JP4981011B2 - 電気特性測定用プローブ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1〜図5は本発明の第1実施形態の電気特性測定用プローブの製造方法を示す図、図4は図3(b)をA方向からみた平面図、図5は同じく電気特性測定用プローブのバンプがLSIチップの電極パッドに配置された様子を示す断面図である。
図6〜図9は本発明の第2実施形態の電気特性測定用プローブの製造方法を示す図、図8は図7(d)をB方向からみた平面図、図9は同じく電気特性測定用プローブのバンプがLSIチップの電極パッドに配置された様子を示す断面図である。
図10〜図13は本発明の第3実施形態の電気特性測定用プローブの製造方法を示す図、図13は同じく電気特性測定用プローブを示す構成図、図14は同じく電気特性測定用プローブを示す側面図である。
Claims (10)
- 半導体薄板と該半導体薄板を被覆する絶縁膜とにより構成された基体部と、前記基体部と同一材料で構成され、前記基体部の一端から外側に延在する複数の端子部と、前記端子部及び基体部上に形成され、前記複数の端子部から前記基体部にそれぞれ延在する配線パターンと、前記端子部の先端部に形成され、前記配線パターンに接続されたコンタクト部とをそれぞれ含む複数のプローブ部品が組み立てられて構成された電気特性測定用プローブであって、
前記複数の薄板状のプローブ部品が、それぞれの薄板面が互いに平行で、かつ前記コンタクト部が同一方向を向くようにして配列され、前記複数のプローブ部品の間にスペーサがそれぞれ配置された状態で、前記複数のプローブ部品と前記スペーサとが固定手段により固定されて構成されており、
前記複数の端子部は、前記基体部と前記コンタクト部との間で屈曲する屈曲部をそれぞれ備え、前記配線パターンは、前記端子部に沿って前記端子部上で屈曲して前記基体部上まで配置されていることを特徴とする電気特性測定用プローブ。 - 前記基体部上に前記配線パターンに繋がる接続パッドが配置されていることを特徴とする請求項1に記載の電気特性測定用プローブ。
- 前記固定手段はボルト及びナットであって、前記基体部及びスペーサの両端部にはそれぞれ貫通孔が設けられており、前記ボルトが前記基体部及びスペーサの前記貫通孔に挿入され、前記ボルトが前記ナットで締められて固定されていることを特徴とする請求項1に記載の電気特性測定用プローブ。
- 前記コンタクト部は、金、又はニッケルよりなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電気特性測定用プローブ。
- 前記基体部の薄板面に平行方向の前記複数の端子部のピッチは、前記プローブ部品の前記複数の端子部のラインとスペースとにより規定され、前記基体部の薄板面に対して垂直方向に配列される前記端子部のピッチは、前記端子部の厚みと前記スペーサの厚みとにより規定されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電気特性測定用プローブ。
- 前記半導体薄板は、厚みが50〜400μmのシリコン板であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電気特性測定用プローブ。
- 前記基体部の薄板面に平行方向の前記複数の端子部のピッチ、及び前記基体部の薄板面に対して垂直方向に配列される前記端子部のピッチは、共に、150μm以下であることを特徴とする請求項5に記載の電気特性測定用プローブ。
- 半導体ウェハを研削して厚みを薄くする工程と、
前記半導体ウェハの所要部に該半導体ウェハを貫通する開口部を形成することにより、基体部と、該基体部の一端に繋がり、かつ先端側がコンタクト部になる複数の端子部とを画定する工程であって、前記複数の端子部は、前記基体部と前記コンタクト部との間で屈曲する屈曲部を備えて形成され、
前記半導体ウェハの一方面、他方の面及び開口部の側面に絶縁膜を形成する工程と、
前記端子部及び基体部の前記絶縁膜上に、前記複数の端子部から前記基体部にそれぞれ延在する配線パターンを形成する工程であって、前記配線パターンは、前記端子部に沿って前記端子部上で屈曲して前記基体部上まで配置され、
前記複数の端子部が繋がった前記基体部を前記半導体ウェハから切断して、複数の薄板状のプローブ部品を得る工程と、
前記複数の薄板状のプローブ部品を、それぞれの薄板面が互いに平行になると共に、前記コンタクト部が同一方向を向くようにして配置し、かつ前記複数のプローブ部品の間にそれぞれスペーサを配置した状態で、固定手段により前記プローブ部品と前記スペーサとを固定する工程と、
前記プローブ部品を得る工程の直後、又は前記プローブ部品と前記スペーサとを固定する工程の後に、前記プローブ部品の前記端子部の先端部に、前記配線パターンに接続される金属よりなるコンタクト部を形成する工程とを有することを特徴とする電気特性測定用プローブの製造方法。 - 前記半導体ウェハに開口部を形成する工程は、
所定の開口部をもつレジストをマスクにして、前記半導体ウェハを異方性ドライエッチングすることにより、前記半導体ウェハに前記開口部を形成することを含むことを特徴とする請求項8に記載の電気特性測定用プローブの製造方法。 - 前記コンタクト部を形成する工程において、無電解めっきにより、前記プローブ部品の先端部に金層又はニッケル層を選択的に形成することを特徴とする請求項8に記載の電気特性測定用プローブの製造方法。
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