JP4958423B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
液体吐出ヘッドの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4958423B2 JP4958423B2 JP2005312393A JP2005312393A JP4958423B2 JP 4958423 B2 JP4958423 B2 JP 4958423B2 JP 2005312393 A JP2005312393 A JP 2005312393A JP 2005312393 A JP2005312393 A JP 2005312393A JP 4958423 B2 JP4958423 B2 JP 4958423B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge port
- heater
- liquid
- discharge
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 68
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 7
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 14
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 4
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOC(C)=O NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LRTTZMZPZHBOPO-UHFFFAOYSA-N [B].[B].[Hf] Chemical compound [B].[B].[Hf] LRTTZMZPZHBOPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- VDZMENNHPJNJPP-UHFFFAOYSA-N boranylidyneniobium Chemical compound [Nb]#B VDZMENNHPJNJPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
(例えば特許文献1)
次に図6、図7を用いて、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法を説明する。図6〜7において(a-1)〜(i-1)は、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法を説明するためのノズル側から見た正面図、(a-2)〜(i-2)はノズル近傍の上記側面断面図である。
(実施例2)
図9は本発明における液体吐出ヘッド901の断面上面図である。図9において、吐出口904に連通した吐出ノズル906各々の内部に液体を加熱するヒータ903を有し、ヒータ903で液体を加熱発泡させることで液体を吐出口904より吐出させる。
103 ヒータ
104 吐出口
105 吐出口面
106 ノズル
107 ノズル壁
108 EH間距離判定穴
109 共通液室
110 液室枠
301 記録装置
303 インクカートリッジ
304 サブタンク
305 回復機構(キャップ機構)
401 回復弁
404 ポンプ
406 リサイクル弁
407 加圧ポンプ
408 供給弁
502 ヒータボード
516 ノズル土手
517 ノズル天板
908 EH間距離判定穴
920 消滅EH間距離判定穴
Claims (1)
- 吐出口に連通したノズル内に設けられ、液体を吐出するための熱エネルギーを発生するヒータと、前記吐出口が設けられた吐出口面上に設けられ、前記吐出口から前記ヒータに向う所定方向に深さを有する複数の穴部とを備える液体吐出ヘッドを準備する準備工程と、
前記液体吐出ヘッドの前記吐出口面を前記吐出口から前記ヒータに向かう前記所定方向に研磨する研磨工程と、を有し、
前記複数の穴部の各々は、前記吐出口面上に形成され開口の形状が四角形状であり、更に前記穴部の底部に設けられた段により前記吐出口から前記ヒータに向う前記所定方向への深さが段階的に異なる内部形状であって、前記研磨工程において前記吐出口面を前記吐出口から前記ヒータに向う前記所定方向に研磨した際に、前記研磨により前記吐出口から前記ヒータ迄の距離が短くなると、前記吐出口面上での前記開口の面積が段階的に小さくなる形状で、前記段の位置まで研磨する迄は前記吐出口面上に形成される前記開口の面積が一定で、前記段を超えて研磨すると前記吐出口面上に形成される前記開口の面積がそれまでよりも狭い面積となる内部形状を有し、
更にまた前記複数の穴部は、前記底部迄の深さが前記吐出口に近い方の穴部が他の穴部よりも浅く、前記吐出口面を所定量研磨した際に、前記吐出口に近い方の穴部が他の穴部よりも前記開口の面積が小さくなる関係を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005312393A JP4958423B2 (ja) | 2005-10-27 | 2005-10-27 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005312393A JP4958423B2 (ja) | 2005-10-27 | 2005-10-27 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007118343A JP2007118343A (ja) | 2007-05-17 |
JP2007118343A5 JP2007118343A5 (ja) | 2008-10-30 |
JP4958423B2 true JP4958423B2 (ja) | 2012-06-20 |
Family
ID=38142711
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005312393A Expired - Fee Related JP4958423B2 (ja) | 2005-10-27 | 2005-10-27 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4958423B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6122298B2 (ja) * | 2013-01-09 | 2017-04-26 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | ヘッドチップの製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3397566B2 (ja) * | 1995-03-10 | 2003-04-14 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
JP3809706B2 (ja) * | 1997-06-16 | 2006-08-16 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットプリンタヘッド並びにインクジェットプリンタヘッドの加工及び検査方法 |
JP3852560B2 (ja) * | 2001-02-06 | 2006-11-29 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッドの製造方法 |
JP2002301823A (ja) * | 2001-04-04 | 2002-10-15 | Sharp Corp | インクジェットヘッドの製造方法 |
-
2005
- 2005-10-27 JP JP2005312393A patent/JP4958423B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007118343A (ja) | 2007-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8596759B2 (en) | Liquid ejection head and method of manufacturing the same | |
KR100849745B1 (ko) | 액체 토출 소자 및 그 제조 방법 | |
JP2008119955A (ja) | インクジェット記録ヘッド及び該ヘッドの製造方法 | |
US20080180486A1 (en) | Liquid ejection head and method for manufacturing liquid ejection head | |
US8091235B2 (en) | Method for manufacturing a substrate for a liquid ejection element | |
US20110020966A1 (en) | Method for processing silicon substrate and method for producing substrate for liquid ejecting head | |
EP1829690B1 (en) | Liquid ejection head | |
JP4958423B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2007283720A (ja) | 記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
JP2013116590A (ja) | 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置。 | |
US7637596B2 (en) | Print head with liquid channels having movable valves | |
JP2007125810A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
US6908564B2 (en) | Liquid discharge head and method of manufacturing the same | |
JP4159317B2 (ja) | 液滴吐出ヘッドの製造方法、マイクロデバイス、インクジェットヘッド、インクカートリッジ並びにインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置 | |
US7735961B2 (en) | Liquid discharge head and method of producing the same | |
JP2009051187A (ja) | 液体吐出ヘッド、及び液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2002160369A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
JP2006082448A (ja) | 液滴吐出ヘッドとインクカートリッジと画像記録装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
JP6025581B2 (ja) | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法 | |
JP2012183713A (ja) | 液滴吐出装置、液滴吐出装置を備えたインクジェット記録装置及び液滴吐出装置の製造方法 | |
JP6164516B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 | |
JP5063390B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
JP2006218736A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
JP2009190315A (ja) | 液体吐出ヘッド | |
KR20080013625A (ko) | 압전 방식 잉크젯 프린터 헤드 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080912 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080912 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110301 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110308 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110509 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110823 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110912 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120319 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120319 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150330 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4958423 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |