JP4977006B2 - 電界放出チップを用いた低エネルギー大面積電子ビーム照射装置 - Google Patents
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Description
上記両端部の固定フランジのうち一側の固定フランジに結合され、前記高電圧印加部を具備する第1真空フランジと、上記両端部の固定フランジのうち他側の固定フランジに結合される第2真空フランジと、上記陰極の一側端にピン挿入孔を形成し、上記高電圧印加部の一側には前記高電圧印加部の接続ピンが貫通する第1絶縁体を具備して上記第1絶縁体を貫通した接続ピンが陰極のピン挿入孔に挿入されるように構成された第1支持部と、上記第2真空フランジの中心部に縦軸方向に具備された第2絶縁体に挿入溝を形成して陰極の他側端に形成される挿入突部が上記挿入溝に挿入され陰極を支持するよう構成された第2支持部と、をも含むことを特徴とする。
をさらに含むことを特徴とする。
2 陰極
3 第1支持部
4 第2支持部
5 高電圧印加部
6 第2真空フランジ
11 電子ビーム照射窓
111 ベース板
111A 透視孔
111B ワイヤ挿入溝
112 金属ワイヤ
113 金属膜
114 蓋板
12 固定フランジ
20 電界放出チップ
20A 炭素ナノチューブ
31 ピン挿入孔
32 第1絶縁体
321 ピン貫通孔
33 装着溝
41 第2絶縁体
43 挿入突部
44 結合突部
45 結合溝
51 第1真空フランジ
52 接続ピン
Claims (11)
- 周りの一側に長さ方向に電子ビーム照射窓が形成された真空チャンバーと、
前記真空チャンバーの内部中心の長さ方向に位置し、その周りの一側に前記電子ビーム照射窓に対応する電界放出チップが形成された陰極と、
前記真空チャンバーの一端に位置し、前記陰極側に高電圧を印加させる高電圧印加部と、
前記真空チャンバーの両端部に各々一体で形成された固定フランジと、
前記両端部の固定フランジのうち一側の固定フランジに結合され、前記高電圧印加部を具備する第1真空フランジと、
前記両端部の固定フランジのうち他側の固定フランジに結合される第2真空フランジと、
前記陰極の一側端にピン挿入孔を形成し、前記高電圧印加部の一側には前記高電圧印加部の接続ピンが貫通する第1絶縁体を具備する前記第1絶縁体を貫通した接続ピンが前記陰極のピン挿入孔に挿入されるように構成された第1支持部と、
前記第2真空フランジの中心部に縦軸方向に具備された第2絶縁体に挿入溝を形成して前記陰極の他側端に形成される挿入突部が前記挿入溝に挿入され前記陰極を支持するように構成された第2支持部と
を含み、
前記電子ビーム照射窓は、
前記真空チャンバーに固定され、外側にやや突出され中央部に幅が狭くて長さが長い直四角形態の透視孔が形成されたベース板と、
前記ベース板の透視孔外郭に沿って形成されるワイヤ挿入溝に挿入される金属ワイヤと、
前記金属ワイヤが囲む面積よりやや大きい面積で金属ワイヤ上側に具備される金属膜と、
前記ベース板と対応され中央部に透視孔に相応するビーム照射孔が形成されベース板と結合される蓋板と
を含むことを特徴とする電子ビーム照射装置。 - 前記電界放出チップが、炭素ナノチューブであることを特徴とする請求項1記載の電子ビーム照射装置。
- 前記陰極が、円形断面を有する棒型構造体で形成され、その棒型構造体の外周面の長さ方向に帯形態の電界放出チップが形成されていることを特徴とする請求項1記載の電子ビーム照射装置。
- 前記電界放出チップが、陰極の円形断面に沿って形成され放射形態の電子ビームを放出することを特徴とする請求項3記載の電子ビーム照射装置。
- 前記第2支持部の第2絶縁体が、高電圧による絶縁破壊を防止するため表面に多数の凹凸を形成して表面経路を延長することを特徴とする請求項1記載の電子ビーム照射装置。
- 前記真空チャンバーが円筒形態で形成され、その外周面に多数の電子ビーム照射窓が形成され、前記真空チャンバー内部の陰極の外周面には前記電子ビーム照射窓と各々対応される電界放出チップが形成されることを特徴とする請求項1あるいは請求項3記載の電子ビーム照射装置。
- 前記真空チャンバーが、その両面に電子ビーム照射窓を形成し、その外側で被照射体を線形移動させながら処理することを特徴とする請求項6記載の電子ビーム照射装置。
- 前記真空チャンバーが、3面に電子ビーム照射窓を形成し、被照射体を前記電子ビーム照射窓を取り囲むよう旋回移動させながら処理することを特徴とする請求項6記載の電子ビーム照射装置。
- 前記真空チャンバーの4面に電子ビーム照射窓を形成し、円筒型被照射体の内部で回転されながら被照射体を処理することを特徴とする請求項6記載の電子ビーム照射装置。
- 周りの一部に長さ方向に複数の電子ビーム照射窓が形成された真空チャンバーと、
前記真空チャンバーの内部に位置され、その周りの一側に少なくとも一つの直線面を形成し、前記各々の電子ビーム照射窓に各々対応される複数個の電界放出チップが形成された陰極と、
前記真空チャンバーの一端に位置され、前記陰極側に高電圧を印加させる高電圧印加部と、
前記真空チャンバーの両端部に各々一体で形成された固定フランジと、
前記両端部の固定フランジのうち一側の固定フランジに結合され、前記高電圧印加部を具備する第1真空フランジと、
前記両端部の固定フランジのうち他側の固定フランジに結合される第2真空フランジと、
前記陰極の一側端にピン挿入孔を形成し、前記高電圧印加部の一側には前記高電圧印加部の接続ピンが貫通する第1絶縁体を具備する前記第1絶縁体を貫通した接続ピンが前記陰極のピン挿入孔に挿入されるように構成された第1支持部と、
前記第2真空フランジの中心部に縦軸方向に具備された第2絶縁体に挿入溝を形成して前記陰極の他側端に形成される挿入突部が前記挿入溝に挿入され前記陰極を支持するように構成された第2支持部と
を含み、
前記電子ビーム照射窓は、
前記真空チャンバーに固定され、外側にやや突出され中央部に幅が狭くて長さが長い直四角形態の透視孔が形成されたベース板と、
前記ベース板の透視孔外郭に沿って形成されるワイヤ挿入溝に挿入される金属ワイヤと、
前記金属ワイヤが囲む面積よりやや大きい面積で金属ワイヤ上側に具備される金属膜と、
前記ベース板と対応され中央部に透視孔に相応するビーム照射孔が形成されベース板と結合される蓋板と
を含む電子ビーム照射装置。 - 前記真空チャンバーが、前記陰極の直線面に対応して平行した少なくとも一つの直線面を含んで各々の電子ビーム照射窓が形成されることを特徴とする請求項10記載の電子ビーム照射装置。
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