JP5006663B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents
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Description
第2の密着層7を省いた以外は実施例1と同様の方法で液体吐出ヘッドを作製した。
第1の密着層5および第2の密着層7を省略するとともに、第2の保護膜6として従来用いているタンタルを200nm形成した。
2 発熱抵抗体層
4 第1の保護膜
5 第1の密着層
6 第2の保護膜
7 第2の密着層
8 樹脂密着層
10 流路構成部材
11 吐出口
12 インク供給口
Claims (8)
- 吐出口から液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生するエネルギー発生手段と、該エネルギー発生手段を保護するための絶縁性の第1の保護膜と、該第1の保護膜の上側に設けられ、前記エネルギー発生手段を保護するためのイリジウムまたは白金からなる第2の保護膜と、が設けられた基板と、前記吐出口と連通する流路の壁を有し、前記基板の前記第2の保護膜が設けられた側と接することで、前記流路を形成する流路構成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドであって、
前記第2の保護膜と前記流路構成部材との間には、チタン、窒化チタン、窒化タンタルおよび窒化クロムの中から選ばれる少なくとも1つの材料からなる無機材料層と、有機材料からなる樹脂材料層とが、前記第2の保護膜、前記無機材料層、前記樹脂材料層、前記流路構成部材の順に接して設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記樹脂材料層は、ポリエーテルアミドからなることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記流路構成部材は、エポキシ樹脂からなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記基板には、無機材料からなる更なる無機材料層が、前記第1の保護膜と前記第2の保護膜との間に設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記更なる無機材料層が、チタン、窒化チタン、窒化タンタルおよび窒化クロムの中から選ばれる少なくとも1つの材料からなることを特徴とする請求項4に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記無機材料層と前記更なる無機材料層とが、同じ材料からなることを特徴とする請求項4に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記無機材料層と前記更なる無機材料層とが、チタンからなることを特徴とする請求項4に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記無機材料層と前記更なる無機材料層とのうち、一方がチタンからなり、他方が窒化チタンからなることを特徴とする請求項4に記載の液体吐出ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007034232A JP5006663B2 (ja) | 2006-03-08 | 2007-02-15 | 液体吐出ヘッド |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006062000 | 2006-03-08 | ||
JP2006062000 | 2006-03-08 | ||
JP2007034232A JP5006663B2 (ja) | 2006-03-08 | 2007-02-15 | 液体吐出ヘッド |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007269011A JP2007269011A (ja) | 2007-10-18 |
JP2007269011A5 JP2007269011A5 (ja) | 2010-04-08 |
JP5006663B2 true JP5006663B2 (ja) | 2012-08-22 |
Family
ID=38672268
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007034232A Expired - Fee Related JP5006663B2 (ja) | 2006-03-08 | 2007-02-15 | 液体吐出ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5006663B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8291576B2 (en) * | 2008-06-18 | 2012-10-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing liquid ejection head |
JP5312202B2 (ja) | 2008-06-20 | 2013-10-09 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
JP5179609B2 (ja) * | 2011-02-28 | 2013-04-10 | 富士フイルム株式会社 | 流路構造体及びその製造方法並びに液体吐出ヘッド |
JP6049496B2 (ja) * | 2013-02-22 | 2016-12-21 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、及び液体吐出ヘッド用基板の製造方法 |
JP6120662B2 (ja) * | 2013-04-25 | 2017-04-26 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの再生方法 |
WO2016068958A1 (en) | 2014-10-30 | 2016-05-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printing apparatus and methods of producing such a device |
JP6431605B2 (ja) | 2014-10-30 | 2018-11-28 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.Hewlett‐Packard Development Company, L.P. | インクジェットプリントヘッド |
JP6976743B2 (ja) * | 2017-06-29 | 2021-12-08 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、導電層の形成方法、及び液体吐出ヘッド用基板の製造方法 |
JP7023650B2 (ja) * | 2017-09-27 | 2022-02-22 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4794737B2 (ja) * | 2000-02-10 | 2011-10-19 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドのヒータへのコゲ付着低減方法 |
JP3728210B2 (ja) * | 2001-02-23 | 2005-12-21 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッドおよびその製造方法、インクジェット記録装置 |
US6626523B2 (en) * | 2001-10-31 | 2003-09-30 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Printhead having a thin film membrane with a floating section |
JP3950730B2 (ja) * | 2002-04-23 | 2007-08-01 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドおよびインク吐出方法 |
JP2004055845A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Canon Inc | 回路基板およびその製造方法 |
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2007
- 2007-02-15 JP JP2007034232A patent/JP5006663B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007269011A (ja) | 2007-10-18 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100212 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120525 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150601 Year of fee payment: 3 |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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