JP4975661B2 - 半導体集積回路のレイアウト設計方法 - Google Patents

半導体集積回路のレイアウト設計方法 Download PDF

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Description

本発明は、半導体集積回路のレイアウト設計方法に関する。
近年、アナログレイアウト設計の自動化が進み、設計期間が短縮されている。アナログレイアウト設計の自動化手法として、回路図エディタ上の素子とレイアウトエディタ上の素子とを一致させながらレイアウト設計することができるクロスプロービングが知られている。ここで、クロスプロービングを用いてレイアウト設計を行うには、回路図エディタ上の素子と、レイアウトエディタ上の素子を含むセルとを対応付けたマッピング情報を作成する必要がある。
例えば、既に存在するレイアウトデータを用いて修正設計を実施する場合などでは、通常、レイアウト情報を格納するための代表的なバイナリ形式のマスクパターンファイル(以下、GDS2と呼ぶ)を介して、レイウアトを設計システムに読み込ませて設計を行う。また、異なる設計システムで設計したレイアウトや回路図ドリブンで設計していないレイアウトデータを用いる場合などでは、マッピング情報を作成して回路図エディタとレイアウトエディタの一体型の設計システムに読み込ませる必要がある。しかしながら、マッピング情報の作成は困難であり、マッピングを容易に行うことができる技術が求められている。
図5は、特許文献1の図1に記載のレイアウト検証方法及び回路シミュレーション方法の一形態例を示すシステム図である。図5に示すように、このレイアウト検証方法及び回路シミュレーション方法では、外部ツールとして、レイアウトの寄生容量、抵抗値などを正確に抽出することができるSPICEネットリスト抽出ツール1が用意されている。このSPICEネットリスト抽出ツール1により、回路図データ2に対応するレイアウトパターン3が処理されて、SPICEネットリスト4が作成される。
そして、このSPICEネットリスト4の作成処理とともに、ネットリスタ5により処理対象となる回路図データ2が読み込まれて、ネットリストの抽出処理が行われ、回路図ネットリスト6が作成される。その後、ネットコンペア7により前記SPICEネットリスト4の内容と、前記回路図ネットリスト6の内容とが比較処理される。そして、SPICEvs回路図ノード対応表8と、検証結果9とが作成される。
また、この処理と並行して、回路シミュレータ10により前記SPICEネットリスト4に基づいた回路シミュレーション処理が行われて、回路シミュレーション結果11が作成される。これらの処理が終了すれば、回路図上でのクロスプロービングによるシミュレーションLVS結果表示部12により、前記回路シミュレーション結果11と、SPICEvs回路図ノード対応表8と、回路図データ2とに基づき、回路シミュレーション結果のクロスプロービングの内容が画面表示される。同時に、前記回路シミュレーション結果11と、検証結果9と、回路図データ2とに基づき、LVSの結果が回路図とともに画面表示される。
特許文献1では、SPICEネットリスト抽出ツール1によりレイアウトパターン3から抽出されたSPICEネットリスト4と、ネットリスタ5により回路図データ2から抽出された回路図ネットリスト6とをネットコンペアにより比較する。そして、SPICEvs回路図ノード対応表を作成し、クロスプロービングを行う。
特開平9−044559号公報
クロスプロービングを行うには、上述の通り、マッピング情報を作成することが必要不可欠である。しかしながら、特許文献1の手法では、回路図上の素子1個に対し、レイアウト上の素子(レイアウト素子)を複数含むセルが存在する場合、マッピング情報が作成できないという問題があった。
この理由について以下に詳細に説明する。まず、図4を用いて、回路図上の素子とレイアウト上の素子との対応付けについて一般的な説明を行う。回路図上の1個のトランジスタ(ゲート長L、ゲート幅W)であっても、図4(a)〜(c)に例示するように、レイアウト上の表現は複数考えられる。
図4(a)は、回路図上で1個のトランジスタをレイアウト上で1個のトランジスタを含むレイアウトセル100として構成した場合のレイアウト図の一例である。レイアウトセル100には、ゲート長L、ゲート幅Wのチャネル領域103が、拡散層101とゲート層102とを重ね合わせることにより形成されている。
ここで、チャネル領域103の左下角は、例えば、チャネル領域103により規定されるトランジスタの原点104として定義される。また、レイアウトセル100の原点は、例えば、セル枠の左下角をセル原点105として定義される。また、レイアウトセル100は、ドレインコンタクト106及びソースコンタクト107も備える。
図4(b)は、回路図上で同一のトランジスタを、レイアウト上で各1個のトランジスタを含む2個のレイアウトセル100a及び100bとして構成した場合のレイアウト図の一例である。図4(b)では、ゲート長L、ゲート幅W/2の2個のチャネル領域103a及び103bが、拡散層101aとゲート層102aとの重ね合わせ及び拡散層101bとゲート層102bとの重ね合わせにより、各々形成されている。
この2個のトランジスタの各ドレインコンタクト106aと106bとは接続配線108cにより接続されている。また、2個のトランジスタの各ゲート102aと102bとはゲートコンタクト(不図示)を介して、接続配線108bにより接続されている。そして、2個のトランジスタの各ソースコンタクト107aと107bとは接続配線108aにより接続されている。
ここで、例えば、チャネル領域103a及び103bにより規定されるトランジスタの原点をトランジスタ原点104a及び104bとして定義する。また、例えば、レイアウトセル100a及び100bの原点をセル原点105a及び105bとして定義する。図4(b)に示すように、回路図上で1個のトランジスタは、ゲート幅Wが1/2のトランジスタを含むレイアウトセルを2個並列接続することでもレイアウト上実現可能である。
図4(c)は、回路図上で同一のトランジスタを、レイアウト上で2個のトランジスタを含む1個のトランジスタセルとして構成した場合のレイアウト図の一例である。図4(b)における2個のトランジスタが、別々のセルではなく1個のレイアウトセル100cに含まれている。図4(c)に示すように、回路図上で1個のトランジスタは、ゲート幅Wが1/2の2個のトランジスタを1個のレイアウトセル上に形成し、この2個のトランジスタを並列接続することでもレイアウト上実現可能である。
以上説明したように、回路図上の1個のトランジスタを複数のレイアウトで表現することができる。
特許文献1において、例えば、回路図データ2を上述の1個のトランジスタとし、レイアウトパターン3を図4(a)のレイアウトセル100とした場合、両者を1対1対応させたマッピング情報が必要である。
図5のSPICEネット抽出ツール1により、レイアウトパターン3から抽出されたSPICEネットリスト4に登録されたレイアウトセル100内のチャネル領域103で規定されるトランジスタと、図1のネットリスタ5により回路図データ2から抽出された回路図ネットリスト6に登録されたトランジスタとを、ネットコンペア7により、1対1に対応付けすることができる。この場合、レイアウトセル100のトランジスタはチャネル領域103で規定されるトランジスタの1つのみだから、回路図上の1個のトランジスタとレイアウトセル100とを1対1対応させることができる。
同様に、特許文献1において、例えば、回路図データ2を1個のトランジスタとし、レイアウトパターン3を図4(b)のレイアウトセル100a及びレイアウトセル100bとした場合、両者を1対2に対応付けたマッピング情報が必要である。
図5のネットリスタ5により回路図データ2から抽出された回路図ネットリスト6に登録されたトランジスタと、SPICEネット抽出ツール1によりレイアウトパターン3から抽出され、SPICEネットリスト4に登録されたチャネル領域103a及び103bにより規定される2つのトランジスタとを図1のネットコンペア7により、1対2に対応付けすることができる。
また、レイアウトセル100a内のトランジスタは、チャネル領域103aにより規定されるトランジスタの1つのみであるから、容易にレイアウトセル100aとこのトランジスタとを対応させることができる。同様に、レイアウトセル100b内のトランジスタは、チャネル領域103bにより規定されるトランジスタの1つのみであるから、容易にレイアウトセル100bとこのトランジスタとを対応させることができる。よって、回路図上の1個のトランジスタとレイアウトセル100a及び100bとを1対2で対応付けすることができる。
同様に、特許文献1において、例えば、回路図データ2を1個のトランジスタとし、レイアウトパターン3を図4(c)のレイアウトセル100cとした場合、両者を1対1に対応付けたマッピング情報が必要である。
図5のネットリスタ5により回路図データ2から抽出された回路図ネットリスト6に登録されたトランジスタと、SPICEネット抽出ツール1により、レイアウトパターン3から抽出され、SPICEネットリスト4に登録されたチャネル領域103a及び103bにより規定される2つのトランジスタとを、ネットコンペア7により、1対2に対応付けすることができる。しかしながら、レイアウトセル100cは2個のトランジスタを含むため、レイアウトセル100cとこの2つのトランジスタとを対応させることができない。そのため、回路図上の1個のトランジスタとレイアウトセル100cとを1対1に対応付けたマッピング情報を作成することができない。
本発明に係る半導体集積回路のレイアウト設計方法は、
レイアウトデータから抽出したレイアウトネットリストを縮退し、
縮退後のレイアウトネットリストと回路図ネットリストとを比較し、縮退後のレイアウトセルと回路素子とのレイアウト回路対応表を作成するレイアウト設計方法であって、
縮退前後のレイアウトネットリストに基づいて縮退前後対応表を作成し、
縮退前のレイアウトセル枠内のレイアウト素子数をカウントし、
カウントしたレイアウト素子数と縮退素子数とを比較し、
前記レイアウトセルと前記回路素子とを対応付けるマッピング情報を作成するものである。
本発明により、クロスプロービングに必要なマッピング情報の作成を容易に行うことができる。
以下に、本発明の実施の形態について説明する。ただし、本発明が以下の実施の形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。
実施の形態1
以下、本発明の好適な実施の形態について図を参照して説明する。図1は、本発明の実施をするためのシステム構成図である。このシステムは、コンピュータ装置21とサーバ22と記録媒体23とネットワーク24とで構成される。
記録媒体23は実行プログラム及びモデル式とモデルパラメータの提供に供されるサーバ22に保持されている。サーバ22はインターネットなどのネットワーク24を介してエンジニアリングワークステーションなどのコンピュータ装置21に接続される。記録媒体23に格納されているCAD設計ツール(回路エディタやレイアウトエディタ等)はネットワーク24を介してコンピュータ装置21にダウンロードされる。ダウンロードされたCAD設計ツールはコンピュータ装置21のローカルなハードディスクあるいはメモリなどにストアされる。このようなシステムにより本発明を実施することができる。
次に、本実施の形態に係る回路図とレイアウトとのクロスプロービングの実施方法について説明する。図2は、本実施の形態に係るクロスプロービングのフローチャートである。図3は、本実施の形態に係るレイアウトセル認識方法のフローチャートであって、図2のS05(GDS2検索処理)を詳細に説明している。本実施の形態では、GDS2として保存されているレイアウトデータを、レイアウトエディタに読み込んでクロスプロービングを行う。上述の通り、クロスプロービングには、回路図エディタ上の素子と、レイアウトエディタ上の素子を含むセルとを対応付けたマッピング情報が必要となる。
図2に示すように、まず、ネットリスト抽出ステップS01にて、GDS2F1を読み込んでレイアウトネットリストF2を作成する。
次に、レイアウトネットリスト縮退ステップS02において、レイアウトネットリストF2を読み込み、縮退後レイアウトネットリストF3と縮退前後対応表F4を作成する。縮退について説明する。例えば、回路図上の1つの1000Ω抵抗をレイアウト設計する場合、レイアウト上では200Ωの抵抗5本を直列接続するなどして構成することが一般的に行われる。このような場合、回路図上の抵抗とレイアウト上の抵抗の数が異なるため、そのままでは、LVSにおいて同一であると判断できない。そのため、上記5本の抵抗を擬似的に1本に置き換える処理を行う。このような処理を本明細書中では「縮退」と呼ぶ。なお、この縮退はレイアウト上のみでなく回路図上でも行われ得る。
次に、ネットリスタ処理を実施するステップS03において、回路図データD1を読み込み、回路図ネットリストF7を作成する。
次に、ネットコンペア(LVS)を実施するステップS04において、回路図ネットリストF7と縮退後レイアウトネットリストF3を照合して、接続検証結果(LVS結果)F8と回路図vsレイアウト対応表F5を作成する。
次に、GDS2検索処理ステップS05において、GDS2F1と回路図vsレイアウト対応表F5と縮退前後対応表F4を読み込み、回路図vsレイアウト対応表F5及び縮退前後の対応表F4が持つトランジスタ原点の座標を元に、GDS2F1が持つセルを検索し、回路素子とレイアウトセルのマッピンング情報F6を作成する。
最後に、回路素子とレイアウトセルのクロスプロービングを実施するステップS06において、回路素子とレイアウトセルのマッピンング情報F6を読み込み、回路素子とレイアウトセルのクロスプロービングを実現する。
更に、図2のGDS2検索処理ステップS05から回路素子とレイアウトセルのクロスプロービングの実施ステップS06までの処理について、図3を用いて詳細に説明する。
図2のネットコンペア処理ステップS04が終了したら、GDS2上のセルデータ抽出ステップS11において、GDS2F1を読み込み、各セルのデータとしてセル名・セル原点座標・セル枠を、レイアウトセル一覧M1に出力する。
次に、回路とレイアウトの素子情報抽出ステップS12において、回路図vsレイアウト対応表F5を読み込み、各回路素子のデータとして回路素子名・回路素子に対応したレイアウト素子名・レイアウト素子座標(トランジスタ原点)を、回路素子一覧M2に出力する。
次に、回路素子一覧に縮退素子情報を追加するステップS13において、縮退前後対応表F4を読み込み、縮退前のレイアウト素子情報(縮退前のレイアウト素子名と縮退前のレイアウト素子座標)を、回路素子一覧M2に追加する。
次に、レイアウトセル取り出しを行うステップS14において、レイアウトセル一覧M1からセルのデータを一つ取り出す。
次に、回路素子取り出しを行うステップS15において、回路素子一覧M2から回路素子のデータを一つ取り出す。
次に、セル枠内に座標を持つ素子であるかを判定するステップS16において、縮退前のレイアウト素子座標がセル枠内に存在するかを確認する。YES即ちセル枠内にレイアウト素子座標が含まれる場合、セル枠内の素子数をカウントするステップS17でセル枠内の素子をカウントする。そして、次のステップS18へ進む。一方、NO即ち素子が含まれない場合、ステップS16からステップS18へ進む。
全回路素子を取り出したか否かを判定するステップS18では、回路素子一覧M2に登録された全ての回路素子の処理が完了したかを確認する。NO即ち素子がまだ残っている場合、回路素子取り出しを行うステップS15にもどる。一方、YES即ち全ての処理が完了した場合、次のステップS19に進む。
縮退数とセル枠内の素子数は同じかを判定するステップS19において、縮退数とセル枠内の素子数を比較し、YES即ち同じ場合は、回路素子とレイアウトセルのマッピング情報を出力するステップS20に進み、マッピンング情報として回路素子名・レイアウト素子名・レイアウトセル名・レイアウトセルの座標を回路素子とレイアウトセルのマッピンング情報F6に出力する。NOの即ち違う場合、次のステップS21へ進む。
全セルを取り出したかを判定するステップS21において、レイアウトセル一覧M1に登録された全てのレイアウトセルの処理が完了したかを確認する。NO即ちセルがまだ残っている場合、レイアウトセル取り出しを行うステップS14にもどる。YES即ち全ての処理が完了した場合、終了する。
以上のように、本実施の形態は、縮退前後の対応表F4を作成する手段と、LVSにより回路図vsレイアウト対応表を作成する手段と、GDS2F1からセル名・セル原点座標・セル枠をレイアウトセル一覧M11に登録する手段と、回路素子名・レイアウト素子名・レイアウト素子座標を回路素子一覧M2に登録する手段と、縮退前のレイアウト素子座標を回路素子一覧M2に追加登録する手段と、セル枠内にトランジスタ原点が含まれているかを検索する手段と、セル内のトランジスタ原点の数と縮退前後の対応表から得られる縮退前のトランジスタの数を比較する手段とを備える。
本発明では、LVSの前処理であるレイアウトネットリスト縮退を実行することで得られる縮退前後の対応表と、LVSを実行して得られる回路素子とレイアウト素子を1対1に対応付けた回路図vsレイアウト対応表を利用して、GDS2上のレイアウトセルを検索する。そして、レイアウトセル内に見つかったトランジスタ原点の数と縮退素子数の一致を利用し、回路図上のトランジスタとレイアウト上のトランジスタの1対1もしくは1対複数の関係のマッピング情報を作成することができる。
次に、本実施の形態における回路図データD1を1個のトランジスタ(ゲート長L、ゲート幅W)とし、GDS2F1を図4(c)のレイアウトセル100cとした具体例を考える。まず、ネットリスト抽出ステップS01によりレイアウトセル100cからチャネル領域103a及び103bにより規定される2つのトランジスタが抽出されてレイアウトネットリストF2が作成される。
レイアウトネットリスト縮退ステップS02により、チャネル領域103a及び103bにより規定される2つのトランジスタで1つのトランジスタを構成していることを認識して縮退後のレイアウトネットリストF3と縮退前後の対応表F4が作られる。ここで、縮退前後の対応表F4には縮退前のトランジスタ数が2つであること及びチャネル領域103aにより規定されるトランジスタの原点104aとチャネル領域103bにより規定されるトランジスタの原点104bとが書き込まれる。
一方、ステップS03により、回路図のトランジスタは、ネットリスタにより回路図ネットリストF7に出力される。
ネットコンペア(LVS)ステップS04は、回路図のトランジスタと、縮退されて1つのトランジスタとして認識されたチャネル領域103a及び103bにより規定される2つのトランジスタとが1対1であると認識し、回路図vsレイアウト対応表F5に記録する。
GDS2検索処理ステップS05では、レイアウトセル100c上のトランジスタ原点を検索することで、2つのトランジスタ原点104a及び104bを検出する。ここで、縮退前後の対応表F4に記録された縮退前のトランジスタ数が2つであることと一致する。そのため、チャネル領域103a及び103bにより規定される2つのトランジスタがレイアウトセル100c上のトランジスタであることを特定でき、回路図のトランジスタとレイアウトセル100cとを1対1に対応付けたマッピング情報を作成することができる。
次に、例えば、回路図データD1を1個のトランジスタ(ゲート長L、ゲート幅W)とし、レイアウト上のトランジスタを図4(b)とした場合を考える。上述の通り、回路図のランジスタと図4(b)のレイアウトセル100a及び100bのクロスプロービングを実現するには、回路図のトランジスタとレイアウトセル100a及び100bとを1対2に対応付けたマッピング情報が必要である。
まず、ネットリスト抽出ステップS01により、レイアウトセル100aからチャネル領域103aにより規定されるトランジスタが抽出され、レイアウトセル100bからチャネル領域103bにより規定されるトランジスタが抽出され、レイアウトネットリストF2が作成される。
次に、レイアウトネットリスト縮退ステップS02において、チャネル領域103a及び103bにより規定される2つのトランジスタから1つのトランジスタが構成されていることが認識される。そして、縮退後のレイアウトネットリストF3と縮退前後の対応表F4が作られる。ここで、縮退前後の対応表F4には縮退前のトランジスタ数が2つであること及びチャネル領域103aにより規定されるトランジスタの原点104aとチャネル領域103bにより規定されるトランジスタの原点104bとが書き込まれる。
一方、ステップS03により、回路図のトランジスタは、ネットリスタにより回路図ネットリストF7に出力される。
次に、ステップS04により、ネットコンペア(LVS)は、回路図のトランジスタと縮退されて1つのトランジスタとして認識されたチャネル領域103a及び103bにより規定される2つのトランジスタが1対1であると認識し、回路図vsレイアウト対応表F5に記録する。
GDS2検索処理S05では、レイアウトセル100a上のトランジスタ原点を検索し、トランジスタ原点104aを検出する。縮退前後の対応表F4に記録された縮退前のトランジスタ数が2つであることとは一致していなくても、チャネル領域103aにより規定されるトランジスタがレイアウトセル100b上のトランジスタであることは認識できる。
また、レイアウトセル100b上のトランジスタ原点を検索し、トランジスタ原点104bを検出する。縮退前後の対応表F4に記録された縮退前のトランジスタ数が2つであることとは一致していなくても、チャネル領域103bにより規定されるトランジスタがレイアウトセル100b上のトランジスタであることは認識できる。
ここで、縮退前後の対応表F4には、縮退前のトランジスタ数が2つであることが記録されている。そのため、回路図のトランジスタとレイアウトセル100a及び100bとを1対2に対応付けたマッピング情報を作成することができる。
このように、回路図上で1個のトランジスタをレイアウト上で1個のトランジスタを含む複数のトランジスタセルから構成したレイアウトでも、回路素子とレイアウトセルを1対複数に対応付けたマッピング情報を作成することができる。
次に、例えば、回路図データD1を1個のトランジスタ(ゲート長L、ゲート幅W)とし、レイアウト上のトランジスタを図4(a)とした場合を考える。回路図のトランジスタと図4(a)のレイアウトセル100のクロスプロービングを実現するには、回路図のトランジスタとレイアウトセル100とを1対1に対応付けたマッピング情報が必要である。
まず、ネットリスト抽出ステップS01により、レイアウトセル100からチャネル領域103で規定されるトランジスタが抽出されてレイアウトネットリストF2が作成される。
次に、レイアウトネットリスト縮退ステップS02により、チャネル領域103で規定されるトランジスタが1つであることを認識して縮退後のレイアウトネットリストF3と縮退前後の対応表F4が作られる。このとき縮退前後の対応表F4には縮退前も1つのトランジスタであること及びチャネル領域103で規定されるトランジスタの原点104が書き込まれる。
一方、回路図のトランジスタは、ネットリスタステップS03によって回路図ネットリストF7に出力される。
次に、ステップS04により、ネットコンペア(LVS)は、回路図のトランジスタとチャネル領域103で規定される1つのトランジスタが1対1であると認識し、回路図vsレイアウト対応表F5に記録する。
GDS2検索処理ステップS05により、レイアウトセル100上のトランジスタ原点を検索し、トランジスタ原点104を検出する。ここで、縮退前後の対応表F4に記録された縮退前も1つのトランジスタであることと検出されたトランジスタ原点が1つであることが一致する。そのため、チャネル領域103で規定されるトランジスタがレイアウトセル100上のトランジスタであることを特定できる。よって、回路図のトランジスタとレイアウトセル100とを1対1に対応付けたマッピング情報を作成することができる。
このように、回路図上の1個のトランジスタをレイアウト上で1個のトランジスタを含む1個のレイアウトセルから構成した場合でも、回路素子とレイアウトセルとを1対1に対応付けたマッピング情報を作成することができる。
本発明により、回路図上の1個の回路トランジスタをレイアウト上で複数のトランジスタを含む1個のトランジスタセルとして構成した場合であっても、1対1に対応付けを行ったマッピング情報を作成することができる。そのため、回路図エディタとレイアウトエディタの一体型の設計システムにおいて、回路図に対応するレイアウトを、GDS2を読み込んで設計する場合、より多くのレイアウトセルに対してクロスプロービングを実現することができる。
本発明を実施するためのシステム構成図である。 実施の形態に係るクロスプロービングのフローチャートである。 実施の形態に係るレイアウトセル認識方法のフローチャートである。 回路図上1個のトランジスタに対応するレイアウト例である。 特許文献1の図1である。
符号の説明
21 コンピュータ装置
22 サーバ
23 記録媒体
24 ネットワーク
100、100a、100b、100c レイアウトセル
101、101a、101b 拡散層
102、102a、102b ゲート層
103、103a、103b チャネル領域
104、104a、104b トランジスタ原点
105、105a、105b、105c セル原点
106、106a、106b ドレインコンタクト
107、107a、107b ソースコンタクト
108a、108b、108c 接続配線

Claims (3)

  1. コンピュータ装置が、
    レイアウトデータから抽出したレイアウトネットリストを縮退し、
    縮退後のレイアウトネットリストと回路図ネットリストとを比較し、縮退後のレイアウトセルと回路素子との対応を示すレイアウト回路対応表を作成し、
    縮退前後のレイアウトネットリストに基づいて縮退前後対応表を作成し、
    前記レイアウト回路対応表と前記縮退前後対応表とから得られる縮退前のレイアウト素子の座標を用いて、前記レイアウトデータから抽出したレイアウトセル枠内に含まれるレイアウト素子数をカウントし、
    カウントしたレイアウト素子数と、前記縮退前後対応表に記録された縮退前のレイアウト素子数とを比較し、
    カウントしたレイアウト素子数と、前記縮退前後対応表に記録された縮退前のレイアウト素子数と、が一致した場合、前記レイアウトセルと前記回路素子とを対応付けるマッピング情報を作成する半導体集積回路のレイアウト設計方法。
  2. 前記レイアウトセル枠内に複数のレイアウト素子を含む請求項に記載の半導体集積回路のレイアウト設計方法。
  3. 前記レイアウトデータがGDS2である請求項1又は2に記載の半導体集積回路のレイアウト設計方法。
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