JP5026217B2 - ピーラブル金属箔およびその製造方法 - Google Patents
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Description
透過電子顕微鏡(TEM、日本電子製JEM−1230)もしくは走査電子顕微鏡(SEM、日立製作所製S−4000型)にて撮像した写真より測定した。
より耐熱性を明確にする目的で、厚みが25μmの接着層付きポリイミドフィルム(宇部興産社製、VT25)を250mm角に裁断したものを絶縁層基材として用い、この両面に各ピーラブル金属箔を金属箔側がポリイミドフィルムに面するように配置した。これを1セットとし、各々5セット分をレイアップしたものの最外層両面にのみ、厚さが1.5mmのステンレス製鏡面板を配置し、プレス機(北川精機製200トン真空プレス機)の熱盤にセットした。
金属製キャリアとして厚みが50μmのアルミ箔(東洋アルミニウム社製、A1N30H、表面粗度Rz=0.65μm)を用い、その片面にスパッタリングにより0.1μm厚みの銅層を形成した(金属層(I))。次いで、スパッタリングにより銅層の上にニッケルクロム合金(Ni/Cr=90/10)からなる厚みが0.01μmの金属層を形成した(金属層(II))。
金属製キャリアとして厚みが50μmのアルミ箔(東洋アルミニウム社製、A1N30H)を用い、その片面にスパッタリングにより0.01μm厚みのニッケルクロム合金(Ni/Cr=90/10)からなる金属層(I)を形成した。次いで、スパッタリングにより金属層(I)の上に0.1μm厚みの銅からなる金属層(II)を形成した。
金属製キャリアとして厚みが50μmのアルミ箔(東洋アルミニウム社製、A1N30H)を用い、その片面にスパッタリングにより0.1μm厚みの銅からなる金属層(I)を形成した。次いで、金属層(II)として硫酸銅水溶液を主成分とするめっき液中でキャリア自体をカソード分極する電気めっき法にて平滑な表面を有する3μm厚みのめっき銅層を得た。次いで、スパッタリングによりめっき銅層の上にニッケルクロム合金(Ni/Cr=90/10)からなる厚みが0.01μmの金属蒸着層を形成した。
金属製キャリアとして厚みが18μmの電解金属箔(古河サーキットフォイル社製、F2WS−18)を用い、その平滑な鏡面側(表面粗度Rz=1.27μm)にスパッタリングにより0.5μm厚みの銅からなる金属層(I)を形成した。次いで、金属層(II)として、シアン化銅水溶液を主成分とするめっき液中でキャリア自体をカソード分極する電気めっき法にて平滑な表面を有する2μm厚みの銅めっき層を得た。次いで、スパッタリングにより銅めっき層の上にニッケルからなる厚みが0.01μmの金属蒸着層を形成した。
金属製キャリアとして厚みが50μmのアルミ箔(東洋アルミニウム社製、A1N30H)を用い、その片面に真空蒸着により0.3μm厚みの銅からなる金属層(I)を形成した。次いで、金属層(II)として、ピロリン酸銅水溶液を主成分とするめっき液中でキャリア自体をカソード分極する電気めっき法にて平滑な表面を有する3μm厚みの銅めっき層を得た。次いで、スパッタリングにより銅めっき層の上にニッケルクロム合金(Ni/Cr=90/10)からなる厚みが0.01μmの金属蒸着層を形成した。
金属製キャリアとして厚みが50μmのアルミ箔(東洋アルミニウム社製、A1N30H)を用い、その片面にスパッタリングにより0.1μm厚みのニッケル箔を形成した。次いで、スパッタリングによりニッケル箔の上にニッケルクロム合金(Ni/Cr=90/10)からなる厚みが0.01μmの金属蒸着層を形成した。
金属製キャリアとして厚みが18μmの電解金属箔(古河サーキットフォイル社製、F2WS−18)を用い、その平滑な鏡面側(表面粗度Rz=1.27μm)に硫酸銅水溶液を主成分とするめっき液中でキャリア自体をカソード分極する電気めっき法にて直接3μm厚みのめっき銅層を形成した。次いで、スパッタリングにより銅めっき層の上にニッケルクロム合金(Ni/Cr=90/10)からなる厚みが0.01μmの金属蒸着層を形成した。
金属製キャリアとして厚みが50μmのアルミ箔(東洋アルミニウム社製、A1N30H)の全面に電気めっき法により亜鉛からなる厚みが1μmのめっき層を形成したものを用い、硫酸銅水溶液を主成分とするめっき液中でキャリア自体をカソード分極する電気めっき法にて3μm厚みのめっき銅層を形成した。次いで、スパッタリングにより銅めっき層の上にニッケルクロム合金(Ni/Cr=90/10)からなる厚みが0.01μmの金属蒸着層を形成した。
結果を表1に示す。
Claims (7)
- 金属製キャリアの少なくとも片面に金属箔が積層されてなるピーラブル金属箔において、金属箔は、金属製キャリアとの界面に蒸着された金属層(I)と、金属層(I)上に蒸着または電気めっきにより形成された1層以上の金属層(II)とからなる積層構造を有し、金属製キャリアと金属層(I)との界面においてピーラブル性を有していることを特徴とするピーラブル金属箔。
- 金属層(I)および(II)が、それぞれ、銅、ニッケル、亜鉛、クロム、コバルト、チ
タン、スズ、白金、銀、金もしくはこれらを含む合金から選ばれたものである請求項1記載のピーラブル金属箔。 - 金属層(I)の厚みが0.01〜0.5μmであって、かつ、金属箔全体の厚みが0.
1〜9μmであることを特徴とする請求項1または2に記載のピーラブル金属箔。 - 金属製キャリアが、アルミ箔もしくは銅箔からなることを特徴とする請求項1〜3いずれかに記載のピーラブル金属箔。
- 金属製キャリアにおける金属箔が積層される面の表面粗度が2μm(Rz)以下である
請求項1〜4いずれかに記載のピーラブル金属箔。 - 金属製キャリアの少なくとも片面に、蒸着により金属を析出させて蒸着層を形成し、次いで、前記蒸着層上にさらに蒸着もしくは電気めっきにより1層以上の金属層を形成して、層構造を有する金属箔を積層させることを特徴とするピーラブル金属箔の製造方法。
- 蒸着金属が、銅、ニッケル、亜鉛、クロム、コバルト、チタン、スズ、白金、銀、金もしくはこれらを含む合金から選ばれる金属であることを特徴とする請求項6記載の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007264439A JP5026217B2 (ja) | 2007-10-10 | 2007-10-10 | ピーラブル金属箔およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007264439A JP5026217B2 (ja) | 2007-10-10 | 2007-10-10 | ピーラブル金属箔およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009090570A JP2009090570A (ja) | 2009-04-30 |
JP5026217B2 true JP5026217B2 (ja) | 2012-09-12 |
Family
ID=40663043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007264439A Expired - Fee Related JP5026217B2 (ja) | 2007-10-10 | 2007-10-10 | ピーラブル金属箔およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5026217B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102452197B (zh) | 2010-10-21 | 2014-08-20 | 财团法人工业技术研究院 | 附载箔铜箔及其制造方法 |
US8828245B2 (en) | 2011-03-22 | 2014-09-09 | Industrial Technology Research Institute | Fabricating method of flexible circuit board |
JP5834691B2 (ja) * | 2011-09-22 | 2015-12-24 | 利昌工業株式会社 | 金属ベース片面銅張板の製造方法 |
JP6085919B2 (ja) * | 2012-08-31 | 2017-03-01 | 味の素株式会社 | 極薄銅層付きフィルム、極薄銅層付き接着フィルム、それらの製造方法、銅張積層板、及び配線板 |
CN104582950B (zh) | 2012-09-05 | 2016-07-20 | 东丽株式会社 | 层合体 |
WO2016143117A1 (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-15 | 三井金属鉱業株式会社 | キャリア付き金属箔及び配線基板の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004009357A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | Toyo Metallizing Co Ltd | 金属蒸着/金属メッキ積層フィルム及びこれを用いた電子部品 |
JP2004228108A (ja) * | 2003-01-20 | 2004-08-12 | Hitachi Metals Ltd | 積層箔 |
JP2004243551A (ja) * | 2003-02-12 | 2004-09-02 | Hitachi Metals Ltd | 積層箔 |
JP5002943B2 (ja) * | 2004-11-10 | 2012-08-15 | 日立化成工業株式会社 | 接着補助剤付金属箔及びそれを用いたプリント配線板 |
-
2007
- 2007-10-10 JP JP2007264439A patent/JP5026217B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009090570A (ja) | 2009-04-30 |
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A977 | Report on retrieval |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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