JP5002899B2 - サージ電圧保護ダイオード - Google Patents
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Description
図11は入力回路の保護に縦型静電気保護ダイオードが使用された例で、比較的高いESD耐量が要求される場合に適用される。図11において、第1の静電気保護ダイオード8と第2の静電気保護ダイオード9の間に抵抗10が挿入され、内部入力回路11に接続されている。この場合、第2の静電気保護ダイオード9は抵抗10によって流れる電流を低くできるため横型ダイオードを使用する場合も多い。一般にCMOS回路等で構成される内部入力回路11の入力は、MOSFETのゲートに接続されるためインピーダンスが高く、抵抗10に比較的大きな抵抗を使用しても特性に大きな影響を与えない。図12は図11の回路の動作を説明するための図で12は第1の静電気保護ダイオード8のI-V特性、13は第2の静電気保護ダイオード9と抵抗10を直列にした回路のI-V特性、14は第2の静電気保護ダイオード9のI-V特性を模式的に示したものである。第1の静電気保護ダイオード8に電流Iz1が流れると電圧Vz1が発生し、第2の静電気保護ダイオード9と抵抗10を直列接続した回路にはIrが流れる。したがって第2の静電気保護ダイオード9にはVz2の電圧が発生する。上記から分かるように抵抗10の値を大きくすることでIrを小さくできることからVz2を静電気保護ダイオード9のブレークダウン電圧に近づけることができ、第1の静電気保護ダイオード8及び第2の静電気保護ダイオード9の動作抵抗がそれほど低くなくても内部入力回路11を有効に保護することが可能である。
一方、図13はオープンドレインタイプの出力MOSFETの保護に使われた例で、保護対象のMOSFET20のドレイン及びソースにそれぞれ静電気保護ダイオード21のカソード及びアノードが接続されている。ここで22はMOSFET20の寄生ダイオードを示している。一般的なMOSFETのアバランシェ電圧より高い部分のI−V特性は図14の23に示すようなもので、電流の増加とともに電圧が増加し、さらに高い電流領域では負性抵抗をしめす。この負性抵抗は、後に説明する寄生ダイオード自身の負性抵抗によるものと、寄生ダイオードのアバランシェによる電流が寄生トランジスタのベース電流となり、寄生トランジスタが動作することによる負性抵抗の2つのモードがある。特に前者は後者より負性抵抗による電流集中が発生し易く容易に破壊にいたる。この様なMOSFET20をESD等のサージから保護するにはMOSFET20が負性抵抗領域に入る電圧(ブレークオーバー電圧)を超えない様に保護素子によりMOSFET20に流れる電流をバイパスしてやる必要がある。図14の24に示すI‐V特性の保護ダイオードではI1+I0以内の電流、25に示すI−V特性の素子ではI2+I0以内の電流であればMOSFET20を保護することができる。ただし、簡略化のため図示しないが厳密にはMOSFET20は、ESDサージのdV/dtによりゲート電圧が上昇し閾値を超える場合があるため、MOSFET20のオン状態でのブレークオーバー電圧を超えないことも必要である。このゲート電圧上昇の程度は、サージのdV/dtはもちろん駆動回路やMOSFETのゲート配線抵抗などに依存する。この様な場合の静電気保護には先に述べた様に同じ面積で比較的低い動作抵抗が得られる縦型静電気保護ダイオードが特に有効である。図16(a)はこの様な従来の縦型静電気保護ダイオードの断面構造の例で、p++基板1上にエピタキシャル成長によりp‐層3が形成され、p‐層3表面にはnカソード領域4が拡散により形成され、さらにnカソード領域4内には低い接触抵抗を得るためn+コンタクト領域5が形成されている。また、nカソード領域4やICの要素デバイスを形成するための熱処理によりp++基板1からp‐層3への拡散が起こりp+領域2が形成されている。この様な構造の静電気保護ダイオードはp+/p‐エピ基板を使用したICに形成することが容易であるが、p+基板からの拡散によって表面に形成されるデバイスの特性に影響を与えることを防ぐため、p‐層3の厚さがある程度必要である。たとえば、図15に示すような横型MOSFET70を自動車分野で多用されるハイサイドスイッチ用途の目的で集積する場合、nウェル71の単位面積当たりの正味不純物量(nウエルの不純物量からp‐層3の不純物量を差し引いた不純物量)が1×1012cm-2程度のRESURF条件(実際にはオン耐圧向上のため若干高い値が望ましい)において、パンチスルー電圧を40V以上確保するにはpウェル72の深さにも影響されるが、nウェル71の深さは4μm程度以上必要である。即ち、P++基板1からの拡散によって形成されるP+領域2によってnウェル71が浅くなりパンチスルー耐圧が劣化することを防止するにはp‐層3の厚さは4μm程度以上必要である。
一般に、通常のICで要求されるESD耐量は組立中の静電気による破壊などを想定したマシンモデル200pF/0Ωで数百V以下であるが、自動車用半導体では使用中の静電気破壊を想定したヒューマンボディモデルで、150pF/150Ωで25kV以上という非常に高い耐量などが要求されている。この場合、100A近い電流がESD保護ダイオードに流れるため、従来のICに内蔵されたESD保護ダイオードでは保護できず、外付けのディスクリート素子の保護ダイオード等が使用されてきた。このため入出力端子が多数存在する自動車用ICでは外付け部品の増加によって小型化が妨げられ、自動車用ICの大きな課題となっていた。特に保護ダイオードが負性抵抗を持つ場合には、図11のような入力回路に使用する場合においても保護ダイオード自身が破壊するため、抵抗10の抵抗値を大きくしても効果がなく、保護ダイオードを非常に大きくする必要があり、ICに内臓することは困難であった。また図13の様に出力MOSFET20の保護に使用する場合は、適用電流密度範囲で負性抵抗を持たないことが必要であると共に、動作抵抗が十分低い必要がある。
dE/dx=q(p-NA-n)/ε 式(1)
ここで、1×105V/cm程度以上の強電界領域では電子、正孔共ドリフト速度は飽和しており、
n=Je/(q・Vse) Vse:電子飽和速度 式(2)
p=Jh/(q・Vsh) Vsh:正孔飽和速度 式(3)
である。
アバランシェ初期(J≒0Acm-2)では電子、正孔電流による電子、正孔濃度は低いため、NA>>p,nでありp-領域3の電界分布は殆どNAで決定され、p‐領域3のdE/dxは負の値を持っている。しかし、アバランシェ電流が増加し、正孔電流による空間電荷がイオン化したアクセプタの密度に対して無視できなくなる電流領域になると(1)式の値は増加し、正孔電流による空間電荷がイオン化したアクセプタの密度と等しくなった時点でdE/dx=0となる。このためp‐領域3の強電界領域が広がるが、イオン化率の電界強度依存性は非常に大きいため強電界領域が広くなってもアバランシェ電流を維持するための最大電界強度は大きくは変化しない。このため、この電流領域での電界強度分布は図18の34に示す略台形の電界分布となり、これに伴い電界Eの積分値である電圧は、この電流領域で急激に増大する。この電圧の増加はp-領域3の幅に大きく依存する。これはdE/dxが0付近になった時点で強電界領域がp-領域3全体に広がり、強電界領域が保持する電圧はほぼp-領域3の厚さに比例するためである。さらに正孔電流による空間電荷がイオン化したアクセプタの密度をこえると(1)式の値は正となり、dE/dxは当初とは逆の傾きになりp‐領域3とp+領域2との境界での電界強度が増加する。このためp‐領域3とp+領域2との境界で衝突電離によるキャリアが発生する。この場合p‐領域3に流入するキャリアは電子であるためp‐領域3内の正孔の電荷を打ち消しp‐領域3中央付近のdE/dxはふたたび0に近づく。一方、p+領域2とp++領域1との境界付近で衝突電離によって生成された正孔と電子はそれぞれ逆方向に走行するためp++領域1側ほど正孔電流比率が増加しp+領域2側ほど電子電流比率が増加する。
同様にn領域4とp‐領域3の境界付近でも濃度の違い、キャリアの符号の違い、電子と正孔のイオン化率、飽和速度の違いはあるものの、本質的には同じ現象がおこり、p‐領域3側ほど正孔電流の比率が増加する。このため、電界強度分布は図18の35のような馬の鞍形の分布となる。この場合もイオン化率の電界強度依存性は非常に大きいため、最大電界強度は大きく変化しないで電流が維持できる。このため、電界強度Eの積分値である電圧は、p‐領域3中央付近の電界強度が低下する影響により急激に減少し、図17の点32に示すように電流の増加に伴って電圧が減少する負性抵抗特性をしめす電流領域が存在する。なお、図18の35において強電界領域が34に比較して広がっているのはdE/dx=0となる点、即ち電流による空間電荷がイオン化した不純物による空間電荷と等しくなる点が電流の増加により濃度勾配に沿って高濃度側に移動するためである。
つまり、第1導電型低比抵抗半導体領域と第2導電型低比抵抗半導体領域と、該第1導電型低比抵抗半導体領域及び第2導電型低比抵抗半導体領域に挟まれた第1導電型または第2導電型の高比抵抗領域の少なくとも一方によりpn接合を形成する縦型サージ電圧保護ダイオードにおいて、前記pn接合に対する逆バイアス印加時のブレークダウン電圧での空乏層が前記高比抵抗領域全体に広がっており、かつブレークダウン電圧における平均電界強度が最大電界強度の1/2以上であり、前記ブレークダウン電圧がアバランシェブレークダウン電圧であり、前記第1導電型低比抵抗半導体領域の前記第1導電型又は第2導電型高比抵抗領域に接する部分と、前記第2導電型低比抵抗半導体領域の前記第1導電型又は第2導電型高比抵抗領域に接する部分の少なくとも一方の濃度勾配を所定の値以下として、前記アバランシェブレークダウンにより発生するアバランシェ電流の増加に対する電圧の変化dV/diが正であるようにすることとする。
また、前記アバランシェ電流の増加に対する電圧の変化dV/diが、前記pn接合に対する逆バイアス印加時に流れ始める電流密度から3×10 4 A/cm 2 以下の領域でつねに正であるようにするとよい。
また、前記第1導電型低比抵抗半導体領域の前記第1導電型又は第2導電型高比抵抗領域に接する部分と、前記第2導電型低比抵抗半導体領域の前記第1導電型又は第2導電型高比抵抗領域に接する部分の少なくとも一方の濃度勾配を所定の値として電流密度3×104A/cm2での動作電圧が耐圧の25%増以下の電圧にするとよい。
また、前記濃度勾配の所定の値がn領域側の濃度勾配をGn、p領域側の濃度勾配をGpとし、1/G=1/Gn+1/GpにおけるGの値が1×1020cm−4以下であるようにするとよい。
また、前記高比抵抗領域の正味の不純物濃度が1×1016cm-3以下であるとよい。
また、前記第1導電型低比抵抗半導体領域が高濃度半導体基板であり、
前記第2導電型低比抵抗半導体領域が、高濃度半導体基板上に形成された第1導電型半導体エピ層表面からの不純物拡散により形成されているとよい。
なお、前記サージ電圧は静電気による過電圧である。
図1はこの発明の実施例1における静電破壊保護装置の断面構造図で、図15と比較し、n+カソード領域4が深く拡散しp+領域2と接している点で異なっている。図2の60は図1に示すX-X’部分の正味の濃度分布(ネットドーピングプロファイル)で本実施例では0.015Ωcmのボロン基板上に1Ωcm/18μmのp-層3をエピ成長したSi基板を使用し、表面から2.4×1015cm-2のドーズ量でリンをイオン注入した後1150℃20時間程度の熱処理を施した場合のシミュレーション結果である。比較のためほぼ同じ耐圧を持つ図16に示す従来構造の素子の例として同様のSi基板に同じ1150℃20時間の熱処理を施した後3.5×1013cm-2のドーズ量でリンをイオン注入し1000℃400分の熱処理を施した素子の濃度プロファイルを61で示す。このようにカソード領域4のドーズ量を高くすることでカソード領域4がp+領域2と接する様に形成することが可能であるが、p-層3のエピ層厚さが薄い場合は、より少ないドーズ量でほぼ同様のJ-V特性を得ることが出来るようになる。例えばp-層3のエピ層厚さが15μmであればカソード領域4のドーズ量は6×1014 cm-2程度である。なお、このような高ドーズ量のカソード領域を形成する場合にはp-層3の比抵抗は1Ωcm以上であれば殆ど影響しない。
[実施例2]
この濃度分布を解析的に求めることは容易ではないが、シミュレーションを利用し、低電流密度領域から順に電流負性抵抗になる場合は濃度勾配を緩く、動作抵抗が大きくなる場合は濃度勾配を大きくすることで最適値を求めることができる。
2 p+領域
3 p-層
4 n+領域
5 n++コンタクト領域
6 カソード電極
7 アノード電極
8 静電気保護ダイオード
9 静電気保護ダイオード
10 抵抗
11 内部入力回路
20 出力MOSFET
21 静電気保護ダイオード
22 MOSFET寄生ダイオード
71 nウェル
72 pウェル
73 n++ソース
74 p++コンタクト
Claims (10)
- 第1導電型低比抵抗半導体領域と第2導電型低比抵抗半導体領域と、該第1導電型低比抵抗半導体領域及び第2導電型低比抵抗半導体領域に挟まれた第1導電型または第2導電型の高比抵抗領域の少なくとも一方によりpn接合を形成する縦型サージ電圧保護ダイオードにおいて、前記pn接合に対する逆バイアス印加時のブレークダウン電圧での空乏層が前記高比抵抗領域全体に広がっており、かつブレークダウン電圧における平均電界強度が最大電界強度の1/2以上であり、前記ブレークダウン電圧がアバランシェブレークダウン電圧であり、前記第1導電型低比抵抗半導体領域の前記第1導電型又は第2導電型高比抵抗領域に接する部分と、前記第2導電型低比抵抗半導体領域の前記第1導電型又は第2導電型高比抵抗領域に接する部分の少なくとも一方の濃度勾配を所定の値以下として、前記アバランシェブレークダウンにより発生するアバランシェ電流の増加に対する電圧の変化dV/diが正であるようにすることを特徴とするサージ電圧保護ダイオード。
- 前記アバランシェ電流の増加に対する電圧の変化dV/diが、アバランシェ開始直後の電流密度から3×10 4 A/cm 2 以下の領域でつねに正であるようにすることを特徴とする請求項1に記載のサージ電圧保護ダイオード。
- 前記アバランシェ電流の増加に対する電圧の変化dV/diが、前記pn接合に対する逆バイアス印加時に流れ始める電流密度から3×104A/cm2以下の領域でつねに正であるようにすることを特徴とする請求項2に記載のサージ電圧保護ダイオード。
- ブレークダウン電圧における平均電界強度が最大電界強度の3/4以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のサージ電圧保護ダイオード。
- 前記第1導電型低比抵抗半導体領域の前記第1導電型又は第2導電型高比抵抗領域に接する部分と、前記第2導電型低比抵抗半導体領域の前記第1導電型又は第2導電型高比抵抗領域に接する部分の少なくとも一方の濃度勾配を所定の値として電流密度3×104A/cm2での動作電圧が耐圧の25%増以下の電圧にすることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のサージ電圧保護ダイオード。
- 前記濃度勾配の所定の値がn領域側の濃度勾配をGn、p領域側の濃度勾配をGpとし、1/G=1/Gn+1/GpにおけるGの値が1×1020cm−4以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のサージ電圧保護ダイオード。
- 前記高比抵抗領域の正味の不純物濃度が1×1016cm-3以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のサージ電圧保護ダイオード。
- 前記第1導電型低比抵抗半導体領域が高濃度半導体基板であり、前記第2導電型低比抵抗半導体領域が、高濃度半導体基板上に形成された第1導電型半導体エピ層表面からの不純物拡散により形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のサージ電圧保護ダイオード。
- 第1導電型低比抵抗半導体領域と第2導電型低比抵抗半導体領域と、該第1導電型低比抵抗半導体領域及び第2導電型低比抵抗半導体領域に挟まれた第1導電型または第2導電型高比抵抗領域の少なくとも一方によりpn接合を形成する縦型サ−ジ電圧保護ダイオードにおいて、前記第1導電型低比抵抗半導体領域または前記第2導電型低比抵抗半導体領域の少なくとも一方が前記高比抵抗半導体領域に接する領域近傍の濃度勾配が所定の値とし、前記pn接合に対する逆バイアス印加時のブレークダウン電圧での空乏層が前記高比抵抗半導体領域全体に広がっており、かつ前記ブレークダウン電圧における平均電界強度が最大電界強度の1/2以上であり、かつ前記ブレークダウン電圧がアバランシェブレークダウン電圧であり、かつ前記電界強度の積分値∫E(J,x)dxの電流密度jに対する変化d{∫E(J,x)dx}/djが、前記アバランシェブレークダウンの発生直後におけるアバランシェ電流の電流密度から3×104A/cm2 以下の電流密度領域において正の値をとることを特徴とするサージ電圧保護ダイオード。
- 前記サージ電圧が静電気による過電圧であることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載のサージ電圧保護ダイオード。
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