JP5023023B2 - プレーナ型アクチュエータ - Google Patents
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Description
そして、このようなアクチュエータは、例えば、可動部にミラーを設けることで光ビームを偏向走査する光スキャナなどに適用される。
図1および図2は、本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第1実施形態を示したものである。
2 デバイス基板
3 固定部
4 可動部
5 トーションバー
6 反射ミラー
7 静磁界発生部材
8 構造発色体
9 発光器
10 受光器
11 カラーフィルタ
12 フォトダイオード
13 第2可動部
14 第2受光器
Claims (5)
- デバイス基板に設置された枠状の固定部と、
前記固定部の内側に、トーションバーを介して回動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部と、
前記可動部の表面に設置され光の入射角度に応じて異なる色を反射する構造発色体と、
前記構造発色体に光を照射する発光器と、
前記発光器から照射され前記構造発光体により反射された光を受光する受光器と、
を備えていることを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。 - 前記固定部と前記可動部の間に、前記可動部を前記トーションバーを介して回動自在に支持するとともに、前記固定部に前記トーションバーを介して回動自在に支持された第2可動部を設け、
前記第2可動部の表面に前記発光器から照射される光の入射角度に応じて異なる色を反射する構造発色体を配置するとともに、前記第2可動部の構造発色体から反射された光を受光する受光器を配置したことを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。 - 前記受光器は、前記構造発光体からの反射光のうち特定の波長の光を透過させるカラーフィルタと、このカラーフィルタを透過した光を検出するフォトダイオードとから構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記受光器は、前記構造発光体からの反射光のRGBの光量変化を連続して検出するカラーセンサにより構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記受光器は、前記構造発光体からの反射光の波長を連続して検出する分光器により構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータ。
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