JP5021394B2 - ACF pasting device and flat panel display manufacturing device - Google Patents

ACF pasting device and flat panel display manufacturing device Download PDF

Info

Publication number
JP5021394B2
JP5021394B2 JP2007214891A JP2007214891A JP5021394B2 JP 5021394 B2 JP5021394 B2 JP 5021394B2 JP 2007214891 A JP2007214891 A JP 2007214891A JP 2007214891 A JP2007214891 A JP 2007214891A JP 5021394 B2 JP5021394 B2 JP 5021394B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
acf
tape
substrate
peeling
pasting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2007214891A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2009049237A (en
Inventor
秀樹 野本
淳 斧城
仁志 米沢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi High Technologies Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi High Technologies Corp filed Critical Hitachi High Technologies Corp
Priority to JP2007214891A priority Critical patent/JP5021394B2/en
Priority to KR1020080081522A priority patent/KR100967687B1/en
Priority to TW097131730A priority patent/TWI383718B/en
Priority to CN2008102142321A priority patent/CN101373285B/en
Publication of JP2009049237A publication Critical patent/JP2009049237A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5021394B2 publication Critical patent/JP5021394B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1345Conductors connecting electrodes to cell terminals
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67132Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/79Apparatus for Tape Automated Bonding [TAB]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
  • Combinations Of Printed Boards (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

本発明は、基板にドライバ回路等の半導体回路素子を搭載するために、この基板にACF(Anisotropic Conductive Film)を貼り付けるためのACF貼付け装置、このACF貼付け装置を含むフラットパネルディスプレイの製造装置及びこのフラットパネルディスプレイの製造装置を用いて製造されたフラットパネルディスプレイに関するものである。   The present invention relates to an ACF adhering device for adhering an ACF (Anisotropic Conductive Film) to a substrate for mounting a semiconductor circuit element such as a driver circuit on the substrate, an apparatus for manufacturing a flat panel display including the ACF adhering device, and The present invention relates to a flat panel display manufactured using the flat panel display manufacturing apparatus.

フラットパネルディスプレイの1つに液晶ディスプレイがある。液晶ディスプレイは、上下2枚の透明基板からなる液晶パネルの間に液晶を封入して構成されている。液晶パネルには、ドライバ回路を介して印刷回路基板が接続される構成となっており、ドライバ回路のインナ側の電極は液晶パネルに、アウタ側の電極は印刷回路基板に接続されている。ドライバ回路の搭載方式としては、TAB(Tape Automated Bonding)方式とCOG(Chip On Glass)方式とが代表的であるが、いずれにしても、液晶パネルの表面の少なくとも2辺に配線パターンが形成され、この配線パターンにおける電極とドライバ回路の電極とが電気的に接続される。   One flat panel display is a liquid crystal display. The liquid crystal display is configured by enclosing a liquid crystal between liquid crystal panels composed of two upper and lower transparent substrates. A printed circuit board is connected to the liquid crystal panel via a driver circuit. The inner electrode of the driver circuit is connected to the liquid crystal panel, and the outer electrode is connected to the printed circuit board. The driver circuit mounting method is typically a TAB (Tape Automated Bonding) method or a COG (Chip On Glass) method, but in any case, a wiring pattern is formed on at least two sides of the surface of the liquid crystal panel. The electrodes in this wiring pattern and the electrodes of the driver circuit are electrically connected.

ドライバ回路と液晶パネル基板との間、ドライバ回路と印刷回路基板との間の電気的な接続には、ACFが用いられる。ACFは粘着性のあるバインダ樹脂に微小な導電粒子を均一に分散させたものであり、このACFを熱圧着することにより、導電粒子を介して電極間が電気的に接続している。そして、加熱によりバインダ樹脂を硬化させて、ドライバ回路を液晶パネルや印刷回路基板に固定するようにしている。   An ACF is used for electrical connection between the driver circuit and the liquid crystal panel substrate and between the driver circuit and the printed circuit board. The ACF is obtained by uniformly dispersing minute conductive particles in an adhesive binder resin, and the electrodes are electrically connected through the conductive particles by thermocompression bonding of the ACF. Then, the binder resin is cured by heating, and the driver circuit is fixed to the liquid crystal panel or the printed circuit board.

TAB方式によりドライバ回路を液晶パネルに搭載する場合、液晶パネルの基板における配線パターンが設けられている部位にACFを貼り付けて、ドライバ回路としてのTCP(Tape Carrier Package)を基板にTAB搭載する。ACFは粘着物質であるため、台紙テープに剥離層を介して積層されており、これによりACFテープを構成している。従って、ACFテープを基板に押し付けた状態で、台紙テープだけを剥離して、ACFを基板に貼り付けている。   When a driver circuit is mounted on a liquid crystal panel by the TAB method, an ACF is attached to a portion where a wiring pattern is provided on a substrate of the liquid crystal panel, and a TCP (Tape Carrier Package) as a driver circuit is mounted on the substrate. Since ACF is an adhesive substance, it is laminated on the backing tape via a release layer, thereby constituting an ACF tape. Therefore, with the ACF tape pressed against the substrate, only the mount tape is peeled off and the ACF is attached to the substrate.

ACFを基板に貼り付けるときに、常に適正な位置にACFが貼り付けられるとは限らない。通常は、仮圧着を行い、ドライバ回路の搭載後に加熱した状態で加圧して接合してバインダ樹脂を熱硬化させる本圧着が行われる。従って、ACFと基板とは仮圧着の状態で、ACFが適正に貼り付けられているか否かの検査を行うことが望ましい。   When the ACF is attached to the substrate, the ACF is not always attached at an appropriate position. Usually, temporary press-bonding is performed, and after the driver circuit is mounted, press-bonding is performed in a heated state and bonded to thermally cure the binder resin. Therefore, it is desirable to inspect whether the ACF is properly attached while the ACF and the substrate are temporarily bonded.

ACFの貼付け状態の検査を行う技術が特許文献1に開示されている。特許文献1では、テープ部材が適正に貼付された電極部の撮像パターンとテープ部材が貼付される前の電極部の撮像パターンとの差を基準パターンとして記憶し、新たにテープ部材が貼付された基板の撮像パターンとテープ部材が貼付される前の電極部の撮像パターンとの差を得て、この差のパターンと基準パターンとを比較して、パターン比較によるマッチング率を算出して良品と不良品との判別を行っている。
特開2003−142900号公報
Patent Document 1 discloses a technique for inspecting the ACF attachment state. In Patent Document 1, the difference between the imaging pattern of the electrode part to which the tape member is properly attached and the imaging pattern of the electrode part before the tape member is attached is stored as a reference pattern, and the tape member is newly attached. The difference between the imaging pattern of the substrate and the imaging pattern of the electrode part before the tape member is affixed is obtained, the pattern of the difference is compared with the reference pattern, and the matching rate is calculated by pattern comparison to determine whether the product is good or not Discrimination from non-defective products is performed.
JP 2003-142900 A

ACFを基板に貼り付けるときには、特許文献1で開示されているように、基板の1辺における全長にわたって連続的に貼り付ける一括貼りと、電極群毎に分割して個別的にACFを貼り付ける分割貼りと、がある。基板に形成される微小ピッチの電極は、ドライバ回路毎に所定数の電極群として1つのグループを形成しており、各電極群は、隣接する電極群との間に空白領域が形成されている。空白領域にはACFを貼り付ける必要がないことから、不必要な空白領域にACFが貼り付けられない分割貼りを採用することで、材料に無駄が生じることを防止し、また空白領域にACFを構成する粘着性のある樹脂と導電粒子とが露出することによって、ドライバ回路を搭載した後の処理や加工にとって不都合が生じることを回避することができる。   When the ACF is pasted on the substrate, as disclosed in Patent Document 1, batch pasting that is continuously pasted over the entire length of one side of the substrate and division in which the ACF is pasted separately for each electrode group There is paste. The minute pitch electrodes formed on the substrate form one group as a predetermined number of electrode groups for each driver circuit, and each electrode group has a blank region between adjacent electrode groups. . Since it is not necessary to paste the ACF in the blank area, it is possible to prevent the material from being wasted by adopting the division pasting in which the ACF is not stuck in the unnecessary blank area, and the ACF is added to the blank area. By exposing the adhesive resin and the conductive particles to be configured, it is possible to avoid inconvenience for processing and processing after the driver circuit is mounted.

一括貼りであっても、分割貼りであっても、ACFの貼付け状態の検査を行った結果、ACFの貼付け状態の検査を行った後に、貼付け状態が良好でない場合には、ACFを剥離して、再度貼り直しを行わなくてはならない。しかし、一括貼りの場合には、基板の全長にわたる1枚の長いACFであるため、このACFのうちごく一部の部位の貼付け状態が良好でない場合であっても、1枚の長いACF全体を剥離しなければならない。この場合、基板の全長にわたるACFを剥離するためには複雑な機構が必要になり、またごく一部の部位の貼付け状態の不良のために、基板の全長にわたるACF全体を剥離しなければならず、ACFの材料に無駄を生じることになる。一方、分割貼りの場合には、一括貼りのACFと比べてその全長は非常に短いため、剥離するための機構もそれほど複雑にならず、また剥離する必要のあるACFだけを剥離するため、ACFの材料に無駄が生じることを抑制することができる。   Whether it is batch pasting or split pasting, after performing the inspection of the ACF pasting state, if the pasting state is not good after the ACF pasting state inspection, the ACF is peeled off. , You have to re-paste. However, in the case of batch bonding, since it is one long ACF over the entire length of the substrate, even if the pasting state of only a part of this ACF is not good, the entire long ACF is removed. Must be peeled off. In this case, a complicated mechanism is required to peel off the ACF over the entire length of the substrate, and the entire ACF over the entire length of the substrate has to be peeled because of the poor pasting condition of a small part. , Waste of ACF material is caused. On the other hand, in the case of split pasting, the total length is very short compared to the batch pasting ACF, so the mechanism for peeling is not so complicated, and only the ACF that needs to be peeled is peeled off. It is possible to suppress the waste of the material.

そして、貼り直しが必要なACFを検出した場合には、液晶パネルを一度ラインから排出して、ACFの貼り直し作業を行って、再度ラインに戻される。これらの作業は、オペレータによりなされるため、オペレータの介在が必要になる。そして、オペレータにより各作業が行われるため、全体としての作業効率が低下するという問題がある。   When an ACF that needs to be reattached is detected, the liquid crystal panel is once discharged from the line, the ACF reattachment operation is performed, and the ACF is returned to the line again. Since these operations are performed by an operator, intervention of the operator is required. And since each operation | work is performed by an operator, there exists a problem that the work efficiency as a whole falls.

そこで、本発明は、ACFの分割貼りを行って、貼り直しが必要なACFだけを貼り直す作業を自動的に行うことを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to automatically perform an operation of performing ACF divisional pasting and reattaching only an ACF that needs to be pasted again.

本発明の請求項1のACF貼付け装置は、台紙テープにACFを貼り付けたACFテープから、複数の電極が群として複数群形成された基板に電極群毎にACFを個別的に貼り付けるために、前記ACFテープを前記基板に向けて押圧するように昇降駆動可能な圧着ヘッドを備え、前記基板の電極群の配列方向と平行に移動可能なACF貼付け手段と、記基板に貼り付けられたACFを前記基板から剥離するために、剥離テープを前記基板に向けて押圧するように昇降駆動可能な押圧部材を有し、前記基板の電極群の配列方向と平行に移動可能な剥離手段と、前記基板に貼付けられたACFのうち、貼付け状態が不良であり、且つ貼り直しが必要なACFを検出する検査手段とからなり、前記検査手段でACFの貼り直しが必要であると判断されたときには、この貼り直しが必要なACF上に前記剥離手段の前記剥離テープを押圧して剥離し、この剥離したACFの位置に前記ACF貼付け手段で再度ACFの貼り直しを行うことを特徴としている。 The ACF adhering apparatus according to claim 1 of the present invention is for individually attaching ACF for each electrode group from an ACF tape in which ACF is attached to a mount tape to a substrate on which a plurality of electrodes are formed as a group. the ACF toward the tape on the substrate provided with a lifting drivable crimping head so as to press, the arrangement direction and parallel to movable ACF joining means of the electrode group of the substrate, affixed before Symbol substrate In order to peel the ACF from the substrate , a peeling member having a pressing member that can be driven up and down to press the peeling tape toward the substrate, and movable in parallel with the arrangement direction of the electrode group of the substrate ; of the ACF attached on the substrate, joining state is bad, consists of a inspection means you detect and reattachment requires ACF, determine that it is necessary to reattachment of ACF at the inspection means Is when was the characterized the peeling tape is peeled off by pressing the said ACF joining reattachment lines Ukoto again ACF by a means to a position of the exfoliated ACF of the release means on the reattachment requires ACF It is said.

請求項1のACF貼付け装置によれば、個別的にACFを貼り付ける分割貼りを行う場合において、制御装置がACF貼り付け手段と検査手段と剥離手段とを制御することにより、貼り直しが必要なACFを自動的に検出して、剥離及び貼り直しを自動的に行うことができる。このため、オペレータが介在することなく、作業効率が低下することがない。また、分割貼りを行っているため、機構の複雑化を招来することなく、また必要なACFだけの貼り直しをすることで、貼り直しが不要なACFが剥離されることによる材料の無駄を抑制することができる。   According to the ACF adhering device of claim 1, in the case of performing the division adhering in which the ACF is individually applied, the control device controls the ACF adhering unit, the inspection unit, and the peeling unit, so that reapplying is necessary. ACF can be automatically detected, and peeling and reattaching can be performed automatically. For this reason, work efficiency does not fall without an operator intervening. In addition, because it is divided and pasted, the mechanism is not complicated, and only the necessary ACF is re-applied, so that waste of material caused by peeling off the ACF that does not need to be re-applied is suppressed. can do.

ここで、基板に対してのACFの貼付け不良については、ACFが基板に貼付けられていない場合や基板に対してACFがめくれが生じている場合、浮いている場合等に、貼付け不良と判定することができる。このような貼付け不良のうち、ACFが基板に貼り付けられていない場合には、当然貼り直しを要することになる。また、めくれが生じている場合には、めくれたまま本圧着されると、ACFの貼付け領域が不足したり、ACFの厚みが不均一になったりするため、ACFの貼り直しが必要になる。   Here, with regard to the poor attachment of the ACF to the substrate, it is determined that the attachment is defective when the ACF is not attached to the substrate, when the ACF is turned over to the substrate, or when it is floating. be able to. Of these poor attachments, if the ACF is not attached to the substrate, it will of course require reattachment. In addition, when turning-up occurs, if the final pressure bonding is performed while turning up, the ACF attaching region becomes insufficient or the thickness of the ACF becomes non-uniform, so that the ACF needs to be attached again.

液晶パネルを構成する基板には、電極群毎にドライバ回路を位置合わせするためのアライメントマークが設けられており、ACFの端部に近接した位置にアライメントマークが設けられている。従って、この部位のACFが基板から浮いていると、アライメントマークを誤検出するおそれがあり、ドライバ回路と液晶パネルとの相対位置関係に大きなずれを生じることになる。このため、ACFに生じている浮きが端部の場合、特にアライメントマーク近傍が浮いている場合には、ACFの貼り直しが必要になる。しかし、ACFの端部以外の部位に浮きが生じていたとしても、ACFは基板に対して仮圧着された後に本圧着されるため、仮圧着時にACFの端部以外の部位に浮きが生じたとしても、後に本圧着されるため、貼り直しを行う必要はない。   An alignment mark for aligning the driver circuit is provided for each electrode group on the substrate constituting the liquid crystal panel, and the alignment mark is provided at a position close to the end of the ACF. Therefore, if the ACF at this portion is floating from the substrate, the alignment mark may be erroneously detected, resulting in a large shift in the relative positional relationship between the driver circuit and the liquid crystal panel. For this reason, when the float generated in the ACF is an end portion, particularly when the vicinity of the alignment mark is lifted, it is necessary to reattach the ACF. However, even if there is a float at a portion other than the end portion of the ACF, the ACF is temporarily bonded to the substrate and then finally pressed, so that the floating portion is generated at a portion other than the end portion of the ACF at the time of temporary press bonding. However, since it is finally pressure-bonded later, there is no need to re-paste.

従って、貼付け状態が不良の場合であっても、全て貼り直しを行うのではなく、貼り直しを要する場合のみ貼り直し作業を行うことにより、処理効率が向上し、ACFの無駄や機構の複雑化を回避することができる。   Therefore, even if the pasting state is not good, it is not necessary to re-paste everything, but the re-paste work is performed only when it is necessary to re-paste, thereby improving processing efficiency, waste of ACF, and complexity of the mechanism. Can be avoided.

本発明の請求項2のACF貼付け装置は、請求項1記載のACF貼付け装置において、前記ACF貼付け手段は、さらに前記ACFテープを送り出すACFテープ供給手段と、前記ACFテープ供給手段から送り出される前記台紙テープに連続性を持たせ、ACFを前記基板の各々の電極群に貼り付ける長さ分毎に切断するハーフカット手段とを、有することを特徴とする。 The ACF adhering apparatus according to claim 2 of the present invention is the ACF adhering apparatus according to claim 1, wherein the ACF adhering means further includes an ACF tape supplying means for sending out the ACF tape, and the table sent out from the ACF tape supplying means. paper tape to have continuity, and half-cut means for cutting the ACF for each length fraction pasted to each of the electrode groups of the substrate, and having.

請求項2のようなACF貼付け装置を適用することにより、ACFを個別的に分割貼りすることができる。また、貼り直しが必要なACFを剥離した後には、このACF貼付け装置を適用することにより、個別的に必要な箇所だけACFを貼り付けることが可能になる。   By applying the ACF sticking apparatus as in claim 2, the ACF can be divided and stuck individually. In addition, after the ACF that needs to be reattached is peeled off, by applying this ACF attaching device, it becomes possible to attach the ACF to only the necessary portions individually.

本発明の請求項3のACF貼付け装置は、請求項1記載のACF貼付け装置において、 前記検査手段は、前記基板に貼り付けられたACFの両端部分を撮影する撮影手段と、 基準となるACFの画像と前記撮影手段により撮影されたACFの画像とのパターンマッチングを行って貼付け状態を判定する判定手段とを、有する、ことを特徴とする。   The ACF adhering apparatus according to claim 3 of the present invention is the ACF adhering apparatus according to claim 1, wherein the inspection means includes imaging means for photographing both end portions of the ACF attached to the substrate, and a reference ACF. And determining means for determining a pasting state by performing pattern matching between an image and an ACF image photographed by the photographing means.

ACFの貼付け状態を検査するために、請求項3のような検査手段を適用することができる。この場合、予め良好な貼付け状態のACFの画像を基準の画像として取得して記憶しておき、撮影手段により撮影されたACFの画像と基準となるACFの画像とをパターンマッチングすることにより、検査することができる。パターンマッチングを行うときには、両画像が完全に一致していなくても、両画像の差分が許容範囲内であれば、貼り直しを要しないと判定することもできる。   In order to inspect the attachment state of the ACF, an inspection means as in claim 3 can be applied. In this case, an ACF image in a good affixed state is acquired and stored as a reference image in advance, and pattern inspection is performed by pattern matching between the ACF image captured by the imaging unit and the reference ACF image. can do. When performing pattern matching, even if the two images do not completely match, it can be determined that re-pasting is not required if the difference between the two images is within an allowable range.

ここで、各ACFにおいて、ACFの貼付け領域の全長の画像を取得する必要はなく、その両端部分だけを取得すればよい。つまり、両端部分以外の中間部分については画像を取得しなくてもよい。前述したように、貼り直しが必要であると判定されるのは、端部に浮きやめくれが生じている場合であるためである。従って、取得する画像領域はACFの両端部分だけでよいため、撮影手段を広範囲とする必要がない。このため、取得される画像データを非常に小さいものとすることができるため、パターンマッチングを行うときの画像処理を高速にすることができ、処理効率の向上を図ることができる。また、取得する画像データが非常に小さいため、高精度な画像処理を施すことも可能になる。   Here, in each ACF, it is not necessary to acquire an image of the entire length of the ACF attachment region, and only the both end portions need be acquired. In other words, images need not be acquired for intermediate portions other than both end portions. As described above, it is determined that re-sticking is necessary because the end portion is lifted or turned up. Therefore, since the image area to be acquired need only be at both ends of the ACF, it is not necessary to make the photographing means wide. For this reason, since the acquired image data can be very small, the image processing when performing pattern matching can be performed at high speed, and the processing efficiency can be improved. Moreover, since the image data to be acquired is very small, it is possible to perform high-precision image processing.

本発明の請求項4のACF貼付け装置は、請求項1記載のACF貼付け装置において、前記剥離手段は、前記基板よりもACFに対しての粘着性が高い剥離テープを送り出す剥離テープ供給手段を有するものであり、前記押圧部材は、前記剥離テープ供給手段から送り出される剥離テープを、前記基板に貼り付けられたACFに押圧することを特徴としている。 The ACF sticking apparatus according to claim 4 of the present invention is the ACF sticking apparatus according to claim 1, wherein the peeling means has a peeling tape supply means for sending out a peeling tape having higher adhesiveness to the ACF than the substrate. is intended, the pressing member, the peeling tape fed from the peeling tape feeding means, is characterized in that for pressing the ACF affixed to the substrate.

貼り直しが必要なACFを剥離するために、請求項4のような剥離手段を適用することができる。ACFは粘着性により基板に貼り付けられているため、基板よりも高い粘着性を有する剥離テープを用いることにより、ACFを剥離することができる。複数のACFを剥離するために、剥離テープ供給手段を設けて、剥離テープを連続的に送り出して、順次ACFを剥離させていく。このとき、基板上の剥離されたACFの部位には、バインダ樹脂等が若干残存していることになるが、後にこの部位にはACFが再度貼り直されるため、特段の問題は招来しない。また、請求項4の剥離テープに、例えばIPA(イソプロピルアルコール)等の溶剤を含浸させておけば、より効率的にACFを剥離することが可能である。   In order to peel off the ACF that needs to be reattached, a peeling means as in claim 4 can be applied. Since the ACF is attached to the substrate due to adhesiveness, the ACF can be peeled off by using a release tape having higher adhesiveness than the substrate. In order to peel off a plurality of ACFs, a peeling tape supply means is provided, and the peeling tape is continuously fed out to sequentially peel off the ACFs. At this time, the binder resin or the like slightly remains in the part of the ACF peeled off from the substrate. However, since the ACF is reattached to this part later, no particular problem is caused. Further, if the release tape of claim 4 is impregnated with a solvent such as IPA (isopropyl alcohol), the ACF can be more efficiently peeled off.

本発明の請求項5のACF貼付け装置は、請求項1記載のACF貼付け装置において、前記ACF貼付け手段と前記剥離手段とは同一の駆動手段によって、相互に干渉しないように前記基板の電極群の配列方向と平行に移動できるように構成したことを特徴とし、さらに本発明の請求項6のACF貼付け装置は、請求項5記載のACF貼付装置において、前記ACF貼付け手段及び前記剥離手段は、ボールねじ送り手段にそれぞれクラッチを介して装着する構成としたことを特徴している。さらに、本発明の請求項のフラットディスプレイディスプレイの製造装置は、 請求項1乃至の何れか1項に記載のACF貼付け装置を有してい The ACF bonding apparatus according to claim 5 of the present invention is the ACF bonding apparatus according to claim 1, wherein the ACF bonding means and the peeling means are arranged on the electrode group of the substrate so as not to interfere with each other by the same driving means. The ACF adhering device according to claim 6 of the present invention is characterized in that the ACF adhering device according to claim 6 is a ball, wherein the ACF adhering means and the peeling means are balls. It is characterized in that each screw feed means is mounted via a clutch. Furthermore, the manufacturing apparatus of a flat display The display of Claim 7 of the present invention, that has an ACF application device according to any one of claims 1 to 6.

本発明は、ACFの分割貼りを行うときに、貼り直しが必要なACFを自動的に検出し、貼り直しを自動的に行うことができる。オペレータが介在することなく自動的にACFの貼り直し作業を行うことで、作業効率の向上を図ることができ、また分割貼りを行うことで、ACFの材料の無駄が生じることを防止することができる。   The present invention can automatically detect an ACF that needs to be reattached and perform reattachment automatically when performing ACF divisional attachment. It is possible to improve the work efficiency by automatically performing the ACF reattaching operation without an operator, and to prevent the ACF material from being wasted by performing the division attaching. it can.

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図1は、フラットパネルディスプレイの一例としての液晶ディスプレイを構成する液晶パネルを示し、またACFを介して搭載される半導体回路の一例として、基板にTAB搭載されるTCPからなるドライバ回路を示す。なお、基板は液晶パネル構成するものだけではなく、印刷回路基板等であってもよく、またこの基板に搭載されるものはドライバ回路に限らず、ACFを介して電気的に接続されるものであればよい。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a liquid crystal panel constituting a liquid crystal display as an example of a flat panel display, and a driver circuit made of TCP mounted on a substrate as a TAB as an example of a semiconductor circuit mounted via an ACF. The substrate may be a printed circuit board or the like as well as a liquid crystal panel, and the board mounted on the board is not limited to the driver circuit and is electrically connected via the ACF. I just need it.

図1において、液晶パネル1はガラス基板等の下基板2と上基板3とを有して構成される。下基板2は、少なくとも2辺において上基板3から所定幅分だけ張り出した張り出し部2aを有しており、この張り出し部2aにドライバ回路4が複数搭載される。ドライバ回路4は、フィルム基板4aに集積回路素子4bを実装されて構成されている。   In FIG. 1, a liquid crystal panel 1 includes a lower substrate 2 and an upper substrate 3 such as a glass substrate. The lower substrate 2 has a protruding portion 2a that protrudes from the upper substrate 3 by a predetermined width on at least two sides, and a plurality of driver circuits 4 are mounted on the protruding portion 2a. The driver circuit 4 is configured by mounting an integrated circuit element 4b on a film substrate 4a.

下基板2の張り出し部2aには、TFT回路に接続される所定数の電極が群をなして電極群5を形成しており、電極群5の左右両側にアライメントマーク6が形成されている。電極群5は張り出し部2aに複数形成され、各電極群5は隣接する電極群5との間に所定幅を有する空白領域が形成されている。ドライバ回路4には、基板側の電極群5と電気的に接続される複数の電極から構成される電極群7が形成されており、電極群7の左右両側にはアライメントマーク8が形成されている。ドライバ回路4のアライメントマーク8と張り出し部2aのアライメントマーク6とを基準として、電極群5と電極群7との各電極同士が一致するように位置合わせがされる。   A predetermined number of electrodes connected to the TFT circuit form a group on the projecting portion 2 a of the lower substrate 2 to form an electrode group 5, and alignment marks 6 are formed on the left and right sides of the electrode group 5. A plurality of electrode groups 5 are formed on the projecting portion 2 a, and each electrode group 5 is formed with a blank area having a predetermined width between the adjacent electrode groups 5. In the driver circuit 4, an electrode group 7 composed of a plurality of electrodes electrically connected to the electrode group 5 on the substrate side is formed, and alignment marks 8 are formed on the left and right sides of the electrode group 7. Yes. Using the alignment mark 8 of the driver circuit 4 and the alignment mark 6 of the overhang portion 2a as a reference, alignment is performed so that the electrodes of the electrode group 5 and the electrode group 7 coincide with each other.

ドライバ回路4は液晶パネル1にACF9を介して搭載される。ACF9は、周知のように、接着機能を有するバインダ樹脂に微小な導電粒子を多数分散させたものであり、ドライバ回路4と液晶パネル1との間でACF9を加熱及び加圧する。これにより、導電粒子を介して電極群5を構成する各電極と電極群7を構成する各電極とが電気的に導通状態となり、且つバインダ樹脂が熱硬化することによって、ドライバ回路4を液晶パネル1に固着させることになる。ここで、ACF9は下基板2の張り出し部2aに設けた電極群5の位置毎に分割され、長さL分毎に貼り付けられる。これにより、ACF9を無駄なく使用することができ、貼り付けられたACF9はほぼ完全にドライバ回路4に覆われることになる。   The driver circuit 4 is mounted on the liquid crystal panel 1 via the ACF 9. As is well known, the ACF 9 is obtained by dispersing many conductive particles in a binder resin having an adhesive function, and heats and pressurizes the ACF 9 between the driver circuit 4 and the liquid crystal panel 1. As a result, the electrodes constituting the electrode group 5 and the electrodes constituting the electrode group 7 are electrically connected to each other through the conductive particles, and the binder resin is thermally cured, whereby the driver circuit 4 is changed to the liquid crystal panel. 1 is fixed. Here, the ACF 9 is divided for each position of the electrode group 5 provided on the projecting portion 2a of the lower substrate 2, and is attached every length L. As a result, the ACF 9 can be used without waste, and the attached ACF 9 is almost completely covered by the driver circuit 4.

図2に本発明のACFの貼付け装置の概略構成を示す。ACFの貼付け装置は、主にACF貼付け手段としての貼付け装置10Uと、検査手段としての検査装置60Uと剥離手段としての剥離装置70Uと、制御手段としての制御装置80Uとを有して概略構成される。なお、制御装置80Uについては、図4に示している。   FIG. 2 shows a schematic configuration of the ACF sticking apparatus of the present invention. The ACF sticking device is mainly configured by mainly including a sticking device 10U as an ACF sticking means, an inspection device 60U as an inspection means, a peeling device 70U as a peeling means, and a control device 80U as a control means. The The control device 80U is shown in FIG.

図3及び図4を用いて、貼付け装置10Uについて説明する。貼付け装置10Uは、支持部材10と供給リール11と台紙テープ12とACFテープ13とローラ14〜17と駆動用ローラ18と排出部19とスイングアーム20と回動軸21とを有して概略構成される。支持部材10はACF9の液晶パネル1への貼付けユニットを装着した支持部材であって、支持部材10には着脱可能に供給リール11が装着されている。ACF9は台紙テープ12の剥離層上に積層されてACFテープ13を構成し、このACFテープ13が供給リール11に巻回されている。ACFテープ13は、支持部材10に装着したローラ14〜17からなる走行経路に沿って走行ガイドされるようになっている。駆動用ローラ18は、ACF9を液晶パネル1に貼り付けた後の台紙テープ12を挟持して、排出部19に送り込むように駆動する。   The pasting apparatus 10U will be described with reference to FIGS. 3 and 4. The affixing device 10U includes a support member 10, a supply reel 11, a mount tape 12, an ACF tape 13, rollers 14 to 17, a driving roller 18, a discharge unit 19, a swing arm 20, and a rotating shaft 21, and is schematically configured. Is done. The support member 10 is a support member on which a unit for attaching the ACF 9 to the liquid crystal panel 1 is mounted. A supply reel 11 is detachably mounted on the support member 10. The ACF 9 is laminated on the release layer of the mount tape 12 to form an ACF tape 13, and the ACF tape 13 is wound around the supply reel 11. The ACF tape 13 is travel-guided along a travel path composed of rollers 14 to 17 attached to the support member 10. The driving roller 18 sandwiches the mount tape 12 after the ACF 9 is attached to the liquid crystal panel 1 and drives it so as to be fed into the discharge unit 19.

ローラ14、15は、ACFテープ13のフィーダ用のガイドローラであり、ガイドローラ15はスイングアーム20に装着されている。また、スイングアーム20は回動軸21を中心として揺動するようになっている。回動軸21にはモータ等からなる図示しない駆動手段が接続されて、スイングアーム20を矢印F方向に揺動させることによって、供給リール11から少なくとも1回の貼付け分(長さL分)のACFテープ13が送り出されて、ローラ14、15の間に供給される。その結果、ACFテープ13を送る際に作用する反力が常に一定となり、供給リール11の巻回量の差により送り力に対する抵抗が変動することはない。   The rollers 14 and 15 are guide rollers for the feeder of the ACF tape 13, and the guide roller 15 is attached to the swing arm 20. Further, the swing arm 20 swings about the rotation shaft 21. A driving means (not shown) composed of a motor or the like is connected to the rotating shaft 21, and the swing arm 20 is swung in the direction of arrow F, so that at least one pasting (length L) from the supply reel 11 is performed. The ACF tape 13 is fed out and supplied between the rollers 14 and 15. As a result, the reaction force acting when the ACF tape 13 is fed is always constant, and the resistance to the feeding force does not fluctuate due to the difference in the amount of winding of the supply reel 11.

ローラ16、17は、図5及び図6に示すように、ACFテープ13を、その走行経路において、水平方向にガイドし、ACF9の液晶パネル1への1回分の貼付け長さを規定するための水平ガイドローラである。水平ガイドローラ17がACF9の貼付け始端位置を、水平ガイドローラ16がACF9の貼付け終端位置を規定するものであり、これらによってACF9の貼付け領域が設定される。水平ガイドローラ16、17は、円筒部16a、17aの両側部に鰐部16b、17bを形成したものであり、鰐部16b、17bの円筒部16a、17aから突出する部位の高さはACFテープ13における台紙テープ12の厚み分とほぼ同じか、それより僅かに大きい寸法となっている。   As shown in FIGS. 5 and 6, the rollers 16 and 17 guide the ACF tape 13 in the horizontal direction in the travel route, and define the length of the ACF 9 attached to the liquid crystal panel 1 for one time. It is a horizontal guide roller. The horizontal guide roller 17 defines the ACF 9 pasting start position, and the horizontal guide roller 16 defines the ACF 9 pasting end position. By these, the ACF 9 pasting area is set. The horizontal guide rollers 16 and 17 are formed by forming flanges 16b and 17b on both sides of the cylindrical parts 16a and 17a. The heights of the portions protruding from the cylindrical parts 16a and 17a of the flanges 16b and 17b are the same as those of the ACF tape 13. The dimensions are almost the same as or slightly larger than the thickness of the mount tape 12.

従って、水平ガイドローラ16、17の間でACF9が液晶パネル1に貼り付けられ、台紙テープ12から分離され、水平ガイドローラ17より下流側の位置で、ACF9が剥離された後の台紙テープ12が回収される。そして、水平ガイドローラ16、17により区画されているACF9の貼付け領域より下流側の位置に駆動用ローラ18を設けている。駆動用ローラ18は駆動ローラ18aとピンチローラ18bとを有しており、台紙テープ12は駆動ローラ18aとピンチローラ18bとの間に挟持されるようになっている。そして、駆動ローラ18aを回転駆動することにより、ACFテープ13を長さL分毎にピッチ送りされる。   Accordingly, the ACF 9 is attached to the liquid crystal panel 1 between the horizontal guide rollers 16 and 17, separated from the mount tape 12, and the mount tape 12 after the ACF 9 is peeled off at a position downstream of the horizontal guide roller 17. Collected. A driving roller 18 is provided at a position downstream of the ACF 9 application region defined by the horizontal guide rollers 16 and 17. The driving roller 18 includes a driving roller 18a and a pinch roller 18b, and the mount tape 12 is sandwiched between the driving roller 18a and the pinch roller 18b. Then, the ACF tape 13 is pitch-fed every length L by rotationally driving the drive roller 18a.

図4に示すように、支持部材10は昇降駆動部22に装着されている。昇降駆動部22は前後駆動部23に装着され、前後駆動部23は平行駆動部24に装着されている。これらの機構により、ACFテープ13の引き回し経路における水平ガイドローラ16と17との間により規定されるACF9の貼付け領域を水平面でX軸方向(ACF9が貼り付けられる電極群5の並びと直交する方向)とY軸方向(電極群5の並び方向)とに移動することが可能になる。また、液晶パネル1は固定テーブル25の上に載置され、真空吸着等の手段で固定的に保持されている。ここで、前後駆動部23は、貼付け領域を液晶パネル1に対して近接・離間する方向に移動するものであり、平行駆動部24は、液晶パネル1において、ACF9が貼り付けられる電極群5の並び方向と平行な方向、つまりX軸方向に貼付け領域を移動させるものである。   As shown in FIG. 4, the support member 10 is attached to the elevating drive unit 22. The elevating drive unit 22 is attached to the front / rear drive unit 23, and the front / rear drive unit 23 is attached to the parallel drive unit 24. By these mechanisms, the ACF 9 application area defined by the horizontal guide rollers 16 and 17 in the routing path of the ACF tape 13 is set in the horizontal direction in the X-axis direction (the direction orthogonal to the arrangement of the electrode groups 5 to which the ACF 9 is applied). ) And the Y-axis direction (alignment direction of the electrode group 5). The liquid crystal panel 1 is placed on a fixed table 25 and fixedly held by means such as vacuum suction. Here, the front / rear drive unit 23 moves the pasting area in the direction of approaching / separating from the liquid crystal panel 1, and the parallel drive unit 24 of the electrode group 5 to which the ACF 9 is pasted in the liquid crystal panel 1. The pasting area is moved in a direction parallel to the arrangement direction, that is, in the X-axis direction.

昇降駆動部22は、傾斜ブロック30と、この傾斜ブロック30を前後方向に移動させるために、シリンダ31とを有している。また、支持部材10には傾斜ブロック30の傾斜面に係合するスライド部材32が連結されている。スライド部材32は傾斜ブロック30と一致する傾斜面を有しており、規制部材33により上下方向以外には変位できない構成となっている。従って、シリンダ31を駆動することによって、支持部材10が上下方向に変位することになる。ここで、シリンダ31に代えてモータを用いることもできる。   The raising / lowering drive part 22 has the inclination block 30 and the cylinder 31 in order to move this inclination block 30 to the front-back direction. The support member 10 is connected to a slide member 32 that engages with the inclined surface of the inclined block 30. The slide member 32 has an inclined surface that coincides with the inclined block 30, and is configured such that it cannot be displaced except by the restricting member 33 in the vertical direction. Accordingly, by driving the cylinder 31, the support member 10 is displaced in the vertical direction. Here, a motor may be used in place of the cylinder 31.

前後駆動部23は、傾斜ブロック30を装着した台座34を前後動させるためのものであり、台座34の往復動はシリンダやモータ等からなる駆動手段35により行われる。そして、台座34及びその駆動手段35は、搬送手段36に装着されている。搬送手段36はボールねじ送り手段を構成するボールねじ37を図示しないモータ等の駆動により回転駆動することによって、貼付け装置10U全体を液晶パネル1における電極群5の配列方向と平行に移動可能になっている。なお、固定テーブル25には、液晶パネル1を前工程と後工程との間で受け渡しを行うため等のXY方向移動機構や、水平回転方向の位置調整部や、傾き方向の調整部等を設けることもできる。   The front / rear drive unit 23 is for moving the pedestal 34 on which the inclined block 30 is mounted back and forth. The pedestal 34 and its driving means 35 are attached to the conveying means 36. The conveying means 36 can move the entire attaching device 10U in parallel with the arrangement direction of the electrode group 5 in the liquid crystal panel 1 by rotating the ball screw 37 constituting the ball screw feeding means by driving a motor (not shown). ing. The fixed table 25 is provided with an XY direction moving mechanism for transferring the liquid crystal panel 1 between the pre-process and the post-process, a position adjustment unit in the horizontal rotation direction, an adjustment unit in the tilt direction, and the like. You can also.

支持部材10に装着したACFテープ13の走行経路において、図7及び図8に示すように、水平ガイドローラ16の位置より僅かに下流側の位置にハーフカット手段としてのカッタユニット40が設けられており、カッタユニット40は支持部材10の表面に対して前後方向に移動可能に装着されている。カッタユニット40はカッタ41とカッタ受け42とを有しており、カッタ41は同図矢印で示すように、軸43を中心としてカッタ受け42に近接・離間する方向に回動可能になっている。そして、常時にはカッタ41に作用するばね44の付勢力により、カッタ受け42から離間した状態に保持されており、シリンダ45に設けた押動ローラ46によって、ばね44に抗する方向にカッタ41を押動して、カッタ受け42に近接する方向に揺動変位させるようになっている。そして、カッタ41がカッタ受け42に最も近接した位置では、その間にACFテープ13の台紙テープ12の厚みと同じか、それより僅かに短い間隔が形成されることになる。これにより、ACF9のみをハーフカットすることができる。   In the travel path of the ACF tape 13 attached to the support member 10, as shown in FIGS. 7 and 8, a cutter unit 40 as a half-cut means is provided at a position slightly downstream from the position of the horizontal guide roller 16. The cutter unit 40 is attached to the surface of the support member 10 so as to be movable in the front-rear direction. The cutter unit 40 has a cutter 41 and a cutter receiver 42, and the cutter 41 is rotatable about a shaft 43 in a direction approaching / separating from the cutter receiver 42 as indicated by an arrow in the figure. . Then, the spring 41 is normally held away from the cutter receiver 42 by the urging force of the spring 44 acting on the cutter 41, and the cutter 41 is held in a direction against the spring 44 by the pushing roller 46 provided in the cylinder 45. It is pushed and displaced in a direction close to the cutter receiver 42. Then, at the position where the cutter 41 is closest to the cutter receiver 42, an interval that is the same as or slightly shorter than the thickness of the mount tape 12 of the ACF tape 13 is formed therebetween. Thereby, only ACF9 can be half-cut.

ACF9を下基板2の張り出し部2aに貼り付けるために、ACFテープ13は、水平ガイドローラ16、17の間の位置で、圧着ヘッド47により上部から所定の加圧力で押圧されるようになっている。圧着ヘッド47は支持部材10に、上下駆動手段48により昇降可能に装着されており、上下駆動手段48によってACFテープ13を液晶パネル1に対して所定の加圧力を作用させるようになっている。また、圧着ヘッド47には図示しないヒータ等の加熱手段が具備され、圧着ヘッド47はACFテープ13を液晶パネル1に熱圧着させることになる。ただし、加熱の度合いはACF9のバインダ樹脂が軟化する程度の比較的低いものとする。そして、圧着ヘッド47は、ACFテープ13の幅を十分カバーできる幅寸法を有し、且つ長さ方向の寸法はACF9の貼付け長さを有するものである。圧着ヘッド47によるACFテープ13の液晶パネル1への圧着時に、液晶パネル1における圧着領域を下方から支承する受け台49が設けられている。   In order to attach the ACF 9 to the overhanging portion 2 a of the lower substrate 2, the ACF tape 13 is pressed from above with a predetermined pressure by the pressure-bonding head 47 at a position between the horizontal guide rollers 16 and 17. Yes. The pressure-bonding head 47 is mounted on the support member 10 so as to be moved up and down by a vertical driving means 48, and a predetermined pressure is applied to the ACF tape 13 against the liquid crystal panel 1 by the vertical driving means 48. Further, the pressure-bonding head 47 is provided with heating means such as a heater (not shown), and the pressure-bonding head 47 heat-bonds the ACF tape 13 to the liquid crystal panel 1. However, the degree of heating is relatively low enough to soften the binder resin of ACF9. The crimping head 47 has a width dimension that can sufficiently cover the width of the ACF tape 13, and the dimension in the length direction has a length for attaching the ACF 9. When the ACF tape 13 is crimped to the liquid crystal panel 1 by the crimping head 47, a pedestal 49 is provided to support the crimping region of the liquid crystal panel 1 from below.

以上のように、支持部材10にACF貼付け装置を構成する貼付けユニット、即ち供給リール11と、供給リール11から供給されるACFテープ13の走行経路、ハーフカット手段を構成するカッタユニット40及び圧着ヘッド47が装着されている。   As described above, the affixing unit constituting the ACF affixing device on the support member 10, that is, the supply reel 11, the travel path of the ACF tape 13 supplied from the supply reel 11, the cutter unit 40 constituting the half-cut means, and the crimping head. 47 is attached.

次に、検査装置60Uについて説明する。図2に戻って、検査装置60Uは主に照明光源61とテレビカメラ62と判定装置63とを有して構成される。照明光源61はACF9に照明光を供給するための光源であり、テレビカメラ62はACF9の貼付け状態を撮影するための撮影手段である。ただし、テレビカメラ62はACF9の全体の画像を取得してもよいが、処理効率の向上や高精度な画像処理のために、ACF9の両端部分だけの画像を取得する。判定装置63は、予め貼付け状態が良好なACF9の両端部分の画像(基準画像)を記憶しており、撮影したACF9の画像と基準画像との比較判定を行う。また、検査装置60Uを平行駆動部24の走行方向と平行に移動可能にするため、ガイド部材64とボールねじ送り手段65とを有している。なお、基準画像には、ACF9の両端部分だけではなく、その近傍に設けられるアライメントマーク6の画像も含めることが好ましい。   Next, the inspection device 60U will be described. Returning to FIG. 2, the inspection device 60 </ b> U mainly includes an illumination light source 61, a television camera 62, and a determination device 63. The illumination light source 61 is a light source for supplying illumination light to the ACF 9, and the television camera 62 is an image capturing unit for capturing an attached state of the ACF 9. However, although the television camera 62 may acquire the entire image of the ACF 9, it acquires images only at both ends of the ACF 9 in order to improve processing efficiency and perform high-precision image processing. The determination device 63 stores in advance images (reference images) of both end portions of the ACF 9 that are well pasted, and performs a comparison determination between the captured image of the ACF 9 and the reference image. In addition, a guide member 64 and a ball screw feeding means 65 are provided to enable the inspection device 60U to move in parallel with the traveling direction of the parallel drive unit 24. The reference image preferably includes not only both end portions of the ACF 9 but also an image of the alignment mark 6 provided in the vicinity thereof.

画像を比較するための手法の一例として、パターンマッチングを適用することができる。パターンマッチングにより両者の画像の比較をして、所定の誤差量を超えていない場合にはACFの貼付け状態が良好であると判定でき、超えている場合には貼り直しを要すると判定することができる。検査装置60Uは、図2に示すように、貼付け装置10Uに対して別個独立で動作するものであってもよいし、一体となって動作するものであってもよい。   Pattern matching can be applied as an example of a method for comparing images. By comparing the two images by pattern matching, if the predetermined error amount is not exceeded, it can be determined that the ACF attachment state is good, and if it exceeds, it can be determined that reattachment is required. it can. As shown in FIG. 2, the inspection device 60U may operate separately and independently with respect to the pasting device 10U, or may operate integrally.

図2及び図9を用いて、剥離装置70Uについて説明する。剥離装置70Uは、剥離テープ71とエアシリンダ72と押圧部材73とテープ供給リール74とテープ回収リール75と駆動部76とを有して概略構成される。剥離テープ71は、粘着剤を拭き取るのに適した布製のテープであり、拭き取り面をACF9に押し付けて、ACF9が持つ粘着力の作用により剥離を行う。このため、剥離テープ71のACF9の粘着力に対しての親和性は、下基板2よりも剥離テープ71の方が高いものとする。エアシリンダ72は押圧部材73をACF9に押し付けるための加圧力を作用させるためのシリンダである。押圧部材73は、剥離テープ71を押圧するための部材である。テープ供給リール74は剥離テープ71を供給するための供給リールであり、テープ回収リール75は剥離テープ71を回収するための回収リールである。駆動部76はテープ回収リール75を回転駆動させる動力を与えるための駆動部である。   The peeling device 70U will be described with reference to FIGS. The peeling device 70U includes a peeling tape 71, an air cylinder 72, a pressing member 73, a tape supply reel 74, a tape collection reel 75, and a drive unit 76, and is roughly configured. The peeling tape 71 is a cloth tape suitable for wiping off the adhesive, and the wiping surface is pressed against the ACF 9 to perform peeling by the action of the adhesive force of the ACF 9. For this reason, it is assumed that the release tape 71 has higher affinity for the adhesive force of the ACF 9 than the lower substrate 2. The air cylinder 72 is a cylinder for applying a pressing force for pressing the pressing member 73 against the ACF 9. The pressing member 73 is a member for pressing the peeling tape 71. The tape supply reel 74 is a supply reel for supplying the peeling tape 71, and the tape collection reel 75 is a collection reel for collecting the peeling tape 71. The drive unit 76 is a drive unit for supplying power for rotating the tape collection reel 75.

テープ供給リール74からは剥離テープ71を1ピッチ(ほぼ図1の長さLに相当)ずつ送り出すことが可能な構成となっており、剥離テープ71が1つのACF9を剥離して、次のACF9を剥離するときには、テープ供給リール74から1ピッチ分の剥離テープ71を送り出すようにする。このため、駆動部76が1ピッチ分の剥離テープ71を巻き取るようにテープ回収リール75を制御して、1ピッチ分の剥離テープ71が送り出される。   From the tape supply reel 74, the peeling tape 71 can be sent out by one pitch (substantially corresponding to the length L in FIG. 1). The peeling tape 71 peels off one ACF 9, and the next ACF 9 Is peeled off from the tape supply reel 74 by one pitch of the peeling tape 71. For this reason, the tape collection reel 75 is controlled so that the driving unit 76 winds up the peeling tape 71 for one pitch, and the peeling tape 71 for one pitch is sent out.

前述したように、貼付け装置10Uはボールねじ37を回転駆動することによって、搬送手段36が移動することによって、全体が電極群5の配列方向と平行に移動可能になっている。剥離装置70Uも同様に、貼付け装置10Uと同じ方向において移動可能にする構成を採るため、ボールねじ37に沿って、剥離装置70U全体が移動可能な構成を採用する。このとき、剥離装置70Uと貼付け装置10Uとを別個独立のボールねじによって移動させることもできるが、装置や機構の複雑化を回避するために、図10のように、剥離装置70Uと貼付け装置10Uとはボールねじ37を共用することが好ましい。   As described above, the affixing device 10 </ b> U is movable in parallel with the arrangement direction of the electrode group 5 by rotating the ball screw 37 and moving the conveying means 36. Similarly, in order to adopt a configuration in which the peeling device 70U is movable in the same direction as the pasting device 10U, a configuration in which the entire peeling device 70U is movable along the ball screw 37 is adopted. At this time, the peeling device 70U and the pasting device 10U can be moved by separate ball screws, but in order to avoid complication of the device and mechanism, as shown in FIG. 10, the peeling device 70U and the pasting device 10U. The ball screw 37 is preferably shared.

剥離装置70Uと貼付け装置10Uとがボールねじ37を共用するため、相互に動作が干渉しないようにする必要がある。このため、例えば剥離装置70Uと貼付け装置10Uとにクラッチ機構10Cと70Cとを設ける。貼付け装置10Uが動作してACF9の貼付けを行っていくときは、貼付け装置10Uのクラッチ機構10Cを作動状態にしておき、剥離装置70Uのクラッチ機構70Cを解除状態にしておく。これにより、貼付け装置10Uだけが移動し、剥離装置70Uは移動しない。一方、剥離装置70Uが動作してACF9の剥離を行っていくときは、剥離装置70Uのクラッチ機構70Cを作動状態にして、貼付け装置10Uのクラッチ機構10Cを解除状態にしておく。これにより、剥離装置70Uだけが移動し、貼付け装置10Uは移動しない。このような機構を採用することにより、貼付け装置10Uと剥離装置70Uとの干渉を回避することができる。   Since the peeling device 70U and the pasting device 10U share the ball screw 37, it is necessary to prevent the operations from interfering with each other. For this reason, for example, the clutch mechanisms 10C and 70C are provided in the peeling device 70U and the pasting device 10U. When the affixing device 10U operates to apply the ACF 9, the clutch mechanism 10C of the affixing device 10U is in an activated state, and the clutch mechanism 70C of the peeling device 70U is in a released state. Thereby, only the sticking apparatus 10U moves and the peeling apparatus 70U does not move. On the other hand, when the peeling device 70U operates to peel the ACF 9, the clutch mechanism 70C of the peeling device 70U is activated and the clutch mechanism 10C of the pasting device 10U is released. Thereby, only the peeling apparatus 70U moves and the sticking apparatus 10U does not move. By adopting such a mechanism, interference between the pasting device 10U and the peeling device 70U can be avoided.

制御装置80Uについて説明する。図4に示す制御装置80Uは、貼付け装置10Uと検査装置60Uと剥離装置70Uとを制御するため、制御装置80Uは、貼付け装置10Uと検査装置60Uと剥離装置70Uとに接続される。制御装置80Uが各装置の制御を行うために、制御装置80Uと各装置との間は双方向(又は一方向)の信号の入出力が可能な構成を採るようにする。   The control device 80U will be described. Since control device 80U shown in Drawing 4 controls sticking device 10U, inspection device 60U, and peeling device 70U, control device 80U is connected to sticking device 10U, inspection device 60U, and peeling device 70U. In order for the control device 80U to control each device, a configuration in which bidirectional (or unidirectional) signal input / output is possible between the control device 80U and each device is adopted.

以下、ACF9の貼付け、検査、剥離、貼り直しの各動作について説明する。最初にACF9の貼付け動作について説明する。図8に示すように、ACFテープ13に対してハーフカットを行う。このときには、昇降駆動部22によって、支持部材10を上昇位置に保持し、固定テーブル25上に設置されている液晶パネル1における電極群5に対して、ハーフカットしたACF9を貼り付けるべき位置に配置する。このように、ACFテープ13のハーフカットが行われると、ハーフカットされた位置が貼付け終端位置で、前回ACF9を貼り付けた端部が貼付け始端位置となる。そして、水平ガイドローラ17は貼付け始端位置に、水平ガイドローラ16は貼付け終端位置に配置されている。この状態から、昇降駆動部22を作動させて、図11に示すように支持部材10を下降させる。支持部材10の最下降位置は、水平ガイドローラ16、17間に位置するACFテープ13のACF9の面が液晶パネル1の下基板2における張り出し部2aには非接触状態で僅かな隙間をもって対面させる。   Hereinafter, the operations of attaching, inspecting, peeling, and reattaching the ACF 9 will be described. First, the ACF 9 attaching operation will be described. As shown in FIG. 8, the ACF tape 13 is half-cut. At this time, the elevating drive unit 22 holds the support member 10 in the raised position, and the half-cut ACF 9 is disposed on the electrode group 5 in the liquid crystal panel 1 installed on the fixed table 25. To do. Thus, when the ACF tape 13 is half-cut, the half-cut position is the pasting end position, and the end where the previous ACF 9 is pasted is the pasting start end position. The horizontal guide roller 17 is disposed at the pasting start position, and the horizontal guide roller 16 is disposed at the pasting end position. From this state, the elevating drive unit 22 is operated to lower the support member 10 as shown in FIG. The lowermost position of the support member 10 is such that the surface of the ACF 9 of the ACF tape 13 positioned between the horizontal guide rollers 16 and 17 faces the protruding portion 2a of the lower substrate 2 of the liquid crystal panel 1 in a non-contact state with a slight gap. .

そこで、図12に示すように、圧着ヘッド47を下降させて、ACFテープ13を下基板に圧着させる。圧着時には、上下駆動手段48により設定した所定の加重がACFテープ13に作用するようにし、ACFテープ13における貼付け始端位置から終端位置までの間には均等な加圧力が作用し、ハーフカットされた貼付け終端位置より基端側には圧着ヘッド47による加圧力が作用しないようにする。このときには、液晶パネル1の下基板2における張り出し部2aのうち、少なくともACF9が貼り付けられる位置の下面は受け台49に当接している。   Therefore, as shown in FIG. 12, the pressure-bonding head 47 is lowered and the ACF tape 13 is pressure-bonded to the lower substrate. At the time of crimping, a predetermined load set by the vertical driving means 48 is applied to the ACF tape 13, and an equal pressing force is applied between the start position of the ACF tape 13 and the end position, and half cut is performed. The pressure applied by the pressure-bonding head 47 is prevented from acting on the base end side from the pasting end position. At this time, at least the lower surface of the projecting portion 2 a on the lower substrate 2 of the liquid crystal panel 1 is in contact with the pedestal 49 at a position where the ACF 9 is attached.

ACF9が下基板2に圧着されると、図13に示すように、圧着ヘッド47を上昇させて、ACFテープ13に対する加圧力を解除する。ACF9は下基板2に貼り付けられているが、このACF9にはなお台紙テープ12が積層されている。従って、台紙テープ12を剥離させるときにACF9の浮き上がりを防止するために、圧着が終了して、圧着ヘッド47をACFテープ13から離間させた後には、図14及び図15に示すように、昇降駆動部22を作動させて支持部材10を上昇させる。このときに、昇降駆動部22と共に前後駆動部23も駆動して、ACFテープ13の幅方向において、斜め上方に引き上げるように動作させると、台紙テープ12はACF9から擦り切られるようにして剥離される。このときに、台紙テープ12はACF9に密着して一体化していたものであったことから、剥離時に、ACF9の一部に浮きやめくれ等が生じることがある。   When the ACF 9 is pressure-bonded to the lower substrate 2, the pressure-bonding head 47 is raised as shown in FIG. 13 to release the pressure applied to the ACF tape 13. The ACF 9 is affixed to the lower substrate 2, and the mount tape 12 is still laminated on the ACF 9. Accordingly, in order to prevent the ACF 9 from lifting when the mount tape 12 is peeled off, after the crimping is finished and the crimping head 47 is separated from the ACF tape 13, as shown in FIGS. The drive part 22 is operated and the support member 10 is raised. At this time, if the front / rear drive unit 23 is also driven together with the lifting / lowering drive unit 22 and is operated to be lifted obliquely upward in the width direction of the ACF tape 13, the mount tape 12 is peeled off from the ACF 9. The At this time, the mount tape 12 was in close contact with and integrated with the ACF 9, and thus, when peeling, a part of the ACF 9 may be lifted or turned up.

以上により、下基板2の張り出し部2aにおける1つの電極群5に対してACF9の貼り付けが完了する。支持部材10を上昇させた位置に保持して、駆動用ローラ18を作動させて、供給リール11からACFテープ13を引き出して1ピッチ分だけ送る。そして、平行駆動部24を作動させて、貼付け装置10U全体を1ピッチ分移動させる。この1ピッチは、図1に示すように、前後のACF9の貼り付け終端位置の間の間隔Pである。従って、平行駆動部24の作動によって、次の電極群5へのACF9の貼り付け作業が行われる。これに対して、液晶パネル1を保持する固定テーブル25は動かない。そして、前述と同様の動作を繰り返すことによって、順次電極群5に対するACF9の貼り付けが行われる。   As described above, the attachment of the ACF 9 to one electrode group 5 in the projecting portion 2a of the lower substrate 2 is completed. The supporting member 10 is held at the raised position, the driving roller 18 is operated, and the ACF tape 13 is pulled out from the supply reel 11 and fed by one pitch. And the parallel drive part 24 is operated and the sticking apparatus 10U whole is moved 1 pitch. As shown in FIG. 1, this one pitch is a distance P between the front and rear attachment positions of the ACF 9. Accordingly, the operation of attaching the ACF 9 to the next electrode group 5 is performed by the operation of the parallel drive unit 24. On the other hand, the fixed table 25 that holds the liquid crystal panel 1 does not move. Then, the ACF 9 is sequentially attached to the electrode group 5 by repeating the same operation as described above.

そして、貼付け装置10Uが全てのACF9の貼付け動作を終了したときには、貼付け装置10Uをボールねじ37の終端位置に移動させて、クラッチ機構10Cを解除して、貼付け装置10Uの動作を停止させる。   When the pasting device 10U completes the pasting operation of all the ACFs 9, the pasting device 10U is moved to the end position of the ball screw 37, the clutch mechanism 10C is released, and the operation of the pasting device 10U is stopped.

1個のACF9の貼付けが完了する毎に、または数箇所、さらに全ての電極群5に対してのACF9の分割貼りが終了したら、次にACF9の貼り付け状態の検査を行う。そこで、ACF9の貼り付け作業が終了したときに貼付け装置10Uは制御装置80Uにその旨の信号を出力し、制御装置80Uは、この信号を入力したときに、検査装置60Uに対して、ACF9の貼り付け状態を検査する命令を出力する。なお、ACF9の貼り付け作業の終了後に貼り付け状態の検査を行うのではなく、貼り付け作業にオーバーラップさせて、貼り付け状態の検査を行うようにしてもよい。前述したような検査装置60Uが貼付け装置10Uと一体となって動作する場合には、貼り付け作業が終了した直後に検査が行われるため、2つの作業をオーバーラップさせやすい。   Every time when the attachment of one ACF 9 is completed, or after the division and attachment of the ACF 9 to several electrode groups 5 is completed, an inspection of the attachment state of the ACF 9 is performed. Therefore, when the pasting operation of the ACF 9 is finished, the pasting device 10U outputs a signal to that effect to the control device 80U, and the control device 80U sends the signal of the ACF 9 to the inspection device 60U when this signal is input. Outputs a command to check the pasting status. It should be noted that, instead of performing an inspection of the pasting state after the pasting operation of the ACF 9, it is possible to inspect the pasting state by overlapping the pasting operation. When the inspection device 60U as described above operates integrally with the pasting device 10U, since the inspection is performed immediately after the pasting operation is completed, it is easy to overlap the two operations.

検査装置60Uは、制御装置80Uからの命令に基づいて、ACF9の貼付け状態の検査を開始する。テレビカメラ62はボール送りねじ手段65によりガイド部材64に沿って1ピッチ分ずつ移動し、各電極群5におけるACF9の両端部分の画像を取得していく。取得した画像は判定装置63に出力され、判定装置63において、予め記憶されている基準画像と比較して、貼り付け状態の良否を判定する。取得した画像は、図16に示すように、ACF9の両端部分に限定しているため(図中の破線部分に限定している)、画像のデータ量が少なく、パターンマッチングによる画像処理も高速に行うことができ、処理効率が向上する。また、データ量が少ないため、高精度に画像処理を行うことも可能である。このとき、良否の基準は、両画像が完全に一致していなくても、両画像の差分が一定範囲内であれば、良好でありACF9の貼り直しを要しないと判定してもよい。一方、両画像の差分が一定範囲を超えている場合には、ACF9が貼り付け不良を起こしていると判定する。   The inspection device 60U starts inspection of the ACF 9 attachment state based on a command from the control device 80U. The television camera 62 is moved one pitch at a time along the guide member 64 by the ball feed screw means 65 to acquire images of both end portions of the ACF 9 in each electrode group 5. The acquired image is output to the determination device 63, and the determination device 63 determines whether the pasted state is good or not by comparing with a reference image stored in advance. As shown in FIG. 16, the acquired image is limited to both end portions of the ACF 9 (limited to the broken line portion in the figure), so the amount of image data is small, and image processing by pattern matching is performed at high speed. This can be done and the processing efficiency is improved. In addition, since the amount of data is small, it is possible to perform image processing with high accuracy. At this time, even if the images do not completely match, it may be determined that the images are good and the ACF 9 does not need to be reattached if the difference between the images is within a certain range. On the other hand, if the difference between the two images exceeds a certain range, it is determined that the ACF 9 has caused a sticking failure.

ここで、ACF9は、両端以外の部分に浮きが生じることもあるが、この部位に生じた浮きは、貼り付け不良と判定されたとしても貼り直しが必要とならないことは前述したとおりである。ここでは、テレビカメラ62は、ACF9の両端部分を撮影しており、この部分に浮きやめくれが発生しているか否かを検出しているため、その他の部分に浮きが生じていたとしても、ACF9の貼り直しを要するとは判定されない。ここで、ACF9が部分的に下基板2から離間しているときに「浮き」と判定することができ、ACF9の一部が反転しているときに「めくれ」と判定することができる。   Here, although the ACF 9 may float at portions other than both ends, as described above, the lift generated at this portion does not need to be reattached even if it is determined that the attachment is poor. Here, since the TV camera 62 has photographed both end portions of the ACF 9 and has detected whether or not floating or turning has occurred in these portions, even if the other portions have floating, It is not determined that ACF 9 needs to be reattached. Here, when the ACF 9 is partially separated from the lower substrate 2, it can be determined as “floating”, and when a part of the ACF 9 is inverted, it can be determined as “turned up”.

テレビカメラ62の移動と共に、全ての電極群5についてACF9の貼り付け状態の検査を行う。この検査により、各ACF9について貼り直しを要するか否かの情報を取得することができ、この情報を検査装置60Uの判定装置63から制御装置80Uに出力する。このときには、貼り直しの要否の情報だけではなく、各ACF9のうち貼り直しを要するACF9の位置の情報についても制御装置80Uに出力する。なお、判定装置63は、制御装置80Uに持たせてもよく、この場合には、撮影したACF9の画像を順次制御装置80Uに出力し、制御装置80Uの中の判定装置において貼り直しを要するか否かの判定を行うことになる。   As the television camera 62 is moved, the ACF 9 is inspected for all the electrode groups 5. By this inspection, it is possible to acquire information as to whether or not reattachment is required for each ACF 9, and this information is output from the determination device 63 of the inspection device 60U to the control device 80U. At this time, not only information on whether or not re-sticking is required, but also information on the position of the ACF 9 that needs to be re-attached is output to the control device 80U. Note that the determination device 63 may be provided in the control device 80U. In this case, whether the captured images of the ACF 9 are sequentially output to the control device 80U, and re-sticking is required in the determination device in the control device 80U. It is determined whether or not.

次に、ACF9の貼り直し作業を行うために、貼り直しを要するACF9の剥離を行う。このため、制御装置80Uは、剥離装置70Uに対して、貼り付け状態が良好でないACF9の剥離を行うように制御する。このとき、制御装置80Uは、貼り直しが必要なACF9とその場所との情報を剥離装置70Uに出力する。剥離装置70Uは、ボールねじ37が回転駆動することにより、剥離の対象となるACF9の場所にまで移動する。   Next, in order to perform the re-sticking operation of the ACF 9, the ACF 9 that requires re-sticking is peeled off. For this reason, the control device 80U controls the peeling device 70U so as to peel off the ACF 9 that is not in a good adhesion state. At this time, the control device 80U outputs information about the ACF 9 that needs to be reattached and its location to the peeling device 70U. The peeling device 70U moves to the location of the ACF 9 to be peeled when the ball screw 37 is rotationally driven.

ここで、剥離装置70Uが移動するために、剥離装置70Uのクラッチ機構70Cを作動状態にする。このときには、貼付け装置10Uは終端位置でクラッチ機構10Cが解除されているため、動作することはなく、貼付け装置10Uと剥離装置70Uとは干渉しない。この状態で、剥離装置70Uを移動して、図17のように、エアシリンダ72の先端に取り付けられた押圧部材73を下降させる。押圧部材73が下降すると、剥離テープ71も下降していく。そして、図18に示すように、押圧部材73を下基板2に対して完全に押し付けるようにして圧着させることにより、剥離テープ71が剥離の対象となるACF9に完全に密着する。   Here, in order for the peeling device 70U to move, the clutch mechanism 70C of the peeling device 70U is put into an operating state. At this time, since the clutch mechanism 10C is released at the terminal position, the pasting device 10U does not operate and the pasting device 10U and the peeling device 70U do not interfere with each other. In this state, the peeling device 70U is moved to lower the pressing member 73 attached to the tip of the air cylinder 72 as shown in FIG. When the pressing member 73 is lowered, the peeling tape 71 is also lowered. Then, as shown in FIG. 18, the pressing member 73 is pressed against the lower substrate 2 so as to be pressed, whereby the peeling tape 71 is completely adhered to the ACF 9 to be peeled.

この状態で、図19に示すように、エアシリンダ72の動作により押圧部材73を上昇させて、加圧力を解除する。押圧部材73の上昇と共に、剥離テープ71も上昇し、従って剥離テープ71に密着しているACF9が、下基板2から剥がれる。これにより、剥離の対象となるACF9を剥離することができる。   In this state, as shown in FIG. 19, the pressing member 73 is raised by the operation of the air cylinder 72 to release the applied pressure. As the pressing member 73 rises, the peeling tape 71 also rises, so that the ACF 9 that is in close contact with the peeling tape 71 is peeled from the lower substrate 2. Thereby, ACF9 used as the object of peeling can be peeled.

そして、別のACF9を剥離するときには、貼り直しの対象となるACF9の位置に剥離装置70Uが移動し、同様に剥離テープ71をACF9に圧着させて、ACF9を剥離する。このとき、別のACF9を剥離するために、テープ供給リール74とテープ回収リール75とによりテープ送りがされて、剥離テープ71の新たな部分で別のACF9が剥離される。   When another ACF 9 is peeled off, the peeling device 70U moves to the position of the ACF 9 to be reattached, and similarly, the peeling tape 71 is pressed against the ACF 9 to peel off the ACF 9. At this time, in order to peel off another ACF 9, the tape is fed by the tape supply reel 74 and the tape collection reel 75, and another ACF 9 is peeled off at a new portion of the peeling tape 71.

剥離の対象となる全てのACF9の剥離が終了したら、剥離装置70Uを、貼付け装置10Uが待機している終端位置とは反対側の終端位置に移動し、その場所でクラッチ機構70Cを解除して、待機状態にする。これにより、次に貼付け装置10Uが移動しても、剥離装置70Uと干渉することはない。   When the peeling of all ACFs 9 to be peeled is completed, the peeling device 70U is moved to the terminal position opposite to the terminal position where the pasting device 10U is waiting, and the clutch mechanism 70C is released at that position. , Put it in a standby state. Thereby, even if the sticking apparatus 10U moves next, it does not interfere with the peeling apparatus 70U.

ここで、剥離装置70UによりACF9の剥離がされた下基板2の部位には、若干の粘着物等が残存している。このため、当該残存物も本来的には綺麗に除去しなければならないが、この部位には再度ACF9が貼り直されるため、多少の粘着物が残存していても、特段の問題にはならない。また、剥離装置70UがACF9の剥離を行うときには、ACF9は仮圧着の状態であるため、容易にACF9を剥離することができる。   Here, a slight amount of adhesive or the like remains on the portion of the lower substrate 2 where the ACF 9 has been peeled off by the peeling device 70U. For this reason, the residue must be removed neatly. However, since the ACF 9 is re-applied to this portion, even if some sticky matter remains, there is no particular problem. Further, when the peeling device 70U peels off the ACF 9, since the ACF 9 is in a temporarily press-bonded state, the ACF 9 can be easily peeled off.

次に、剥離を行ったACF9の部位に、新しくACF9を貼り付ける。この貼り付け作業は貼付け装置10Uが行う。このため、剥離装置70Uから制御装置80Uに、剥離をすべきACF9を全て剥離した旨の信号を出力し、この信号を入力した制御装置80Uは、貼付け装置10Uに対して貼り直しの対象となるACF9の貼り直しを行う制御をする。このとき、貼付け装置10Uは、再びクラッチ機構10Cを作動状態にして、移動可能にする。貼付け装置10Uは、制御装置80Uからの信号に従って、ACF9の貼り付け位置にまで移動する。前述した貼り付け動作のときには、全てのACF9を分割貼りするために、貼付け装置10Uは1ピッチ分移動されるが、貼り直しの作業のときには、剥離した部位においてだけACF9の貼り付け作業が行われるため、平行駆動部24によって対象となる部位になるまで貼付け装置10Uが直接送り込まれる。   Next, a new ACF 9 is attached to the part of the ACF 9 that has been peeled off. This pasting operation is performed by the pasting apparatus 10U. For this reason, a signal indicating that all the ACFs 9 to be peeled are peeled off is output from the peeling device 70U to the control device 80U, and the control device 80U that has input this signal becomes a target to be pasted on the pasting device 10U. Control to re-attach the ACF 9 is performed. At this time, the affixing device 10U makes the clutch mechanism 10C active again to make it movable. The pasting device 10U moves to the pasting position of the ACF 9 in accordance with a signal from the control device 80U. In the above-described pasting operation, the pasting apparatus 10U is moved by one pitch in order to divide and paste all the ACFs 9, but in the pasting operation, the pasting operation of the ACF 9 is performed only at the peeled site. Therefore, the pasting device 10U is directly fed by the parallel drive unit 24 until the target site is reached.

このため、制御装置80Uは、貼り直しの対象となるACF9を特定するための情報(つまり、剥離したACF9の情報)を貼付け装置10Uの平行駆動部24に出力し、平行駆動部24はこの情報に基づいて、貼付け装置10Uを移動させる。そして、前述したように、ACFテープ13を供給して、ACF9のハーフカットを行い、切断されたACF9を液晶パネル1に圧着させる。これにより、ACF9の貼り直しを行うことができる。   For this reason, the control device 80U outputs information for specifying the ACF 9 to be reapplied (that is, information on the peeled ACF 9) to the parallel drive unit 24 of the application device 10U, and the parallel drive unit 24 outputs this information. Based on the above, the pasting apparatus 10U is moved. Then, as described above, the ACF tape 13 is supplied, the ACF 9 is half-cut, and the cut ACF 9 is pressure-bonded to the liquid crystal panel 1. Thereby, the ACF 9 can be reattached.

全てのACF9の貼り直しが終了したら、貼付け装置10Uは再び終端位置にまで移動して、その場所でクラッチ機構10Cを解除して、待機状態にする。以上により貼り直し作業が行われ、1つの液晶パネル1についての作業が全て終了する。そして、次の液晶パネル1の処理を行うときには、再びクラッチ機構10Cを作動状態にして、1箇所ずつACF9を分割貼りしていく。   When the reattachment of all the ACFs 9 is completed, the attaching device 10U moves again to the end position, releases the clutch mechanism 10C at that position, and puts it in a standby state. The resticking operation is performed as described above, and all operations for one liquid crystal panel 1 are completed. Then, when the next processing of the liquid crystal panel 1 is performed, the clutch mechanism 10C is again activated and the ACFs 9 are divided and pasted one by one.

以上の作業は、全て制御装置80Uが行うことにより、オペレータの介在を要することなく、自動的に貼り直しが必要なACF9を特定して、貼り直しを行うことができる。   All of the above operations are performed by the control device 80U, so that the ACF 9 that needs to be automatically reattached can be identified and reattached without requiring operator intervention.

ACFが貼り付けられる基板としての液晶セルと、この基板に搭載されるドライバ回路とを示す要部概観図である。It is a principal part schematic diagram which shows the liquid crystal cell as a board | substrate with which ACF is affixed, and the driver circuit mounted in this board | substrate. ACF貼付け装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of an ACF sticking apparatus. 貼付け装置の外観構成を示す正面図である。It is a front view which shows the external appearance structure of a sticking apparatus. 図3の左側面図である。FIG. 4 is a left side view of FIG. 3. 水平送りローラの構成説明図である。It is a structure explanatory drawing of a horizontal feed roller. 図5のA−A断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. カッタユニットの構成説明図である。It is a structure explanatory view of a cutter unit. ハーフカット工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a half cut process. 剥離装置の左側面図である。It is a left view of a peeling apparatus. 貼付け装置と剥離装置との動作を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating operation | movement with a sticking apparatus and a peeling apparatus. ACFテープ下降状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an ACF tape descending state. 圧着ヘッドの下降状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the downward state of a crimping | compression-bonding head. 圧着ブロックの引き上げ状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the raising state of a crimping | compression-bonding block. 台紙テープのACFからの剥離を行う動作の説明図である。It is explanatory drawing of the operation | movement which peels from the ACF of a mount tape. 図14のB−B断面図である。It is BB sectional drawing of FIG. ACFの両端部分の検査を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the test | inspection of the both ends of ACF. 剥離テープを押し下げていく状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which pushes down a peeling tape. 押圧部材の下降状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the descent | fall state of a press member. 押圧部材及び剥離テープの引き上げ状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the raising state of a pressing member and a peeling tape.

符号の説明Explanation of symbols

1 液晶パネル 5 電極群
10U 貼付け装置 62 テレビカメラ
60U 検査装置 63 判定装置
70U 剥離装置 80U 制御装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal panel 5 Electrode group 10U Pasting apparatus 62 Television camera 60U Inspection apparatus 63 Judgment apparatus 70U Peeling apparatus 80U Control apparatus

Claims (7)

台紙テープにACFを貼り付けたACFテープから、複数の電極が群として複数群形成された基板に電極群毎にACFを個別的に貼り付けるために、
前記ACFテープを前記基板に向けて押圧するように昇降駆動可能な圧着ヘッドを備え、前記基板の電極群の配列方向と平行に移動可能なACF貼付け手段と、
記基板に貼り付けられたACFを前記基板から剥離するために、剥離テープを前記基板に向けて押圧するように昇降駆動可能な押圧部材を有し、前記基板の電極群の配列方向と平行に移動可能な剥離手段と、
前記基板に貼付けられたACFのうち、貼付け状態が不良であり、且つ貼り直しが必要なACFを検出する検査手段とからなり、
前記検査手段でACFの貼り直しが必要であると判断されたときには、この貼り直しが必要なACF上に前記剥離手段の前記剥離テープを押圧して剥離し、この剥離したACFの位置に前記ACF貼付け手段で再度ACFの貼り直しを行
ことを特徴とするACF貼付け装置。
In order to individually attach the ACF for each electrode group from the ACF tape on which the ACF is attached to the mount tape to a substrate on which a plurality of electrodes are formed as a group ,
An ACF adhering means comprising a crimping head that can be driven up and down to press the ACF tape toward the substrate, and movable in parallel with the arrangement direction of the electrode group of the substrate ;
To peel the pasted ACF before Symbol substrate from the substrate, the release tape has a lift drivable pressing member so as to press toward the substrate, parallel to the arrangement direction of the electrode group of the substrate and peeling means capable of moving in,
Of the ACF attached on the substrate, a paste state is bad, consists of a inspection means that detect the required ACF and reattached,
When it is determined by the inspection means that the ACF needs to be re-attached, the peeling tape of the peeling means is pressed onto the ACF that needs to be re-attached and peeled off, and the ACF is placed at the position of the peeled ACF. ACF application device according to claim <br/> that intends rows reattachment of ACF again joining means.
前記ACF貼付け手段は、さらに前記ACFテープを送り出すACFテープ供給手段と、前記ACFテープ供給手段から送り出される前記台紙テープに連続性を持たせ、ACFを前記基板の各々の電極群に貼り付ける長さ分毎に切断するハーフカット手段とを、有することを特徴とする請求項1記載のACF貼付け装置。 The ACF adhering means further includes a length for adhering the ACF to each electrode group of the substrate by providing the ACF tape supplying means for sending out the ACF tape and the mount tape delivered from the ACF tape supplying means with continuity. The ACF adhering device according to claim 1 , further comprising half-cutting means for cutting every minute. 前記検査手段は、前記基板に貼り付けられたACFの両端部分を撮影する撮影手段と、基準となるACFの画像と前記撮影手段により撮影されたACFの画像とのパターンマッチングを行って貼付け状態を判定する判定手段とを、有する、ことを特徴とする請求項1記載のACF貼付け装置。   The inspection means performs pattern matching between an imaging means for imaging both end portions of the ACF attached to the substrate, a reference ACF image and an ACF image taken by the imaging means, and the pasting state is determined. The ACF pasting apparatus according to claim 1, further comprising a judging unit that judges. 前記剥離手段は、前記基板よりもACFに対しての粘着性が高い剥離テープを送り出す剥離テープ供給手段を有するものであり、前記押圧部材は、前記剥離テープ供給手段から送り出される剥離テープを、前記基板に貼り付けられたACFに押圧することを特徴とする請求項1記載のACF貼付け装置。 The peeling means has a peeling tape supply means for sending out a peeling tape having higher adhesiveness to the ACF than the substrate , and the pressing member is provided with the peeling tape sent from the peeling tape supply means, 2. The ACF sticking apparatus according to claim 1, wherein the ACF sticking apparatus is pressed against the ACF attached to the substrate. 前記ACF貼付け手段と前記剥離手段とは同一の駆動手段によって、相互に干渉しないように前記基板の電極群の配列方向と平行に移動できるように構成したことを特徴とする請求項1記載のACF貼付け装置。2. The ACF according to claim 1, wherein the ACF adhering means and the peeling means can be moved in parallel with the arrangement direction of the electrode groups of the substrate so as not to interfere with each other by the same driving means. Pasting device. 前記ACF貼付け手段及び前記剥離手段は、ボールねじ送り手段にそれぞれクラッチを介して装着する構成としたことを特徴とする請求項5記載のACF貼付け装置。6. The ACF sticking apparatus according to claim 5, wherein the ACF sticking means and the peeling means are each mounted on a ball screw feeding means via a clutch. 請求項1乃至の何れか1項に記載のACF貼付け装置を有するフラットパネルディスプレイの製造装置。 The flat panel display manufacturing apparatus which has an ACF sticking apparatus of any one of Claims 1 thru | or 6 .
JP2007214891A 2007-08-21 2007-08-21 ACF pasting device and flat panel display manufacturing device Expired - Fee Related JP5021394B2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007214891A JP5021394B2 (en) 2007-08-21 2007-08-21 ACF pasting device and flat panel display manufacturing device
KR1020080081522A KR100967687B1 (en) 2007-08-21 2008-08-20 Acf attaching apparatus, flat panel display manufacturing apparatus and flat panel display
TW097131730A TWI383718B (en) 2007-08-21 2008-08-20 An anisotropic conductive film (ACF) sticking device, a flat panel display (FPD) manufacturing apparatus, and a flat panel display
CN2008102142321A CN101373285B (en) 2007-08-21 2008-08-21 ACF paste device, manufacturing device of flat panel display

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007214891A JP5021394B2 (en) 2007-08-21 2007-08-21 ACF pasting device and flat panel display manufacturing device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009049237A JP2009049237A (en) 2009-03-05
JP5021394B2 true JP5021394B2 (en) 2012-09-05

Family

ID=40447524

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007214891A Expired - Fee Related JP5021394B2 (en) 2007-08-21 2007-08-21 ACF pasting device and flat panel display manufacturing device

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5021394B2 (en)
KR (1) KR100967687B1 (en)
CN (1) CN101373285B (en)
TW (1) TWI383718B (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011149756A (en) * 2010-01-20 2011-08-04 Hitachi High-Technologies Corp Processing operation device, acf attached condition inspection method, or display substrate module assembly line
KR102138746B1 (en) 2013-05-15 2020-07-29 삼성디스플레이 주식회사 Film treating apparatus and method for film treating using the same
JP6767333B2 (en) * 2017-09-28 2020-10-14 芝浦メカトロニクス株式会社 Electronic component mounting device

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3288495B2 (en) * 1993-08-27 2002-06-04 松下電器産業株式会社 Apparatus for sticking conductive film
JP3323395B2 (en) * 1995-03-24 2002-09-09 松下電器産業株式会社 Method of bonding IC components to flat panel display
JP4352581B2 (en) 2000-05-17 2009-10-28 パナソニック株式会社 Anisotropic conductor supply device for bonding electronic components
JP3324599B2 (en) * 2000-07-18 2002-09-17 松下電器産業株式会社 Apparatus and method for attaching conductive film
JP2002043339A (en) * 2000-07-28 2002-02-08 Hitachi Chem Co Ltd Device and method for stripping film
JP2003078238A (en) 2001-09-03 2003-03-14 Asuriito Fa Kk Device and method for sticking anisotropic conductor
JP3939159B2 (en) * 2002-02-05 2007-07-04 芝浦メカトロニクス株式会社 Tape member sticking state inspection device and tape member sticking device using the same
KR100724479B1 (en) * 2003-11-07 2007-06-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Liquid crystal display device and meothd for inspecting a bonding state with driving circuit
JP2006013214A (en) * 2004-06-28 2006-01-12 Optrex Corp Anisotropic conductive film sticking method
JP4965113B2 (en) * 2005-11-22 2012-07-04 パナソニック株式会社 Joining sheet affixing device and method

Also Published As

Publication number Publication date
KR100967687B1 (en) 2010-07-07
TWI383718B (en) 2013-01-21
CN101373285A (en) 2009-02-25
KR20090019735A (en) 2009-02-25
TW200926925A (en) 2009-06-16
CN101373285B (en) 2011-11-16
JP2009049237A (en) 2009-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4370341B2 (en) ACF pasting device
JP4392766B2 (en) ACF pasting device
JP5096835B2 (en) ACF pasting device and flat panel display manufacturing device
WO2011158476A1 (en) Tape adhesion device and tape adhesion method
JP2008016594A (en) Acf (anisotropic conductive film) sticking device, acf sticking method, temporary press-bonding device and liquid crystal driver mounting machine
JP2011199056A (en) Assembling device for fpd module
JP5269873B2 (en) Manufacturing apparatus and manufacturing method of liquid crystal display device
JP4271056B2 (en) Method and apparatus for attaching tape to substrate
JP4539856B2 (en) ACF pasting method and ACF pasting apparatus
KR100810086B1 (en) Bonding system of acf[aanisotropic conductive film]
JP5021394B2 (en) ACF pasting device and flat panel display manufacturing device
JP5315273B2 (en) FPD module assembly equipment
JP2008135660A (en) Method of manufacturing display unit and connection device
JP4504211B2 (en) Tape application method
JP5424976B2 (en) FPD module assembly equipment
JP5325669B2 (en) ACF sticking device
JP2009010123A (en) Apparatus for mounting electronic component and method of manufacturing electronic component
JP2007123343A (en) Method and system for thremo-compression
JP2020107739A (en) Sheet-like adhesive material attaching method and sheet-like adhesive material attaching device
JP5074453B2 (en) Crimping device and replacement method of protective sheet
JP4249570B2 (en) Tape application method
JP2009010124A (en) Apparatus for mounting electronic component and method of manufacturing electronic component
JPH07253590A (en) Peeling device and peeling method for separator
JP2010067996A (en) Acf sticking device
JP2013197287A (en) Fpd module assembly apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100118

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111017

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111025

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111222

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120612

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120614

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150622

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees