JP4993626B2 - 成膜方法 - Google Patents
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Description
まず、本発明の製造方法を実現することができる一例としての成膜装置を説明する。図1及び図2に示すように、本実施形態に係る成膜装置1は、真空容器11と、回転ドラム13と、モータ17と、スパッタ手段20と、スパッタガス供給手段30と、プラズマ発生手段60と、ガス供給手段70とを含む。なお、図中では、スパッタ手段20及びプラズマ発生手段60は破線で、スパッタガス供給手段30及びガス供給手段70は一点鎖線で表示する。
次に、図1〜図4に示す成膜装置1を用いた成膜方法の一例を説明する。
この状態で、回転ドラム13を再回転して基板Sを反応プロセス領域60Aに搬送すると、基板Sの表面に生成した酸化チタン薄膜は、反応プロセス領域60Aを通過する間にプラズマ処理される(後処理)。なお、酸素ガス及びアルゴンガスの供給、並びに交流電源24からの電力の供給とともに、回転ドラム13の回転も継続してもよい。
(1)一度励起状態になり光触媒作用を発現した酸化チタン光触媒が、その後に暗所放置しても長期間にわたり光触媒作用を発現し続けるのは、光触媒作用を発現する起源と考えられる、薄膜表面(以下「膜表面」という。)に存在する活性電子(e− )と活性正孔(h+ )の存在寿命が長いためである。
(2)そして、この膜表面に存在する活性電子と活性正孔の寿命を短くすることができれば、膜表面に発現している光触媒作用を速やかに消失させることができるのではないか。
図1〜図4に示す成膜装置1を用いて、基板Sの表面に酸化チタン(TiO2 )の薄膜を形成した。基板Sとして、ガラス性基板であるBK7を用いた。成膜は以下の条件で行った。なお、成膜レートは0.18nm/sとした。
・基板温度:室温、
・ターゲット22a,22b:チタン(Ti)、
・ターゲット22a,22bに供給される電力(スパッタ電力):5.0kW、
・スパッタ電極21a,21bに印加する交流電圧の周波数:40kHz、
・アルゴンガスの導入流量:300sccm。
・高周波電源65からアンテナ63に供給される電力(プラズマ処理電力):表1を参照、
・アンテナ63に印加する交流電圧の周波数:13.56MHz、
・酸素ガスの導入流量:200sccm、
・アルゴンガスの導入流量:500sccm。
成膜プロセス領域20Aでの処理に先立ち、基板Sの表面に対し、プラズマ前処理を施した。具体的には、まず成膜プロセス領域20Aは作動させず、実施例1と同一条件で反応プロセス領域60Aのみを作動させて、基板Sの表面にプラズマ前処理を施した。前処理時間は30分とした。
前処理及び後処理の何れも行わなかった以外は、実施例1と同様の方法で、基板Sの表面に酸化チタン薄膜を形成した。
実施例1及び比較例1で得られた酸化チタン薄膜の光触媒作用の発現と消失のサイクル評価を行った。この評価は、作成した酸化チタン薄膜に対して、水の接触角の経時変化を調べることにより行った。
成膜装置1内に設置するターゲット22a,22bとして、チタンに代え、亜鉛(Zn)とした以外は、実施例1と同様の方法で、基板Sの表面に酸化亜鉛(ZnO)薄膜を形成した。
成膜装置1内に設置するターゲット22a,22bとして、チタンに代え、タンタル(Ta)とした以外は、実施例1と同様の方法で、基板Sの表面に酸化タンタル(Ta2 O5 )薄膜を形成した。
実施例2〜4で作成した各酸化物薄膜に対し、照射量が10mW/cm2 の紫外線を照射し、所定時間経過毎の、水に対する接触角の経時変化を評価した。結果を図7に示す。
酸素ガスの導入流量は200sccmのままで、反応プロセス領域60Aへのアルゴンガスの導入流量を、200sccm、400sccm、600sccm、800sccmとした以外は、実施例2と同様の条件で、基板Sの表面に、厚み140nm(全成膜時間69分(前処理30分+成膜9分+後処理30分))の酸化チタン薄膜を形成した。
Claims (12)
- 基板の表面に光触媒性薄膜を形成する成膜方法であって、
真空容器の内部に形成された成膜プロセス領域で、少なくともチタン、亜鉛及びタンタルを含む群から選択される金属で構成されたターゲットをスパッタし、前記基板に前記金属で構成される膜原料物質を付着させるスパッタ工程と、
前記成膜プロセス領域とは離間して形成された反応プロセス領域で、少なくとも酸素ガスのプラズマを前記膜原料物質に接触させて第1の薄膜を生成させる反応工程と、
前記成膜プロセス領域と前記反応プロセス領域の間で前記基板を移動させ、前記スパッタ工程及び前記反応工程を複数回繰り返し、前記第1の薄膜を複数回堆積させて第2の薄膜を形成する薄膜堆積工程と、
前記反応プロセス領域で、前記酸素ガスとともに不活性ガスを積極的に含む混合ガスのプラズマを前記第2の薄膜に接触させる後処理工程とを、有することを特徴とする成膜方法。 - 請求項1記載の成膜方法において、前記後処理工程では、前記反応プロセス領域に、前記不活性ガスを前記酸素ガスの導入流量と少なくとも同一流量で導入し、前記混合ガスのプラズマを発生させることを特徴とする成膜方法。
- 請求項1又は2記載の成膜方法において、前記後処理工程では、前記不活性ガスを前記酸素ガスの導入流量よりも多い流量で導入し、前記混合ガスのプラズマを発生させることを特徴とする成膜方法。
- 請求項1〜3の何れか一項記載の成膜方法において、前記後処理工程では、前記反応プロセス領域に、前記不活性ガスを前記酸素ガスの導入流量の少なくとも3倍の流量で導入し、前記混合ガスのプラズマを発生させることを特徴とする成膜方法。
- 請求項1〜4の何れか一項記載の成膜方法において、前記反応工程では、前記反応プロセス領域に、前記酸素ガスとともに不活性ガスを積極的に導入し、前記不活性ガス及び前記酸素ガスを含む混合ガスのプラズマを発生させることを特徴とする成膜方法。
- 請求項5記載の成膜方法において、前記反応工程では、前記不活性ガスを前記酸素ガスの導入流量と少なくとも同一流量で導入することを特徴とする成膜方法。
- 請求項5又は6記載の成膜方法において、前記反応工程では、前記反応プロセス領域に、前記不活性ガスを前記酸素ガスの導入流量よりも多い流量で導入することを特徴とする成膜方法。
- 請求項1〜7の何れか一項記載の成膜方法において、前記スパッタ工程に先立ち、前記反応プロセス領域で、前記酸素ガスとともに不活性ガスを積極的に含む混合ガスのプラズマを前記基板の表面に接触させる前処理工程を有することを特徴とする成膜方法。
- 請求項8記載の成膜方法において、前記前処理工程では、前記反応プロセス領域に、前記不活性ガスを前記酸素ガスの導入流量と少なくとも同一流量で導入し、前記混合ガスのプラズマを発生させることを特徴とする成膜方法。
- 請求項8又は9記載の成膜方法において、前記前処理工程では、前記反応プロセス領域に、前記不活性ガスを前記酸素ガスの導入流量よりも多い流量で導入し、前記混合ガスのプラズマを発生させることを特徴とする成膜方法。
- 基板の表面に光触媒性薄膜を形成する成膜方法であって、
真空容器の内部に形成された成膜プロセス領域で、少なくともチタン、亜鉛及びタンタルを含む群から選択される金属で構成されたターゲットをスパッタし、前記基板に前記金属で構成される膜原料物質を付着させるスパッタ工程と、
前記成膜プロセス領域とは離間して形成された反応プロセス領域で、酸素ガス及び前記酸素ガスの導入流量と少なくとも同一流量で導入された不活性ガスを含む混合ガスのプラズマを前記膜原料物質に接触させて第1の薄膜を生成させる反応工程と、
前記成膜プロセス領域と前記反応プロセス領域の間で前記基板を移動させ、前記スパッタ工程及び前記反応工程を複数回繰り返し、前記第1の薄膜を複数回堆積させて第2の薄膜を形成する薄膜堆積工程と、
前記反応プロセス領域で、前記混合ガスのプラズマを前記第2の薄膜に接触させる後処理工程とを、有することを特徴とする成膜方法。 - 基板の表面に光触媒性薄膜を形成する成膜方法であって、
真空容器の内部に形成された成膜プロセス領域とは離間して形成された反応プロセス領域で、酸素ガス及び前記酸素ガスの導入流量と少なくとも同一流量で導入された不活性ガスを含む混合ガスのプラズマを前記基板に接触させる前処理工程と、
前記成膜プロセス領域で、少なくともチタン、亜鉛及びタンタルを含む群から選択される金属で構成されたターゲットをスパッタし、前処理済みの前記基板に前記金属で構成される膜原料物質を付着させるスパッタ工程と、
前記反応プロセス領域で、前記混合ガスのプラズマを前記膜原料物質に接触させて第1の薄膜を生成させる反応工程と、
前記成膜プロセス領域と前記反応プロセス領域の間で前記基板を移動させ、前記スパッタ工程及び前記反応工程を複数回繰り返し、前記第1の薄膜を複数回堆積させて第2の薄膜を形成する薄膜堆積工程と、
前記反応プロセス領域で、前記混合ガスのプラズマを前記第2の薄膜に接触させる後処理工程とを、有することを特徴とする成膜方法。
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