JP5009095B2 - 接合体及びその製造方法 - Google Patents
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Description
含侵部のSiC充填率は、50%以上が好ましく、60%以上がより好ましい。50%に満たない充填率では金属シリコンの浸透を十分に防ぐことが出来ず、多孔体全体に金属シリコンが浸透してしまうおそれがあるからである。
[実施例1〜10、比較例1〜4]
SiCの多孔体として気孔率65%で平均気孔径30μmのものを使用した。これらの形状はΦ200mm×t15mmの円板形状である。またこれらと同形状のSiC緻密体(相対密度98%)と多孔体との接合も行った。なお、気孔率はアルキメデス法により、平均気孔径は、水銀圧入法により求めた。
接合後の評価は浸透層の厚さをマイクロスコープで観察し、その平均値で評価を行った。なお、浸透層の厚さについては、多孔体同士の場合は、両多孔体の浸透層厚さの平均を用いた。また、引け巣状態の評価は、各接合体について、四半円状に四等分した接合体の切断面を観察し、切断面に現れた接合層の長さ(100mm×4箇所)に対して隙間の長さが10%以下ならば○、20%以下ならば△、20%より大きいものについては×とした。この評価値については事前に行った気体のリークテストにより、接合層に発生した隙間の長さが20%以下であれば接合部からのリークが問題のない程度であることが確認されたことから判定した。また、接合層のアルミニウムの含有量はX線マイクロアナライザー(EPMA)による元素マッピングから検量線を用いて測定した。
Claims (4)
- SiC多孔体と、該SiC多孔体に金属シリコンが浸透した浸透層と、該浸透層に接したシリコン合金からなる接合層とを含む接合体であって、前記シリコン合金のアルミニウム含有量は1〜20wt%であり、前記浸透層の厚みが50μm以下であることを特徴とする接合体。
- 請求項1記載の接合体において、
前記浸透層の金属シリコンは、前記シリコン合金のアルミニウム含有量以下のアルミニウムを含有することを特徴とする接合体。 - SiC多孔体の少なくとも一部に金属シリコンを浸透させて、浸透層を形成する工程と、
該浸透層を50μm以下の厚みに加工して接合面を形成する工程と、
金属シリコンにアルミニウムを5〜30wt%添加した接合材を使用し、金属シリコンの融点以下であって接合材が溶融する温度に加熱することにより、接合材に含まれるアルミニウムを前記浸透層の金属シリコンに拡散させる工程と、を含むことを特徴とする接合体の製造方法。 - 請求項3記載の接合体の製造方法において、
SiC多孔体の少なくとも一部にSiC粉末のスラリーを含侵させて含侵部を形成する工程と、
該含侵部に金属シリコンを浸透させて、浸透層を形成する工程と、を含むことを特徴とする接合体の製造方法。
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