JP4968232B2 - 窒化物半導体の製造方法 - Google Patents
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また、基板と窒化物半導体との熱膨張差や格子定数差による歪みは、多孔質層により緩和されるので、反りが発生しない。
2 多孔質層(微細ボイド層)
2a 微細なボイド及びその集合体
3 再結晶層
10窒化物半導体層
Claims (1)
- GaNからなる基板上に第一の窒化物半導体層を成長させ、その第一の窒化物半導体層に多数の微細なボイドを有する多孔質層を形成した後、前記多孔質層に熱処理を施して前記多孔質層の構成元素をマイグレートさせて前記多孔質層の表面を再結晶化することにより当該表面が連続する平滑な第二の窒化物半導体層を成長させ、前記第二の窒化物半導体層を上記基板或いは上記基板及びボイドを有する多孔質層から剥離することを特徴とする窒化物半導体の製造方法。
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