JP4992604B2 - 接合装置、接合方法 - Google Patents
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Description
2体のウェハを接合する接合装置であって、
前記2体のウェハの接合面をそれぞれ平坦化する平坦化装置と、
前記平坦化された前記接合面を活性化する活性化装置と、
前記平坦化装置から前記活性化装置に前記接合面の酸化を抑制する雰囲気中で前記ウェハを搬送する搬送装置とを備えることを特徴とする接合装置を提供する。
また、本発明は、
2体のウェハを接合する接合方法であって、
前記2体のウェハの接合面をそれぞれ平坦化装置で平坦化する平坦化工程と、
平坦化された前記接合面を活性化装置で活性化する活性化工程と、
前記平坦化工程の後、前記接合面の酸化を抑制する雰囲気中で前記平坦化装置から前記活性化装置に前記ウェハを搬送する搬送工程とを有することを特徴とする接合方法を提供する。
以下、第1実施の形態にかかる接合装置について図面を参照しつつ説明する。
図2に実施の形態に使用される平坦化装置10の概略構成を示す。
図1に記された搬送装置50は、多段構成による伸縮アーム50aとこのアーム50aを1軸回りに回転させる駆動軸50bを主たる構成要素として有している。なお、アーム50aを駆動軸50bの方向(図では上下方向)に移動させる機構を加えても良い。
図3に実施の形態に使用される活性化装置20の概略構成を示し、(a)は第1の活性化装置の例を、(b)は第2の活性化装置の例をそれぞれ示す。
図4に実施の形態に使用されるアライメント装置及び重ね合わせ装置30の概略構成を示す。
図5に実施の形態に使用される加圧装置40の概略構成を示す。
図6は、第2実施の形態にかかる接合装置の概略構成図を示す。
2 ウェハ
3 ウェハ積層体
10、61 平坦化装置
11 CMP装置
12 洗浄装置
13 乾燥装置
20、64 活性化装置
21 第1の活性化装置
22 第2の活性化装置
30、65 アライメント装置及び重ね合わせ装置
30A アライメント装置
30B 重ね合わせ装置
40、66 加圧装置
41 ベーキング装置
50、63 搬送装置
51、52、53、62 ロードロック
54、55 ゲートバルブ
56 待合室
Claims (23)
- 2体のウェハを接合する接合装置であって、
前記2体のウェハの接合面をそれぞれ平坦化する平坦化装置と、
前記平坦化された前記接合面を活性化する活性化装置と、
前記平坦化装置から前記活性化装置に前記接合面の酸化を抑制する雰囲気中で前記ウェハを搬送する搬送装置とを備えることを特徴とする接合装置。 - 前記雰囲気は、真空雰囲気または不活性ガス雰囲気であることを特徴とする請求項1に記載の接合装置。
- 前記平坦化装置と前記活性化装置とを連結する連結チャンバーを備え、
前記連結チャンバー内の雰囲気が前記雰囲気であることを特徴とすることを特徴とする請求項1または2に記載の接合装置。 - 前記搬送装置は、前記連結チャンバー内に配置されることを特徴とする請求項3に記載の接合装置。
- 前記連結チャンバーは、当該連結チャンバーを加熱するベーキング装置を有することを特徴とする請求項3または4のいずれか一項に記載の接合装置。
- 前記連結チャンバーは、前記平坦化装置の雰囲気と前記活性化装置の雰囲気とに切り替え可能なロードロックチャンバーであることを特徴とする請求項3から5のいずれか一項に記載の接合装置。
- 前記接合面が活性化された前記ウェハ同士の位置合わせを行うアライメント装置を備えることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の接合装置。
- 前記ウェハは、前記活性化装置から前記アライメント装置に前記接合面の酸化を抑制する雰囲気中で搬送されることを特徴とする請求項7に記載の接合装置。
- 前記活性化装置および前記アライメント装置は、前記雰囲気におかれた同一のチャンバー内に配置されていることを特徴とする請求項8に記載の接合装置。
- 位置合わせされた前記ウェハ同士を重ね合わせる重ね合わせ装置と、
重ね合わされた前記2体のウェハを加圧する加圧装置とを備えることを特徴とする請求項7から9のいずれか一項に記載の接合装置。 - 前記アライメント装置、前記重ね合わせ装置、及び、前記加圧装置は、同一のチャンバー内に配置されていることを特徴とする請求項10に記載の接合装置。
- 前記チャンバーは、当該チャンバーを加熱するベーキング装置を有することを特徴とする請求項11に記載の接合装置。
- 前記重ね合わせ装置では、前記2体のウェハを互いに仮固定することを特徴とする請求項10から12のいずれか一項に記載の接合装置。
- 前記活性化装置では、前記ウェハの前記接合面にイオン化された粒子を照射することにより前記接合面を活性化することを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の接合装置。
- 前記活性化装置では、プラズマ中に前記ウェハを配置することにより、前記ウェハの前記接合面を活性化することを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の接合装置。
- 2体のウェハを接合する接合方法であって、
前記2体のウェハの接合面をそれぞれ平坦化装置で平坦化する平坦化工程と、
平坦化された前記接合面を活性化装置で活性化する活性化工程と、
前記平坦化工程の後、前記接合面の酸化を抑制する雰囲気中で前記平坦化装置から前記活性化装置に前記ウェハを搬送する搬送工程とを有することを特徴とする接合方法。 - 前記活性化装置の雰囲気は、真空雰囲気または不活性ガス雰囲気であることを特徴とする請求項16に記載の接合方法。
- 前記接合面が活性化された前記ウェハ同士の位置合わせをアライメント装置で行うアライメント工程を有することを特徴とする請求項16または17に記載の接合方法。
- 前記活性化工程の後、前記接合面の酸化を抑制する雰囲気中で前記ウェハを前記活性化装置から前記アライメント装置に搬送する搬送工程を有することを特徴とする請求項18に記載の接合方法。
- 位置合わせされた前記ウェハ同士を重ね合わせ装置で重ね合わせる重ね合わせ工程と、
重ね合わされた前記2体のウェハを加圧装置で加圧する加圧工程とを有することを特徴とする請求項16から19のいずれか一項に記載の接合方法。 - 前記重ね合わせ工程は、前記2体のウェハを互いに仮固定する仮固定工程を有することを特徴とする請求項20に記載の接合方法。
- 前記活性化工程は、前記ウェハの前記接合面にイオン化された粒子を照射することにより前記接合面を活性化する工程を有することを特徴とする請求項16から21のいずれか一項に記載の接合方法。
- 前記活性化工程は、プラズマ中に前記ウェハを配置することにより、前記ウェハの前記接合面を活性化する工程を有することを特徴とする請求項16から21のいずれか一項に記載の接合方法。
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