JP5035078B2 - ガスセンサ素子 - Google Patents
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そして、該ダクト形成層914は、ダクト915に面して積層方向に立設した一対の立設面941と、一対の立設面941の外側において固体電解質体911の積層面910に対向する平坦面942とを有する。
これに対して、積層面910と平坦面942との間において、固体電解質体911とダクト形成層914との間に作用する応力を緩和させるための緩衝層(図示略)を形成することが考えられる。
上記ダクト形成層は、上記ダクトに面して積層方向に立設した一対の立設面と、該一対の立設面の外側において上記固体電解質体の上記積層面に対向する平坦面とを有し、
上記積層面と上記平坦面との間には、上記固体電解質体と上記ダクト形成層との間に作用する応力を緩和させるための緩衝層が形成されており、
上記ガスセンサ素子の軸方向に直交する断面において、上記緩衝層における上記ダクトに面する内側面と上記積層面との接点である第一接点は、上記一対の立設面の延長線同士の間の領域に配置されており、
上記ガスセンサ素子の軸方向に直交する断面において、上記緩衝層における上記ダクトに面する内側面と上記ダクト形成層との接点である第二接点と上記第一接点とをつないだ直線と、上記積層面とのなす角は、1〜45°であり、
上記ガスセンサ素子の軸方向に直交する断面において、上記第二接点は、上記ダクト形成層における上記平坦面と上記立設面との間に曲面状に形成された曲面部に配置されており、
上記固体電解質体、上記ダクト形成層及び上記緩衝層は、上記固体電解質体となるセラミックシートの上記積層面側の面を上側にした状態で、上記固体電解質体となる上記セラミックシートの上記積層面に上記緩衝層となるペーストを塗布し、該ペースト上に上記ダクト形成層となるセラミックシートを載置し、これらを上記積層方向に圧着した後、焼成を行うことによって形成されたものであることを特徴とするガスセンサ素子にある(請求項1)。
本発明においては、上記ガスセンサ素子の軸方向に直交する断面において、上記緩衝層における上記ダクトに面する内側面と上記積層面との接点である第一接点は、上記一対の立設面の延長線同士の間の領域に配置されている。これにより、固体電解質体とダクト形成層との間において亀裂等の不具合の生じにくいガスセンサ素子を得ることができる。
これにより、緩衝層と積層面との間における亀裂や、緩衝層と平坦面との間における亀裂等の不具合を十分に防ぐことができる。
また、固体電解質体は、例えばジルコニア(ZrO2)によって形成することができ、ダクト形成層は、例えばアルミナ(Al2O3)によって形成することができる。
この場合には、緩衝層と積層面との接触面積を、十分に大きくすることができる。これにより、固体電解質体とダクト形成層との間における亀裂等の不具合を一層防ぐことができる。
なお、上記角度は、1〜30°であることがより一層好ましい。
また、上記角度が45°を超える場合には、固体電解質体と緩衝層との間に亀裂等の不具合が生じてしまうおそれがある。
この場合には、固体電解質体とダクト形成層とにおける異種材料同士の焼成収縮率の差に起因して発生する応力を、上記曲面部において分散させることができる。これにより、固体電解質体とダクト形成層との間に作用する応力を一層緩和することができる。
この場合には、均一な膜厚を有する緩衝層を精度良く形成することができる。
一方、緩衝層の膜厚が5μm未満である場合には、スクリーン印刷等による緩衝層の形成過程において、緩衝層にメッシュ痕が付いたりするなどの不具合が生じるおそれがある。
また、緩衝層の膜厚が18μmを超える場合には、固体電解質体とダクト形成層との間において、均一な膜厚で緩衝層を塗布することが困難となるという問題が発生するおそれがある。
上記ガスセンサ素子を製造するに当たっては、上記固体電解質体となるセラミックシートの上記積層面側の面を上側にした状態で、上記固体電解質体となる上記セラミックシートの上記積層面に上記緩衝層となるペーストを塗布し、該ペースト上に上記ダクト形成層となるセラミックシートを積層し、これらを上記積層方向に圧着した後、焼成を行うことによって上記固体電解質体の上記積層面と上記ダクト形成層の上記平坦面との間に上記緩衝層を形成することを特徴とするガスセンサ素子。
本発明の実施例に係るガスセンサ素子について、図1〜図6を用いて説明する。
本例のガスセンサ素子1は、図1、図2に示すように、酸素イオン伝導性の固体電解質体11と、該固体電解質体11の一方の面に配設される被測定ガス側電極12と、固体電解質体11における被測定ガス側電極12が配設された側と反対側の面である積層面111に配設される基準ガス側電極13とを有する。
ダクト形成層14は、ダクト15に面して積層方向に立設した一対の立設面141と、該一対の立設面141の外側において固体電解質体11の積層面111に対向する平坦面142とを有する。
ガスセンサ素子1の軸方向に直交する断面において、緩衝層16におけるダクト15に面する内側面110と積層面111との接点である第一接点21は、一対の立設面141の延長線同士の間の領域3に配置されている。
本例のガスセンサ素子1として、例えば、自動車エンジン等の各種車両用内燃機関の排気管に設置して、排気ガスフィードバックシステムに使用する空燃比センサに内蔵するA/Fセンサ素子、排気ガス中の酸素濃度を測定するO2センサ素子、排気管に設置する三元触媒の劣化検知等に利用するNOx等の大気汚染物質濃度を調べるNOxセンサ素子等がある。
さらに、ダクト形成層14には、図1、図3に示すように、通電により発熱するヒータ171を備えたヒータ基板172が積層されている。
また、緩衝層16は、例えば固体電解質体11に用いるジルコニアやダクト形成層14に用いるアルミナなどと同種のセラミック粉末からなる無機粉末と、ポリビニルブチラールからなるバインダと、エタノールやテルピネオールなどを混合しペースト状にした溶剤とを混合して形成する。
なお、例えば、緩衝層16全体に対する上記無機粉末の含有量は25〜30重量%、上記バインダの含有量は10〜15重量%、上記溶剤の含有量は55〜65重量%とすることができる。
また、ガスセンサ素子1の軸方向に直交する断面において、第二接点22は、ダクト形成層14における平坦面142と立設面141との間に曲面状に形成された曲面部143に配置してある。
被測定ガス側電極12、基準ガス側電極13にそれぞれ接続されたリード部121、131は、スペーサー182と遮蔽層19とに形成された導通孔185、195を介してそれぞれ電極端子122、132と電気的に接続されている。
また、ヒータ171に接続されたリード部173は、ヒータ基板172に形成された導通孔175を介して電極端子174と電気的に接続されている。
まず、上記各部を形成するためのセラミックシートを形成する。
次いで、図4に示すように、固体電解質体11のセラミックシート41の外表面に、基準ガス側電極13及びリード部131を形成するための導体ペースト43を塗布するとともに、その反対側の外表面に、被測定ガス側電極12を形成するための導体ペースト(図示略)を塗布する。
また、ダクト形成層14のセラミックシート44とヒータ基板172のセラミックシート472とを圧着しておく(以下では、説明の便宜上、これをダクト接合体440という。)。
ここで、センシング接合体410のジルコニアの焼成収縮率とダクト接合体440のアルミナの焼成収縮率との差は2%以下とすることが好ましい。また、緩衝層16の導体ペースト46の焼成収縮率についても、センシング接合体410のジルコニアの焼成収縮率とダクト接合体440のアルミナの焼成収縮率との差を3%以下とすることが好ましい。このように構成することで、本発明の作用効果を十分に発揮することができる。
未焼積層体4を形成した後、該未焼積層体4に対して乾燥処理(75〜85℃)を5秒以上行う。
次いで、図6に示す矢印Zに沿って、乾燥処理を施した未焼積層体4を所定の大きさに切断した後、これらをコウバチに並べて焼成を行うことにより、本例のガスセンサ素子1を作製することができる。なお、得られた焼成後の緩衝層16の膜厚dは5〜18μmとなる。
本発明においては、ガスセンサ素子1の軸方向に直交する断面において、緩衝層16におけるダクト15に面する内側面と積層面111との接点である第一接点111は、一対の立設面141の延長線同士の間の領域に配置されている。これにより、固体電解質体11とダクト形成層14との間において亀裂等の不具合の生じにくいガスセンサ素子1を得ることができる。
これにより、緩衝層16と積層面111との間における亀裂や、緩衝層16と平坦面111との間における亀裂等の不具合を十分に防ぐことができる。
また、緩衝層16は、膜厚が5〜18μmである。このため、均一な膜厚を有する緩衝層を精度良く形成することができる。
本例は、図7〜図10に示すように、第一接点21及び第二接点22の位置などを種々変更して作製したガスセンサの試料において、固体電解質体11とダクト形成層14との間に亀裂等の不具合が生じたか否かを調べた例である。
なお、本例において使用した符号は、図1において使用した符号に準ずる。
そして、これら各試料の焼成後における、軸方向に直交する方向の断面をSEM(走査電子顕微鏡)により撮像した。
撮像結果を図7、図9に示す。
次に、図7に示すように、本発明を適用した試料1においては、第一接点21において亀裂等の不具合は生じていない。
11 固体電解質体
111 積層面
12 被測定ガス側電極
13 基準ガス側電極
14 ダクト形成層
141 立設面
142 平坦面
15 ダクト
16 緩衝層
21 第一接点
3 領域
Claims (2)
- 酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の一方の面に配設される被測定ガス側電極と、上記固体電解質体における上記被測定ガス側電極が配設された側と反対側の面である積層面に配設される基準ガス側電極と、上記固体電解質体における上記基準ガス側電極が配設された側の面に積層されるとともに基準ガスが導入されるダクトを形成するダクト形成層とを有するガスセンサ素子であって、
上記ダクト形成層は、上記ダクトに面して積層方向に立設した一対の立設面と、該一対の立設面の外側において上記固体電解質体の上記積層面に対向する平坦面とを有し、
上記積層面と上記平坦面との間には、上記固体電解質体と上記ダクト形成層との間に作用する応力を緩和させるための緩衝層が形成されており、
上記ガスセンサ素子の軸方向に直交する断面において、上記緩衝層における上記ダクトに面する内側面と上記積層面との接点である第一接点は、上記一対の立設面の延長線同士の間の領域に配置されており、
上記ガスセンサ素子の軸方向に直交する断面において、上記緩衝層における上記ダクトに面する内側面と上記ダクト形成層との接点である第二接点と上記第一接点とをつないだ直線と、上記積層面とのなす角は、1〜45°であり、
上記ガスセンサ素子の軸方向に直交する断面において、上記第二接点は、上記ダクト形成層における上記平坦面と上記立設面との間に曲面状に形成された曲面部に配置されており、
上記固体電解質体、上記ダクト形成層及び上記緩衝層は、上記固体電解質体となるセラミックシートの上記積層面側の面を上側にした状態で、上記固体電解質体となる上記セラミックシートの上記積層面に上記緩衝層となるペーストを塗布し、該ペースト上に上記ダクト形成層となるセラミックシートを載置し、これらを上記積層方向に圧着した後、焼成を行うことによって形成されたものであることを特徴とするガスセンサ素子。 - 請求項1において、上記緩衝層は、膜厚が5〜18μmであることを特徴とするガスセンサ素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008095897A JP5035078B2 (ja) | 2008-04-02 | 2008-04-02 | ガスセンサ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008095897A JP5035078B2 (ja) | 2008-04-02 | 2008-04-02 | ガスセンサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009250655A JP2009250655A (ja) | 2009-10-29 |
JP5035078B2 true JP5035078B2 (ja) | 2012-09-26 |
Family
ID=41311541
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008095897A Active JP5035078B2 (ja) | 2008-04-02 | 2008-04-02 | ガスセンサ素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5035078B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7215440B2 (ja) * | 2020-02-05 | 2023-01-31 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3692623B2 (ja) * | 1996-05-20 | 2005-09-07 | 株式会社デンソー | セラミック積層体及びその製造方法 |
JP4061125B2 (ja) * | 2002-05-28 | 2008-03-12 | 京セラ株式会社 | 酸素センサ素子の製造方法 |
DE10224053A1 (de) * | 2002-05-31 | 2003-12-18 | Bosch Gmbh Robert | Gasmessfühler |
JP4228975B2 (ja) * | 2004-04-15 | 2009-02-25 | 株式会社デンソー | 積層型ガスセンサ素子 |
-
2008
- 2008-04-02 JP JP2008095897A patent/JP5035078B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009250655A (ja) | 2009-10-29 |
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Date | Code | Title | Description |
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