JP4979239B2 - 真空バルブ - Google Patents

Description

本発明は真空バルブに関し、特に、弁開口を取巻く円錐形のシール面を備えたバルブ本体と、ポペット弁状の弁皿と、環状シールとを有する真空バルブに関する。前記弁皿は、中心軸に関して回転対称に形成され、円錐状のシール面を備え、真空バルブの開放状態における開放位置と真空バルブの密閉状態における閉塞位置との間を移動し、真空バルブを閉塞するとき少なくとも閉塞位置に達する最終段階において、弁皿の中心軸に平行な閉塞方向へ弁皿の移動が行われる。前記環状シールは、弁皿の閉塞位置において一方がバルブ本体のシール面に、他方が弁皿のシール面に押圧される第1、第2のシール面を備える。前記弁皿、バルブ本体及び環状シールは少なくともそのシール面の領域は金属からなる。

この種の真空バルブ、すべて金属で構成されたバルブは特許文献1に開示されている。これには、特に高真空における用途を考慮したときに有効な構造として記載されている。然しながら、このような真空バルブの不利な点はバルブを完全に閉塞するために使用する力（閉塞力）が比較的大きいことである。

このような技術の他の真空バルブが特許文献2に知られている。必要な閉塞力を少なくするため、この真空バルブにおける環状シールは両シール面の間に狭窄部を設け、両シール面を結合するＶ字状（90度以上の開口角度を有する）の側面が形成されている。このような方法で確かに閉塞力は減少するが、それでもまだ閉塞力は比較的大きい。

特許文献３に記載の真空バルブは、弁皿に外方へ突出する環状円板を備えている。該円板の外周の小幅部が弧状に形成されシール面が形成されている。この技術によれば円板は皿バネを構成し、前方に斜めになる（閉塞方向に関して）、即ち、円板は、縦断面から見て、弁皿の閉塞方向と90度より小さい角度で閉塞する。円板の外周のシール面はバルブ本体の円錐状シール面と協働する。このようなバルブの不利な点は円板及びバルブ本体のシール面のディメンションのトレランスが極めて小さく、例えば弧状部の不正確さが完全な密閉の不足をもたらす。特に、バルブが加熱されると、開放するときにバルブのスナップ効果を生ずる。そのためこの種の真空バルブは実際に使用しうるか実証されていない。

更に、特許文献４に記載された真空バルブは、駆動機構に皿状の閉塞部材と協働する拡張円錐体が装着されている。更に、皿状閉塞部材には一体の環状円板が設けられている。皿バネ状に構成された環状円板が駆動機構の駆動により拡張部材となり、皿状閉塞部材が外方に押圧され皿状閉塞部材の外周シール端部がバルブ本体のシール面に押圧されて真空バルブが密閉する。この種の真空バルブも密閉して閉塞するためには比較的大きい力を必要とする。更に、このバルブにおいても同様比較的小さなジェオメトリの不正確さがバルブの密閉性を損なう。
ＵＳ特許Ｎｏ．４４５８９０５ ドイツ特許Ｎｏ．４４４６９４７Ｃ２ ドイツ公開特許Ｎｏ．２６２３９０６Ａ１ オーストリ特許Ｎｏ．３９６２８５Ｂ ＵＳ特許Ｎｏ．４５６０１４１ ＵＳ特許Ｎｏ．４０５２０３６ ＵＳ特許Ｎｏ．４４７０５７６

本発明の目的は、冒頭に述べた構成を有する改良された真空バルブを提供するにある。

上記課題を達成するため、本発明は、弁開口の周囲を取巻く円錐状のシール面を備えるバルブ本体と；中心軸腺に対して回転対称に形成され、円錐状シール面が形成され、真空バルブの開放状態にある開放位置と真空バルブの密閉状態にある閉塞位置との間を移動し、真空バルブを閉塞するとき、少なくとも閉塞状態に達する直前において、前記中心軸に平行な閉塞方向に移動する弁皿と；前記弁皿の閉塞位置において、一方が前記バルブ本体のシール面に、他方が前記弁皿のシール面に押圧される第１シール面及び第２シール面を備える環状シール；とを有し、前記弁皿、バルブ本体及び環状シールは少なくともそれらのシール面の領域が金属により形成される真空バルブにおいて、前記弁皿は、その軸方向中心断面視において湾曲状または屈曲状に形成され、少なくともシール面に隣接する径方向外周部が、弁皿の無負荷状態において、前記閉塞方向と９０度より小さい角度をなし、前記弁皿は弾性を有し、弁皿の閉塞位置において、弁皿の開放位置に比して弁皿の弾性変形により、弁皿の径方向外周端部が弁皿の中心点に対して弁皿の直径の少なくとも０．１％、中心軸方向に変位することを特徴とする。前記弁皿（６）は、前記閉塞位置において、前記開放位置に対して、弁皿（６）の弾性変形により、弁皿の径方向外周端部（３３）が弁皿の中心点に対して弁皿の直径の少なくとも０．５％、中心軸（２７）方向に変位することが好ましい。

本発明による弁皿の構成によれば、真空バルブを閉塞するために必要な力は、例えば特許文献１または特許文献２に知られる、従来の剛直で平滑な弁皿に比し減少させることができる。本発明を実施した場合においては必要な閉塞力の減少程度は１／２に達する。

真空バルブを密閉するために必要な閉塞力の減少は、閉塞状態における弁皿の径方向外方に作用する力のコンポーネントによる。

また、弁皿のシール面またはバルブ本体のシール面または環状シール体のシール面の円弧の偏差のある場合に本発明に必要な弾性を有する弁皿の構成により一様な力の分布を達成できる。

好都合な弾性効果を達成するため、弁皿の厚さを弁皿の半径方向外周端部に向けて減少することが重要である。可能な実施例においては、軸方向中心断面において全体的に屈曲している形状に構成する。また、一体に湾曲して隆起面と窪み面からなる前後面を有する弁皿とすることもできる。本発明による他の実施形態においては、弁皿をV字状（開口角が９０度より大きい）に構成することも、また、屈曲点で結合される互いに接続する径方向の少なくとも二つの部分から構成することもできる。

本発明による真空バルブは、例えばアングル弁の形式に構成することができる。この場合、弁皿の閉塞移動は弁皿の中心軸に平行な閉塞方向に行われる。また、本発明の真空バルブはスライド弁の形式に構成することもでき、弁皿の閉塞移動は弁皿の開放位置から、まず弁皿の中心軸に直角に行われる。閉塞移動の最終段階において、弁皿の中心軸に平行な閉塞方向に、例えば拡張機構の作用により移動することができる。このようなスライド弁は特許文献５、６及び７に知られている。少なくとも弁皿の閉塞位置に達する直前に弁皿の中心軸に平行な方向へ移動させることは、知られている他の形式の弁皿の駆動機構によっても可能である。

本発明による真空バルブは、バルブの閉塞の際、少なくとも閉塞直前の移動が回転対称に形成された弁皿の中心軸に平行な閉塞方向に移動するものであれば、種々のジェオメトリを採用することも、異なる配置に構成することも可能である。

本発明の更なる利点と詳細について以下に図面に示す実施態様を参照して記載する。

図１〜図６に示す本発明の実施形態は、接続管１、２が角度を有して、特に、直角に接続されたアングル弁型の真空バルブに形成されている。バルブ本体４はシール面５を備える弁開口３を有する。バルブ本体４は真空バルブのハウジングを一体に構成している。

ポペット弁状の弁皿６が真空バルブの解放状態（図４）と密閉されている閉塞状態（図３，５及び６）との間を移動する。弁皿６は支持幹７の中心軸領域に装着されている。本実施例において、支持幹７は延長可能な筒状部材８に接合されている。該筒状部材８はガイド筒９の内部を軸方向に案内されて移動する。軸方向に移動させるため、ボールベアリング１０を介して回転軸１１が回転可能に支持され、該回転軸１１に摺動ナット１２が装着されている。摺動ナット１２は筒状部材８の内部に、それに対して確実に回転しうるように配置されている。筒状部材８も同様にガイド筒９に対し確実に回転し得るように保持されている。

回転軸１１はハウジングの蓋部材１３を貫通して、真空バルブのハウジング外に突出し、摺動ナット１２と筒状部材８の底面との間にコイルスプリング状の圧縮バネ１４が装着されている。

真空バルブの解放状態（図４）から真空バルブを閉塞するために、回転軸１１を回転する（例えば、スパナやネジ回しを用いて）。それにより摺動ナット１２が回転軸１１上を自由端の方向へ変位する。摺動ナット１２の変位により圧縮バネ１４を介して筒状部材８が移動し、そのため、弁皿６が共に閉塞方向１５に弁皿６が閉塞位置に達するまで移動し（図３）、真空バルブは閉塞する。真空バルブを解放するためには回転軸１１を反対方向に回転する。摺動ナット１２は、本実施例ではバネリング１６で構成されている筒状部材８の係止部に突き当たり、その後、弁皿６と共に閉塞方向１５とは反対方向に引き戻される。

アングル弁におけるかかる駆動機構は知られている。弁皿６を解放状態と閉塞状態との間を移動するための駆動機構は、異なる方法で構成することも可能である。アングル弁においては、弁皿の開放位置と閉塞位置との間における移動は、特に閉塞方向とは反対方向においては、通常直線的に行われる。

弁皿６は、原理的には図３〜５に概略的に示すように支持幹７と一体に構成することが出来る。他方、別体に構成した弁皿６と支持幹７とを相互に結合することも出来る。支持幹７と筒状部材８とを図３〜５に概略的に示すように一体に構成することも、別体に形成して相互に結合する（例えばネジ締めにより）ことも可能である。

バルブの閉塞機構をシールするために、概略的にしか示していないが折り畳み式の外包、または公知であり一般的な蛇腹装置１７を用いている。

バルブ本体４には、閉塞方向１５の方向に直径が減少する円錐状のシール面５が備えられる。

弁皿６における半径方向外縁部の薄肉部には幅広の円錐状シール面１８が設けられ、その直径は同様に閉塞方向１５の方向に減少している。シール面５、１８の円錐の角度は、例えば１０°（±５°）の範囲にすることができる。

真空バルブを閉塞するため、更に、第１、第２のシール面２０，２１を備える環状シール体１９を備える。第１、第２のシール面２０，２１は、図６に明白なように、環状シール体１９の断面において円弧状をなしている。

弁皿６が閉塞位置にある真空バルブが閉塞した状態において、第１シール面２０は弁皿６のシール面１８に押圧され、第２シール面２１はバルブ本体４のシール面５に押圧される。

環状シール体１９は、特に両シール面の間の領域において狭窄部２２を有し、環状シール体１９のシール面２０，２１を結合する側面はV字状を形成し（V字状形成部の開口角は９０度より大きく、特に１２０度より大きい）。両シール面２０，２１間の領域における肉厚が減少しているため、環状シール体１９の弾性が大きくなる。そのため、真空バルブを閉塞するときの閉塞力が減少する結果となる。

第１、第２のシール面２０，２１の半径は、例えば、０．５ｍｍ〜２ｍｍの範囲とすることができる。環状シール体１９は、特に適切な直径の、例えば２ｍｍの円形ワイヤを切削することにより形成することができる。

シール面５，１８の円錐面の形成及び環状シール体１９の形成については同様に、例えば、特許文献２などにより知られている。図示した実施例においては、環状シール体１９は弁皿６に支持されている、即ち、弁皿６が解放状態に移動するとき環状シール体１９が弁皿と共に移動する。図示の実施例においては、支持幹７の弁皿６の前面に支持板２３が固定されている、詳細にはボルト２４が支持板２３の中央の孔を貫通してネジ孔にネジ締めされている。ボルト２４は弁皿６を貫通して支持幹７に達するまで延出している。

支持板２３は環状シール体１９の方向に屈曲した支持端２５を備え、環状シール体１９の前面が支持される。支持板２３は大きいエア抜き孔２６を有する。

環状シール体１９をバルブ本体４のシール面５に支持することも、それほど有利ではないが原理的には考えられ、可能である。弁皿６が解放状態になったときも、環状シール体１９はバルブ本体４のシール面５の領域に留まる。このような支持方法は例えば特許文献１に開示されている。

弁皿６は中心軸２７に対して回転対称に形成されている。軸方向の中央断面（図３〜図６）において、弁皿６は湾曲又は屈曲している。このため、外周縁へ延出する該屈曲部の軸は閉鎖方向１５と角度２８をなす。該角度は９０度以下である（図５）。そのため弁皿６の凹面は閉鎖方向１５の前方に位置する。角度２８は弁皿６の軸方向中央断面において弁皿６の前後両面３０，３１から等距離に位置する中心線２９のなす角度である。弁皿６のシール面１８との近接領域において角度２８は６５〜８７度の範囲にあることが好ましく、特に、７５〜８５度の範囲が好適である。この角度の値は弁皿６の負荷状態と関連がある。弁皿６の閉鎖状態において、弁皿６に作用する閉鎖力は弁皿６の弾性に基づき、以下に詳細に説明するが、角度２８の僅かな変化に影響される。弁皿６の閉塞状態における角度２８は大きくても９０度であり、９０度より僅かに少ないのが望ましい。

図１から図６までに示す実施例においては、弁皿６は屈曲した形に形成されており、支持幹７から遠隔の面は軸方向断面においてV字型に形成され、支持幹７側の面も同様にV字状に形成され、屈曲部３２からの部分は異なる開口角を有している。

図１４〜図１６に示す実施例を参照して後述するように、異なる屈曲の弁皿の形成も考えられ可能である。前後面３０、３１の一方又は両方を湾曲させて形成することも同様に考えられ、可能である。両面を湾曲させて形成すると、弁皿６はドーム状（凸面−凹面）となり、凹面が閉塞方向において前方に位置する。

更に弁皿６はある程度の弾性を有して形成される。真空バルブが閉塞され密閉された状態において弁皿６に作用する閉塞力が弁皿６の弾性変形をもたらす。この弾性変形により、弁皿６の閉塞状態における弁皿６の径方向外周端部３３が、解放状態に対して、弁皿６の中心点において（即ち、その中心軸領域において）弁皿６の中心軸方向に距離ｓだけ変位する。この値は少なくとも弁皿６の直径の０．１％である。距離ｓについては図６に示している。他に言い換えれば、弁皿６の外周縁端部３３の弁皿中心点の軸方向寸法ｄ（図５を参照）が、閉塞状態において解放状態に対して先の値だけ減少する。

特に、閉塞状態における弁皿６の径方向外周縁端部３３の弁皿の中心領域における変位量、距離ｓの値は少なくとも弁皿の直径の少なくとも０．５％の値とする。例えば、直径１００ｍｍの場合、距離ｓは略１ｍｍの値とする。

特に、弁皿６の外周端部３３の変位量の行程ｓは弁皿の直径の３％より少ない値、とりわけ、２％より小さい値とすることが望ましい。

閉塞状態にある弁皿６の閉塞力の作用による変形は前述した弾性に起因するものであって、弁皿６の塑性変形は全く残らないほうが良い。塑性変形の程度が少ないという理由で、バネ鋼の使用が必須ではないが望ましい。むしろ、弁皿に従来使用されているクローム鋼（特別な硬化処理なしで）の使用が好ましい。

弁皿６の厚さは図３〜５に明示するように径方向外側で減少する。特に、少なくとも弁皿の中心部の支持幹７との結合領域の外方において、弁皿の厚さは径方向外方に連続的に減少する。

例えば、弁皿６のシール面１８に近接する部分の厚さDは１〜４mmの範囲であり、特に１．５〜２．５ｍｍの値が好ましい。支持幹７の近接領域における厚さは弁皿の直径に依存するが、例えば、直径１００ｍｍの弁皿の場合３．５ｍｍとすることができる。

弁皿６の厚さを外方で減少させることにより環状シール体１９へ有効な力の伝達がなされる。

図７〜図１０に示す本発明による実施例は、以下に述べる差異を除けば、上記の実施例に対応しており、対応する部分については、同じ参照番号を付す。

本実施形態の真空バルブはスライドバルブとして構成されている。弁皿６は弁ロッド７が固定されている拡張機構３４に装着されている。拡張機構３４は、例えば、ピストン−シリンダ機構に形成され駆動機構３５により軸方向に移動可能に支持されている。真空バルブが開いた状態において、図８に示した通り、また図９に実線で示すとおり、弁皿６は弁開口３の近接した側方にある（弁皿６の解放位置）。バルブを閉塞するために、弁ロッド５３を拡張機構３４の弁皿６が弁開口３を覆う位置まで移動し、弁皿６はバルブ本体４のシール面５の前面にあるが、まだ環状シール体１９とは離れた位置にある。この状態で、拡張機構３４がバルブハウジングに固定された停止板３６に突き当たる。ピストンロッド５３に固定された内側プレート３７がピストンロッド３５の更なる移動（同じ方向への）によって、外側プレート３８、３９に対して移動し、倒立片４０のバネ力により外側プレート３８、３９が押圧される。そのため、弁皿６は、その中心軸に平行な閉塞方向１５の方向にバルブ本体４のシール面５に向かって移動し、環状シール体１９の２０、２１がバルブ本体４及び弁皿６のシール面５、１８に押圧され、バルブが密閉された状態となる（弁皿６の閉塞状態）。

この種の拡張機構３４を備えたスライドバルブは、例えば特許文献５などにより知られている。

また、拡張機構の他の構成も知られており、本発明によるスライドバルブ形式のバルブに組込むことも可能である。

プレート３８には弁皿６の中心部が取り付けられ、弁皿６の支持部として作用する。一体として構成することも、または複数の部品から構成することも考えられ、可能である。

図１１〜図１３に示す本発明の実施例について、すでに図１〜図６を参照して記載した実施例との差異を以下に記載する。互いに対応する部分は同じ参照番号を付してある。

ここでは、硬直なピストンロッドに代えて、拡張機構４１を形成する支持台と協働するレバー機構が使用されている。ピストン−シリンダ機構のピストンロッド４２の端部に継手４３が揺動可能に装着され、その他端に揺動レバー４４が揺動可能に結合される。揺動レバー４４にさらに継手４５が搖動可能に装着され、その他端に拡張機構４１が搖動可能に結合される。真空バルブの閉塞状態において、拡張機構４１は停止板４６に押し付けられ、中間プレート４７が拡張ボール４８を伴って外側プレート４９、５０をバネ素子５１の力により拡張する。この種の拡張機構も知られている。

図１３は、バルブの解放状態とバルブの閉塞状態との揺動レバー４４および継手４５の状態を補足的に示す。

かかる真空バルブの構成においても、弁皿６は真空バルブを閉塞するため閉塞位置に達するまで中心軸２７に平行な閉塞方向１５に移動する。

弁皿６の支持部７は弁皿６の中心部が結合され（一体に、または別体から形成）、プレート４９に結合部が形成されている。

弁皿６が少なくとも閉塞位置に達する直前に、その都度中心軸２７に平行な閉塞方向１５に移動する真空バルブの更に異なる構成も考えられ、可能である。本発明は、閉塞機構の特殊な技術に関しても何ら限定されない。

更に、弁皿６の可能な形態の概略を軸方向の中心断面図１４〜図１６に示す。図１４に示す実施例は弁皿６が全体としてドーム状に構成されている、即ち、弁皿６の前後両面が全体に湾曲している。図１５の実施例においては、弁皿６は、該屈曲点５２を越えて結合する径方向の互いに接続する二つの断面を有している。図１６の実施例では、弁皿６は全体としてV字状に形成されている。弁皿６が、混合した形状（例えば、両面の一方が湾曲状で他方が屈曲面）または更に異なる構成（例えば、一面または両面が径方向に離れた二つの屈曲部を有する）も考えられ、可能である。

バルブ本体４に弾性を有するシール面５を形成するため、シール面の周りに環状の溝を採用することも可能である（例えば、シール面５と溝との間の材料の幅はシール位置において０．５〜１ｍｍの範囲である）。

本発明による真空バルブは特に高真空の用途に好適である。

本発明の技術範囲を逸脱せずに、ここに示した実施例と異なる態様とすることも考えられ、可能である。例えば環状シール１９の狭窄部２２を不要とすることもできる。しかしながら、バルブの閉塞力の低減を可能とするためには、狭窄部を設けることが好ましい。

円錐状のシール面が取巻く弁開口を備えるバルブ本体を真空チャンバの壁面として構成することもできる。

アングル弁形式に構成された本発明に係る真空バルブの正面図。 図１に示す真空バルブの側面図（図１の矢印Ａから）。 図２のＢ−Ｂに沿った断面図でバルブの閉塞状態を示す。 図３に対応する断面図で、バルブの開放状態を示す。 弁皿の領域を示す図４における弁皿領域の拡大図。 図５の環状シール体の領域を示す拡大図（図３のＸ領域を示す）。 本発明によるバルブにおける他の実施形態の断面図（図９のＣ−Ｃに沿った断面図）でバルブの閉塞状態を示す。 図７に対応する断面図でバルブの開放状態を示す。 図７のＤ−Ｄに沿った断面図。 図７のＹ領域の拡大断面図。 本発明によるバルブにおける他の実施形態の断面図（図１３のＥ−Ｅに沿った断面図）でバルブの閉塞状態を示す。 図１１に対応する断面図でバルブの開放状態を示す。 図１１のＦ−Ｆに沿った断面図。 本発明によるバルブの弁皿の実施例の概略断面図（軸方向中心断面を示す）。 本発明によるバルブの弁皿の実施例の概略断面図（軸方向中心断面を示す）。 本発明によるバルブの弁皿の実施例の概略断面図（軸方向中心断面を示す）。

符号の説明

１、２ 接続管、３ 弁開口、４ バルブ本体、５ シール面、
６ 弁皿、７支持幹、８ 筒状部材、９ ガイド筒、１０ ベアリング、１１ 回転軸、１２ 摺動ナット、１３ 蓋部材、
１４ 圧縮バネ、１５ 閉塞方向、１６ バネリング、１７ 蛇腹、
１８ シール面、１９ 環状シール体、２０ 第１シール面
２１ 第２シール面、２２ 狭窄部、２３ 支持板、２４ ボルト
２５ 支持端、２６ エア抜き孔、２７ 中心軸、２８ 角度、
２９ 中心線、３０、３１ 前後面、３２ 屈曲点、３３ 外周端部、
３４ 拡張機構、３５ 駆動機構、３６ 停止板、
３７，３８，３９ プレート、４０ 倒立片、４１ 拡張機構、
４２ ピストンロッド、４３ 継ぎ手、４４ 揺動腕、４５ 継ぎ手、
４６ 停止板、４７、４９，５０ プレート、４８ 拡張ボール、
５１ バネ素子、５２ 角部、５３ 弁ロッド

Claims (19)

1. 弁開口（３）の周囲を取巻く円錐状のシール面（５）を備えるバルブ本体（４）と；中心軸（２７）に対して回転対称に形成され、円錐状シール面（１８）が形成され、真空バルブの開放状態にある開放位置と真空バルブの閉塞状態にある閉塞位置との間を移動し、真空バルブを閉塞するとき、少なくとも閉塞位置に達する直前において、前記中心軸（２７）に平行な閉塞方向（１５）に移動する弁皿（６）と；前記弁皿（６）の閉塞位置において、一方が前記弁皿（６）のシール面（１８）に、他方が前記バルブ本体（４）のシール面（５）に押圧される第１シール面（２０）及び第２シール面（２１）を備える環状シール体（１９）；とを有し、前記弁皿（６）、バルブ本体（４）及び環状シール体（１９）は少なくともそれらのシール面（５、１８、２０、２１）の領域が金属により形成される真空バルブにおいて、
   前記弁皿（６）は、その軸方向中心断面視において湾曲状又は屈曲状に形成され、少なくともシール面（１８）に隣接する径方向外周部が、弁皿（６）の無負荷状態において、前記閉塞方向（１５）と９０度より小さい角度をなし、前記弁皿（６）は弾性を有し、弁皿の閉塞位置において、弁皿の開放位置に対して、弁皿（６）の弾性変形により、弁皿の径方向外周端部（３３）が弁皿の中心点に対して弁皿の直径の少なくとも０．１％、中心軸（２７）方向に変位することを特徴とする真空バルブ。
2. 請求項１記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）は、前記閉塞位置において、前記開放位置に対して、弁皿（６）の弾性変形により、弁皿の径方向外周端部（３３）が弁皿の中心点に対して弁皿の直径の少なくとも０．５％、中心軸（２７）方向に変位することを特徴とする真空バルブ。
3. 請求項１又は２記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）のシール面（１８）に隣接する領域の径方向外周部が、弁皿（６）の無負荷状態において、前記閉塞方向（１５）となす角度は６５度〜８７度の範囲であることを特徴とする真空バルブ。
4. 請求項３記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）のシール面（１８）に隣接する領域の径方向外周部が、弁皿（６）の無負荷状態において、前記閉塞方向（１５）となす角度は７５度〜８５度の範囲であることを特徴とする真空バルブ。
5. 請求項１〜４のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）の前後両面（３０、３１）又はその一方の面は、その軸方向中心断面視において屈曲状に形成されていることを特徴とする真空バルブ。
6. 請求項１〜４のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）の前後両面（３０、３１）又はその一方の面は、その軸方向中心断面視においてＶ字状に形成されていることを特徴とする真空バルブ。
7. 請求項１〜４のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）の前後両面（３０、３１）又はその一方の面は、径方向に互いに接続する少なくとも二つの部分を有し、該二つの部分は屈曲点（５２）において互いに接続することを特徴とする真空バルブ。
8. 請求項１〜７のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）の厚さ（Ｄ）は径方向外方に向けて減少することを特徴とする真空バルブ。
9. 請求項８記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）の厚さ（Ｄ）は、弁皿（６）の支持幹（７）との結合部の径方向外方の部分が径方向外方向に向けて連続的に減少することを特徴とする真空バルブ。
10. 請求項１〜９のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）の厚さ（Ｄ）は、そのシール面（１８）の部分において１〜４ｍｍの範囲であることを特徴とする真空バルブ。
11. 請求項１０記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）の厚さ（Ｄ）は、そのシール面（１８）の部分において１．５〜２．５ｍｍの範囲であることを特徴とする真空バルブ。
12. 請求項１〜１１のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記環状シール体（１９）は前記弁皿（６）に保持されていることを特徴とする真空バルブ。
13. 請求項１２記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）の環状シール体（１９）の保持構造は、前記弁皿（６）を支持する支持幹（７）に、弁皿（６）の前面に対向して固定される保持プレート（２３）を備え、該保持プレート（２３）に屈曲された支持端（２５）を設け該支持端（２５）に環状シール体（１９）を保持することを特徴とする真空バルブ。
14. 請求項１〜１３のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記環状シール体（１９）の前記第１シール面（２０）及び前記第２シール面（２１）のそれぞれは円弧状であることを特徴とする真空バルブ。
15. 請求項１〜１４のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記環状シール体（１９）の前記第１シール面（２０）及び前記第２シール面（２１）の間の領域に狭窄部（２２）を備えていることを特徴とする真空バルブ。
16. 請求項１５記載の真空バルブにおいて、前記第１シール面（２０）及び前記第２シール面（２１）を接続する２つの面はＶ字状に形成されていることを特徴とする真空バルブ。
17. 請求項１〜１６のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）の径方向外周端部は、弁皿（６）の閉塞位置において、弁皿（６）の開放位置に対して、弁皿（６）の弾性変形により、弁皿の中心点に関して弁皿（６）の直径の最大でも３％、中心軸方向に変位することを特徴とする真空バルブ。
18. 請求項１７記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）の径方向外周端部は、弁皿（６）の閉塞位置において、弁皿（６）の開放位置に対して、弁皿（６）の弾性変形により、弁皿の中心点に関して弁皿（６）の直径の最大でも２％、中心軸方向に変位することを特徴とする真空バルブ。
19. 請求項１〜１７のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記弁皿（６）のシール面（１８）に隣接する径方向外周部が、弁皿（６）の閉塞位置において、前記閉塞方向（１５）となす角度（２８）は最大でも９０度であることを特徴とする真空バルブ。

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