JP4989911B2 - Movable probe unit and inspection device - Google Patents
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Description
本発明は、検査対象板に接触子を接触させて試験する可動式プローブユニット及び検査装置に関し、特にプローブブロックの支持方式の改良に関するものである。 The present invention relates to a movable probe unit and an inspection apparatus that are tested by bringing a contact member into contact with an inspection object plate, and more particularly to an improvement in a probe block support system.
液晶基板等の検査対象板にプローブブロックのプローブ針を接触させて点灯試験等を行う検査装置は一般に知られている。このような検査装置では、装置本体側のプローブベースに各プローブブロックが固定され、各プローブブロックのプローブ針が、ワークテーブルに載置された検査対象板に臨ませて設けられる。そして、プローブ針と検査対象板の電極との位置合わせは、検査対象板を支持したワークテーブルによって行われる。 An inspection apparatus that performs a lighting test or the like by bringing a probe needle of a probe block into contact with an inspection target plate such as a liquid crystal substrate is generally known. In such an inspection apparatus, each probe block is fixed to the probe base on the apparatus main body side, and the probe needle of each probe block is provided facing the inspection object plate placed on the work table. And alignment with a probe needle and the electrode of a test object board is performed by the work table which supported the test object board.
このような検査装置の一例を図2に示す。図示する検査装置1は主に、パネルセット部2と、測定部3とから構成されている。
An example of such an inspection apparatus is shown in FIG. The illustrated
パネルセット部2は、外部から挿入された液晶パネル5を測定部3へ搬送し、検査終了後の液晶パネル5を外部へ搬送するための装置である。パネルセット部2は、開口部6の奥にパネルセットステージ7を有し、このパネルセットステージ7で液晶パネル5を支持して、測定部3へ搬送する。また、パネルセットステージ7は、測定部3で検査終了後の液晶パネル5を受け取って外部へ搬送する。
The
測定部3は、パネルセット部2から渡された液晶パネル5を支持して試験するための装置である。測定部3は、チャックトップ8やプローバ9等を備えて構成されている。
The measuring unit 3 is a device for supporting and testing the
チャックトップ8は、液晶パネル5を支持するための部材である。このチャックトップ8は、XYZθステージ(図示せず)に支持されて、XYZ軸方向への移動及び回転が制御されて、液晶パネル5の位置が調整される。プローバ9は主に、ベースプレート10、プローブユニット11、プローブブロック12を備えて構成されている。これらの部材の配置例を図3に示す。装置本体側にベースプレート10が支持され、このベースプレート10にプローブユニット11が支持され、このプローブユニット11の先端部にプローブブロック12が取り付けられている。このプローブブロック12の先端部に接触子13が取り付けられている。そして、チャックトップ8に支持された液晶パネル5がXYZθステージで位置調整されて、液晶パネル5の電極と接触子13が整合されて互いに接触され、検査が行われる。
The
ところで、上述の検査装置では、接触子13と液晶パネル5の電極との位置合わせをXYZθステージによって行っているが、位置合わせできる距離は僅かである。このため、液晶パネル5の寸法が変われば、電極の位置も大幅に変わるため、XYZθステージでは対応できず、プローブユニット11やプローブブロック12を、液晶パネル5の寸法に対応したものに取り変える必要があった。そして、このプローブユニット11やプローブブロック12の取り替え作業には、時間がかかり、作業性が悪い。
By the way, in the above-described inspection apparatus, the
このため、プローブブロック12を支持する支持枠体を改良して、液晶パネル5の寸法に容易に合わせることができるプローブブロックの支持枠体が特許文献1に提案されている。
For this reason,
この支持枠体14は、図4に示すように、4つの枠板15から構成され、それらを図4(A)の状態から(B)の状態に適宜ずらして、プローブブロック12を液晶パネル5の寸法に合わせるものである。
ところが、前記構成の支持枠体14では、4つの枠板15を互いに接近させて図4(B)の状態にした場合、周囲に4つの枠板15が4方向にそれぞれずれると共に各枠板15の基端側15Aがはみ出してしまう。このため、ベースプレート10に取り付ける際に、4方向にそれぞれずれる各枠板15を、そのはみ出した基端側を許容した状態でベースプレート10に固定支持するのが容易ではなく、結局、接触子13の位置合わせ作業性が悪いという問題があった。
However, in the
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、寸法の異なる液晶パネル等の検査対象板の変更に対してプローブ針の位置合わせを容易に行うことができる可動式プローブユニット及び検査装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such problems, and a movable probe unit and an inspection apparatus capable of easily aligning probe needles with respect to changes in inspection target plates such as liquid crystal panels having different dimensions. The purpose is to provide.
本発明に係る可動式プローブユニットは、前記課題を解決するためになされたもので、検査対象板に接触させる接触子を備えたプローブブロックを支持する可動式プローブユニットであって、前記プローブブロックを任意の位置に位置決めして支持することを特徴とする。 A movable probe unit according to the present invention is made in order to solve the above-described problem, and is a movable probe unit that supports a probe block having a contactor that is brought into contact with a plate to be inspected. It is characterized by being positioned and supported at an arbitrary position.
前記構成により、可動式プローブユニットがプローブブロックを支持して、任意の位置にずらして位置決めし支持する。 With the above configuration, the movable probe unit supports the probe block, and is positioned and supported by shifting to an arbitrary position.
前記可動式プローブユニットは、前記検査対象板の両側位置にそれぞれ配設されて全体を支持するメインベースと、前記プローブブロックを支持するデータ信号側ベースと、
前記メインベースに支持された状態で前記データ信号側ベースを任意の位置で支持する複合クロスリンクと、前記データ信号側ベースと直交方向に配設されて2つの前記メインベースにスライド可能に支持された状態で前記プローブブロックを支持するゲート信号側ベースと、当該ゲート信号側ベース及び前記データ信号側ベースにそれぞれ設けられて前記プローブブロックをスライド可能に支持するリニアガイドと、前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定する位置決め固定治具と、複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するプローブブロック用位置決め固定治具とを備えて構成することが望ましい。
The movable probe unit includes a main base that is disposed on both sides of the inspection target plate and supports the whole, a data signal side base that supports the probe block,
A composite cross link that supports the data signal side base at an arbitrary position while being supported by the main base, and is arranged in a direction orthogonal to the data signal side base and is slidably supported by the two main bases. A gate signal side base that supports the probe block in a state in which the probe block is supported, a linear guide that is provided on each of the gate signal side base and the data signal side base and supports the probe block slidably, and the data signal side base and A positioning fixing jig for positioning and fixing the gate signal side base at a set position; and a probe block positioning fixing jig for positioning and supporting the plurality of probe blocks at the same setting position at the same time. It is desirable to configure.
前記構成により、前記データ信号側ベースは、前記複合クロスリンクで前記メインベースに支持された状態で設定値にずらされる。前記ゲート信号側ベースは、2つの前記メインベースに対してスライドして設定値にずらされる。そして、位置決め固定治具が、前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定する。また、プローブブロック用位置決め固定治具は、前記リニアガイドでスライド可能に支持された複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持する。 With the configuration, the data signal base is shifted to a set value while being supported by the main base by the composite cross link. The gate signal side base slides with respect to the two main bases and is shifted to a set value. A positioning and fixing jig positions and fixes the data signal side base and the gate signal side base at the set positions. Further, the probe block positioning fixing jig simultaneously positions and supports the plurality of probe blocks supported by the linear guide so as to be slidable at their respective set positions.
前記データ信号側ベースを設定位置に位置決めして固定する位置決め固定リンクを備えることが望ましい。 It is desirable to provide a positioning and fixing link for positioning and fixing the data signal side base at a set position.
前記構成により、前記位置決め固定リンクが、前記位置決め固定治具と共に、前記データ信号側ベースを前記メインベースに対して設定位置に位置決めして固定する。 With this configuration, the positioning and fixing link, together with the positioning and fixing jig, positions and fixes the data signal side base at a set position with respect to the main base.
前記プローブブロック用位置決め固定治具が、前記プローブブロックに設けられたクリップ又は嵌合ピンに嵌合する複数の嵌合ピン又はクリップと、各嵌合ピン又はクリップを設定位置で一体的に支持する連結板とを備えて構成されることが望ましい。 The probe block positioning fixing jig integrally supports a plurality of fitting pins or clips to be fitted to clips or fitting pins provided on the probe block, and the respective fitting pins or clips at a set position. It is desirable to comprise a connecting plate.
前記構成により、前記プローブブロック位置決め用治具の前記連結板の各嵌合ピン又はクリップを前記プローブブロックのクリップ又は嵌合ピンにそれぞれ嵌合して、各プローブブロックをそれぞれ設定位置で一体的に支持する。 With the above configuration, each fitting pin or clip of the connecting plate of the probe block positioning jig is fitted to the clip or fitting pin of the probe block, respectively, and each probe block is integrated at a set position. To support.
本発明に係る検査装置は、前記課題を解決するためになされたもので、検査対象板にプローブブロックの接触子を接触させて試験を行う検査装置であって、前記プローブブロックを任意の位置に位置決めして支持する可動式プローブユニットを備えたことを特徴とする。 An inspection apparatus according to the present invention is made to solve the above-described problem, and is an inspection apparatus that performs a test by bringing a contact of a probe block into contact with an inspection target plate, and the probe block is placed at an arbitrary position. A movable probe unit that is positioned and supported is provided.
前記構成により、可動式プローブユニットがプローブブロックを支持して、任意の位置にずらして位置決めし支持する。 With the above configuration, the movable probe unit supports the probe block, and is positioned and supported by shifting to an arbitrary position.
前記検査装置の可動式プローブユニットは、前記検査対象板の両側位置にそれぞれ配設されて全体を支持するメインベースと、前記プローブブロックを支持するデータ信号側ベースと、前記メインベースに支持された状態で前記データ信号側ベースを任意の位置で支持する複合クロスリンクと、前記データ信号側ベースと直交方向に配設されて2つの前記メインベースにスライド可能に支持された状態で前記プローブブロックを支持するゲート信号側ベースと、当該ゲート信号側ベース及び前記データ信号側ベースにそれぞれ設けられて前記プローブブロックをスライド可能に支持するリニアガイドと、前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定する位置決め固定治具と、複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するプローブブロック用位置決め固定治具とを備えて構成することが望ましい。 The movable probe unit of the inspection apparatus is supported by the main base, the main base that is disposed on both sides of the inspection object plate and supports the whole, the data signal side base that supports the probe block, and the main base. A composite cross link that supports the data signal side base at an arbitrary position in a state, and the probe block in a state that is slidably supported by two main bases arranged in a direction orthogonal to the data signal side base. A gate signal side base to be supported, a linear guide provided on each of the gate signal side base and the data signal side base to slidably support the probe block, and the data signal side base and the gate signal side base are set. A positioning fixture for positioning and fixing each of the positions, and a plurality of the probes It is desirable to configure a probe block for positioning fixture positioning and supporting the respective set position simultaneously all the blocks.
前記構成により、前記データ信号側ベースは、前記複合クロスリンクで前記メインベースに支持された状態で設定値にずらされる。前記ゲート信号側ベースは、2つの前記メインベースに対してスライドして設定値にずらされる。そして、位置決め固定治具が、前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定する。また、プローブブロック用位置決め固定治具は、前記リニアガイドでスライド可能に支持された複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持する。 With the configuration, the data signal base is shifted to a set value while being supported by the main base by the composite cross link. The gate signal side base slides with respect to the two main bases and is shifted to a set value. A positioning and fixing jig positions and fixes the data signal side base and the gate signal side base at the set positions. Further, the probe block positioning fixing jig simultaneously positions and supports the plurality of probe blocks supported by the linear guide so as to be slidable at their respective set positions.
前記検査装置のデータ信号側ベースを設定位置に位置決めして固定する位置決め固定リンクを備えることが望ましい。 It is desirable to provide a positioning and fixing link for positioning and fixing the data signal side base of the inspection apparatus at a set position.
前記構成により、前記位置決め固定リンクが、前記位置決め固定治具と共に、前記データ信号側ベースを前記メインベースに対して設定位置に位置決めして固定する。 With this configuration, the positioning and fixing link, together with the positioning and fixing jig, positions and fixes the data signal side base at a set position with respect to the main base.
前記検査装置のプローブブロック用位置決め固定治具は、前記プローブブロックに設けられたクリップ又は嵌合ピンに嵌合する複数の嵌合ピン又はクリップと、各嵌合ピン又はクリップを設定位置で一体的に支持する連結板とを備えて構成されることが望ましい。 The probe block positioning and fixing jig of the inspection apparatus is configured such that a plurality of fitting pins or clips that are fitted to clips or fitting pins provided on the probe block and each fitting pin or clip are integrated at a set position. It is desirable to be provided with the connection board supported to.
前記構成により、前記プローブブロック位置決め用治具の前記連結板の各嵌合ピン又はクリップを前記プローブブロックのクリップ又は嵌合ピンにそれぞれ嵌合して、各プローブブロックをそれぞれ設定位置で一体的に支持する。 With the above configuration, each fitting pin or clip of the connecting plate of the probe block positioning jig is fitted to the clip or fitting pin of the probe block, respectively, and each probe block is integrated at a set position. To support.
以上のように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。 As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.
可動式プローブユニットがプローブブロックを支持して、任意の位置にずらして位置決めし支持するため、プローブブロックを設定位置に容易に位置合わせすることができ、寸法の異なる前記検査対象板に合わせて、接触子の位置合わせを、短時間で容易に行うことができ、作業性が向上する。 Since the movable probe unit supports the probe block, and is positioned and supported by shifting to an arbitrary position, the probe block can be easily aligned with the set position, and according to the inspection object plate having different dimensions, Positioning of the contacts can be easily performed in a short time, and workability is improved.
前記複合クロスリンクで前記データ信号側ベースを設定値にずらし、前記ゲート信号側ベースを前記各メインベースに対してスライドさせて設定値にずらし、前記位置決め固定治具で、前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定し、前記プローブブロック用位置決め固定治具で、複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するため、プローブブロックを設定位置に容易に位置合わせすることができ、寸法の異なる前記検査対象板に合わせて、接触子の位置合わせを、短時間で容易に行うことができ、作業性が向上する。 The data signal side base is shifted to a set value by the composite cross link, the gate signal side base is slid to the set value by sliding with respect to each main base, and the data signal side base and Position and fix the gate signal side base at each set position, and set the probe block to position and support all of the plurality of probe blocks at the set position simultaneously with the probe block positioning fixing jig. The position can be easily aligned, and the position of the contact can be easily adjusted in a short time according to the inspection target plates having different dimensions, thereby improving workability.
前記位置決め固定リンクで、前記位置決め固定治具と共に、前記データ信号側ベースを前記メインベースに対して設定位置に位置決めして固定するため、前記データ信号側ベースが前記メインベースに対して複数箇所で支持されて、設定位置に位置決めして確実に支持することができる。 With the positioning and fixing link, together with the positioning and fixing jig, the data signal side base is positioned and fixed at a set position with respect to the main base. It is supported and can be reliably supported by being positioned at the set position.
前記プローブブロック用位置決め固定治具の前記連結板の各嵌合ピン又はクリップを前記プローブブロックのクリップ又は嵌合ピンにそれぞれ嵌合して、各プローブブロックをそれぞれ設定位置で一体的に支持するため、各プローブブロックを個別に位置決めする必要がなくなり、各プローブブロックの位置決め作業性が大幅に向上する。 To fit each fitting pin or clip of the connecting plate of the probe block positioning fixing jig to the clip or fitting pin of the probe block, respectively, and to integrally support each probe block at a set position. This eliminates the need to position each probe block individually, and greatly improves the positioning workability of each probe block.
さらに、可動式プローブユニットを設けることで、検査対象板のサイズの違いに対して1つの可動式プローブユニットで対応することができ、検査対象板のサイズごとに、個別のプローブユニットを設計・製造する必要が無くなる。この結果、大幅なコスト低減を図ることができる。 Furthermore, by providing a movable probe unit, a single movable probe unit can handle differences in the size of the inspection target plate, and individual probe units can be designed and manufactured for each size of the inspection target plate. There is no need to do. As a result, significant cost reduction can be achieved.
以下、本発明の実施形態に係る可動式プローブユニットを備えた検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施形態に係る検査装置の可動式プローブユニットを示す斜視図、図5は本発明の実施形態に係る検査装置の可動式プローブユニットを示す平面図、図6は本発明の実施形態に係る検査装置の可動式プローブユニットを小さい寸法の液晶パネルに合わせた状態を示す斜視図、図7は本発明の実施形態に係る検査装置の可動式プローブユニットを小さい寸法の液晶パネルに合わせた状態を示す平面図、図8は本発明の実施形態に係る検査装置のプローブブロック用位置決め固定治具をその下側から示す斜視図、図9は本発明の実施形態に係る検査装置のプローブブロック用位置決め固定治具をその上側から示す斜視図、図10は本発明の実施形態に係る検査装置のデータ信号側ベース側のプローブブロック用位置決め固定治具及びゲート信号側ベース側のプローブブロック用位置決め固定治具を示す側面図である。なおここでは、検査対象板として液晶パネルを例に説明する。また、点灯検査を行う検査装置の全体構成は上述した従来の検査装置とほぼ同様であるため、同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。そして、本発明の特徴部分である、可動式プローブユニットについてのみ説明する。 Hereinafter, an inspection apparatus provided with a movable probe unit according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a movable probe unit of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 5 is a plan view showing the movable probe unit of the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 7 is a perspective view showing a state in which the movable probe unit of the inspection apparatus according to the embodiment is aligned with a small-sized liquid crystal panel, and FIG. 7 shows the movable probe unit of the inspection apparatus according to the embodiment of the present invention as a small-sized liquid crystal panel. FIG. 8 is a perspective view showing the probe block positioning and fixing jig of the inspection apparatus according to the embodiment of the present invention from below, and FIG. 9 is a perspective view of the inspection apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 10 is a perspective view showing the probe block positioning and fixing jig from above, and FIG. 10 shows the probe block positioning and fixing jig on the data signal side base side of the inspection apparatus according to the embodiment of the present invention. It is a side view showing a gate signal side base side of the probe block for positioning fixture. Here, a liquid crystal panel will be described as an example of the inspection target plate. Moreover, since the whole structure of the inspection apparatus which performs a lighting inspection is substantially the same as the conventional inspection apparatus mentioned above, the same code | symbol is attached | subjected to the same part and the description is abbreviate | omitted. Only the movable probe unit, which is a feature of the present invention, will be described.
本実施形態に係る可動式プローブユニット21は、前記プローブブロック12を任意の位置に位置決めして支持するための部材である。この可動式プローブユニット21は主に、メインベース22と、データ信号側ベース23と、複合クロスリンク24と、ゲート信号側ベース25と、リニアガイド26と、プローブブロック12と、位置決め固定治具27と、位置決め固定リンク28と、プローブブロック用位置決め固定治具29とから構成されている。
The
メインベース22は、可動式プローブユニット21全体を支持するための部材である。このメインベース22は、長方形の板状に形成されている。メインベース22は、液晶パネル5を挟んで上下両側位置(図1中の右上、左下の両側位置)に配設された各ベースプレート10にそれぞれ固定されている。各メインベース22は、データ信号側ベース23及びゲート信号側ベース25を支持している。メインベース22の基端側(外側端部側)には、3箇所の位置に固定ねじ31が設けられ、この固定ねじ31によってメインベース22がベースプレート10に固定されている。
The
データ信号側ベース23は、複合クロスリンク24を介してメインベース22に支持された状態でプローブブロック12を支持するための部材である。このデータ信号側ベース23は、長方形の板状に形成されている。データ信号側ベース23は、液晶パネル5の一方の辺(図1の右上側の辺)の電極(図示せず)に接触するプローブブロック12を支持している。データ信号側ベース23の裏面には、後述するリニアガイド26が取り付けられている。データ信号側ベース23の表面には、後述するプローブブロック用位置決め固定治具29が取り付けられている。
The data signal
複合クロスリンク24は、メインベース22に支持された状態でデータ信号側ベース23を任意の位置で支持するための部材である。この複合クロスリンク24は、2本の板状棒材24Aをその中央位置で回転可能に連結し、さらにこれらを4組互いに回転可能に連結して構成されている。4組の各板状棒材24Aの中央位置を連結した2つの連結ピン24Bがメインベース22とデータ信号側ベース23とにそれぞれ回転可能に取り付けられて、この連結ピン24Bがリンク支点となっている。さらに、他の連結ピン24Cは、メインベース22の2つの長孔22A(図6参照)と、データ信号側ベース23の2つの長孔23A(図6参照)とにそれぞれスライド可能に取り付けられている。各長孔22A、23Aは、リンク支点である連結ピン24Bの両側にそれぞれ設けられ、複合クロスリンク24が、リンク支点を中心にしてその両側へ延びるようになっている。そして、この複合クロスリンク24がリンク支点を中心に両側へ延びることで(図5の状態)、データ信号側ベース23がメインベース22に接近し、複合クロスリンク24が縮むことで(図6の状態)、データ信号側ベース23がメインベース22から離れるようになっている。
The
ゲート信号側ベース25は、データ信号側ベース23と直交方向に配設された状態でプローブブロック12を支持するための部材である。なお、データ信号側ベース23側のプローブブロック12と、ゲート信号側ベース25側のプローブブロック12は、液晶パネル5の各電極に合わせた個数だけ配設される。ここでは、データ信号側ベース23側に8個のプローブブロック12が、ゲート信号側ベース25側に4個のプローブブロック12がそれぞれ取り付けられている。
The gate
ゲート信号側ベース25は、2つのメインベース22に掛け渡された状態で、各メインベース22にスライド可能に支持されている。ゲート信号側ベース25は、長方形の板状に形成されている。ゲート信号側ベース25は、液晶パネル5の他方の辺(図1中の左上側の辺)の電極(図示せず)に接触するプローブブロック12を支持している。データ信号側ベース23の裏面には、リニアガイド26が取り付けられている。データ信号側ベース23の表面には、後述するプローブブロック用位置決め固定治具29が取り付けられている。
The gate
ゲート信号側ベース25の長手方向両端部には長板25Aがそれぞれ設けられている。この長板25Aは、両側のメインベース22の長手方向に沿って配設されている。この長板25Aには、長孔25Bがそれぞれ設けられている。各長孔25Bは、各複合クロスリンク24の端部の連結ピン24Cにスライド可能に取り付けられている。ゲート信号側ベース25は、この2つの長孔25B及び連結ピン24Cによって、各メインベース22の長手方向に自由に移動できるようになっている。
リニアガイド26は、プローブブロック12をスライド可能に支持するための部材である。リニアガイド26は、データ信号側ベース23及びゲート信号側ベース25の裏面にその全長に亘ってそれぞれ配設されている。このリニアガイド26は、図8に示すように、平板棒状に形成され、その両側に、プローブブロック12の後述するスライダー34がスライド可能に嵌合する嵌合溝26Aが設けられている。この嵌合溝26Aにスライダー34が嵌合して、プローブブロック12がデータ信号側ベース23及びゲート信号側ベース25の長手方向に自由にスライドできるようになっている。
プローブブロック12は、接触子としての多数のプローブ針13を支持するための部材である。プローブ針13は、プローブブロック12の下側の先端部に支持されて、液晶パネル5の電極に接触する。プローブブロック12の下側面には、リニアガイド26にスライド可能に嵌合するスライダー34が設けられている。このスライダー34によって、プローブブロック12がデータ信号側ベース23及びゲート信号側ベース25の長手方向に自由にスライドできるようになっている。プローブブロック12の上側面には、後述するプローブブロック用位置決め固定治具29のクリップ36が設けられている。
The
The
位置決め固定治具27は、データ信号側ベース23とゲート信号側ベース25を設定位置にそれぞれ位置決めして固定するための部材である。位置決め固定治具27は、図1、5〜7に示すように、T字型に形成されて、メインベース22に複合クロスリンク24を介して支持されたデータ信号側ベース23を、メインベース22との間で設定間隔に保って支持すると共に、ゲート信号側ベース25を、データ信号側ベース23との間で設定間隔に保って支持するように設定されている。これにより、データ信号側ベース23に支持されたプローブブロック12と、ゲート信号側ベース25に支持されたプローブブロック12とが、検査対象の液晶パネル5の各電極位置に整合するように、位置決め支持される。位置決め固定治具27の寸法は、液晶パネル5の大きさによって異なり、図1、5のように液晶パネル5の寸法が大きい場合は、横棒の寸法(メインベース22とデータ信号側ベース23との間隔)が短く、縦棒の寸法が長く設定される。また、図6、7のように液晶パネル5の寸法が小さい場合は、横棒の寸法が長く、縦棒の寸法が短く設定される。位置決め固定治具27の縦棒とゲート信号側ベース25とは、ネジ(図示せず)等で固定される。
The
位置決め固定リンク28は、データ信号側ベース23を設定位置に位置決めして固定するための部材である。位置決め固定リンク28は、平板棒状に形成されて、メインベース22に複合クロスリンク24を介して支持されたデータ信号側ベース23を、メインベース22との間で設定間隔に保って支持するように設定されている。この位置決め固定リンク28は、位置決め固定治具27の横棒部の寸法と同じ寸法に設定されて、位置決め固定治具27と共に、メインベース22とデータ信号側ベース23との間を設定間隔に保って支持するようになっている。
The positioning and fixing
位置決め固定リンク28の寸法は、液晶パネル5の大きさによって異なり、図1、5のように液晶パネル5の寸法が大きい場合は短く、図6、7のように液晶パネル5の寸法が小さい場合は長く設定される。
The dimension of the positioning and fixing
プローブブロック用位置決め固定治具29は、データ信号側ベース23及びゲート信号側ベース25にそれぞれ設けられた複数のプローブブロック12を全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するための部材である。このプローブブロック用位置決め固定治具29は、配設されるプローブブロック12の個数に応じた長さに設定されている。
The probe block positioning and fixing
プローブブロック用位置決め固定治具29は、図8〜10に示すように、クリップ36と、嵌合ピン37と、連結板38とから構成されている。
As shown in FIGS. 8 to 10, the probe block positioning and fixing
クリップ36は、嵌合ピン37に嵌合するための部材である。クリップ36は、前記プローブブロック12の上側面に設けられている。クリップ36は、弾性を有する2枚の把持板部36Aを備えている。この把持板部36Aの内側面には嵌合ピン37に嵌合する円弧状の凹部が形成されている。これにより、2枚の把持板部36Aで嵌合ピン37を弾性的に挟むことで、互いに嵌合するようになっている。そして、嵌合ピン37が2枚の把持板部36Aの間にその上側から押し込まれて互いに嵌合することで、プローブブロック12が嵌合ピン37の位置に位置決めされるようになっている。
The
嵌合ピン37は、クリップ36の2枚の把持板部36Aに嵌合するための部材である。嵌合ピン37は円柱状に形成され、把持板部36Aの内側面の円弧状の凹部に整合するようになっている。嵌合ピン37は、プローブブロック12の配設数に応じた数だけ、各プローブブロック12の設定位置に合わせて設けられる。
The
連結板38は、複数の嵌合ピン37をそれぞれの設定位置で一体的に支持するための部材である。連結板38は、縦板部38Aと、横板部38Bとから構成されている。嵌合ピン37は、縦板部38Aに取り付けられて、水平方向に配設されている。横板部38Bには、2つの位置決めピン孔38Cと、2つのネジ穴38Dがそれぞれ設けられている。また、データ信号側ベース23及びゲート信号側ベース25にも、位置決めピン孔38C及びネジ穴38Dに整合する位置にピン孔40と、ネジ穴41がそれぞれ設けられている。これにより、位置決めピン孔38C及びピン孔40に位置決めピン42が挿入されて連結板38が位置決めされ、ネジ穴38D及びネジ穴41に止めネジ43がねじ込まれて、連結板38がデータ信号側ベース23及びゲート信号側ベース25に位置決めして固定されるようになっている。
The connecting
[動作]
以上のように構成された検査装置は、次のように動作する。
[Operation]
The inspection apparatus configured as described above operates as follows.
外部からパネルセット部2に液晶パネル5が挿入されると、パネルセット部2がその液晶パネル5を測定部3へ搬送する。測定部3では、パネルセット部2から渡された液晶パネル5をチャックトップ8で支持して試験する。
When the
このとき、可動式プローブユニット21に支持された各プローブブロック12のプローブ針13が液晶パネル5の各電極にそれぞれ接触して、試験が行われる。
At this time, the test is performed with the probe needles 13 of the probe blocks 12 supported by the
一方、検査対象の液晶パネル5の寸法が変更された場合は、それに応じてプローブブロック12の配設位置を調整する。
On the other hand, when the dimension of the
この場合はまず、位置決め固定治具27、位置決め固定リンク28及びプローブブロック用位置決め固定治具29が液晶パネル5に応じたものに変更される。例えば、図1、5に示す大型の液晶パネル5から図6、7に示す小型の液晶パネル5に変更される場合は、位置決め固定治具27と位置決め固定リンク28を取り外して、横棒の寸法が長く、縦棒の寸法が短い位置決め固定治具27と、位置決め固定治具27の横棒と同じ寸法の位置決め固定リンク28とに変更する。この場合、複合クロスリンク24を縮めてデータ信号側ベース23をメインベース22から離して液晶パネル5側に近づけて、位置決め固定治具27の横棒の寸法に合わせる。次いで、位置決め固定治具27及び位置決め固定リンク28を取り付けて固定する。
In this case, first, the positioning and fixing
さらに、ゲート信号側ベース25を位置決め固定治具27の縦棒の寸法に合わせて移動し、ネジ等で互いに固定する。
Further, the gate
また、プローブブロック12は、液晶パネル5の電極に合わせた個数に変更される。ここでは、データ信号側ベース23側を5個に、ゲート信号側ベース25側を3個に変更する。この場合はまず、2つのプローブブロック用位置決め固定治具29を取り外して、データ信号側ベース23側のプローブブロック12を3個、ゲート信号側ベース25側のプローブブロック12を1個取り外して、プローブブロック用位置決め固定治具29を小型の液晶パネル5に合わせた寸法のものに変更する。
Further, the number of probe blocks 12 is changed to the number corresponding to the electrodes of the
データ信号側ベース23側のプローブブロック用位置決め固定治具29の5つの嵌合ピン37を5つのプローブブロック12のクリップ36にそれぞれ嵌合してプローブブロック12を設定位置に合わせる。次いで、位置決めピン42を連結板38の位置決めピン孔38Cとピン孔40とに挿入してプローブブロック用位置決め固定治具29をデータ信号側ベース23に対して位置決めする。これにより、各プローブブロック12が正確に位置決めされて支持される。この状態で、連結板38のネジ穴38D及びネジ穴41に止めネジ43を通して、プローブブロック用位置決め固定治具29をデータ信号側ベース23に固定する。
The five
また、ゲート信号側ベース25側のプローブブロック用位置決め固定治具29の3つの嵌合ピン37を3つのプローブブロック12のクリップ36にそれぞれ嵌合してプローブブロック12を設定位置に合わせる。次いで、位置決めピン42を連結板38の位置決めピン孔38Cとピン孔40とに挿入してプローブブロック用位置決め固定治具29をゲート信号側ベース25に対して位置決めする。これにより、各プローブブロック12が正確に位置決めされて支持される。この状態で、連結板38のネジ穴38D及びネジ穴41に止めネジ43を通して、プローブブロック用位置決め固定治具29をゲート信号側ベース25に固定する。
Further, the three
なお、位置決め固定治具27及び位置決め固定リンク28の取り替えと、プローブブロック用位置決め固定治具29の取り替えは、いずれを先に行っても良い。
The replacement of the positioning / fixing
[効果]
以上のように、本実施形態の検査装置によれば、次のような効果を奏する。
[effect]
As described above, according to the inspection apparatus of the present embodiment, the following effects can be obtained.
可動式プローブユニット21がプローブブロック12を支持して、任意の位置にずらして位置決めし支持するため、プローブブロック12を設定位置に容易に位置合わせすることができ、寸法の異なる液晶パネル5に合わせて、プローブ針13の位置合わせを、短時間で容易に行うことができる。この結果、寸法の異なる液晶パネル5に対する調整作業の作業性が大幅に向上する。
Since the
複合クロスリンク24でデータ信号側ベース23を設定値にずらし、ゲート信号側ベース25を各メインベース22に対してスライドさせて設定値にずらし、位置決め固定治具27で、データ信号側ベース23及びゲート信号側ベース25を設定位置にそれぞれ位置決めして固定し、プローブブロック用位置決め固定治具29で、複数のプローブブロック12を全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するため、プローブブロック12を設定位置に容易に位置合わせすることができ、寸法の異なる液晶パネル5に合わせて、プローブ針13の位置合わせを、短時間で容易に行うことができ、作業性が向上する。
The data signal
位置決め固定リンク28で、位置決め固定治具27と共に、データ信号側ベース23をメインベース22に対して設定位置に位置決めして固定するため、データ信号側ベース23がメインベース22に対して複数箇所(本実施形態では2箇所)で支持されて、設定位置に位置決めして確実に支持することができる。
In order to position and fix the data signal
プローブブロック用位置決め固定治具29の連結板38の各嵌合ピン37をプローブブロック12のクリップ36にそれぞれ嵌合して、各プローブブロック12をそれぞれ設定位置で一体的に支持するため、各プローブブロック12を個別に位置決めする必要がなくなり、各プローブブロック12の位置決め作業性が大幅に向上する。
Each
さらに、可動式プローブユニット21を設けることで、液晶パネル5のサイズの違いに対して1つの可動式プローブユニット21で対応することができ、液晶パネル5のサイズごとに、個別のプローブユニットを設計・製造する必要が無くなる。この結果、大幅なコスト低減を図ることができる。
Furthermore, by providing the
[変形例]
前記実施形態では、ゲート信号側ベース25の両端部に長板25A及び長孔25Bを設けて、ゲート信号側ベース25をスライド可能に設けたが、図11〜14に示すように、ゲート信号側ベース25の両端部に長板45のみを設けて、連結ピン24Cに回転可能に連結してもよい。これにより、ゲート信号側ベース25は、複合クロスリンク24の伸縮に連動してデータ信号側ベース23の長手方向にスライドする。この場合、ゲート信号側ベース25は、複合クロスリンク24に連動して一義的にスライドするため、異なるサイズの液晶パネル5のデータ信号側ベース23側に寸法及びゲート信号側ベース25側の寸法に変化に応じてゲート信号側ベース25がスライドするように、複合クロスリンク24の各板状棒材24Aの寸法を設定する。これにより、データ信号側ベース23のプローブブロック12を液晶パネル5に合わせて移動させると、複合クロスリンク24の伸縮によって、データ信号側ベース23に連動してゲート信号側ベース25が移動し、液晶パネル5の電極に整合する。この場合、位置決め固定治具27は設けても設けなくてもよい。
[Modification]
In the above embodiment, the
前記実施形態では、プローブブロック用位置決め固定治具29では、プローブブロック12にクリップ36を設け、連結板38側に嵌合ピン37を設けたが、これと逆にプローブブロック12に嵌合ピン37を設け、連結板38側にクリップ36を設けてもよい。この場合も、前記実施形態と同様の作用、効果を奏する。
In the above embodiment, in the probe block positioning and fixing
また、前記実施形態では、検査対象板として液晶パネル5を例に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。例えば、液晶パネル5や液晶セル(基板の周囲にのみ電極が存在)のみならず、液晶アレイ(基板の周囲以外にも電極が存在)にも適用することができる。
Moreover, in the said embodiment, although the
さらに、前記実施形態では、従来後術と同じ液晶パネル5の点灯検査を行う検査装置1に可動式プローブユニット21を組み込んだ場合を例に説明したが、この可動式プローブユニット21が組み込まれる検査装置1は前記実施形態の構成に限るものではない。前記構成の可動式プローブユニット21を備えた検査装置1であればよく、この検査装置1としては種々のものを用いることができる。
Furthermore, in the above-described embodiment, the case where the
また、前記実施形態では、接触子としてプローブ針13を例に説明したが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば、ブレードやバンプ、ポゴピン等であってもよい。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
In the above embodiment, the
1:検査装置、2:パネルセット部、3:測定部、5:液晶パネル、21:可動式プローブユニット、22:メインベース、22A:長孔、23:データ信号側ベース、23A:長孔、24:複合クロスリンク、24A:板状棒材、24B、24C:連結ピン、25:ゲート信号側ベース、25A:長板、25B:長孔、26:リニアガイド、26A:嵌合溝、27:位置決め固定治具、28:位置決め固定リンク、29:プローブブロック用位置決め固定治具、31:固定ねじ、34:スライダー、36:クリップ、36A:把持板部、37:嵌合ピン、38:連結板、38A:縦板部、38B:横板部、38C:位置決めピン孔、38D:ネジ穴、40:ピン孔、41:ネジ穴、42:位置決めピン、43:止めネジ。
1: inspection device, 2: panel setting unit, 3: measurement unit, 5: liquid crystal panel, 21: movable probe unit, 22: main base, 22A: long hole, 23: data signal side base, 23A: long hole, 24: Composite cross link, 24A: Plate bar, 24B, 24C: Connecting pin, 25: Gate signal side base, 25A: Long plate, 25B: Long hole, 26: Linear guide, 26A: Fitting groove, 27: Positioning and fixing jig, 28: Positioning and fixing link, 29: Positioning and fixing jig for probe block, 31: Fixing screw, 34: Slider, 36: Clip, 36A: Holding plate part, 37: Fitting pin, 38: Connecting plate , 38A: vertical plate portion, 38B: horizontal plate portion, 38C: positioning pin hole, 38D: screw hole, 40: pin hole, 41: screw hole, 42: positioning pin, 43: set screw.
Claims (6)
前記検査対象板の両側位置にそれぞれ配設されて全体を支持するメインベースと、
前記プローブブロックを支持するデータ信号側ベースと、
前記メインベースに支持された状態で前記データ信号側ベースを任意の位置で支持する複合クロスリンクと、
前記データ信号側ベースと直交方向に配設されて2つの前記メインベースにスライド可能に支持された状態で前記プローブブロックを支持するゲート信号側ベースと、
当該ゲート信号側ベース及び前記データ信号側ベースにそれぞれ設けられて前記プローブブロックをスライド可能に支持するリニアガイドと、
前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定する位置決め固定治具と、
複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するプローブブロック用位置決め固定治具とを備えて構成されて、
前記プローブブロックを任意の位置に位置決めして支持することを特徴とする可動式プローブユニット。 A movable probe unit that supports a probe block having a contact to be brought into contact with an inspection object plate,
A main base that is disposed on both sides of the inspection object plate and supports the whole;
A data signal side base supporting the probe block;
A composite cross link that supports the data signal side base at an arbitrary position while being supported by the main base;
A gate signal side base that supports the probe block in a state of being slidably supported by the two main bases and disposed in a direction orthogonal to the data signal side base;
A linear guide provided on each of the gate signal side base and the data signal side base to support the probe block in a slidable manner;
A positioning fixture for positioning and fixing the data signal side base and the gate signal side base at a set position;
A probe block positioning fixing jig for positioning and supporting all of the plurality of probe blocks simultaneously at respective setting positions is configured.
A movable probe unit, wherein the probe block is positioned and supported at an arbitrary position.
前記データ信号側ベースを設定位置に位置決めして固定する位置決め固定リンクを備えたことを特徴とする可動式プローブユニット。 The movable probe unit according to claim 1 , wherein
A movable probe unit comprising a positioning and fixing link for positioning and fixing the data signal side base at a set position.
前記プローブブロック用位置決め固定治具が、前記プローブブロックに設けられたクリップ又は嵌合ピンに嵌合する複数の嵌合ピン又はクリップと、各嵌合ピン又はクリップを設定位置で一体的に支持する連結板とを備えて構成されたことを特徴とする検査装置。 The movable probe unit according to claim 1 or 2 ,
The probe block positioning fixing jig integrally supports a plurality of fitting pins or clips to be fitted to clips or fitting pins provided on the probe block, and the respective fitting pins or clips at a set position. An inspection apparatus comprising a connecting plate.
前記プローブブロックを任意の位置に位置決めして支持する可動式プローブユニットを備え、
前記可動式プローブユニットが、
前記検査対象板の両側位置にそれぞれ配設されて全体を支持するメインベースと、
前記プローブブロックを支持するデータ信号側ベースと、
前記メインベースに支持された状態で前記データ信号側ベースを任意の位置で支持する複合クロスリンクと、
前記データ信号側ベースと直交方向に配設されて2つの前記メインベースにスライド可能に支持された状態で前記プローブブロックを支持するゲート信号側ベースと、
当該ゲート信号側ベース及び前記データ信号側ベースにそれぞれ設けられて前記プローブブロックをスライド可能に支持するリニアガイドと、
前記データ信号側ベース及び前記ゲート信号側ベースを設定位置にそれぞれ位置決めして固定する位置決め固定治具と、
複数の前記プローブブロックを全て同時にそれぞれの設定位置に位置決めして支持するプローブブロック用位置決め固定治具と
を備えて構成されたことを特徴とする検査装置。 An inspection apparatus for performing a test by bringing a contact of a probe block into contact with an inspection target plate,
A movable probe unit for positioning and supporting the probe block at an arbitrary position;
The movable probe unit is
A main base that is disposed on both sides of the inspection object plate and supports the whole;
A data signal side base supporting the probe block;
A composite cross link that supports the data signal side base at an arbitrary position while being supported by the main base;
A gate signal side base that supports the probe block in a state of being slidably supported by the two main bases and disposed in a direction orthogonal to the data signal side base;
A linear guide provided on each of the gate signal side base and the data signal side base to support the probe block in a slidable manner;
A positioning fixture for positioning and fixing the data signal side base and the gate signal side base at a set position;
A positioning and fixing jig for a probe block that positions and supports all of the plurality of probe blocks at their respective set positions simultaneously;
Inspection apparatus characterized by being configured with a.
前記データ信号側ベースを設定位置に位置決めして固定する位置決め固定リンクを備えたことを特徴とする検査装置。 The inspection apparatus according to claim 4 ,
An inspection apparatus comprising a positioning and fixing link for positioning and fixing the data signal side base at a set position.
前記プローブブロック用位置決め固定治具が、前記プローブブロックに設けられたクリップ又は嵌合ピンに嵌合する複数の嵌合ピン又はクリップと、各嵌合ピン又はクリップを設定位置で一体的に支持する連結板とを備えて構成されたことを特徴とする検査装置。 The inspection apparatus according to claim 4 or 5 ,
The probe block positioning fixing jig integrally supports a plurality of fitting pins or clips to be fitted to clips or fitting pins provided on the probe block, and the respective fitting pins or clips at a set position. An inspection apparatus comprising a connecting plate.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006100578A JP4989911B2 (en) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | Movable probe unit and inspection device |
TW096102678A TWI318303B (en) | 2006-03-31 | 2007-01-24 | Movable probe unit and inspecting apparatus |
KR1020070009830A KR100906728B1 (en) | 2006-03-31 | 2007-01-31 | Movable Probe Unit and Inspecting Apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006100578A JP4989911B2 (en) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | Movable probe unit and inspection device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007271572A JP2007271572A (en) | 2007-10-18 |
JP4989911B2 true JP4989911B2 (en) | 2012-08-01 |
Family
ID=38674507
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006100578A Expired - Fee Related JP4989911B2 (en) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | Movable probe unit and inspection device |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4989911B2 (en) |
KR (1) | KR100906728B1 (en) |
TW (1) | TWI318303B (en) |
Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
KR20180031483A (en) * | 2016-09-20 | 2018-03-28 | 임진수 | A contactor system for display panel test |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009192419A (en) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Micronics Japan Co Ltd | Probe unit and inspection device |
KR101019292B1 (en) | 2008-11-27 | 2011-03-07 | 주식회사 케피코 | Bulk Current Injection Test Jig |
JP2011089891A (en) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Micronics Japan Co Ltd | Electrical connection device and testing device using the same |
JP5470456B2 (en) * | 2010-06-17 | 2014-04-16 | シャープ株式会社 | Lighting inspection device |
KR101316826B1 (en) * | 2013-07-16 | 2013-10-08 | 주식회사 한산테크 | Probe apparatus for inspecting small electronic components |
KR102242643B1 (en) * | 2014-10-30 | 2021-04-22 | 주성엔지니어링(주) | Organic Light Emitting Device |
CN104407178B (en) * | 2014-11-19 | 2017-04-19 | 苏州欧康诺电子科技股份有限公司 | PCBA (printed circuit board assembly) plate test fixture |
KR102081611B1 (en) * | 2019-10-10 | 2020-02-26 | 우리마이크론(주) | display panel inspection apparatus |
KR102112555B1 (en) * | 2019-11-21 | 2020-05-19 | 케이맥(주) | Testing device for display panel |
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KR102328053B1 (en) * | 2020-07-27 | 2021-11-17 | 주식회사 프로이천 | Array Unit Making A Main Board Used Commonly By A Sub-PCB Capable Of Variable Positioning Like Conveyor |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH11137347A (en) * | 1997-11-13 | 1999-05-25 | Sony Corp | Magazine rack |
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-
2006
- 2006-03-31 JP JP2006100578A patent/JP4989911B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-01-24 TW TW096102678A patent/TWI318303B/en not_active IP Right Cessation
- 2007-01-31 KR KR1020070009830A patent/KR100906728B1/en active IP Right Grant
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KR101857619B1 (en) | 2016-09-20 | 2018-06-28 | 임진수 | A contactor system for display panel test |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100906728B1 (en) | 2009-07-07 |
JP2007271572A (en) | 2007-10-18 |
TW200736636A (en) | 2007-10-01 |
TWI318303B (en) | 2009-12-11 |
KR20070098471A (en) | 2007-10-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120110 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120309 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120424 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120501 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4989911 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150511 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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