JP5030708B2 - 薄膜形成装置の振動計測および検査方法 - Google Patents
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Description
具体的には、高速で運動するローラの回転運動とテーブルの直線運動の関係は、動的に測定することが必要であるが、その測定した情報から両者の連動運動を測定し、装置据付調整や検査手段として利用できる測定装置がなかったために、当該装置を適切に調整するための客観的データを得る手段がなかったのである。
物体の運動を測定する手段として一般的に用いられているものに加速度センサがあるが、本発明ではこれを複数個効果的に利用する。
ローラの回転運動とテーブルの直線運動の連動する関係を知るために、各運動方向の要所に同一感度を有する加速度センサを配置し、装置の運転中に動的に測定し同時記録する。テーブルの直線運動に伴って水平方向と垂直方向の振動が発生するので、装置据付調整や検査手段として、これら2方向の運動測定のための加速度センサを一組として、テーブルの始点と終点及び複数の中間点に配置する。以下、具体的に説明する。
図2(b)は加速度センサ5−1が検出したテーブル3の始点における水平方向の振動データである。左側に時系列データを、右側にその振動スペクトルを示す。さらに、図2(c)に加速度センサ5−1が検出したテーブル3の始点における垂直方向の振動データを示す。左側が時系列データ、右側がその振動スペクトルである。
各時系列データにおいて、0秒から10秒付近までが起動から印刷準備行程、10秒から12秒までが印刷工程、12秒から25秒までが戻り行程を表わしている。
また、当該装置の性能を一定に保つための品質管理や据付調整のための検査方法として、本発明の振動計測及び検査方法を用いることで、客観的に薄膜形成装置の性能評価を行うことができる。
2 ローラ
3 テーブル
4 スリップリング
5 加速度センサ(テーブル用)
6 ローパスフィルタ
7 多チャンネル記録表示装置
Claims (2)
- ローラの回転方向に取付けられた加速度センサと、テーブルの運動方向とその直交方向に数箇所取付けられた加速度センサとを信号検出手段として、ローラの回転運動とテーブルの直線運動の連動運動を計測する
ことを特徴とする薄膜形成装置の振動計測及び検査方法。 - ローラの回転方向に取付けられた加速度センサの信号を検出するとともに、テーブルの運動方向とその直交方向に数箇所取付けられた加速度センサの信号を検出し、これらの検出された加速度信号をローパスフィルタを通して多チャンネル記録装置に収録する測定システムを構成し、上記ローラと上記テーブルの連動運動における加速度センサの信号を同時比較することを特徴とする、請求項1に記載の薄膜形成装置の振動計測及び検査方法。
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