JP5003312B2 - 膜の赤外吸収スペクトル測定方法 - Google Patents
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Description
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記第1の試料の被測定膜は樹脂からなることを特徴とするものである。
図1(A)、(B)はそれぞれこの発明の第1実施形態としての膜の赤外吸収スペクトル測定方法に用いる第1、第2の試料の断面図を示す。図1(A)に示す第1の試料1は、赤外光の吸収が大きい材料からなる基板11の上面に被測定膜12が形成され、被測定膜12の上面に赤外光を半透過する材料からなる半透過膜13が形成されたものからなっている。図1(B)に示す第2の試料2は、基板11の上面に半透過膜13が形成されたものからなっている。
この第2実施形態では、図1(A)、(B)において、被測定膜12を樹脂膜によって形成し、この樹脂膜からなる被測定膜12の膜厚を求める場合について説明する。まず、図1(A)、(B)において、被測定膜12は、スピンコート法によりメタクリレート系樹脂を膜厚数μm程度に塗布することにより形成する。基板11は厚さ0.7mm程度のホウケイ酸ガラス基板からなっている。半透過膜13はDCスパッタ法により成膜された厚さ50nm程度のITO膜からなっている。
d=m/[2n(ν1−ν2)]……(1)
基板1は、赤外光を吸収する材料からなるものであればよく、ホウケイ酸ガラス基板のほかに、ソーダガラス基板、アルミナセラミック基板、ポリイミド系樹脂等からなるフィルム基板、ガラス布基材エポキシ樹脂等からなるプリント基板等であってもよい。また、半透過膜13は、赤外域での透過スペクトルまたは反射スペクトルがフラットな特性で固有のピークを持たない材料からなるものであればよく、ITO膜のほかに、MgSnO3膜、Bi3Ti3O7膜、CeTiO4膜、CuTiO3膜等であってもよい。
2 第2の試料
3 第1の比較試料
4 第2の比較試料
11 基板
12 被測定膜
13 半透過膜
Claims (2)
- 赤外光を吸収する材料である、ホウケイ酸ガラス基板、ソーダガラス基板、のいずれかを含む基板上に、被測定膜が形成され、前記被測定膜上に、赤外光を半透過し、赤外域での透過スペクトルまたは反射スペクトルがフラットな特性で固有のピークを持たない材料からなる、ITO膜を含む半透過膜が形成された第1の試料と、赤外光を吸収する材料である、ホウケイ酸ガラス基板、ソーダガラス基板、のいずれかを含む基板上に、赤外光を半透過し、赤外域での透過スペクトルまたは反射スペクトルがフラットな特性で固有のピークを持たない材料からなる、ITO膜を含む半透過膜が形成された第2の試料と、を用意する工程と、
前記第1の試料に対して前記半透過膜側から赤外光を照射し、それによって反射された赤外光を検出し、この検出結果から第1の試料用赤外吸収スペクトルを得る工程と、
前記第2の試料に対して前記半透過膜側から赤外光を照射し、それによって反射された赤外光を検出し、この検出結果から第2の試料用赤外吸収スペクトルを得る工程と、
前記第1の試料用赤外吸収スペクトルから前記第2の試料用赤外吸収スペクトルを差し引いて前記第1の試料の被測定膜の正味の赤外吸収スペクトルを得る工程と、
を有し、
前記被測定膜の膜厚d(cm)=m/[2(ν1−ν2)]とする時、
周期的なピークとして現れる、前記第1の試料における、前記半透過膜および前記被測定膜の界面と、前記第1の試料における、前記被測定膜および前記基板の界面と、の干渉縞の、ある干渉縞の山または谷の波数(cm -1 )がν1、別の干渉縞の山または谷の波数(cm -1 )がν2、波数ν1の山または谷が、波数ν2の山または谷から数えてm番目、空気の屈折率=1であることを特徴とする膜の赤外吸収スペクトル測定方法。 - 請求項1に記載の発明において、前記第1の試料の被測定膜は樹脂からなることを特徴とする膜の赤外吸収スペクトル測定方法。
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