JP5034570B2 - 走査型電子顕微鏡装置の評価方法及び評価装置 - Google Patents
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ノイズを除去した画像の画質を定量化して画質評価値を得る画質定量化工程を有し、前記画質定量化工程は、金属粒子画像の濃度ヒストグラムからパターン部と背景部との分離度を算出し、その分離度の値を画質評価値とする判別分析工程を含み、金粉粒子画像全体または所望の領域のみを抽出する領域抽出工程と、二値化するためのしきい値を求めるしきい値算出工程と、しきい値によりパターン部と背景部に分ける二値化工程と、二値画像に対して金粉粒子のエッジを抽出するエッジ抽出工程と、エッジの幅を広げる膨張処理工程と、元の金粉粒子画像から膨張処理したエッジ部分のみの濃度ヒストグラムを抽出するエッジ濃度情報抽出工程とを含むことを特徴とする走査型電子顕微鏡装置の評価方法としたものである。
ノイズを除去した画像の画質を定量化して画質評価値を得る画質定量化手段を具備し、前記画質定量化手段は、金属粒子画像の濃度ヒストグラムからパターン部と背景部との分離度を算出し、その分離度の値を画質評価値する判別分析手段と、金粉粒子画像全体または所望の領域のみを抽出する領域抽出手段と、二値化するためのしきい値を求めるしきい値算出手段と、しきい値によりパターン部と背景部に分ける二値化手段と、二値画像に対して金粉粒子のエッジを抽出するエッジ抽出手段と、エッジの幅を広げる膨張処理手段と、元の金粉粒子画像から膨張処理したエッジ部分のみの濃度ヒストグラムを抽出するエッジ濃度情報抽出手段とを具備することを特徴とする走査型電子顕微鏡装置の評価装置としたものである。
に近い大きな画質評価値が得られ、逆に調整不良の場合にはより0に近い小さい画質評価値しか得られないことになる。
明るく濃度値が大きい部分と暗くて濃度値が小さい部分の2箇所にピークがあり、双峰形を成していることが分かる。しかしながら、フォーカスがずれている場合にはヒストグラムの双峰形が崩れている。しかも、フォーカスのズレ量の大きさによってヒストグラムの崩れ具合が異なっており、Defocus1に比べてDefocus2の方がヒストグラムの形が大きく崩れていることが分かる。
2…画像処理部
3…画像表示部
4…画像データ保存部
5…演算処理部
6…数値データ保存部
7…データ解析部
8…結果表示部
S1…SEM画像入力処理
S2…ノイズ除去処理
S3…領域選択処理
S4…エッジ部分の濃度データ抽出処理
S5…画像の定量化処理
S6…判定処理
S7…合格処理
S8…NG処理
P1…しきい値算出
P2…二値化処理
P3…エッジ抽出処理
P4…エッジ膨張処理
P5…濃度データ抽出処理
Claims (4)
- 走査型電子顕微鏡装置の状態を金属粒子画像から評価するための方法であって、
ノイズを除去した画像の画質を定量化して画質評価値を得る画質定量化工程を有し、前記画質定量化工程は、金属粒子画像の濃度ヒストグラムからパターン部と背景部との分離度を算出し、その分離度の値を画質評価値とする判別分析工程を含み、金粉粒子画像全体または所望の領域のみを抽出する領域抽出工程と、二値化するためのしきい値を求めるしきい値算出工程と、しきい値によりパターン部と背景部に分ける二値化工程と、二値画像に対して金粉粒子のエッジを抽出するエッジ抽出工程と、エッジの幅を広げる膨張処理工程と、元の金粉粒子画像から膨張処理したエッジ部分のみの濃度ヒストグラムを抽出するエッジ濃度情報抽出工程とを含むことを特徴とする走査型電子顕微鏡装置の評価方法。 - 前記画質定量化工程のほかに、金属粒子画像を入力する画像入力工程と、入力した画像のノイズを除去するノイズ除去工程と、画質評価値に基いて画質の良否を判定する判定工程と、その判定結果を表示する表示工程とを含むことを特徴とする請求項1記載の走査型電子顕微鏡装置の評価方法。
- 走査型電子顕微鏡装置の状態を金属粒子画像から評価するための装置であって、
ノイズを除去した画像の画質を定量化して画質評価値を得る画質定量化手段を具備し、前記画質定量化手段は、金属粒子画像の濃度ヒストグラムからパターン部と背景部との分離度を算出し、その分離度の値を画質評価値する判別分析手段と、金粉粒子画像全体または所望の領域のみを抽出する領域抽出手段と、二値化するためのしきい値を求めるしきい値算出手段と、しきい値によりパターン部と背景部に分ける二値化手段と、二値画像に対して金粉粒子のエッジを抽出するエッジ抽出手段と、エッジの幅を広げる膨張処理手段と、元の金粉粒子画像から膨張処理したエッジ部分のみの濃度ヒストグラムを抽出するエッジ濃度情報抽出手段とを具備することを特徴とする走査型電子顕微鏡装置の評価装置。 - 前記画質定量化手段のほかに、金属粒子画像を入力する画像入力手段と、入力した画像のノイズを除去するノイズ除去手段と、画質評価値に基いて画質の良否を判定する判定手段と、その判定結果を表示する表示手段とを具備することを特徴とする請求項3記載の走査型電子顕微鏡装置の評価装置。
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