JP4984095B2 - 発光素子 - Google Patents
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Description
しかしながら、厚いGaP窓層を設けるためには、AlGaInPからなる発光層に直接GaP基板を接合するか、GaPの厚膜を結晶成長しなければならない。GaP基板を直接接合する方法では、特許文献1等に示されているようにGaPとの接合界面で障壁層が生じる問題があり、これを回避するために長時間かつ高温の熱処理が必要となる。
この場合、他方の窓層も、貼り合わせ若しくは結晶成長によって形成されることになるが、発光層を形成する際に下地として用いたGaAs基板は光吸収層として機能するため、窓層形成前にGaAs基板を除去する必要がある。
AlGaInP系とGaAs系は格子整合系ながら、選択エッチング法の利用が可能であり、そのため、選択エッチングに要する層を適切にGaAs基板とAlGaInP層との間に挿入することでGaAs基板をきれいに除去することができる。
そこで、GaAs基板除去前に、厚膜GaP層を結晶成長することでウエハに機械的強度を持たせることによって、GaP層が光取り出し層(窓層)と強度保持板を兼ねることができ、合理的である。
また、GaP層の成長に要する温度は、一般に発光層を成長する際の温度より同等以上の高温が必要であり、発光層部はMOVPE成長時の温度、若しくはそれより高い温度に長時間さらされることになる。
このp型クラッド層にはMgやZnなどのp型不純物がドーピングされており、加熱されることで熱力学に従って濃度の高い方から低い方へ拡散する。このため、当然活性層中にも拡散する可能性がある。そして活性層中に拡散したp型不純物は欠陥を形成しやすいため、通電などによる素子寿命試験時に欠陥を形成し、その結果、キャリア注入効率の低下、光吸収の増大等を引き起こし、光出力の低下現象を引き起こす。
例えば、活性層は通常Al組成xが少ないため、活性層中の不純物拡散速度は、Al組成xの高いクラッド層より相対的に早く、不純物が滞在しにくい。
また、活性層への注入効率を落とさないため、クラッド層はある程度以上の濃度の不純物を保持していなければならず、このためクラッド層に存在する不純物は活性層中へ拡散する。
例えば、層中への不純物拡散による欠陥形成が起こる厚さ分だけ活性層を厚く設けておくことによって、不純物の拡散があっても活性層における発光再結合は維持される。ただし、この不純物拡散汚染層は非発光再結合が他の活性層より大きい層でもあり、発光効率が低下する要因になる。便宜上、この型の活性層をバルク型活性層と呼ぶ。
しかしながら、MQWの各層の厚さは数〜十数nmと半導体内の電子のド・ブロイ波長程度であるため、バルク活性層と比べると大幅に各層の厚さは薄く、活性層に与える不純物拡散の影響が大きくなる。MQWにおける活性層を増やせば解決できる可能性もあるが、大幅に層数を増やす必要があり、活性層の自己吸収で内部量子効率は低下する。
障壁層の厚さを10〜20nm程度に減らせば、直列抵抗成分はバルク活性層の1〜2割程度高い水準に留まり、20℃付近の室温動作時においては、この電圧上昇(Vf上昇ともいう)0.1〜0.3V程度に抑えることができ、2.5〜3Vを電源とする機器系においては大きな問題にならなくなる。しかしながら、LED等の発光素子は屋外で用いられることが多く、外部環境が低温時の特性が問題になるが、多重活性層型構造を用いた場合、低温時のVfが大きく上昇する。
従って、n型またはp型、あるいはp側とn側両者に30μm以上の厚いGaP窓層を有するAlGaInP系発光素子において、高い内部量子効率と低い直列抵抗成分と、長寿命を有する発光素子を実現することは現状の技術では困難であった。
これによって、活性層の構造をバルク型活性層とした場合と比べて順方向電圧Vfの上昇率を3%程度と非常に低い上昇率に抑えることができる。すなわち、長寿命・高発光効率の多重活性層型の構造の発光素子でありながら、低抵抗というバルク型活性層とほぼ同程度の抵抗率の発光素子とすることができる。
このように、活性層と障壁層のバンドギャップ差ΔEを0.25eV以下にすることにより、従来のバルク型活性層構造の発光素子とほぼ同じ順方向電圧Vfとすることができ、より低抵抗な高発光効率、長寿命の発光素子となる。
このように、活性層と障壁層のバンドギャップ差ΔEを0.2eV以上とすることによって、活性層と障壁層との間のバンドギャップが一定以上に保たれることにより、キャリアの閉じ込めの機能が低下することを抑制することができる。よって、順方向電圧Vfの上昇を抑制しながら、発光効率の低下も抑制することができ、更に容易に低抵抗かつ高発光効率、長寿命の発光素子とすることができる。
障壁層が上述のような組成を有するものであれば、障壁層での不純物の拡散速度を活性層と比較して遅くすることができ、これによって、不純物が活性層に滞留することを抑制することができる。従って、キャリア注入効率の上昇や光吸収の抑制を実現できる。
このように、活性層の厚さを、キャリアが留まる確率を増加させることができる5nm以上にすることで、より発光効率を高めることができる。
このように、障壁層の厚さを、トンネル効果によるキャリアの透過を抑制することができる5nm以上にすることで、キャリアの閉じ込め効果をより増加させることができ、更に発光効率を高めることができる。
また50nm以下とすることで、キャリアホッピング確率が低下してしまうことを抑制することができる。
そして図2に示すように、この化合物半導体基板100は、少なくとも、第一層としてのn型GaP基板101、第三層としてp型GaP層109、第四層としてp型GaP窓層110を有し、第一層と第三層の間の第二層として発光層108からなるものである。
またこの障壁層105は、n型クラッド層103及びp型クラッド層107よりバンドギャップが同じか小さいものであり、かつ活性層104と障壁層105は1回以上交互に積層されたものとなっている。
更に、図2の右側に示したように、障壁層105のバンドギャップEgbと活性層104のバンドギャップEgaとのバンドギャップ差ΔE(=Egb−Ega)が、0eVより大きく、かつ0.35eV以下となっている。
また発光寿命が長い多重活性層構造の化合物半導体を用いて製造された発光素子であるため、長寿命な発光素子とすることができる。
これによって、得られた発光素子の順方向電圧を、従来のバルク型活性層構造の発光素子とほぼ同じ水準とすることができ、より低抵抗な高発光効率、長寿命の発光素子を得ることができる。
これによって、活性層と障壁層との間のバンドギャップを必要以上に低くなることを抑制できる。すなわち、キャリアの閉じ込め機能の低下を抑制できる。従って、順方向電圧Vfの上昇を抑制しつつ、発光効率が低下することも抑制でき、更に容易に低抵抗かつ高発光効率、長寿命の発光素子とすることができる。
このように、障壁層のAlの組成比xが上述の範囲であれば、直列抵抗がより低い障壁層とすることができる。そして、障壁層での不純物の拡散速度を活性層と比較して遅くすることができ、これによって、不純物が活性層に滞留することが抑制されるため、キャリア注入効率の上昇や光吸収の抑制を実現することができる。
このように、活性層の厚さを5nm以上にすることで、キャリアが留まる確率を増加させることができ、発光効率をより高めることができる。
上述のような厚さの障壁層であれば、トンネル効果によるキャリアの透過を抑制することができるため、キャリアの閉じ込め効果をより増加させることができる。よって、更に発光効率を高めることができる。
また50nm以下であれば、キャリアホッピング確率が低下してしまうことを抑制することができる。
しかし、あまりに層数が多いと、製造に時間がかかるため製造コストが上昇したり、層数が増加したために活性層の自己吸収によって内部量子効率が低下する等の問題が発生するため、障壁層数は30以下、活性層数は31以下とすることが望ましい。
そして、先に導入したGaAs基板上に、n型GaAsバッファ層をエピタキシャル成長させる。更に、n型GaAsバッファ層の表面上に、MOCVD法により、n型クラッド層をエピタキシャル成長させる。
ここで、障壁層と活性層のバンドギャップ差ΔEが、0eVより大きくかつ0.35eVより小さくなるように、Alの組成比xを選択する。但し、障壁層のバンドギャップはn型クラッド層及びp型クラッド層より同じか小さくなるようにする。
また、活性層は少なくとも3層以上、障壁層は少なくとも2層以上気相成長させる。そして、活性層と障壁層は交互に積層させる。更に障壁層と障壁層は、互いに隣接させず、更にn型クラッド層とp型クラッド層にも接しない構造となるようにする。
更に、最表面側の活性層の形成後に、ノンドープの(AlxGa1−x)yIn1−yP(ただし、0≦x≦1、0<y<1)からなり、n型クラッド層やp型クラッド層よりAl比xが同じか小さいセットバック層を形成することができる。
次に、p型GaP窓層を形成する。この窓層の形成では、先に得たMOエピタキシャル基板をMOCVDのリアクターから取り出し、HVPE法のリアクター内に入れる。そして、Znをドープし、p型GaP窓層をエピタキシャル成長させる。
そして、GaAs基板等を除去することで露出したn型クラッド層の表面に、n型GaP基板を貼り付けるか、またはHVPE法を用いエピタキシャル成長によりn型GaP層を形成することで、化合物半導体基板を得ることができる。
上記MOCVD法やHVPE法によって気相成長させる際には一般的な条件を用いればよい。
(実施例1)
図2に示すような化合物半導体基板を製造し、図1に示す様な発光素子を製造した。
具体的には、厚さ280μmのn型GaAs基板(15°オフアングル)の主表面上に、厚さ0.5μmのn型GaAsバッファ層、厚さ2.3μmのn型AlGaInP層(n型クラッド層)、厚さ0.03μmのノンドープAlxaGa1−xaInP層(活性層)と厚さ0.03μmのノンドープAlxbGa1−xbInP層(障壁層)を9ペア+厚さ0.03μmのノンドープAlxaGa1−xaInP層(活性層)、厚さ0.7μmのノンドープAlGaInP層(セットバック層)、厚さ1.6μmのp型AlGaInP(p型クラッド層)、厚さ2.5μmのp型GaP層(窓層)をMOVPE法によってエピタキシャル成長させて、その後厚さ90μmのp型GaP層(窓層)をHVPE法によってエピタキシャル成長させた。
尚、活性層のAl組成比xaと障壁層のAl組成比xbは、後述する表1に示すとおりの組成比とし、活性層と障壁層のバンドギャップ差ΔEを0.24eVとした。
そして、電極形成、ダイシング、電極付け等を行って、発光素子を製造した。
まず、発光効率を評価するために、直流電流20mAを流した時の全方位光出力を積分球にて測定した。そして寿命特性は直流電流50mA、環境温度を85℃とした加速試験にて100時間後の発光効率を評価し、初期出力に対する劣化を評価した。
そして、環境温度25℃において20mAの電流を流すのに必要な電圧(順方向電圧Vf)の評価を行った。そして温度85℃、湿度50%、順方向電流50mA、通電時間100時間の加速試験を行い、順方向電圧Vfの変化率の評価(Vfライフ)を行った。更に低温(−40℃)で20mAの電流を流すのに必要な順方向電圧Vf(LT Vf)の評価を行った。
これらの結果の一部を表1に示す。
図5に示す様な化合物半導体基板200を製造し、該化合物半導体基板から発光素子を製造した。
具体的には、厚さ280μmのn型GaAs基板(15°オフアングル)の主表面上に、厚さ0.5μmのn型GaAsバッファ層、厚さ2.3μmのn型AlGaInP層(n型クラッド層)203、厚さ0.6のノンドープAlxaGa1−xaInP層(活性層)204、厚さ0.7μmのノンドープAlGaInP層(セットバック層)206、厚さ1.6μmのp型AlGaInP(p型クラッド層)207、厚さ2.5μmのp型GaP層(窓層)209をMOVPE法によってエピタキシャル成長させて、その後厚さ90μmのp型GaP層(窓層)210をHVPE法によってエピタキシャル成長させた。
尚、活性層のAl組成比xaは0.09とした。この場合、障壁層は存在しないこととなり、バンドギャップ差ΔEは0となった。
そして、電極形成、ダイシング、電極付け等を行って、発光素子を製造した。
その後、実施例1と同様の評価を行った。その結果も表1に示す。
実施例1において、活性層のAl組成比xaを0.30、障壁層のAl組成比xbを0.85として、ΔEを0.33eVとした以外は実施例1と同様の方法によって化合物半導体基板、発光素子を製造した。そして実施例1と同様の評価を行い、表1に結果を示した。
図6に示すような化合物半導体基板300を製造し、発光素子を製造した。
具体的には、厚さ280μmのn型GaAs基板(15°オフアングル)の主表面上に、厚さ0.5μmのn型GaAsバッファ層、厚さ2.3μmのn型AlGaInP層(n型クラッド層)303、厚さ0.03μmのノンドープAlxaGa1−xaInP層(活性層)304と厚さ0.03μmのノンドープAlxbGa1−xbInP層(障壁層)305を9ペア+厚さ0.03μmのノンドープAlxaGa1−xaInP層(活性層)304、厚さ0.7μmのノンドープAlGaInP層(セットバック層)306、厚さ1.6μmのp型AlGaInP(p型クラッド層)307、厚さ2.5μmのp型GaP層(窓層)309をMOVPE法によってエピタキシャル成長させて、その後厚さ90μmのp型GaP層(窓層)310をHVPE法によってエピタキシャル成長させた。
尚、活性層のAl組成比xaは0.09、障壁層のAl組成比xbは0.85とした。この時ΔEは0.46eVとなった。
そして、電極形成、ダイシング、電極付け等を行って、発光素子を製造した。そして実施例1と同様の評価を行い、表1に結果を示した。
また低温(−40℃)の環境下での順方向電圧についても、表1や図4に示す様に、ΔEが増加するほど低温での順方向電圧も上昇し、ΔEが0.35eVより大きい場合、順方向電圧は大幅に上昇した。また、ΔEが0.2〜0.25eVの間であれば、同様に低温での順方向電圧の上昇率は小さいものとできることも判った。
従って、バンドギャップの差ΔEを大きくすると、発光効率や発光ライフは改善できるものの、Vfの上昇率が大きくなってしまう。このため、Vfがさほど大きくなくならずに発光効率等を改善できる0eVより大きく0.35eV以下に、より好ましくは、0.2eV以上0.35eV以下の範囲にΔEを制御する必要があることが判った。
11…電極、
100,200,300…化合物半導体基板、
101,201,301…n型GaP基板、
103,203,303…n型クラッド層、
104,204,304…活性層、
105,305…障壁層、
106,206,306…セットバック層、
107,207,307…p型クラッド層、
108…発光層、
109,209,309…p型GaP層、
110,210,310…p型GaP窓層。
Claims (5)
- 少なくとも、p型クラッド層と少なくとも3層以上の活性層と少なくとも2層以上の障壁層とn型クラッド層とを有する(AlxGa1−x)yIn1−yP(0<x<1,0.4<y<0.6)からなる発光層を有する化合物半導体基板を用いて製造された発光素子であって、
前記障壁層と前記活性層のバンドギャップ差ΔEが、0eVより大きくかつ0.35eV以下であり、
前記障壁層と前記活性層が各々ド・ブロイ波長以上の膜厚を有する多重活性層型のものであることを特徴とする発光素子。 - 前記ΔEが、0.25eV以下であることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記ΔEが、0.2eV以上であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の発光素子。
- 前記障壁層は、Alの組成比xが0<x<0.9であることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記障壁層は、厚さが50nm以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の発光素子。
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