JP5007383B2 - Memsメモリ用マイクロプローブ - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係るMEMSメモリ用マイクロプローブをある方向から見た斜視図、図2は、上記MEMSメモリ用マイクロプローブを別の方向から見た斜視図である。本実施形態に係るMEMSメモリ用マイクロプローブ10は、プローブ先端部11と、レバー部15と、ベース部17とを備える。レバー部15は、プローブ先端部11とベース部17との間の電気的および機械的接続を担う。レバー部15は、プローブ先端部11を支え、ベース部17はレバー部15を支える。
図9は、第2実施形態に係るMEMSメモリ用マイクロプローブを示す斜視図である。
図10は、第3実施形態に係るMEMSメモリ用マイクロプローブを示す斜視図である。
11,21,31…プローブ先端部
12…記録/再生用スライス型電極
13,23,33…絶縁層
14,24,34…支持部
15,25,35…レバー部
16,26,36…レバー部電極アレイ
17,27,37…ベース部
18,28,38…ベース部電極アレイ
22,32…記録/再生用薄膜電極
39…電極間絶縁層
100…記録媒体
101…記録/再生ビット
Claims (7)
- 記録媒体に対向するように配置され、該記録媒体に接触させて情報の記録/再生を行うプローブ先端部と、
前記プローブ先端部との電気的および機械的接続を担うレバー部と、
前記レバー部との電気的および機械的接続を担うベース部とを具備し、
前記プローブ先端部には、
前記記録/再生に用いられる電極と、該電極とともに前記プローブ先端部を形成する支持部とが交互に複数配置され、
前記電極が角部を介して2面を有し、その2面が共に露出しており、
前記電極および前記支持部が前記記録媒体に対向する同一平面をなし、前記記録媒体に接触する面に平行な前記プローブ先端部の任意の断面が互いに同一であることを特徴とするMEMSメモリ用マイクロプローブ。 - 前記電極の材料を前記支持部よりも硬い材料とすることを特徴とする請求項1記載のMEMSメモリ用マイクロプローブ。
- 前記電極と前記支持部との間に挟まれる絶縁層をさらに具備することを特徴とする請求項1記載のMEMSメモリ用マイクロプローブ。
- 前記電極は、前記プローブ先端部の前記記録媒体に対する相対的な移動方向であるプローブスキャン方向に対して平行な方向に沿ってアレイ状に配置されることを特徴とする請求項1記載のMEMSメモリ用マイクロプローブ。
- 前記レバー部は、前記プローブ先端部を第1の方向から支える第1のレバー部と、前記プローブ先端部を前記第1の方向に対向する第2の方向から支える第2のレバー部とを有することを特徴とする請求項1記載のMEMSメモリ用マイクロプローブ。
- 前記プローブ先端部は複数のトレンチを有し、前記電極は前記トレンチの中に形成されることを特徴とする請求項1記載のMEMSメモリ用マイクロプローブ。
- 前記プローブ先端部は、前記レバー部から前記記録媒体の方向に突出するように設けられる請求項1に記載のMEMSメモリ用マイクロプローブ。
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