JP4975454B2 - 塗布装置及び塗布装置における気泡検知方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る塗布装置の概略説明図である。この塗布装置は、大略、塗布液槽1、塗布液ポンプ2、塗布ノズル3、三方弁4、支持台5、圧力開放弁6、圧力センサ7、及び制御装置8を備える。
本発明の第2実施形態にかかる塗布装置は、制御装置8により実行される気泡検知の手法が第1実施形態と異なる。
2 塗布液ポンプ
2a シリンダ
2b ピストン
2c 駆動機構
3 塗布ノズル
4 三方弁
4a〜4c ポート
5 支持台
6 圧力開放弁
7 圧力センサ
8 制御装置
11A〜11E 配管
12 被塗布部材
13 塗膜
14 チューブ
Psd 基準圧力値
Pref 参照圧力値
Pme 実測圧力値
Tsd 基準時間
Tref 参照時間
Tme 実測時間
Claims (5)
- 塗布液を貯留する塗布液槽と、この塗布液槽中の前記塗布液を圧送する塗布液ポンプと、この塗布液ポンプから圧送された前記塗布液を被塗布部材に向けて吐出する塗布ノズルと、前記塗布液槽、前記塗布液ポンプ、及び前記塗布ノズルを接続する配管とを備える塗布装置において、
前記配管内の前記塗布液の圧力を検出する圧力センサと、
前記塗布液ポンプの動作を制御すると共に、前記圧力センサにより検出された圧力に基づいて前記塗液中の気泡を検知する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、
気泡が存在しない場合における前記塗布液ポンプへ吐出動作開始を指令する吐出開始信号の出力から前記配管内の前記塗布液の圧力が予め定められた基準圧力値に達するまでの時間である参照時間を予め記憶し、
前記吐出開始信号の出力から前記圧力センサにより検出される圧力が前記基準圧力値に達するまでの時間である実測時間と、前記参照時間とを比較し、かつ
前記実測時間が前記参照時間を上回ると、前記塗液中に気泡が存在すると判定し、
前記基準圧力値は、気泡が存在しない場合に、前記塗布液ポンプへ前記吐出開始信号を出力した後、前記配管内の前記塗布液の圧力が一定圧力に達する前の上昇中の圧力値であることを特徴とする、塗布装置。 - 塗布液を貯留する塗布液槽と、この塗布液槽中の前記塗布液を圧送する塗布液ポンプと、この塗布液ポンプから圧送された前記塗布液を被塗布部材に向けて吐出する塗布ノズルと、前記塗布液槽、前記塗布液ポンプ、及び前記塗布ノズルを接続する配管とを備える塗布装置において、
前記配管内の前記塗布液の圧力を検出する圧力センサと、
前記塗布液ポンプの動作を制御すると共に、前記圧力センサにより検出された圧力に基づいて前記塗液中の気泡を検知する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、
気泡が存在しない場合における前記塗布液ポンプへ吐出動作開始を指令する吐出開始信号の出力から予め定められた基準時間が経過した時点での前記配管内の前記塗布液の圧力である参照圧力値を予め記憶し、
前記吐出開始信号の出力から前記基準時間が経過した時点で前記圧力センサにより検出される圧力である実測圧力値と、前記参照圧力値とを比較し、かつ
前記実測圧力値が前記参照圧力値を下回ると、前記塗液中に気泡が存在すると判定し、
前記基準時間は、気泡が存在しない場合に、前記塗布液ポンプへ前記吐出開始信号を出力した後この基準時間が経過した時点で、前記配管内の前記塗布液の圧力が一定圧力に達する前の上昇中の状態となるように設定されていることを特徴とする塗布装置。 - 前記圧力センサは前記塗布液ポンプよりも前記塗布ノズル側の前記配管に設けられていることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の塗布装置。
- 塗布液を貯留する塗布液槽と、この塗布液槽中の前記塗布液を圧送する塗布液ポンプと、この塗布液ポンプから圧送された前記塗布液を被塗布部材に向けて吐出する塗布ノズルと、前記塗布液槽、前記塗布液ポンプ、及び前記塗布ノズルを接続する配管とを備える塗布装置において、前記配管内の前記塗布液中の気泡を検知する方法であって、
前記配管内の前記塗布液の圧力を検出する圧力センサを設け、
気泡が存在しない場合における前記塗布液ポンプへ吐出動作開始を指令する吐出開始信号の出力から、前記配管内の前記塗布液の圧力が予め定められた基準圧力値に達するまでの時間である参照時間を予め記憶し、
前記吐出開始信号の出力から前記圧力センサにより検出される圧力が前記基準圧力値に達するまでの時間である実測時間と、前記参照時間とを比較し、
前記実測時間が前記参照時間を上回ると、前記塗液中に気泡が存在すると判定し、
前記基準圧力値は、気泡が存在しない場合に、前記塗布液ポンプへ前記吐出開始信号を出力した後、前記配管内の前記塗布液の圧力が一定圧力に達する前の上昇中の圧力値であることを特徴とする、気泡検知方法。 - 塗布液を貯留する塗布液槽と、この塗布液槽中の前記塗布液を圧送する塗布液ポンプと、この塗布液ポンプから圧送された前記塗布液を被塗布部材に向けて吐出する塗布ノズルと、前記塗布液槽、前記塗布液ポンプ、及び前記塗布ノズルを接続する配管とを備える塗布装置において、前記配管内の前記塗布液中の気泡を検知する方法であって、
前記配管内の前記塗布液の圧力を検出する圧力センサを設け、
気泡が存在しない場合における前記塗布液ポンプへ吐出動作開始を指令する吐出開始信号の出力から定められた基準時間が経過した時点での前記配管内の前記塗布液の圧力である参照圧力値を予め記憶し、
前記吐出開始信号の出力から前記基準時間が経過した時点で前記圧力センサにより検出される圧力である実測圧力値と、前記参照圧力値とを比較し、
前記実測圧力値が前記参照圧力値を下回ると、前記塗液中に気泡が存在すると判定し、
前記基準時間は、気泡が存在しない場合に、前記塗布液ポンプへ前記吐出開始信号を出力した後この基準時間が経過した時点で、前記配管内の前記塗布液の圧力が一定圧力に達する前の上昇中の状態となるように設定されていることを特徴とする、気泡検知方法。
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