JP4996304B2 - 走査型顕微鏡とその調節方法 - Google Patents

Description

本発明は、走査型顕微鏡とその調節方法に関するものである。

従来、走査型顕微鏡は、標本面上の観察範囲である視野を決めるパラメータとして、対物レンズの倍率とガルバノスキャナによる照明光の偏向角の２つを決定する必要がある。
しかしながら、同一の視野を達成するためのこれら対物レンズの倍率とガルバノスキャナの偏向角との組み合わせは、複数通り存在するので、その選択をユーザに任せると最適な観察条件による観察を行うことができないという不都合がある。

対物レンズとズーム光学系とでＣＣＤ上に像を形成する顕微鏡装置において、ズーム倍率を、対物レンズの倍率、開口数およびＣＣＤの分解能に基づいて決定する顕微鏡が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。

特開２００２−１７４７７９号公報

しかしながら、特許文献１に開示された顕微鏡は、走査型顕微鏡ではないので、この技術を、光電変換のプロセスにおいて分解能の制限がない走査型顕微鏡にそのまま適用することはできない。
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、対物レンズの倍率と走査手段による照明光の偏向角と、これに基づく総合倍率との関係を理解した上での操作をユーザに強いることなく、簡易に最適な調節を行うことを可能とする走査型顕微鏡とその調節方法を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、標本に対して照明光を集光する対物レンズと、照明光を偏向して走査させる走査手段と、該走査手段により走査された照明光を前記対物レンズの瞳へ投影する瞳投影光学系と、総合倍率を指定する総合倍率指定部と、前記対物レンズおよび前記瞳投影光学系を含む光学系の倍率が前記総合倍率指定部により指定された総合倍率以下であり、前記光学系の開口数が最大となるように、前記対物レンズおよび前記瞳投影光学系の少なくとも一方を切り替える光学系選択部と、前記光学系の倍率と前記総合倍率との比に基づいて、前記総合倍率が達成されるように、前記走査手段による照明光の偏向角を決定する偏向角決定部とを備える走査型顕微鏡を提供する。

本発明によれば、総合倍率指定部により総合倍率を指定することにより、光学系選択部の作動により、対物レンズおよび瞳投影光学系の少なくとも一方が、総合倍率以下かつ光学系の開口数が最大となるように切り替えられ、偏向角決定部の作動により、光学系倍率と総合倍率との比に基づいて、走査手段による照明光の偏向角が決定される。これにより、指定された総合倍率が達成されるとともに、最も高い分解能が得られるように設定される。その結果、複雑な知識に基づく操作をユーザに強いることなく、簡易に最適な調節を行うことができる。

上記発明においては、前記対物レンズが選択可能に複数設けられ、前記瞳投影光学系が固定された瞳投影倍率を備え、前記光学系選択部が、前記総合倍率以下の倍率を有し、開口数が最大の対物レンズを選択し、前記偏向角決定部が、前記光学系選択部により選択された対物レンズの倍率と前記総合倍率との比に基づいて、前記照明光の偏向角を決定することとしてもよい。

このようにすることで、光学系選択部の作動により、総合倍率以下の倍率を有しかつ開口数が最大の対物レンズが選択され、偏向角決定部の作動により、対物レンズの倍率と総合倍率との比に基づいて、偏向角が決定され、指定された総合倍率が達成されるとともに、最も高い分解能が得られるように設定される。

また、上記発明においては、前記瞳投影光学系が、瞳投影倍率を変更可能であり、前記光学系選択部は、前記光学系の倍率が前記総合倍率以下であり、前記光学系の開口数が最大となるように瞳投影倍率を変更し、前記偏向角決定部が、前記光学系の倍率と前記総合倍率との比に基づいて、前記照明光の偏向角を決定することとしてもよい。
このようにすることで、光学系選択部の作動により、総合倍率以下の倍率を有しかつ開口数が最大となる瞳投影光学系の瞳投影倍率が選択され、偏向角決定部の作動により、光学系倍率と総合倍率との比に基づいて偏向角が決定され、指定された総合倍率が達成されるとともに、最も高い分解能が得られるように設定される。

また、上記発明においては、前記光学系選択部が、前記瞳投影光学系の瞳投影倍率を連続的に変化させるズーム機構であることとしてもよい。
このようにすることで、ズーム機構の作動により瞳投影光学系の瞳投影倍率を連続的に変化させて最適な瞳投影倍率を選択し、その後走査手段による偏向角を決定することにより、指定された総合倍率を達成しかつ最も高い分解能を得ることができる偏向角の最適値を設定することができる。

また、上記発明においては、前記瞳投影光学系が選択可能に複数設けられ、前記光学系選択部が、複数の瞳投影光学系の中から１つの瞳投影光学系を選択することとしてもよい。
このようにすることで、瞳投影光学系を不連続に切り替え、かつ選択された瞳投影倍率に対して最適な偏向角が選択されることにより、指定された総合倍率を達成しかつ最も高い分解能を得ることができる。

また、上記発明においては、前記総合倍率指定部が、観察する視野を物体面における寸法で表した量で指定する視野指定部を備え、該視野指定部により指定された視野に基づいて前記総合倍率を換算することとしてもよい。
このようにすることで、ユーザが所望の視野寸法を指定するだけで、指定された総合倍率を達成しかつ最も高い分解能を得ることができる。したがって、ユーザの操作性をさらに向上することができる。

また、本発明は、標本に対して照明光を集光する対物レンズと、照明光を偏向して走査させる走査手段と、該走査手段により走査された照明光を前記対物レンズの瞳へ投影する瞳投影光学系とを備える走査型顕微鏡の調節方法であって、総合倍率を指定し、前記対物レンズおよび前記瞳投影光学系を含む光学系の倍率が指定された総合倍率以下であり、かつ、前記光学系の開口数が最大となるように、前記対物レンズおよび前記瞳投影光学系の少なくとも一方を切り替え、前記光学系の倍率と前記総合倍率との比に基づいて、前記総合倍率が達成されるように、前記走査手段による照明光の偏向角を決定する走査型顕微鏡の調節方法を提供する。

本発明によれば、総合倍率を指定すると、光学系倍率が総合倍率以下で開口数が最大となるように対物レンズおよび瞳投影光学系の少なくとも一方が切り替えられ、光学系倍率と総合倍率との比に基づいて、走査手段による照明光の偏向角が決定される。これにより、指定された総合倍率が達成されるとともに、最も高い分解能が得られるように設定される。その結果、複雑な知識に基づく操作をユーザに強いることなく、簡易に最適な調節を行うことができる。

上記発明においては、前記対物レンズが選択可能に複数設けられ、前記瞳投影光学系が固定された瞳投影倍率を備える走査型顕微鏡において、前記総合倍率以下の倍率を有し、開口数が最大の対物レンズを選択し、選択された対物レンズの倍率と前記総合倍率との比に基づいて、前記照明光の偏向角を決定することとしてもよい。
このようにすることで、総合倍率以下の倍率を有しかつ開口数が最大の対物レンズが選択され、対物レンズの倍率と総合倍率との比に基づいて偏向角が決定されるので、指定された総合倍率が達成されるとともに、最も高い分解能が得られるように、走査型顕微鏡が調節される。

また、上記発明においては、前記瞳投影光学系が、瞳投影倍率を変更可能に設けられた走査型顕微鏡において、前記光学系の倍率が前記総合倍率以下であり、前記光学系の開口数が最大となるように瞳投影倍率を変更し、前記光学系の倍率と前記総合倍率との比に基づいて、前記照明光の偏向角を決定することとしてもよい。
このようにすることで、総合倍率以下の倍率を有しかつ開口数が最大となる瞳投影光学系の瞳投影倍率が選択され、光学系倍率と総合倍率との比に基づいて偏向角が決定されるので、指定された総合倍率が達成されるとともに、最も高い分解能が得られるように走査型顕微鏡が調節される。

本発明によれば、対物レンズの倍率と走査手段による照明光の偏向角と、これに基づく総合倍率との関係を理解した上での操作をユーザに強いることなく、簡易に最適な調節を行うことができるという効果を奏する。

本発明の一実施形態に係る走査型顕微鏡１とその調節方法について、図１および図２を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る走査型顕微鏡１は、図１に示されるように、レーザ光を出射するレーザ光源２と、該レーザ光源２からのレーザ光を２次元的に走査するガルバノスキャナ３と、該ガルバノスキャナ３により走査されたレーザ光を集光して、ガルバノスキャナ３の位置に形成される瞳をリレーする瞳投影レンズ４および結像レンズ５と、これら瞳投影レンズ４および結像レンズ５により瞳をリレーされたレーザ光をステージ２６上の標本Ａに集光させる対物レンズ６とを備えている。また走査型顕微鏡１は、標本Ａにおいて発生し、対物レンズ６、結像レンズ５、瞳投影レンズ４およびガルバノスキャナ３を介して戻る蛍光を透過させレーザ光を反射するダイクロイックミラー７と、該ダイクロイックミラー７を透過した蛍光を集光する共焦点レンズ８と、該共焦点レンズ８の焦点位置に配置された共焦点ピンホール９と、蛍光に混入しているレーザ光を遮断するバリアフィルタ１０と、バリアフィルタ１０を透過した蛍光を検出する光検出器１１とを備えている。図中、符号１２はミラーである。

前記対物レンズ６は、モータ１３により回転駆動される電動レボルバ１４に、異なる倍率および開口数を有するものが複数装備され、これらの内から選択されたいずれかの対物レンズ６が光軸上に配置されるようになっている。モータ１３にはモータドライバ２７を介してコントロールユニット１５が接続されている。これにより、コントロールユニット１５からの指令信号に基づいて、モータドライバ２７がモータ１３に対し駆動指令を出力し、電動レボルバ１４が回転駆動されて、いずれかの対物レンズ６が選択されるようになっている。

コントロールユニット１５には、例えば、図２に示されるような対物レンズリストが記憶されている。対物レンズリストは、電動レボルバ１４における各対物レンズ６の位置（レボルバ穴番号）と、倍率ｍと、開口数（ＮＡ）とが対応づけられたものである。

また、前記ガルバノスキャナ３は、２つのＤ／Ａ変換器１６，１７、乗算器１８およびアンプ１９を介してコントロールユニット１５に接続されている。
コントロールユニット１５は、該コントロールユニット１５に接続された波形メモリ２０から読み出した波形信号を第１のＤ／Ａ変換器１６に入力するとともに、後述する振幅制御信号Ｖを第２のＤ／Ａ変換器１７に入力し、これら２つのＤ／Ａ変換器１６，１７の出力が乗算器１８により乗算処理された後、アンプ１９により増幅されてガルバノスキャナ３に入力されるようになっている。

第１のＤ／Ａ変換器１６に入力される波形信号は、ガルバノスキャナ３を構成する各ガルバノミラー（図示略）の揺動パターンを決定する信号である。また、第２のＤ／Ａ変換器１７に入力される振幅制御信号Ｖは、ガルバノスキャナ３を構成する各ガルバノミラーの揺動の振幅、すなわち、ガルバノミラーによるレーザ光の偏向角範囲を決定する信号である。

また、コントロールユニット１５には、キーボード２１およびマウス２２等の入力手段およびディスプレイ２３を有するコンピュータ２４が接続されている。このコンピュータ２４を介してユーザが総合倍率Ｍを設定することができるようになっている。
また、前記光検出器１１は、例えば光電子増倍管であり、ガルバノスキャナ３によるレーザ光の各走査位置毎に、検出した蛍光の輝度情報を出力するようになっている。出力された蛍光輝度情報は、Ａ／Ｄ変換器２５によりディジタル値に変換された後に、コントロールユニット１５に入力されるようになっている。

コントロールユニット１５は、ガルバノスキャナ３による走査位置と蛍光輝度情報とを対応づけてコンピュータ２４に出力するようになっている。コンピュータ２４は、１フレーム分の走査位置と蛍光輝度情報とが入力された時点で、１枚のフレーム画像を生成し、ディスプレイ２３に出力するようになっている。

ここで、本実施形態に係る走査型顕微鏡１の調節方法について説明する。
ユーザは、コンピュータ２４に接続された入力手段２１，２２を使用して、観察条件として所望の総合倍率Ｍを入力する（ステップＳ１）。
総合倍率Ｍ（例えば、Ｍ＝５０）が入力されると、コントロールユニット１５に送られる。コントロールユニット１５においては、対物レンズリストが参照され、総合倍率Ｍ以下の倍率ｍを有する対物レンズ６（例えば、図２の対物レンズリストに示される例では、レボルバ穴番号１，２，３）が抽出されるとともに、抽出された対物レンズ６の中から開口数が最大の対物レンズ６（例えば、図２の対物レンズリストに示される例では、レボルバ穴番号３、倍率ｍ＝４０）が選択される（ステップＳ２）。

ここで、コントロールユニット１５においては、ガルバノスキャナ３に出力する振幅制御信号Ｖが下式（１）により算出される（ステップＳ３）。
Ｖ＝（ｍ／Ｍ）×Ｖ_ｒｅｆ （１）
なお、Ｖ_ｒｅｆは基準値である。

前記アンプ１９のゲインは、基準値Ｖ_ｒｅｆが出力されたときに、ガルバノスキャナ３が対物レンズ６本来の視野範囲を走査するように調整されている。
この例では、基準値Ｖ_ｒｅｆ＝５Ｖとすると、コントロールユニット１５から出力される振幅制御信号Ｖは、Ｖ＝４０／５０×５＝４Ｖとなる。

また、コントロールユニット１５は波形メモリ２０から波形信号を読み出し、サンプリングクロックに同期して、逐次第１のＤ／Ａ変換器１６に出力する。
そして、乗算器１８において、第１のＤ／Ａ変換器１６から出力される波形信号と、第２のＤ／Ａ変換器１７から出力される振幅制御信号Ｖとが乗算される。

すなわち、乗算器１８からは、対物レンズ６本来の視野範囲を走査するための基準値Ｖ_ｒｅｆが第２のＤ／Ａ変換器１７から出力されている場合と比較すると、Ｖ／Ｖ_ｒｅｆ倍の振幅制御信号Ｖが出力されるので、走査される視野は、対物レンズ６本来の視野に比べてＶ／Ｖ_ｒｅｆ倍に狭くなる。しかしながら、この狭い視野範囲を同じピクセル数で画像化することができるので、得られる画像の倍率は、対物レンズ６本来の倍率ｍに比べてＶ_ｒｅｆ／Ｖ倍になる。その結果、得られる画像の倍率は、対物レンズ倍率ｍ×ガルバノスキャナ倍率Ｖ_ｒｅｆ／Ｖ＝総合倍率Ｍとなり、指定された総合倍率Ｍを達成することができる。

このように構成された本実施形態に係る走査型顕微鏡１とその調節方法によれば、ユーザは、対物レンズ６の倍率選択と、ガルバノスキャナ３を構成するガルバノミラーの振幅制御によるズームという２つのパラメータを個別に決定する必要がなくなり、最終的に欲しい総合倍率Ｍを指定するだけで、自動的に最適な設定を行うことができる。すなわち、所望の総合倍率Ｍを指定するだけで、該総合倍率Ｍを達成し、かつ、最も開口数が大きい組み合わせで２つのパラメータが選択されるので、高分解能の画像を簡易に取得することができるという利点がある。

なお、本実施形態においては、ユーザがコンピュータ２４の入力手段２１，２２を操作して、総合倍率Ｍを入力することとしたが、これに代えて、観察する視野を物体面における寸法で表した量で指定することにしてもよい。この場合には、コンピュータ２４内において、指定された量から総合倍率Ｍを換算することにすればよい。このようにすることで、ユーザはより直感的に分かり易いやり方で総合倍率Ｍを指定することができ、操作性を向上することができる。

次に、本発明の第２の実施形態に係る走査型顕微鏡１′とその調節方法について、図３および図４を参照して説明する。
本実施形態の説明において、上述した第１の実施形態に係る走査型顕微鏡１と構成を共通とする箇所には同一符号を付して説明を省略する。

本実施形態に係る走査型顕微鏡１′は、第１の実施形態に係る走査型顕微鏡１が、複数の対物レンズ６を切り替えることとし、単一の瞳投影レンズ４を備えていたのに対し、単一の対物レンズ６を備え、モータ３１による電動ズームの変倍式瞳投影光学系３２を備えている点において相違している。
瞳投影光学系３２の倍率可変範囲は、最小倍率Ｇ_ｒｅｆ（例えば、Ｇ_ｒｅｆ＝４）から、レーザ光が対物レンズ６の瞳をちょうど満たすようになる最大倍率（例えば、８倍）までの範囲に設定されている。

また、アンプ１９のゲインは、瞳投影光学系３２の瞳投影倍率Ｇが、最小倍率Ｇ_ｒｅｆで、かつ、第２のＤ／Ａ変換器１７の振幅制御信号Ｖが基準値Ｖ_ｒｅｆのときに、対物レンズ６本来の視野範囲が走査されるように調節されている。

ここで、本実施形態に係る走査型顕微鏡１′の調節方法について説明する。
ユーザは、コンピュータ２４に接続された入力手段２１，２２を使用して、観察条件として所望の総合倍率Ｍを入力する（ステップＳ１）。
総合倍率Ｍ（例えば、Ｍ＝５０）が入力されると、コントロールユニット１５に送られる。コントロールユニット１５においては、総合倍率Ｍと対物レンズ６の倍率ｍ（例えば、ｍ＝１０）との比を最小倍率Ｇ_ｒｅｆに乗算した倍率Ｇ_ｍａｘ＝Ｍ／ｍ×Ｇ_ｒｅｆ（例えば、Ｇ_ｍａｘ＝５０／１０×４＝２０）が算出される（ステップＳ２′）。

そして、倍率Ｇ_ｍａｘを越えない範囲で、最大の瞳投影倍率Ｇが算出される（ステップＳ３′）。モータ３１を駆動して瞳投影光学系３２の瞳投影倍率Ｇ（本実施形態の例では瞳投影倍率は４〜８倍なので、８倍）を設定することにより、走査される視野が、対物レンズ６本来の視野に比べてＧ_ｒｅｆ／Ｇ倍に狭くなる。

ここで、コントロールユニット１５においては、ガルバノスキャナ３に出力する振幅制御信号Ｖが下式（２）により算出される（ステップＳ４）。
Ｖ＝（Ｇ／Ｇ_ｒｅｆ）×（ｍ／Ｍ）×Ｖ_ｒｅｆ （２）
この例では、基準値Ｖ_ｒｅｆ＝５Ｖとすると、コントロールユニット１５から出力される振幅制御信号Ｖは、Ｖ＝（８／４）×（１０／５０）×５＝２Ｖとなる。

コントロールユニット１５は波形メモリ２０から波形信号を読み出し、サンプリングクロックに同期して、逐次第１のＤ／Ａ変換器１６に出力する。
そして、乗算器１８において、第１のＤ／Ａ変換器１６から出力される波形信号と、第２のＤ／Ａ変換器１７から出力される振幅制御信号Ｖとが乗算される。

すなわち、乗算器１８からは、対物レンズ６本来の視野範囲を走査するための基準値Ｖ_ｒｅｆが第２のＤ／Ａ変換器１７から出力されている場合と比較すると、Ｖ／Ｖ_ｒｅｆ倍の振幅制御信号Ｖが出力されるので、走査される視野は、対物レンズ６本来の視野に比べてさらにＶ／Ｖ_ｒｅｆ倍に狭くなる。しかしながら、この狭い視野範囲を同じピクセル数で画像化することができるので、得られる画像の倍率は、対物レンズ６本来の倍率ｍに比べて（Ｇ／Ｇ_ｒｅｆ）×（Ｖ_ｒｅｆ／Ｖ）倍になる。その結果、得られる画像の倍率は、対物レンズ倍率ｍ×（Ｇ／Ｇ_ｒｅｆ）×（Ｖ_ｒｅｆ／Ｖ）＝総合倍率Ｍとなり、指定された総合倍率Ｍを達成することができる。

このように構成された本実施形態に係る走査型顕微鏡１′とその調節方法によれば、ユーザは、１本の対物レンズ６で、瞳投影光学系３２の瞳投影倍率Ｇを変更して、低倍率・低開口数〜高倍率・高開口数までをカバーするような場合であっても、瞳投影光学系３２の倍率変更の影響による視野の変化を意識することなく、最終的に欲しい総合倍率Ｍだけを設定すれば、瞳投影光学系３２の設定とガルバノスキャナ３の振幅の設定を自動的に最適な値にすることができる。
そして、所望の総合倍率Ｍを指定するだけで、該総合倍率Ｍを達成する組み合わせの中で、最も開口数が大きい組み合わせが選択されるので、高分解能の画像を簡易に取得することができるという利点がある。

なお、上記説明においては、総合倍率Ｍ＝５０、対物倍率ｍ＝１０、最小瞳投影倍率Ｇ_ｒｅｆ＝４、瞳投影光学系３２の倍率範囲４〜８倍としたが、これに代えて、例えば、総合倍率Ｍ＝１５、対物倍率ｍ＝１０、最小瞳投影倍率Ｇ_ｒｅｆ＝４、瞳投影光学系３２の倍率範囲４〜８倍の場合には、Ｇ_ｍａｘ＝１５／１０×４＝６となる。これは、瞳投影光学系３２の倍率範囲内であるため、瞳投影光学系３２の調節のみで総合倍率Ｍを得ることができる。したがって、ガルバノスキャナ３に対しては基準電圧Ｖ_ｒｅｆ＝５Ｖを出力すればよい。

また、本実施形態においては、瞳投影光学系３２として、モータ３１により駆動される電動ズーム方式のものを例示したが、これに限定されるものではなく、瞳投影倍率Ｇの異なる複数の瞳投影光学系ユニット（図示略）を切替可能に備えていてもよい。この場合、ターレット式あるいはミラー挿脱式等任意の方法で瞳投影光学系ユニットを切り替えることにすればよい。

本発明の第１の実施形態に係る走査型顕微鏡を示す全体構成図である。 図１の走査型顕微鏡の調節方法を説明する対物レンズリストおよびフローチャートである。 本発明の第２の実施形態に係る走査型顕微鏡を示す全体構成図である。 図３の走査型顕微鏡の調節方法を説明するフローチャートである。

符号の説明

Ａ 標本
Ｇ 瞳投影倍率
Ｍ 総合倍率
Ｖ 振幅制御信号（偏向角）
１，１′ 走査型顕微鏡
３ ガルバノスキャナ（走査手段）
４ 瞳投影レンズ（瞳投影光学系：光学系）
５ 結像レンズ（瞳投影光学系：光学系）
６ 対物レンズ（光学系）
１４ 電動レボルバ（光学系選択部）
１５ コントロールユニット（偏向角決定部）
２４ コンピュータ（総合倍率指定部）
３１ モータ（光学系選択部）
３２ 瞳投影光学系（光学系）

Claims (9)

1. 標本に対して照明光を集光する対物レンズと、
   照明光を偏向して走査させる走査手段と、
   該走査手段により走査された照明光を前記対物レンズの瞳へ投影する瞳投影光学系と、
   総合倍率を指定する総合倍率指定部と、
   前記対物レンズおよび前記瞳投影光学系を含む光学系の倍率が前記総合倍率指定部により指定された総合倍率以下であり、前記光学系の開口数が最大となるように、前記対物レンズおよび前記瞳投影光学系の少なくとも一方を切り替える光学系選択部と、
   前記光学系の倍率と前記総合倍率との比に基づいて、前記総合倍率が達成されるように、前記走査手段による照明光の偏向角を決定する偏向角決定部とを備える走査型顕微鏡。
2. 前記対物レンズが選択可能に複数設けられ、
   前記瞳投影光学系が固定された瞳投影倍率を備え、
   前記光学系選択部が、前記総合倍率以下の倍率を有し、開口数が最大の対物レンズを選択し、
   前記偏向角決定部が、前記光学系選択部により選択された対物レンズの倍率と前記総合倍率との比に基づいて、前記照明光の偏向角を決定する請求項１に記載の走査型顕微鏡。
3. 前記瞳投影光学系が、瞳投影倍率を変更可能であり、
   前記光学系選択部は、前記光学系の倍率が前記総合倍率以下であり、前記光学系の開口数が最大となるように瞳投影倍率を変更し、
   前記偏向角決定部が、前記光学系の倍率と前記総合倍率との比に基づいて、前記照明光の偏向角を決定する請求項１に記載の走査型顕微鏡。
4. 前記光学系選択部が、前記瞳投影光学系の瞳投影倍率を連続的に変化させるズーム機構である請求項３に記載の走査型顕微鏡。
5. 前記瞳投影光学系が選択可能に複数設けられ、
   前記光学系選択部が、複数の瞳投影光学系の中から１つの瞳投影光学系を選択する請求項３に記載の走査型顕微鏡。
6. 前記総合倍率指定部が、観察する視野を物体面における寸法で表した量で指定する視野指定部を備え、該視野指定部により指定された視野に基づいて前記総合倍率を換算する請求項１から請求項５のいずれかに記載の走査型顕微鏡。
7. 標本に対して照明光を集光する対物レンズと、照明光を偏向して走査させる走査手段と、該走査手段により走査された照明光を前記対物レンズの瞳へ投影する瞳投影光学系とを備える走査型顕微鏡の調節方法であって、
   総合倍率を指定し、前記対物レンズおよび前記瞳投影光学系を含む光学系の倍率が指定された総合倍率以下であり、かつ、前記光学系の開口数が最大となるように、前記対物レンズおよび前記瞳投影光学系の少なくとも一方を切り替え、
   前記光学系の倍率と前記総合倍率との比に基づいて、前記総合倍率が達成されるように、前記走査手段による照明光の偏向角を決定する走査型顕微鏡の調節方法。
8. 前記対物レンズが選択可能に複数設けられ、前記瞳投影光学系が固定された瞳投影倍率を備える走査型顕微鏡において、
   前記総合倍率以下の倍率を有し、開口数が最大の対物レンズを選択し、
   選択された対物レンズの倍率と前記総合倍率との比に基づいて、前記照明光の偏向角を決定する請求項７に記載の走査型顕微鏡の調節方法。
9. 前記瞳投影光学系が、瞳投影倍率を変更可能に設けられた走査型顕微鏡において、
   前記光学系の倍率が前記総合倍率以下であり、前記光学系の開口数が最大となるように瞳投影倍率を変更し、
   前記光学系の倍率と前記総合倍率との比に基づいて、前記照明光の偏向角を決定する請求項７に記載の走査型顕微鏡の調節方法。

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