JP5005968B2 - 位置測定装置と位置測定装置の組立及び調整をするための方法 - Google Patents
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24457—Failure detection
Description
S5=S1−S3
S6=S2−S4
であり、この場合、
S1=Asinωt
S2=Acosωt
S3=−Asinωt
S4=−Acosωt
である。
このアナログの走査信号S5,S6は、デジタル化ユニット7に供給され、このデジタル化ユニットでは、その解読が増分式の目盛3の目盛周期よりも良好である位置測定値を受けるために、これら走査信号が補完される。デジタル化ユニット7の出力部には、90°だけ互いに位相のずれた2つの矩形波信号D5,D6が溜り、これら矩形波信号は、後続の電子機器、例えばカウンタ又は数値制御装置に供給される。
2 走査ヘッド
3 目盛
3.1 反射領域
3.2 非反射領域
4 光源
5 検出器
5.1〜5.4 検出要素
6 回路
7 デジタル化ユニット
8 モジュール
9 スライドガイド
11 コントロール装置
13 警報装置
20 介入手段
A 振幅(信号)
A’ 低減された振幅
D 走査間隔
D5,D6 矩形波信号
F エラー信号
L 光路(光束)
S1〜S4 走査信号
S5,S5 走査信号
V 所定のレベル
X 測定方向
Claims (6)
- −光電走査可能な目盛(3)を備えるスケール(1)と、
−スケール(1)が光源(4)と検出器(5)間の光路(L)内に配設され、検出器(5)が走査信号(S1〜S6)を発生させる、光源(4)と検出器(5)とを有する走査ヘッド(2)と、
−振幅が所定のレベル(V)の上又は下にあるかを識別するように、コントロール装置(11)が形成されている、所定のレベル(V)と走査信号(S1〜S6)の振幅を比較するためのコントロール装置(11)と
を有する位置測定装置において、
振幅(A)を少なくとも50%だけ低減する、光路(L)内に導入可能な介入手段(20)が設けられており、コントロール装置(11)が、走査信号(S1〜S6)が位置測定のために確実であるかの点検と、走査間隔(D)のコントロールのために、第1のモードで、光路(L)内に介入手段(20)を導入しないで得た走査信号(S1〜S6)の振幅(A)を所定のレベル(V)と比較し、第2のモードで、光路(L)内に介入手段(20)を導入して得た走査信号(S1〜S6)の振幅である低減された振幅(A’)を同じ所定のレベル(V)と比較し、第1のモードでは、振幅(A)が所定のレベル(V)を下回った場合に警報を発し、第2のモードでは、低減された振幅(A’)が同じ所定のレベル(V)を下回った場合に警報を発するように形成されていることを特徴とする位置測定装置。 - 介入手段が、光(L)を減衰させるための光フィルタ(20)であることを特徴とする請求項1に記載の位置測定装置。
- 光フィルタ(20)が、走査ヘッド(2)に取外し可能に配設されており、走査ヘッド(2)とスケール(1)間の走査間隔(D)よりも小さい厚さを備えることを特徴とする請求項2に記載の位置測定装置。
- 光フィルタ(20)が、スケール(1)の表面に取外し可能に配設されており、走査ヘッド(2)とスケール(1)間の走査間隔(D)よりも小さい厚さを備えることを特徴とする請求項2に記載の位置測定装置。
- 走査信号(S1〜S6)が、所定のレベル(V)と走査信号(S1〜S6)の振幅を比較し、振幅が所定のレベル(V)の上又は下にあるかを識別するコントロール装置(11)に供給される、請求項1〜4のいずれか1つに記載の光電式の位置測定装置の組立及び調整をするための方法において、
走査信号(S1〜S6)が位置測定のために確実であるかの点検のために、第1のモードで、光路(L)内に少なくとも50%だけ振幅を低減するための介入手段(20)を導入しないで得た走査信号(S1〜S6)の振幅(A)がコントロール装置(11)によって所定のレベル(V)と比較され、走査間隔(D)のコントロールのために、第2のモードで、光路(L)内に少なくとも50%だけ振幅を低減するための介入手段(20)を導入して得た走査信号(S1〜S6)の振幅である低減された振幅(A’)がコントロール装置(11)によって同じ所定のレベル(V)と比較され、第1のモードでは、振幅(A)が所定のレベル(V)を下回った場合に警報が発せられ、第2のモードでは、低減された振幅(A’)が同じ所定のレベル(V)を下回った場合に警報が発せられることを特徴とする方法。 - 走査ヘッド(2)とスケール(1)間の走査間隔(D)よりも小さい厚さを備える光フィルタ(20)が光路(L)内に導入されることによって、振幅(A)が低減されることを特徴とする請求項5に記載の方法。
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