ群について＞
レンズ群２０は、ガラス基板を基材としてウエハレベルで作製され、例えば、２枚以上のレンズを重ね合わせて成形される。本実施形態では、２枚の光学レンズを重ね合わせてレンズ群２０が構成される場合について例示する。なお、本実施形態では、レンズ群２０は、被写体からの光を撮像素子１８１に導く撮像レンズとして機能する。

図４および図５は、レンズ群２０の断面模式図であり、矢印ＡＲ２の示す方向が＋Ｚ方向に対応する。図６は、レンズ群２０の下面外観図であり、図７は、レンズ群２０の上面外観図である。

図４および図５で示されるように、レンズ群２０は、第１レンズＧ１を有する第１レンズ構成層ＬＹ１と、第２レンズＧ２を有する第２レンズ構成層ＬＹ２と、スペーサ層ＲＢとを備える。そして、第１レンズ構成層ＬＹ１と第２レンズ構成層ＬＹ２とが、スペーサ層ＲＢを介して結合されている。ここでは、第１および第２レンズ構成層ＬＹ１，ＬＹ２の非レンズ部の外縁が略正方形の形状を有する。

なお、本実形態では、第１および第２レンズ構成層ＬＹ１，ＬＹ２が、本発明の「レンズ層」に相当する。

また、図４〜図６で示されるように、第１レンズＧ１を有する第１レンズ構成層ＬＹ１の一方主面（ここでは、−Ｚ側）には、レンズとして機能しない非レンズ部に第１突起部２０１が設けられている。更に、図４、図５および図７で示されるように、第２レンズＧ２を有する第２レンズ構成層ＬＹ２の一方主面（ここでは、＋Ｚ側）には、レンズとして機能しない非レンズ部に第２突起部２０２が設けられている。

また、図８は、スペーサ層ＲＢの形状に着目して、スペーサ層ＲＢを−Ｚ側から見た図である。図８で示されるように、スペーサ層ＲＢは、第１および第２レンズ構成層ＬＹ１，ＬＹ２の非レンズ部の外縁に沿って設けられ、ＺＹ断面の外縁および内縁の形状が矩形である環状の構成を有する。

そして、レンズ群２０の光軸が、Ｚ軸に沿った方向に設定されている。

＜各機能層について＞
以下では、カメラモジュール５００を構成する各機能層の詳細について説明する。なお、各機能層については、−Ｚ側の面を一主面と称し、＋Ｚ側の面を他主面と称する。

○撮像素子層１８：
図３で示されるように、撮像素子層１８は、光学ユニットＫＢを通過した被写体からの光を受光して、被写体の像に関する画像信号を生成する撮像素子１８１、その周辺回路、および撮像素子１８１を囲む外周部を備える部材である。また、撮像素子１８１は、多数の画素回路が配列されて構成される。

なお、撮像素子層１８の一主面（−Ｚ側の面）には、リフロー方式によるはんだ付けを行うためのはんだボールＨＢが設けられている。また、ここでは図示を省略しているが、撮像素子層１８の一主面には、撮像素子１８１に対する信号の付与、および該撮像素子１８１からの信号の読み出しを行う配線を接続するための各種端子が設けられている。

○カバーガラス層１７：
図３で示されるように、カバーガラス層１７は、略平板状であり且つＸＹ断面が略正方形の形状を有し、透明なガラス等によって構成される。このカバーガラス層１７は、撮像素子層１８の他主面（＋Ｚ側の面）に対して接合され、撮像素子１８１を保護する機能を有する。

なお、カバーガラス層１７が撮像素子層１８上に接合された状態で撮像素子基板１７８を構成する。

○レンズ位置調整層１６：
レンズ位置調整層１６は、樹脂材料を用いて構成されるとともに、撮像素子１８１とレンズ群２０との間に配設され、且つ撮像素子１８１とレンズ群２０との距離を調整する部材である。具体的には、レンズ位置調整層１６は、非駆動状態におけるレンズ群２０の位置（初期位置）を規定する。なお、レンズ位置調整層１６は、例えば、樹脂をエッチングする手法等を用いて生成される。

図９は、レンズ位置調整層１６の上面図である。図１０は、レンズ位置調整層１６の側面図である。

図９で示されるように、レンズ位置調整層１６は、枠体１６１と突起部１６２とを備えている。

枠体１６１は、レンズ位置調整層１６の外周部分を構成する略矩形の環状の部分であり、ＸＹ平面に略平行な板状の形状を有する。そして、枠体１６１は、Ｚ軸に沿った方向に貫通する孔（貫通孔）１６Ｈを形成し、枠体１６１を構成する＋Ｙ側の板状の部材および−Ｙ側の板状の部材は、貫通孔１６Ｈ側に出っ張った部分（凸部）１６１Ｔをそれぞれ有する。

また、枠体１６１の一主面は、隣接するカバーガラス層１７に対して接合され、枠体１６１の他主面は、隣接するアクチュエータ層１５（詳細には、アクチュエータ層１５の枠体１５２（後述））と接合される。

突起部１６２は、枠体１６１を構成する凸部１６１Ｔの内縁近傍において＋Ｚ方向に立設されて構成されている。この突起部１６２は、ＸＺ平面に略平行で且つ略長方形の盤面を有する板状の部分であり、突起部１６２の長手方向がＸ軸に略平行な方向とされ、突起部１６２の短手方向がＺ軸に略平行な方向とされている。そして、突起部１６２の＋Ｚ側の端面は、レンズ群２０が当接することで、該レンズ群２０を初期位置に配置する機能を有する。

なお、本実施形態では、撮像素子１８１と移動対象物であるレンズ群２０との間に設けられる突起部１６２が、本発明の「当接部」に相当する。

また、図９では、撮像素子１８１を構成する複数の画素回路が配列される領域（以下「画素配列領域」とも称する）、すなわち撮像素子１８１の前面（撮像面）の外縁が破線で示されている。図９で示されるように、撮像面は、（短辺の長さ）：（長辺の長さ）：（対角線の長さ）＝３：４：５の関係が成立するように構成されている。

そして、突起部１６２は、被写体からレンズ群２０を介して撮像素子１８１の画素配列領域に至る光路を、該画素配列領域の幅が最も狭い方向において挟む位置に配設されている。つまり、撮影への悪影響、および装置の大型化を招かないように、突起部１６２が設置される。

○アクチュエータ層１５：
アクチュエータ層１５は、金属またはシリコン（Ｓｉ）等の基板上に、駆動力を発生させる変位素子（「アクチュエータ素子」とも称する）を設けた薄板状の部材である。図１１は、アクチュエータ層１５の上面図である。図１２は、アクチュエータ層１５の側面図である。

具体的には、図１１で示されるように、アクチュエータ層１５は、外周部を構成する枠体１５２と、枠体１５２の内側の中空部分に対して該枠体１５２から突設される２枚の板状の可動部１５１とを備えている。そして、可動部１５１の他主面側には、薄膜状のアクチュエータ素子１５３が設けられている。

アクチュエータ素子１５３としては、例えば、形状記憶合金（ＳＭＡ）の薄膜が用いられる。この場合、基板上にシリカ等の絶縁層、金属のヒータ層、およびアクチュエータ素子層をスパッタリング法等を用いて形成した後に、記憶させたい形状の型に可動部１５１をセットし、所定温度（例えば、６００℃）程度で加熱する処理（形状記憶処理）が施される。

ＳＭＡは、加熱によって所定の相変態温度を超えて所定の温度に達すると、予め記憶されている所定の縮み形状（記憶形状）に復元する特性を有する。このため、ヒータ層の通電によってＳＭＡが加熱されると、該ＳＭＡは記憶形状となるように縮み変形を行い、可動部１５１の自由端ＦＴが＋Ｚ方向に移動する（図１２参照）。すなわち、可動部１５１の自由端ＦＴ側が、変位発生部として機能する。

なお、ヒータ層への通電は、撮像素子層１８に設けられた電極から行われるが、該電極からヒータ層への導電は、例えば、アクチュエータ層１５、レンズ位置調整層１６、およびカバーガラス層１７の側面に貼り付けられた薄型の導電部材（不図示）を介して行えば良い。

このように、本実施形態では、枠体１５２が可動部１５１の変位の基準となる部分（可動基準部）として機能し、アクチュエータ層１５が駆動層として機能する。

アクチュエータ層１５の枠体１５２は、第２平行ばね１４の固定枠体１４１（図１３参照）と接合される。該接合された状態では、各可動部１５１の自由端ＦＴ側が対応する第１突起部２０１とそれぞれ当接する。このため、各可動部１５１の自由端ＦＴにおいて発生する変位が、各第１突起部２０１を介してレンズ群２０に伝えられる。すなわち、各可動部１５１は、レンズ群２０に対して＋Ｚ方向に力を付与することで、該レンズ群２０を＋Ｚ方向に変位させる。

なお、可動部１５１の自由端ＦＴ側で発生する変位量は、ＳＭＡの加熱温度に応じて異なり、ヒータ層への通電量を制御することによって変位量が調整される。

また、ＳＭＡの変形に伴ってヒータ層も変形し、該ヒータ層の変形に応じてヒータ層の電気抵抗も変化する。このため、ヒータ層の電流抵抗値をモニタリングして変位量を制御しても良い。

○第２平行ばね１４：
図１３は、第２平行ばね１４の下面外観図である。図１４は、レンズ群２０に接合された第２平行ばね１４を示す図である。

図１３で示されるように、第２平行ばね１４は、固定枠体１４１と、弾性部１４２とを有する弾性部材であり、ばね機構を形成する層（弾性層）となっている。なお、本実施形態では、第２平行ばね１４が、本発明の「板状の弾性部材層」を構成する。

固定枠体１４１は、第２平行ばね１４の外周部を構成し、隣接するアクチュエータ層１５の枠体１５２と接合される。

弾性部１４２は、固定枠体１４１との接続部ＰＧ１と、レンズ群２０との接合部ＰＧ２とを有し、接続部ＰＧ１と接合部ＰＧ２とが板状部材ＥＢで繋がれている。

すなわち、第２平行ばね１４は、固定枠体１４１において隣接するアクチュエータ層１５と接合される。また、図１４で示されるように、第２平行ばね１４は、弾性部１４２に設けられた接合部ＰＧ２においてレンズ群２０と接合される。

なお、第１突起部２０１は、第２平行ばね１４の固定枠体１４１と板状部材ＥＢとの隙間を通って、アクチュエータ層１５の自由端ＦＴ近傍と当接する。つまり、第２平行ばね１４は、レンズ群２０の第１突起部２０１と接触しないような形状を有する。

このため、レンズ群２０が固定枠体１４１に対して＋Ｚ方向に移動されるにつれて、接続部ＰＧ１と接合部ＰＧ２とのＺ方向の位置がずれ、板状部材ＥＢは曲げ変形（たわみ変形）を生じて湾曲する。つまり、第２平行ばね１４は、板状部材ＥＢの弾性変形によって、レンズ群２０の光軸方向（±Ｚ方向）に弾性変形可能であり、ばね機構として機能する。

第２平行ばね１４は、ＳＵＳ系の金属材料またはりん青銅等を用いて作製される。例えば、ＳＵＳ系の金属材料で第２平行ばね１４を作製する場合は、フォトリソグラフィで平行ばねの形状を金属材料上にパターンニングし、塩化鉄系のエッチング液に浸してウエットエッチングを行うことによって、平行ばねのパターンが形成される。

○第２枠層１３：
図３で示されるように、第２枠層１３は、ＸＹ断面の外縁および内縁がそれぞれ略矩形状であるリング状の部材であり、Ｚ軸に沿って貫通する中空部分を形成する。第２枠層１３は、中空部分にレンズ群２０が配置されることで、該レンズ群２０を側方から囲む。なお、第２枠層１３を構成する素材としては、樹脂やガラス等が挙げられ、第２枠層１３は、金属金型を用いたいわゆるプレス法や射出成型法等によって製作される。

そして、第２枠層１３の−Ｚ側に位置する下端面（一主面）は、隣接する第２平行ばね１４の固定枠体１４１と接合される。また、第２枠層の＋Ｚ側に位置する上端面（他主面）は、隣接する第１平行ばね１２（詳細には、第１平行ばね１２の固定枠体１２１（後述））と接合される。

○第１平行ばね１２：
図１３で示されるように、第１平行ばね１２は、第２平行ばね１４と同様の構成および機能を有する弾性部材であり、固定枠体１２１と弾性部１２２とを備えている。なお、本実施形態では、第１平行ばね１２が、本発明の「板状の弾性部材層」を構成する。

固定枠体１２１の一主面は、隣接する第２枠層１３の他主面と接合され、固定枠体１２１の他主面は、隣接する第１枠層１１（詳細には、第１枠層１１の−Ｚ側の下端面（後述））と接合される。

図１５は、レンズ群２０に接合された第１平行ばね１２を示す図である。図１５で示されるように、弾性部１２２に設けられた接合部ＰＧ２は、レンズ群２０の突起部２０２の＋Ｚ側の上端面と接合される。

このため、固定枠体１２１に対してレンズ群２０が＋Ｚ方向に相対的に移動されると、板状部材ＥＢにおいて弾性変形が発生し、第１平行ばね１２は、ばね機構として機能する。

○第１枠層１１：
図３で示されるように、第１枠層１１は、第２枠層１３と同様に、ＸＹ断面の外縁および内縁がそれぞれ略矩形状であるリング状の部材であり、Ｚ軸に沿って貫通する中空部分を形成する。第１枠層１１の中空部分は、レンズ群２０が＋Ｚ方向に移動される際に、弾性変形する板状部材ＥＢおよび突起部２０２が移動可能な空間として働く。なお、第１枠層１１は、第２枠層１３と同様な素材および製作方法によって形成される。

そして、第１枠層１１の−Ｚ側に位置する下端面（一主面）は、隣接する第１平行ばね１２の固定枠体１２１と接合される。また、第１枠層の＋Ｚ側に位置する上端面（他端面）は、隣接する蓋層１０（詳細には、蓋層の外周部近傍）と接合される。

○蓋層１０：
図３で示されるように、蓋層１０は、ＸＹ断面の外縁が略正方形であるとともに、略中央にＺ軸に平行な方向に貫通する孔（貫通孔）１０Ｈを有し、ＸＹ平面に略平行な盤面を有する板状の部材である。貫通孔１０Ｈは、被写体からの光をレンズ群２０を介して撮像素子１８１に導くための孔であり、この蓋層１０は、平板状の樹脂材料をプレス加工する手法、あるいは樹脂材料をパターニングした後にエッチングする手法によって、貫通孔１０Ｈが形成されて製作される。

なお、図３では、図示が省略されているが、蓋層１０の貫通孔１０Ｈからカメラモジュール５００の内部にゴミ等が侵入しないように、蓋層１０の上面（他主面）側には、適宜ガラス等で構成される透明な保護層が設けられる。

＜カメラモジュールの製造工程＞
ここで、カメラモジュール５００の製造工程について詳述する。

図１６は、カメラモジュール５００の製造工程を示すフローチャートである。図１６で示されるように、（工程Ａ）レンズ群２０の生成（ステップＳＰ１）、（工程Ｂ）シートの準備（ステップＳＰ２）、（工程Ｃ）組み立て治具の準備（ステップＳＰ３）、（工程Ｄ）シートの第１の接合（ステップＳＰ４）、（工程Ｅ）レンズ群２０の取り付け（ステップＳＰ５）、（工程Ｆ）シートの第２の接合（ステップＳＰ６）、（工程Ｇ）撮像素子基板１７８の取り付け（ステップＳＰ７）、および（工程Ｈ）ダイシング（ステップＳＰ８）が順次に行われて、カメラモジュール５００が製造される。以下、各工程について説明する。

○レンズ群２０の生成（工程Ａ）：
ステップＳＰ１では、レンズ群２０が生成される。

まず、多数のレンズ群２０がマトリックス状に配列されたウエハ（以下「レンズ群ウエハ」とも称する）が製作され、ダイシングによって、多数のレンズ群２０が個片化されて、多数のレンズ群２０が製作される。

レンズ群ウエハは、多数の第１レンズ構成層ＬＹ１が配列されたウエハ（第１レンズ構成層ウエハ）と、多数のスペーサ層ＲＢが配列されたウエハ（スペーサ層ウエハ）と、多数の第２レンズ構成層ＬＹ２が配列されたウエハ（第２レンズ構成層ウエハ）とが積層されて、相互に接合されることで、製作される。

図１７は、第１および第２レンズ構成層ウエハＵ２０ａ，Ｕ２０ｃを模式的に示した平面図である。図１８は、スペーサ層ウエハＵ２０ｂを模式的に示した平面図である。

図１７で示されるように、第１レンズ構成層ウエハＵ２０ａは、多数の第１レンズ構成層ＬＹ１が第１の所定間隔でマトリックス状に配置されて一体的に構成される。また、第２レンズ構成層ウエハＵ２０ｃは、多数の第２レンズ構成層ＬＹ２が第１の所定間隔でマトリックス状に配置されて一体的に構成される。

また、図１８で示されるように、スペーサ層ウエハＵ２０ｂは、多数のスペーサ層ＲＢが第１の所定間隔でマトリックス状に配置されて一体的に構成される。つまり、スペーサ層ウエハＵ２０ｂは、外縁が略正方形の多数の貫通孔が第１の所定間隔でマトリックス状に配置されて、格子状の構成を有している。

なお、第１レンズ構成層ウエハＵ２０ａと、スペーサ層ウエハＵ２０ｂと、第２レンズ構成層ウエハＵ２０ｃとが、この順番で積層されて、相互に接合された後に、図１７および図１８で示される破線に沿ってダイシングが行われることで、各レンズ群２０が個片化される。

ここで、第１および第２レンズ構成層ウエハＵ２０ａ，Ｕ２０ｃの作製方法について説明する。なお、第１レンズ構成層ウエハＵ２０ａにおける各第１レンズ構成層ＬＹ１の作製方法は同様であり、また、第２レンズ構成層ウエハＵ２０ｃにおける各第２レンズ構成層ＬＹ２の作製方法も同様である。このため、ここでは、各第１および第２レンズ構成層ＬＹ１，ＬＹ２の製作に着目して説明する。

第１および第２レンズ構成層ＬＹ１，ＬＹ２は、ガラス基板を基材としていずれも同様な手法にて作製される。図１９は、第１レンズＧ１を有する第１レンズ構成層ＬＹ１の作製の様子を示す図であり、図２０は、第２レンズＧ２を有する第２レンズ構成層ＬＹ２の作製の様子を示す図である。

図１９で示されるように、ウエハ状の透明な基板２０ＢＳを準備する。この基板２０ＢＳの素材としては、いわゆるテンパックス（登録商標）等のガラスや、いわゆるＰＰＭＡ等の樹脂等の透明な材質が挙げられる。

次に、基板２０ＢＳの両面それぞれに透明度の高いアクリル系またはエポキシ系の紫外線（ＵＶ）硬化樹脂が塗布される。そして、基板２０ＢＳの上面から第１レンズＧ１の一方の曲面の形状を有する透明のレンズ成型用型２０ＣＡが所定の圧力で押し当てられるとともに、基板２０ＢＳの下面から第１レンズＧ１の他方の曲面の形状および第１突起部２０１の形状を有する透明のレンズ成型用型２０ＣＢが所定の圧力で押し当てられる。このとき、紫外線ＵＶ１が照射されて、基板１６ＢＳの各面にポリマーレンズＧＰ１，ＧＰ２および第１突起部２０１がそれぞれ形成される。このような方法により、第１レンズ構成層ウエハＵ２０ａが製作される。なお、第１突起部２０１の先端部は、アクチュエータ層１５に当接する面となる。

また、図２０で示されるように、基板２０ＢＳの両面それぞれに透明度の高いアクリル系またはエポキシ系の紫外線（ＵＶ）硬化樹脂が塗布される。そして、基板２０ＢＳの上面から第２レンズＧ２の一方の曲面の形状および第２突起部２０２の形状を有する透明のレンズ成型用型２０ＣＣが所定の圧力で押し当てられるとともに、基板２０ＢＳの下面から第２レンズＧ２の他方の曲面の形状を有する透明のレンズ成型用型２０ＣＤが所定の圧力で押し当てられる。このとき、紫外線ＵＶ１が照射されて、基板１６ＢＳの各面にポリマーレンズＧＰ３，ＧＰ４および第２突起部２０２がそれぞれ形成される。このような方法により、第２レンズ構成層ウエハＵ２０ｃが製作される。なお、第２突起部２０２の先端部は、第１平行ばね１２に接合される面となる。

また、スペーサ層ウエハＵ２０ｂは、例えば、ウエハ状のガラス基板がエッチング等によって加工されて製作される。

このようにして製作された第１および第２レンズ構成層ウエハＵ２０ａ，Ｕ２０ｃならびにスペーサ層ウエハＵ２０ｂには、２カ所以上の所定の箇所に位置合わせのためのアライメントマークが形成されている。

そして、第１および第２レンズ構成層ＬＹ１，ＬＹ２の間に、スペーサ層ＲＢが挟まれるように、一体のレンズ群２０へと組み上げられる。

具体的には、第１レンズ構成層ウエハＵ２０ａと、スペーサ層ウエハＵ２０ｂと、第２レンズ構成層ウエハＵ２０ｃとが、マスクアライナー等を用いてそれぞれのアライメントマークが確認されながら、アライメントされて接合される。このとき、第１および第２レンズ構成層ＬＹ１，ＬＹ２ならびにスペーサ層ＲＢが、レンズ群２０の構成を成す。

なお、３つのウエハＵ２０ａ〜Ｕ２０ｃの接合方法としては、例えば、第１および第２レンズ構成層ＬＹ１，ＬＹ２と接合させるスペーサ層ＲＢの上下面にＵＶ硬化層を設け、紫外線を照射することで接合する手法、あるいは、スペーサ層ＲＢの上下面に不活性ガスのプラズマを照射し、スペーサ層ＲＢの表面を活性化したまま張り合わせて接合する手法（表面活性化接合法）等が採用される。

また、カメラモジュール５００に絞りを形成する場合は、例えば、別途黒色に色づけされた樹脂材料等で絞りレイヤーを構成する手法等が用いられる。

このようにして、多数のレンズ群２０がマトリックス状に配列されたウエハ（レンズ群ウエハ）が製作され、更に、ダイシングによって、個片化された多数のレンズ群２０が製作される。

○シートの準備（工程Ｂ）：
ステップＳＰ２では、カメラモジュール５００を構成する各機能層に係るシートが、層ごとに形成される。図２１は、準備するシートの構成例を示す平面図である。なお、ここでは、ウエハレベルの円盤状のシートが準備されるものとする。

機能層ごとのシートには、該機能層に係る部材に相当するチップがマトリックス状に所定配列で多数形成されている。

例えば、図２１で示されるように、第１枠層１１のシート（第１枠層シート）Ｕ１１には、第１枠層１１に相当するチップが所定配列で多数形成される。なお、ここでは、「所定配列」という表現を、多数のチップを所定の方向に所定の間隔で配列した状態を含む意味で用いている。

第１枠層シートＵ１１は、第１枠層１１に相当するチップの側面どうしが相互に繋がった格子状の形状を有する。この第１枠層シートＵ１１は、樹脂材料やガラス等で構成される。

例えば、第１枠層シートＵ１１が、樹脂材料で構成される場合には、該第１枠層シートＵ１１は、金属金型を用いたプレス成型や射出成型等の方法によって製作される。また、第１枠層シートＵ１１が、ガラス等で構成される場合には、該第１枠層シートＵ１１は、例えば、金属製またはセラミック製のシャドウマスクを用いたいわゆるブラスト加工によって製作される。

また、レンズ位置調整層１６のシート（レンズ位置調整層シート）Ｕ１６は、レンズ位置調整層１６に相当するチップが所定配列で多数形成される。該レンズ位置調整層シートＵ１６は、レンズ位置調整層１６に相当するチップの側面どうしが相互に繋がった形状を有する。このレンズ位置調整層シートＵ１６は、樹脂材料等で構成される。

例えば、レンズ位置調整層シートＵ１６の形状を有する金型を製作し、その金型に樹脂を流し込んで、樹脂を鋳型ごと加熱した後に、冷却することで、該レンズ位置調整層シートＵ１６が製作される。なお、射出成型等を用いて、レンズ位置調整層シートＵ１６が製作されても良い。

このように、ステップＳＰ２では、第１枠層シートＵ１１およびレンズ位置調整層１６と同様に、蓋層１０、第１平行ばね１２、第２枠層１３、第２平行ばね１４、およびアクチュエータ層１５の各機能層に係るチップがそれぞれ所定配列で多数形成された各シートＵ１０，Ｕ１２〜Ｕ１５、ならびにカバーガラス層１７と撮像素子層１８とが接合されて形成される撮像素子基板１７８に係るチップを含むシート（撮像素子基板シート）Ｕ１７８がそれぞれ準備される。つまり、８枚のシートＵ１０〜１６，Ｕ１７８が準備される。

○組み立て治具の準備（工程Ｃ）：
ステップＳＰ３では、組み立て治具３００が準備される。

図２２は、組み立て治具３００のうち、各カメラモジュール５００の製作に使用される部分に着目した図である。組み立て治具３００は、平板状の基台上に略同一の形状を有する多数の突起部３０１が所定配列で設けられて構成されている。

なお、組み立て治具３００には、２カ所以上の所定の箇所に位置合わせのためのアライメントマークが形成されている。また、突起部３０１の上面は、平板状の基台の主面に対して略平行となるように構成されている。

○シートの第１の接合（工程Ｄ）：
ステップＳＰ４では、準備された８枚のシートＵ１０〜１６，Ｕ１７８のうちの３枚のシートＵ１１〜Ｕ１３が接合される。

図２３は、ステップＳ４において３枚のシートＵ１１〜Ｕ１３が積層されて接合される様子、ステップＳ５においてレンズ群２０が取り付けられる様子、ステップＳ６において４枚のシートＵ１０，Ｕ１４〜Ｕ１６が積層されて接合される様子、およびステップＳＰ７において撮像素子基板シートＵ１７８が接合される様子を合わせて模式的に示す図である。

ステップＳＰ４では、図２３で示されるように、第１枠層シートＵ１１、第１平行ばねシートＵ１２、および第２枠層シートＵ１３について、各シートＵ１１〜Ｕ１３に含まれる各チップが互いに積層されるように、シート形状のまま位置合わせ（アライメント）が行われる。そして、各シートＵ１１〜Ｕ１３が接着剤等を用いて接合される。

図２４〜図２６は、各シートＵ１１〜Ｕ１３が積層されて接合される様子を、１つのカメラモジュール５００を構成する各チップに着目して示した図である。なお、図２４〜図２６では、工程の便宜上、図３で示されたカメラモジュール５００とは上下が反転された状態で示されている。

図２４で示されるように、組み立て治具３００の基台上の所定位置に対して各第１枠層１１が載置されるように、組み立て治具３００上に第１枠層シートＵ１１が載置される。図２４では、組み立て治具３００上に第１枠層シートＵ１１が運ばれてくる際における第１枠層シートＵ１１の移動方向が矢印ＹＪ１で示されている。

次に、図２５で示されるように、第１枠層１１の一主面上に、第１平行ばね１２の外周部を構成する固定枠体１２１が接合されることで、第１枠層シートＵ１１に対して第１平行ばねシートＵ１２が接合される。

具体的には、第１枠層１１の一主面に対して、固定枠体１２１が矢印ＹＪ２で示される方向に押し付けられて、固定枠体１２１の他主面と第１枠層１１の一主面とが接合される。なお、このとき、第１平行ばね１２の接合部ＰＧ２が、組み立て治具３００の突起部３０１の上面に当接することで、第１平行ばね１２の略平板状の形態が保持される。

更に、図２６で示されるように、第１平行ばね１２の外周部を構成する固定枠体１２１の一主面上に、第２枠層１３の他主面が接合されることで、第１平行ばねシートＵ１２に対して、第２枠層シートＵ１３が接合される。

具体的には、第１平行ばね１２の固定枠体１２１の一主面に対して、第２枠層１３が矢印ＹＪ３で示される方向に押し付けられて、固定枠体１２１の一主面と第２枠層１３の他主面とが接合される。

○レンズ群の取り付け（工程Ｅ）：
図２７は、レンズ群２０が取り付けられる様子を示す図である。

ステップＳＰ５では、図２７で示されるように、ステップＳＰ４で製作されたユニットの各第２枠層１３の中空部分に、ステップＳＰ１で生成されたレンズ群２０が、所定のマウンターによって取り付けられる。つまり、格子状の形状を有する第２枠層シートＵ１３の各空隙に、レンズ群２０がそれぞれ挿入される。

具体的には、レンズ群２０の２本の第２突起部２０２の端面が、第１平行ばね１２の接合部ＰＧ２に対してそれぞれ接合される。このとき、レンズ群２０が矢印ＹＪ４で示される方向に接合部ＰＧ２に対して押し付けられつつ、第２突起部２０２の端面が、接合部ＰＧ２の一主面側に対して接合される。

なお、この接合手法としては、レンズ群２０の第２突起部２０２の端面に紫外線の照射によって硬化する接着剤（紫外線硬化接着剤）を予め塗布しておき、レンズ群２０の第２突起部２０２の端面が第１平行ばね１２の接合部ＰＧ２に対して当接させた状態で、紫外線の照射によって接合する手法等が挙げられる。

○シートの第２の接合（工程Ｆ）：
ステップＳＰ６では、図２３で示されるように、ステップＳＰ２で準備された８枚のシートＵ１０〜１６，Ｕ１７８のうちの４枚のシートＵ１０，Ｕ１４〜Ｕ１６が接合される。

具体的には、ステップＳＰ６では、ステップＳＰ５までに生成されたユニットの一主面側に対して、第２平行ばねシートＵ１４、およびアクチュエータ層シートＵ１５に含まれる各チップが、第２枠層シートＵ１３に含まれる各チップに対してそれぞれ積層されるように、シート形状のまま位置合わせ（アライメント）が行われる。そして、各シートＵ１４，Ｕ１５が順次に接着剤等を用いて接合される。

また、第１枠層シートＵ１１の他主面側に対して、蓋層シートＵ１０に含まれる各チップが、第１枠層シートＵ１１に含まれる各チップに対してそれぞれ積層されるように、シート形状のまま位置合わせ（アライメント）が行われる。そして、この状態で、第１枠層シートＵ１１の他主面側に対して、蓋層シートＵ１０が接着剤等を用いて接合される。

更に、アクチュエータ層シートＵ１５の一主面側に対して、レンズ位置調整層シートＵ１６に含まれる各チップが、アクチュエータ層シートＵ１５に含まれる各チップに対してそれぞれ積層されるように、シート形状のまま位置合わせ（アライメント）が行われる。そして、この状態で、アクチュエータ層シートＵ１５の他主面側に対して、レンズ位置調整層シートＵ１６が接着剤等を用いて接合される。

図２８〜図３１は、各シートＵ１０，Ｕ１４〜Ｕ１６が積層されて接合される様子を、１つのカメラモジュール５００を構成する各チップに着目して示した図である。なお、図２８および図２９では、図２４〜図２６と同様に、工程の便宜上、図３で示されたカメラモジュール５００とは上下が反転された状態で示されている。これに対して、図３０および図３１では、図３で示されたカメラモジュール５００と上下が同一の状態で示されている。

図２８で示されるように、第２枠層１３およびレンズ群２０の一主面側に第２平行ばね１４が接合されるように、第２枠層シートＵ１３の一主面上に第２平行ばねシートＵ１４が接合される。

具体的には、第２枠層１３の一主面に対して、第２平行ばね１４の固定枠体１４１が矢印ＹＪ５で示される方向に押し付けられつつ、該固定枠体１４１の他主面が接着剤等によって第２枠層１３の一主面に対して接合される。このとき、レンズ群２０の第１レンズ構成層ＬＹ１の非レンズ部に対して、第２平行ばね１４の接合部ＰＧ２が接着剤等によって接合される。

次に、図２９で示されるように、第２平行ばね１４の一主面にアクチュエータ層１５が接合されるように、第２平行ばねシートＵ１４の一主面上にアクチュエータ層シートＵ１５が接合される。

具体的には、第２平行ばね１４の固定枠体１４１の一主面に対して、アクチュエータ層１５の枠体１５２が矢印ＹＪ６で示される方向に押し付けられつつ、該枠体１５２の他主面と固定枠体１４１の一主面とが接着剤等によって接合される。

更に、このとき、アクチュエータ層１５の各可動部１５１の自由端ＦＴ側が対応する第１突起部２０１とそれぞれ当接し、各可動部１５１の自由端ＦＴが、−Ｚ側に対応する方向に押し上げられた状態となる。

次に、図３０で示されるように、第２平行ばねシートＵ１４上にアクチュエータ層シートＵ１５が接合されて形成されたユニットが、組み立て治具３００から取り外されて、該ユニットに対して蓋層シートＵ１０が接合される。なお、該ユニットが組み立て治具３００から取り外される際には、レンズ群２０が、第１および第２平行ばね１２，１４によって保持されているため、該レンズ群２０が宙に浮いた様な状態となる。

また、このとき、アクチュエータ層シートＵ１５まで接合されたユニットの上下が反転されて、第１枠層１１の他主面に対して、蓋層１０の外周部が矢印ＹＪ７で示される方向に押し付けられつつ、第１枠層１１の他主面と蓋層１０の外周部の一主面とが接着剤等によって接合される。

更に、図３１で示されるように、アクチュエータ層１５の枠体１５２の一主面にレンズ位置調整層１６の枠体１６１が接合されるように、アクチュエータ層シートＵ１５の一主面に対してレンズ位置調整層シートＵ１６が接合される。

具体的には、蓋層シートＵ１０まで接合されて形成されたユニットが、レンズ位置調整層シートＵ１６の他主面上に載置され、該ユニットが、矢印ＹＪ８で示される方向に押し下げられつつ、レンズ位置調整層シートＵ１６の他主面と、アクチュエータ層シートＵ１５の一主面とが接着剤等によって接合される。

このとき、レンズ位置調整層１６の突起部１６２の上端面が、レンズ群２０の第１レンズ構成層ＬＹ１の非レンズ部の一部分に接触し、該レンズ群２０が蓋層１０側へと押し上げられる。また、アクチュエータ層１５の可動部１５１が第１突起部２０１によって押し下げられる力が低減されて、第１突起部２０１によって押し下げられていたアクチュエータ層１５の可動部１５１の自由端ＦＴが＋Ｚ方向に上昇する。そして、可動部１５１が弾性力をほとんど生じさせない、すなわち可動部１５１の形状が略平板状となる。

但し、第１突起部２０１と自由端ＦＴとが当接した状態が保持されるように、第１突起部２０１および突起部１６２のＺ軸に沿った延設距離が設定される。このような設定により、可動部１５１を変形させて自由端ＦＴを＋Ｚ方向に変位させる際に、自由端ＦＴが第１突起部２０１に対して当接せず、空振りしてしまう非効率な動作が防止される。

更に、このとき、第１および第２平行ばね１２，１４ともに、接続部ＰＧ１に対する接合部ＰＧ２の＋Ｚ方向の位置のずれ、すなわち板状部材ＥＢの曲げ変形（たわみ変形）が大きくなる。つまり、各接合部ＰＧ２が蓋層１０側へと変位するように、各板状部材ＥＢが弾性的に変形し、応力（弾性力）がチャージされた状態となる。

したがって、この各板状部材ＥＢにおいて発生した弾性力によって、レンズ位置調整層１６の突起部１６２の上端面に対して、レンズ群２０が押し付けられる。このレンズ群２０の突起部１６２に対する押し付け力は、ユーザーによるカメラモジュール５００の保持姿勢に拘わらず、レンズ群２０のチルト量等の姿勢および位置のずれの発生を抑制する。

○撮像素子基板の取り付け（工程Ｇ）：
ステップＳＰ７において、レンズ位置調整層１６が接合されて形成されたユニットのレンズ位置調整層１６の枠体１６１に対して、撮像素子基板１７８の外周部が接合されるように、レンズ位置調整層シートＵ１６の一主面に対して、撮像素子基板シートＵ１７８の他主面が接合される。

○ダイシング（工程Ｈ）：
ステップＳＰ８では、多数のレンズ群２０がそれぞれ挿入され、８つのシートＵ１０〜Ｕ１６，Ｕ１７８を積層して形成された積層部材が、ダイシングテープ等で保護された後、ダイシング装置によってチップごとに切り離される。このとき、多数のカメラモジュール５００が完成される。

＜カメラモジュールにおけるレンズ駆動＞
カメラモジュール５００では、上述したように、非駆動状態において、第１および第２平行ばね１２，１４の弾性力により、レンズ群２０がレンズ位置調整層１６に対して押し付けられて、該レンズ群２０が初期位置に配置される。このとき、カメラモジュール５００は、該カメラモジュール５００を基準として、無限遠に位置する被写体に対して合焦する。

そして、アクチュエータ層１５の可動部１５１が変形することで、自由端ＦＴが第１突起部２０１を＋Ｚ方向に押す。そして、第１および第２平行ばね１２，１４の弾性力に抗して、可動部１５１がレンズ群２０を＋Ｚ方向に押し上げる。このとき、レンズ群２０と撮像素子１８１との距離が変更され、該カメラモジュール５００を基準として、種々の距離に位置する被写体に対して合焦させることが可能なオートフォーカス（ＡＦ）制御が実現される。

上述したように、アクチュエータ層１５のアクチュエータ素子１５３に、形状記憶合金（ＳＭＡ）の薄膜が用いられる場合には、アクチュエータ層１５に設けられたヒータ層の通電による加熱によって、アクチュエータ素子１５３が縮み変形を行う。そして、可動部１５１の自由端ＦＴが＋Ｚ方向に変位する。なお、可動部１５１の自由端ＦＴ側で発生する変位量は、ＳＭＡの加熱温度に応じて異なり、該変位量は、ヒータ層への通電量の制御によって調整される。

ここでは、ＳＭＡの変形に伴う該ヒータ層の変形に応じてヒータ層の電気抵抗も変化するため、該ヒータ層の電流抵抗値をモニタリングして、自由端ＦＴの変位量、すなわちレンズ群２０の変位量を制御することが可能である。

また、カメラモジュール５００では、第１枠層１１のＺ軸に沿った厚みが、レンズ群２０が移動する空間、すなわちレンズ群２０のＺ軸に沿った移動可能な範囲（ストローク）を確保する。そして、第２突起部２０２のＺ軸に沿った延設距離は、レンズ位置調整層１６がアクチュエータ層１５に対して接合される際にレンズ群２０が＋Ｚ方向に押し上げられる距離と、レンズ群２０が＋Ｚ方向に移動可能な距離（移動可能距離）とを加算した距離以上とされている。

以上のように、本発明の実施形態に係るカメラモジュール５００では、レンズ群２０の移動を規制する第１および第２平行ばね１２，１４を有し、レンズ群２０の移動によってＡＦ制御（合焦制御）が実現される。そして、非駆動状態では、第１および第２平行ばね１２，１４により、レンズ群２０がレンズ位置調整層１６に対して押し付けられており、アクチュエータ層１５の可動部１５１が変形すると、第１および第２平行ばね１２，１４の弾性力に抗して、レンズ群２０が移動する構成となっている。

このため、第１および第２平行ばね１２，１４の弾性力に抗して移動対象物に相当するレンズ群２０を移動させるための空間を確保する目的で、カメラモジュール５００のＺ軸に沿った方向（光軸方向）の厚みをあまり大きくする必要がない。また、特に、非駆動状態においてカメラモジュール５００の姿勢が種々変更されても、レンズ群２０の傾き等が抑制されるため、レンズ群２０の姿勢が安定化される。したがって、装置の大型化が抑制されつつ、レンズが変位可能となり、且つレンズの姿勢の安定化が実現される。

また、カメラモジュール５００が複数の層が積層されて構成されるため、小型で且つ薄型のカメラモジュール５００が実現される。したがって、装置の大型化が抑制されつつ、レンズの変位とレンズの姿勢の安定化とが図られる。

また、撮像素子１８１とレンズ群２０との間に、レンズ群２０が当接する突起部１６２を有するレンズ位置調整層１６が別途設けられる。このため、レンズ群２０を初期位置に設定するために、レンズ群２０を当接させる部分（当接部）を容易に製作することができる。

また、非駆動状態において、レンズ群２０がレンズ位置調整層１６に対して当接することで、カメラモジュール５００を基準として無限遠に位置する被写体に対して合焦するように、該レンズ群２０が所定位置に配置される。

このため、無限遠に存在する被写体に対して合焦する状態でレンズの姿勢を安定化させることができる。したがって、例えば、レンズ群２０を合焦制御の初期状態として一般的に採用される所定位置に容易且つ精度良配置することができる。また、各層を接合させていくだけで、その後の特別な調整動作を行うことなく、カメラモジュール５００を基準として無限遠に位置する被写体に対して合焦するように、レンズ群２０を所定位置に配置することができる。

また、被写体からレンズ群２０を介して撮像素子１８１の画素配列領域に至る光路を、該画素配列領域の幅が最も狭い方向において挟む位置に、突起部１６２が配設されている。このため、撮影への悪影響、および装置の大型化を招くことなく、当接部に相当する突起部１６２を設置することができる。

＜変形例＞
本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。

◎例えば、上記実施形態では、非駆動状態においてレンズ群２０が当接して該レンズ群２０を初期位置に配置するレンズ位置調整層１６を設けたが、これには限られない。例えば、レンズ位置調整層１６を設けることなく、該レンズ群２０を初期位置に配置するための構造をレンズ群２０自身に設けても良い。以下、具体例を挙げて説明する。

図３２は、本発明の変形例に係るカメラモジュール５００Ａの断面模式図である。

図３２で示されるように、変形例に係るカメラモジュール５００Ａは、上記実施形態に係るカメラモジュール５００からレンズ位置調整層１６が取り除かれ、レンズ群２０が構成の異なるレンズ群２０Ａに変更されたものとなっている。なお、レンズ群２０がレンズ群２０Ａに変更されたことに伴って、光学ユニットＫＢが光学ユニットＫＢＡに変更されている。また、変形例に係る携帯電話機１００Ａは、カメラモジュール５００Ａを備えた第１の筐体２００Ａを有する。その他の部分については、上記実施形態に係る携帯電話機１００と本変形例に係る携帯電話機１００Ａとは同様な構成を有するため、同じ符号付して説明を省略し、異なる部分について、以下説明する。

図３３は、レンズ群２０Ａの下面外観図である。

図３２および図３３で示されるように、レンズ群２０Ａは、上記実施形態に係るレンズ群２０の第１レンズ構成層ＬＹ１の非レンズ部の一主面に、２本の第１突起部２０１とは別に４本の第３突起部２０３が追加された構成を有する。つまり、第３突起部２０３は、第１レンズＧ１と一体的に構成されている。

第３突起部２０３は、例えば、樹脂等によって構成され、第３突起部２０３のＺ軸に沿った延設距離は、第１突起部２０１のＺ軸に沿った延設距離よりも長くなっている。そして、第３突起部２０３については、例えば、第１レンズ構成層ＬＹ１が製作される際に、基板１６ＢＳの一主面側に第１突起部２０１とともに、該第１突起部２０１と同様な手法で形成するようにすれば良い。

図３４は、レンズ群２０Ａに接合された第２平行ばね１４を示す図である。図３４で示されるように、第３突起部２０３は、第２平行ばね１４の板状部材ＥＢと接触しないように設けられる。

また、図３２で示されるように、非駆動状態において、第３突起部２０３の先端部は、カバーガラス層１７の他主面に対して当接する。

詳細には、カバーガラス層１７が、アクチュエータ層１５に対して接合される際に、カバーガラス層１７の他主面が第３突起部２０３の先端部に当接し、該第３突起部２０３が＋Ｚ側に押し上げられる。このとき、レンズ群２０Ａが＋Ｚ側に押し上げられることで、第１および第２平行ばね１２，１４の板状部材ＥＢが、蓋層１０側へ変形する。

このため、非駆動状態においては、板状部材ＥＢの変形の反作用として、第１および第２平行ばね１２，１４の弾性力によってレンズ群２０Ａが押し下げられ、第３突起部２０３が、カバーガラス層１７の他主面に対して押し付けられることで、レンズ群２０Ａが所定位置に配置される。なお、本変形例では、カバーガラス層１７の他主面が、レンズ群２０Ａが当接して該レンズ群２０Ａを初期位置に配置させる部分、すなわち本発明の「当接部」に相当する。

このような構成を採用しても、上記実施形態と同様に、第１および第２平行ばね１２，１４の弾性力に抗して移動対象物に相当するレンズ群２０Ａを移動させるための空間を確保する目的で、カメラモジュール５００ＡのＺ軸に沿った方向（光軸方向）の厚みをあまり大きくする必要がない。また、特に、非駆動状態においてカメラモジュール５００Ａの姿勢が種々変更されても、レンズ群２０Ａの傾き等が抑制されるため、レンズ群２０の姿勢が安定化される。したがって、装置の大型化を抑制しつつ、レンズが変位可能であり且つレンズの姿勢の安定化を図ることができる。

また、レンズ群２０Ａの第３突起部２０３が、当接部に相当するカバーガラス層１７の他主面に対して当接するような構成を有する。このため、カメラモジュール５００Ａを構成する層の数の増加に伴う装置の大型化が抑制される。また、カメラモジュール５００Ａの製造コストの低減を図ることも可能となる。

また、カバーガラス層１７の他主面に対して当接する第３突起部２０３と、第１レンズＧ１とが一体的に構成される。このため、第３突起部２０３を比較的容易且つ精度良製作することができる。なお、第２平行ばね１４に係る応力設計に合わせて、第２平行ばね１４に接触しないように、第３突起部２０３を適宜形成することも容易に可能である。

但し、例えば、撮像素子基板１７８が配列された撮像素子基板シートＵ１７８が取り付けられる前のユニットの状態で、客先に出荷し、撮像素子基板シートＵ１７８の取り付け以降の工程が客先で行われる場合には、レンズ群２０Ａが、カバーガラス層１７によって保持されていない不安定な状態で、運搬されることになる。

このように、撮像素子基板シートＵ１７８の取り付け以降の工程が客先で行われる場合には、上記実施形態のように、多数のレンズ位置調整層１６が配列されたレンズ位置調整層シートＵ１６が接合されたユニットの状態で、客先に出荷した方が、レンズ群２０が、レンズ位置調整層１６によって保持されて安定な状態で、運搬されるため、好ましい。具体的には、例えば、第１および第２平行ばね１２，１４の応力集中による塑性変形等の不具合の発生が抑制されるため、好ましい。

また、樹脂の種類により、成型によって製作可能な形状に係るアスペクト比の限界がある。このようなアスペクト比の限界を考慮すると、本変形例のように、Ｚ軸に沿った延設距離が長い、すなわちアスペクト比の大きな第３突起部２０３を有するレンズ群２０Ａを製作するよりも、上記実施形態のように、いわゆる樹脂等を用いたブラスト加工やエッチング等によって製作可能なレンズ位置調整層１６を採用する方が、製造上好ましい。

◎また、上記実施形態では、非駆動状態において、レンズ群２０がレンズ位置調整層１６に対して当接することで、カメラモジュール５００を基準として無限遠に位置する被写体に対して合焦するように、レンズ群２０が所定位置に設置されたが、これに限られない。例えば、レンズ群２０がレンズ位置調整層１６に対して当接する所定位置が、レンズ群２０の焦点が撮像素子１８１の撮像面上に来るようなレンズ群２０の位置よりも、撮像素子１８１に近い位置であっても良い。

図３５は、上記実施形態に係るレンズ群２０の焦点と撮像素子１８１との位置関係を模式的に示す図であり、図３６は、本変形例に係るレンズ群２０の焦点と撮像素子１８１との位置関係を模式的に示す図である。

上記実施形態では、図３５で示されるように、レンズ群２０がレンズ位置調整層１６に対して当接することで、所定位置に配置されている場合には、レンズ群２０の焦点ＦＰが、撮像素子１８１の撮像面上に配置される。これに対して、本変形例では、図３６で示されるように、レンズ群２０がレンズ位置調整層１６に対して当接することで、所定位置に配置されている場合には、レンズ群２０の焦点ＦＰが、撮像素子１８１の撮像面よりもレンズ群２０とは反対側の位置に配置される。

このような構成を採用することで、製作時の各種の誤差により、無限遠に存在する被写体に対して合焦する状態に設定できなくなる不具合の発生を防止することができる。また、各層を接合させていくだけで、その後の特別な調整動作を行うことなく、カメラモジュール５００を基準として無限遠に位置する被写体に対して合焦する位置よりも、撮像素子１８１側の所定位置に、レンズ群２０を配置することができる。

なお、レンズ群２０の初期位置は、カメラモジュール５００から非常に近い位置に存在する被写体に対して合焦するような該レンズ群２０の位置であっても良い。

◎また、上記実施形態では、レンズ群２０は、第１および第２レンズＧ１，Ｇ２を備えて構成されたが、これに限られず、例えば、１つのレンズを有する光学系であっても良い。すなわち、移動対象物である光学系は、１以上の光学レンズを含めば良い。

◎また、上記実施形態では、レンズ群２０の移動によって、合焦制御が行われたが、これに限られず、例えば、レンズ群２０の移動によって、いわゆるズーム動作が実現されても良い。

◎また、上記実施形態では、アクチュエータ素子１５３として、ＳＭＡが用いられたが、これに限られず、例えば、いわゆるバイメタル（Bi-metallic strip）が用いられても良い。アクチュエータ素子にバイメタルを採用した場合には、ＳＭＡの代わりに、基板とは熱膨張率が異なる素材の膜を形成すれば良い。つまり、可動部が、基板と、該基板上に形成され且つ該基板とは熱膨張率が異なる薄膜とを有して構成されても良い。

具体例としては、Ｓｉ製の可動部の基板の一主面側に、アルミニウムやニッケル等の金属素材の層（金属層）が形成されるような構成が挙げられる。このような構成では、ヒータ層への通電により、基板と金属層とが加熱されると、熱膨張率の差によって、可動部が変形し、該可動部の自由端が＋Ｚ方向に変位する。

そして、アクチュエータ素子にバイメタルを用いた場合にも、上記実施形態と同様な効果が得られる。なお、意図せずして、環境温度の変化に比例して可動部の自由端が変位しようとする。しかしながら、例えば、非駆動状態において第１および第２平行ばねによってレンズ群２０がレンズ位置調整層１６に対して−Ｚ方向に押し付けられる力を、想定される使用環境温度の上限で可動部１５１がレンズ群２０に及ぼす力よりも大きくしておけば、レンズ群２０の姿勢が崩れない。

また、アクチュエータ素子として、例えば、無機圧電体（ＰＺＴ）または有機圧電体（ＰＶＤＦ）等の圧電体素子の薄膜（圧電体薄膜）を用いても良い。つまり、可動部が、基板と、該基板上に形成される圧電体素子の薄膜とを有して構成されても良い。なお、アクチュエータ素子として圧電体薄膜を用いる場合は、Ｓｉ基板上に電極、圧電体薄膜、および電極がこの順序でスパッタリング法等を用いて形成され、高電界をかけたポーリングが行われる。

◎また、上記実施形態では、移動対象物であるレンズ群２０が、第１および第２レンズ構成層ＬＹ１，ＬＹ２を含んで構成されたが、これに限られない。例えば、移動対象物が、１以上のレンズ層を含む１以上の層によって構成されても良い。

◎また、上記実施形態では、レンズ群２０の移動を規制する部材として、板状の第１および第２平行ばね１２，１４が採用されたが、これに限られない。例えば、つる巻き状のばね等を含む各種弾性部材が採用されても良い。

◎また、上記実施形態では、カメラモジュール５００は、ウエハレベルで複数の機能層を積層することで得られる、いわゆるウエハレベルカメラの構成を示したが、本発明の技術的思想は、各機能層が層状のものでない撮像装置を含む撮像装置一般に対して適用可能である。

すなわち、図３に示したカメラモジュール５００は、レンズ群２０をＺ方向に駆動する手段として、アクチュエータ層１５を使用し、当該アクチュエータ層１５は、金属またはＳｉ等の基板上に、駆動力を発生させる薄膜状のアクチュエータ素子１５３を設けた薄板状の部材として説明したが、これに限定されるものではなく、積層圧電素子を用いてレンズ群を駆動させても良い。また、レンズ群は、レンズ群２０のように、ガラス基板を基材としてウエハレベルで作製されたものに限定されず、射出成形等で作製した樹脂レンズを用いても良い。

このような構成を採用したカメラモジュール５００Ａの断面模式図を図３７に示す。なお、図３７においては、図３に示したカメラモジュール５００と同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

図３７で示されるように、カメラモジュール５００Ａは、撮影光学系としてのレンズ群２０Ａが移動可能に設けられている光学ユニットＫＢ１と、被写体像に関する撮影画像を取得する撮像部ＰＢとを有している。

撮像部ＰＢは、例えば、ＣＯＭＳセンサまたはＣＣＤセンサ等の撮像素子１８１を有する撮像素子層１８Ａと、カバーガラス１７Ａとが＋Ｚ方向にこの順序で積層された構成を有する。なお、カバーガラス１７Ａが、赤外線（ＩＲ）をカットするフィルタ層を含むようにしても良い。

光学ユニットＫＢ１は、蓋１０Ａ、第１枠１１Ａ、第１平行ばね（上層平行ばね）１２Ａ、第２枠１３Ａ、第２平行ばね（下層平行ばね）１４Ａ、第３枠１５０およびレンズ群２０Ａを備えて構成される。第１平行ばね１２Ａおよび第２平行ばね（下層平行ばね）１４Ａは、図１３に示した、第１平行ばね層１２および第２平行ばね層１４と同じ平面形状を有するので、図示は省略する。

なお、蓋１０Ａ、第１枠１１Ａ、第２枠１３Ａ、第２平行ばね１４Ａおよび第３枠１５０の材質や形状は、それぞれ蓋層１０、第１枠層１１、第１平行ばね層１２、第２枠層１３、第２平行ばね層１４と同じとすれば良く、いずれもウエハ状態（ウエハレベルで）製作して、個片に分割する方法で形成しても良く、個々に独立して形成しても良い。

また、第３枠１５０の材質は、第１枠１１Ａや第２枠１３Ａと同じで良く、ＸＹ断面の外縁および内縁がそれぞれ略矩形状であるリング状の部材であり、Ｚ軸に沿って貫通する中空部分を形成する形状である。

光学ユニットＫＢ１では、第３枠１５０、第２平行ばね１４Ａ、第２枠１３Ａ、第１平行ばね１２Ａ、第１枠１１Ａ、および蓋１０Ａが＋Ｚ方向にこの順序で積層され、第２平行ばね１４Ａと第１平行ばね１２Ａとの間にレンズ群２０Ａが保持された構成を有している。そして、第１平行ばね１２Ａおよび第２平行ばね１４Ａと、積層圧電素子で構成されるアクチュエータ１９とが互いに協働することで、レンズ群２０ＡをＺ軸に沿った方向に移動させる。

アクチュエータ１９は、カバーガラス１７Ａ上のレンズの光束に干渉しない部分に、その変位発生部がレンズ群２０Ａの−Ｚ側に突出した第１突起部２０１Ａと接触するように配置され、変位発生部で生じる駆動変位は、第１突起部２０１Ａを介してレンズ群２０Ａに伝達される。つまり、アクチュエータ１９は、移動対象物であるレンズ群２０Ａを所定方向（ここでは、＋Ｚ方向）に移動させる。なお、変位発生部における＋Ｚ方向への駆動変位が小さくなっていく場面では、第１および第２平行ばね１２Ａおよび１４Ａの弾性力によって、レンズ群２０Ａが所定方向とは反対方向（−Ｚ方向）に移動する。

なお、レンズ群２０Ａが＋Ｚ方向に移動していない非駆動状態（例えば駆動前の静止状態）では、レンズ群２０ＡがＺ軸に沿って変位可能な範囲（変位可能範囲）の最も−Ｚ側の所定位置に配置されて静止する。

この所定位置は、例えば、撮像素子１８１において多数の画素回路が配列されている＋Ｚ側の撮像面上に光学ユニットＫＢ１の焦点が配置されるような位置に設定される。

レンズ群２０Ａは、第１レンズ２０３および第２レンズ２０４で構成され、第１レンズ２０３が撮像部ＰＢ側に配置され、第２レンズ２０４が撮像部ＰＢとは反対側となるように配置される。第１レンズ２０３および第２レンズ２０４は、射出成形等で構成された樹脂レンズであり、従来的な方法で製造することができ、両者は接着剤等を用いて接合されている。

第１レンズ２０３の一方主面（ここでは、−Ｚ側）には、レンズとして機能しない非レンズ部に、−Ｚ方向に突出する第１突起部２０１Ａが非レンズ部と一体的に設けられている。第１突起部２０１Ａは、第２平行ばね１４Ａの固定枠体１４１（図１３）と板状部材ＥＢとの隙間を通って、アクチュエータ１９の変位発生部と当接する。つまり、第２平行ばね１４Ａは、レンズ群２０Ａの第１突起部２０１Ａと接触しないような形状を有する。なお、第１レンズ２０３の非レンズ部に対して、第２平行ばね１４Ａの接合部ＰＧ２（図１３）が接着剤等によって接合される。

また、第２レンズ２０４の一方主面（ここでは、＋Ｚ側）には、レンズとして機能しない非レンズ部に、＋Ｚ方向に突出する第２突起部２０２Ａが非レンズ部と一体的に設けられている。第２突起部２０２Ａは、カメラモジュール５００の第２突起部２０２（図３）と同様に、その先端部が、第１平行ばね１２Ａに接着剤等によって接合されている。

次に、カメラモジュール５００Ａの製造工程について説明する。

まず、カバーガラス１７Ａと撮像素子層１８Ａとが接合されて形成される撮像素子基板１７８Ａを準備する。この工程については、それぞれ個片のカバーガラス１７Ａおよび撮像素子層１８Ａを準備して、両者を接合する方法を採っても良いし、図２３を用いて説明したように、ウエハレベルで撮像素子基板１７８Ａを作製し、それを個片に切断する方法を採っても良い。

次に、撮像素子基板１７８のカバーガラス１７Ａ上に位置合わせをしながらアクチュエータ１９を設置する。設置方法としては、接着剤による接合が一般的である。カバーガラス１７Ａ上には配線パターンが形成されており、ここに電圧を印加することによってアクチュエータ１９を駆動する。

アクチュエータ１９は、電圧を印加することによって伸縮する材料であるＰＺＴなどの圧電素子と、この圧電素子の上下面に金属膜で形成される電極を配置したものを複数層積層することによって形成され、その形状は円柱状あるいは直方体状をなし、その端面が変位発生部となっている。

次に、アクチュエータ１９を囲むようにカバーガラス１７Ａ上に第３枠１５０を配置し、その上端面に接着剤等を用いて第２平行ばね１４Ａを接合する。

その後、マウンター等の装置を用いてレンズ群２０Ａをモジュール内に設置する。レンズ群２０Ａは第２平行ばね１４Ａに接合されるが、レンズ群２０Ａの第１突起部２０１Ａはアクチュエータ１９の変位発生部と当接するだけで、接合はされない。

このように、カメラモジュール５００Ａにおいて、アクチュエータ１９とレンズ群２０Ａは当接している状態にあり、アクチュエータ１９はレンズ群２０の駆動を、第１平行ばね１２Ａおよび第２平行ばね１４Ａはレンズ群２０Ａの光軸方向への平行性の確保と外部から衝撃を受けた場合のショック吸収の役割をそれぞれ担う構造となっている。

次に、第２平行ばね１４Ａ上に接着剤等を用いて第２枠１３Ａを接合し、その上端面に接着剤等を用いて第１平行ばね１２Ａを接合する。このとき、レンズ群２０Ａの第２突起部２０２Ａは、その先端部が、第１平行ばね１２Ａに接着剤等によって接合される。

更に、第１平行ばね１２Ａ上に接着剤等を用いて第１枠１１Ａを接合し、その上端面に接着剤等を用いて蓋１０Ａを接合することでカメラモジュール５００Ａが完成する。

カメラモジュール５００Ａのオートフォーカス動作においてレンズ群２０Ａを駆動する際には、アクチュエータ１９が第１突起部２０１Ａを介してレンズ群２０Ａを＋Ｚ方向に移動させる。レンズ群２０Ａのオートフォーカス駆動は、カバーガラス１７Ａ上に形成された配線パターンを介してアクチュエータ１９に電圧を印加することで行い、アクチュエータ１９の変位量は電圧の値によって制御される。基本的には、アクチュエータ１９に印加した電圧値と変位量は１対１に対応しているため、合焦位置への駆動はその位置に対応した電圧を印加すれば良いが、更に高精度なオートフォーカス駆動を行う場合には、レンズ群２０ＡのＺ方向での位置を検出する位置検出センサを設け、その検出値をアクチュエータ１９へ印加する電圧値を制御する電圧制御装置等にフィードバックする構成としても良い。

◎なお、上記実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する一部分は、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。

１０ 蓋層
１１ 第１枠層
１２ 第１平行ばね
１３ 第２枠層
１４ 第２平行ばね
１５ アクチュエータ層
１６ レンズ位置調整層
１７ カバーガラス層
１８ 撮像素子層
２０，２０Ａ レンズ群
１６２ 突起部
１７８ 撮像素子基板
１８１ 撮像素子
２０１ 第１突起部
２０２ 第２突起部
２０３ 第３突起部
５００，５００Ａ カメラモジュール
ＫＢ，ＫＢＡ 光学ユニット
ＰＢ 撮像部

Claims (7)

1. 撮像素子と、
   １以上のレンズを含む移動対象物と、
   前記移動対象物を所定方向に移動させるアクチュエータと、
   前記移動対象物が前記所定方向に移動する際に、該所定方向とは反対方向の力を該移動対象物に対して付与する弾性部材と、を備え、
   前記弾性部材は、前記移動対象物の前記撮像素子側となる一方主面側から前記移動対象物を付勢する下側弾性部材を有し、
   前記アクチュエータ、前記下側弾性部材および前記移動対象物は、それぞれレイヤー構造をなし、前記撮像素子側からこの順に積層され、
   前記アクチュエータは、
   外周部を構成する枠体と、
   前記枠体の内側の中空部分に位置し、一方端部が自由端となった板状の可動部とを有し、
   前記自由端が変位発生部として光軸方向に変位するように前記枠体から突出しており、
   前記下側弾性部材は、
   外周部を構成する固定枠体と、
   前記固定枠体の内側の中空部分に位置し、前記固定枠体と前記移動対象物とに接続する板状の弾性部とを有し、
   前記移動対象物は、
   前記一方主面から前記撮像素子側に向けて突出するように設けられた突起部を有し、前記突起部が、前記下側弾性部材の前記固定枠体と前記板状の弾性部との隙間を通って前記アクチュエータの前記変位発生部に当接し、前記アクチュエータの変位が前記突起部を介して前記移動対象物に伝達される撮像装置。
2. 前記弾性部材は、前記移動対象物の前記一方主面とは反対の他方主面側から前記移動対象物を付勢する上側弾性部材を有する、請求項１記載の撮像装置。
3. 前記突起部は、前記移動対象物と一体的に形成される、請求項１記載の撮像装置。
4. 前記上側弾性部材および前記下側弾性部材は、板状の弾性体によって構成される、請求項２記載の撮像装置。
5. 前記下側弾性部材は、平面輪郭形状が４角形状であって、
   前記突起部は、前記下側弾性部材の平面視において対角部に設けられた前記隙間を通るように前記移動対象物の前記一方主面側に形成される、請求項１記載の撮像装置。
6. 請求項１記載の撮像装置の製造方法であって、
   (ａ)前記移動対象物を準備するステップと、
   (ｂ)前記撮像素子、前記アクチュエータおよび前記弾性部材のそれぞれの機能を有する複数のレイヤーを積層して積層体を形成するステップと、
   (ｃ)前記積層体を個片に分割するステップとを有し、
   前記ステップ(ｂ)は、
   前記複数のレイヤーの積層途中で、前記移動対象物を組み込むステップを含む、撮像装置の製造方法。
7. 前記ステップ(ａ)は、
   透明基板上に透明樹脂を一体的に盛り上げて形成されたレンズ部を有するウエハレベルレンズを準備するステップと、
   前記ウエハレベルレンズを個片に分割して前記移動対象物を形成するステップとを含む、請求項６記載の撮像装置の製造方法。

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