JP4986757B2 - 多数個取り基板の製造方法 - Google Patents
多数個取り基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4986757B2 JP4986757B2 JP2007197367A JP2007197367A JP4986757B2 JP 4986757 B2 JP4986757 B2 JP 4986757B2 JP 2007197367 A JP2007197367 A JP 2007197367A JP 2007197367 A JP2007197367 A JP 2007197367A JP 4986757 B2 JP4986757 B2 JP 4986757B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- layer
- substrate
- chip substrate
- nickel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
つまり、多数個取り基板には、多数のセラミック配線基板が格子状に配置され、各セラミック配線基板間はブレイク溝(分割溝)により区分されており、このブレイク溝に沿って割ることによって、各セラミック配線基板が分離される。
この導体層を形成する技術としては、例えばセラミック基板上にメタライズ層を形成し、無電解メッキによってメタライズ層の表面上にニッケル−ホウ素(Ni−B)合金層を形成し、この上に無電解メッキによってニッケル−リン(Ni−P)合金層を形成し、更に無電解メッキにより金(Au)層を形成する方法が開示されている(特許文献1参照)。
つまり、多数個取り基板をアルカリ性の脱脂液に漬けて脱脂を行う際には、図5(a)に示す様に、ブレイク溝101にも脱脂液103が入り込むので、その後基板表面を水等で洗浄した場合でも、ブレイク溝101から完全に脱脂液103を除去できないことがある。そのような状態のまま無電解メッキを行うと、ブレイク溝101に残留したアルカリ性の脱脂液103により局所的なpH変動が発生して、図5(b)にブレイク溝101を拡大して示す様に、ブレイク溝101中にメッキ105が析出してしまう。
にメッキが析出することを防止できる多数個取り基板の製造方法を提供することである。
セラミック配線基板の導体層は、ベース導体層の表面にメッキ層が形成されたものであり、本発明では、酸性脱脂を採用することにより、このメッキ層の形成の際に、本来金属が析出すべきでないブレイク溝に金属が析出することを防止できる。
本発明は、ベース導体層を例示したものである。ベース導体層であるメタライズ層は、多数個取り基板を(セラミックグリーンシートから)焼成により作成する際(即ち同時焼成)や、焼成した多数個取り基板に例えばメタライズペーストを塗布して焼成することにより形成することができる。
本発明は、無電解メッキを例示したものである。なお、特にニッケル−リンメッキの前に、酸性脱脂を行うと、ダレの発生防止の効果が高い。
本発明は、無電解メッキの例を示したものである。
[実施形態]
a)まず、本実施形態の多数個取り基板について説明する。
(1)基板作製工程
・まず、図4(a)に示す様に、所定のアルミナ原料粉体に有機溶剤等を添加混合してスラリーとし、これをドクターブレード法等を採用することにより、3枚の多数個取り用のセラミックグリーンシート31、33、35を作成した。
・次に、この積層体43に対して、前記各セラミック配線基板3間を分離するために、ブレイク溝5用の切れ目45を形成した。詳しくは、積層体43の表面と裏面とに、カッターにより、向かい合うように切れ目45を入れた。
・そして、前記焼成基板47を洗浄し乾燥した後に、前記メタライズ層15の上に、硫酸ニッケルとDMABジメチルアミンボランを還元剤として含む無電解メッキ液(奥野製薬工業(株)製のトップケミアロイB−1(商品名))を用いて、液温65℃、pH6.7、メッキ時間15分という条件でメッキを行い、Ni−B合金層19を厚さ1.2μm被着形成した。
その後、ブレイク溝5に沿って割ることにより、多数個取り基板1から個々のセラミック配線基板3を分離した。
[実験例]
次に、本発明の効果を確認するために行った実験例について説明する。
なお、実施例1の酸性脱脂液は、濃度200ml/lの奥野製薬工業(株)製のOCPアシッドクリン115(商品名)、実施例2の酸性脱脂液は、濃度150ml/lの奥野製薬工業(株)製のICPクリーンS−135K(商品名)、濃度200ml/lの実施例3の酸性脱脂液は、奥野製薬工業(株)製のICPクリーンS−135(商品名)、濃度100ml/lの実施例4の酸性脱脂液は、奥野製薬工業(株)製のDP−333(商品名)である。
例えば、ニッケル−ホウ素の無電解メッキの前に、酸性脱脂を行ってもよい。
3…セラミック配線基板
5…ブレイク溝
11…キャビティ
13…導体層
15…メタライズ層
17…メッキ層
Claims (5)
- 表面に導体層を備えたセラミック配線基板が、ブレイク溝により区分されて複数個配置された多数個取り基板の製造方法において、
前記多数個取り基板に対して、前記導体層を形成するための無電解メッキの前処理として、酸性脱脂を行うことを特徴とする多数個取り基板の製造方法。 - 前記導体層を構成するベース導体層の表面に、前記無電解メッキによってメッキ層を形成することを特徴とする請求項1に記載の多数個取り基板の製造方法。
- 前記ベース導体層は、前記多数個取り基板の焼成時又は焼成後に形成されたメタライズ層であることを特徴とする請求項1又は2に記載の多数個取り基板の製造方法。
- 前記無電解メッキは、ニッケル−リンメッキ及びニッケル−ホウ素メッキのうち、少なくとも1種であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の多数個取り基板の製造方法。
- 前記ニッケル−ホウ素メッキの後に、前記ニッケル−リンメッキを行うことを特徴とする請求項4に記載の多数個取り基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007197367A JP4986757B2 (ja) | 2007-07-30 | 2007-07-30 | 多数個取り基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007197367A JP4986757B2 (ja) | 2007-07-30 | 2007-07-30 | 多数個取り基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009033023A JP2009033023A (ja) | 2009-02-12 |
JP4986757B2 true JP4986757B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=40403188
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007197367A Expired - Fee Related JP4986757B2 (ja) | 2007-07-30 | 2007-07-30 | 多数個取り基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4986757B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012046640A1 (ja) * | 2010-10-08 | 2012-04-12 | 日本特殊陶業株式会社 | 多数個取り配線基板およびその製造方法 |
JP5963902B2 (ja) * | 2015-03-30 | 2016-08-03 | 株式会社Spd研究所 | 色素増感太陽電池の製法およびその製造装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05160551A (ja) * | 1991-12-03 | 1993-06-25 | Tokuyama Soda Co Ltd | 電子部品実装窒化アルミニウム基板の製造方法 |
JP2001313453A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Hitachi Ltd | セラミック基板のめっき方法 |
JP2002145683A (ja) * | 2000-11-02 | 2002-05-22 | Nippon Carbide Ind Co Inc | メタライズセラミックの製造方法 |
JP2004111893A (ja) * | 2002-07-24 | 2004-04-08 | Kyocera Corp | 多数個取り配線基板の製造方法 |
-
2007
- 2007-07-30 JP JP2007197367A patent/JP4986757B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009033023A (ja) | 2009-02-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI667950B (zh) | 立體配線基板的製造方法、立體配線基板以及立體配線基板用基材 | |
JPH0575246A (ja) | プリント回路の作成法 | |
WO2013082054A1 (en) | Fabricating a conductive trace structure and substrate having the structure | |
CN112712998B (zh) | 陶瓷电子部件以及陶瓷电子部件的制造方法 | |
TW201616927A (zh) | 印刷配線板及其製造方法 | |
JP4986757B2 (ja) | 多数個取り基板の製造方法 | |
TWI649193B (zh) | 陶瓷元件及其製造方法 | |
JP2004111893A (ja) | 多数個取り配線基板の製造方法 | |
JP2009212221A (ja) | 回路基板の製造方法 | |
JP2010010538A (ja) | セラミックパッケージの製造方法及びセラミックパッケージ | |
EP0219122B1 (en) | Metallized ceramic substrate and method of manufacturing the same | |
JP2015017296A (ja) | 無電解めっき方法 | |
JP2000303186A (ja) | 無電解めっき方法、電極構造体、及びそれに用いる導電ペースト | |
JP3050528B2 (ja) | ワイヤボンディングを施すための配線基板を製造する方法 | |
US20080075919A1 (en) | Wiring board and process for producing the same | |
JP2013098404A (ja) | セラミック基板と、そのセラミック基板を用いた電子部品モジュール | |
JP2001313453A (ja) | セラミック基板のめっき方法 | |
JPH05160551A (ja) | 電子部品実装窒化アルミニウム基板の製造方法 | |
JP2001148561A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2001274548A (ja) | セラミック配線基板の製造方法 | |
JP2010159469A (ja) | 電子部品のめっき方法、及び電子部品 | |
JP3771854B2 (ja) | 配線基板 | |
KR100568510B1 (ko) | 저온 동시 소성 세라믹 기판 제조 방법 | |
JP2008078251A (ja) | 複数個取り配線基板の製造方法 | |
JP2003226981A (ja) | 電子部品のめっき方法、及び電子部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100623 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120327 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120424 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4986757 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150511 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |