JP5009253B2 - 基板洗浄装置 - Google Patents
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Description
略円形の基板を保持し、該基板を鉛直軸回りに回転させる回転駆動部と、
前記基板の下方に配置された昇降部材と、
前記昇降部材を昇降させる昇降装置と、
前記基板の下面の周縁部に対向するように前記昇降部材に取り付けられた第1の洗浄ブラシと、
前記昇降部材の上昇時に、前記基板の端面部に当接するように前記昇降部材に取り付けられた第2の洗浄ブラシと、
前記第2の洗浄ブラシが前記端面部に対向するように取り付けられ、前記第2の洗浄ブラシが、前記基板の端面部に対して接近離隔可能となるように、前記昇降部材に回転自在に取り付けられた回転アームと、
前記回転アームの一端部を前記端面部に接近させる回転モーメントを前記回転アームに与える回転モーメント付与部と、
前記昇降部材が下降すると前記回転アームの他端に当接し、前記昇降部材が上昇すると前記他端と離間し、前記他端に当接すると、前記回転アームの一端が前記端面部から離間する方向の回転モーメントを前記回転アームに与える固定部材と、
を備える。
まず、本発明の第1の実施形態について説明する。
図1には、本実施形態に係る基板洗浄装置100の構成が示されている。
3本のプッシュピン5は、ケーシング2から+Z方向に突き出ている。3本目のプッシュピン5は、スピンチャック3の反対側(−X側)に設けられており、図示されていない。+Z側から見ると3本のプッシュピン5は、スピンチャック3を中心とする円周上に120度間隔で配置されている。プッシュピン5は、3本が同時に同じ高さを保ったまま昇降する。
上側のノズル12の噴射口は、回転するウエハWの略中央部に向いている。この噴射口から噴射された洗浄液は、ウエハWの回転の遠心力により、ウエハWの上面全体に広がり、ウエハWの外周から下方に落下する。
下側の2本のノズル12の噴射口は、ウエハWの下面の外周方向に向いている。これらの噴射口から噴射された洗浄液は、洗浄ブラシ7とウエハWとが接触する部分を含むウエハWの下面上に吹き付けられた後落下する。連続的に噴射される洗浄液により、洗浄ブラシ7、9、22付近には、十分な水膜が形成され、ブラシ洗浄によるスクラッチの形成が防止される。
続いて、主制御装置50は、カップ駆動装置33を駆動して、図7に示されるように、カップ13を上昇させる(ステップS05)。
上記第1の実施形態においては、洗浄ブラシ7、9のウエハWへの押圧力は一定であったが、これらを調整できるようにしてもよい。
そこで、洗浄ブラシ7、9の押圧力を調整可能とした本発明の第2の実施形態について説明する。
本実施形態に係る基板洗浄装置101は、図10に示すように、上記第1の実施形態に係る基板洗浄装置100の構成に加え、洗浄ブラシ7、9、22のウエハWへの押圧力を調整するための機構と、それらの押圧力を監視するための機構と、をさらに備えている。なお、本実施形態では、上記第1の実施形態に係る基板処理装置100と同じ部分については、同一の符号を付す。
第2の実施形態においては、3つの重量センサ51、52、53の検出値を表示部60に表示したり、これを押圧力の制御に利用することも可能である。
以下、重力センタの検出値を用いて、洗浄ブラシ7、9の押圧力を制御する第3の実施形態について説明する。
図11に示されているように、本実施形態に係る基板洗浄装置102は、上記第2の実施形態に係る基板洗浄装置101の構成に加え、洗浄ブラシ7のウエハWへの押圧力を制御するための機構をさらに備えている。
上記実施形態においては、洗浄ブラシ7、22は、停止しているが、洗浄効果を高めるため、これらを回転させることも可能である。
以下、洗浄ブラシ7、22を回転させるための機構を備える第4の実施形態について説明する。
モータ61は、プッシュリング6における洗浄ブラシ7の直下に取り付けられており、洗浄ブラシ7を、Z軸回りに回転させる。また、モータ62は、上部アーム21内に設けられており、洗浄ブラシ22を、Z軸回りに回転させる。主制御装置50は、モータ61、62により、洗浄ブラシ7、22を一定の回転数で回転させた状態で、ウエハWに接触させる。
例えば、図4のステップS09、S11において図13の矢印YBで示すように、上部ブラシ機構14を、ウエハWの中心を越える位置まで移動した後で下降し、続いて、ウエハWの中心を通って端部まで移動して洗浄し、再度、上部ブラシ機構14を上昇させて、ウエハWの中心を越える位置まで移動した後で下降し、続いて、ウエハWの中心を通って端部まで移動して洗浄するという工程を繰り返す。
以上詳細に説明したように、上記各実施形態によれば、洗浄ブラシ7、9の駆動機構を共通化することにより、装置の複雑化、大型化が防止される。この共通化は、上下動するプッシュリング6と回転アーム8との組み合わせにより実現される。
2 ケーシング
3 スピンチャック
4A モータ(スピンドルモータ)
4B 昇降装置
5 プッシュピン
6 プッシュリング
7 洗浄ブラシ
8 回転アーム
9 洗浄ブラシ
10 バランスウエイト
12 ノズル
13 カップ
14 上部ブラシ機構
15 回転軸
16 傾斜面
21 上部アーム
22 洗浄ブラシ
25 押しばね
31 洗浄液供給装置
32 上部アーム駆動装置
33 カップ駆動装置
34 ロードアーム駆動装置
35 スピンチャック駆動装置
36 真空吸着機構
41 アクチュエータ
42 連結部材
43 台板
44 シリンダ
45 リニアガイド
46 台板
47 昇降駆動部
50 主制御装置
51、52、53 重量センサ
60 表示部
61、62 モータ
71 連動部材
72 カム機構
100、101、102、103 基板洗浄装置
W ウエハ
Claims (9)
- 略円形の基板を保持し、該基板を鉛直軸回りに回転させる回転駆動部と、
前記基板の下方に配置された昇降部材と、
前記昇降部材を昇降させる昇降装置と、
前記基板の下面の周縁部に対向するように前記昇降部材に取り付けられた第1の洗浄ブラシと、
前記昇降部材の上昇時に、前記基板の端面部に当接するように前記昇降部材に取り付けられた第2の洗浄ブラシと、
前記第2の洗浄ブラシが前記端面部に対向するように取り付けられ、前記第2の洗浄ブラシが、前記基板の端面部に対して接近離隔可能となるように、前記昇降部材に回転自在に取り付けられた回転アームと、
前記回転アームの一端部を前記端面部に接近させる回転モーメントを前記回転アームに与える回転モーメント付与部と、
前記昇降部材が下降すると前記回転アームの他端に当接し、前記昇降部材が上昇すると前記他端と離間し、前記他端に当接すると、前記回転アームの一端が前記端面部から離間する方向の回転モーメントを前記回転アームに与える固定部材と、
を備える基板洗浄装置。 - 前記固定部材は、前記回転アームに当接する傾斜面を有し、
前記回転アームは、前記傾斜面の法線よりもさらに傾斜しており、
前記固定部材は、前記回転アームの他端部に当接することにより、前記回転アームの一端が前記端面部から離間する方向の回転モーメントを前記回転アームに与える、ことを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄装置。 - 前記固定部材は、前記昇降装置を収納するケーシングから構成される、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板洗浄装置。
- 前記回転モーメント付与部は、前記回転アームに取り付けられたバランスウエイトを含む、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。
- 前記回転モーメント付与部は、前記昇降部材と前記回転アームとの間に架け渡された弾性部材を含む、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。
- 前記昇降装置は、
前記昇降部材を昇降するアクチュエータと、
前記昇降部材を上昇させる力を調整する調整部と、を備える、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。 - 前記第1の洗浄ブラシが前記周縁部に当接することにより前記周縁部に加えられる押圧力を検出するセンサをさらに備え、
前記調整部は、前記センサの検出信号に基づいて、前記押圧力を調整する、
ことを特徴とする請求項6に記載の基板洗浄装置。 - 前記第1の洗浄ブラシを回転させるモータをさらに備える、ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。
- 前記基板の上方に配置されたアームと、
前記基板の上面の周縁部に対向するように、前記アームに取り付けられた第3の洗浄ブラシと、
前記アームを駆動して、前記第3の洗浄ブラシを昇降させるアーム駆動装置と、
をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。
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Families Citing this family (11)
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