〔第1の実施の形態〕
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る発光ダイオード1(LED)の断面構造を表したものである。この発光ダイオード1は、支持基板10の一面側に、第1金属層11、第2金属層12、第1クラッド層13、活性層14、第2クラッド層15およびコンタクト層16をこの順に積層した積層構造を有する。コンタクト層16の表面には中央に開口部17Aを有するリング状のp側電極17が形成されている。支持基板10の裏面にはn側電極18が形成されている。この発光ダイオード1は、支持基板10側の第1金属層11および第2金属層12が反射層として機能する上面発光型の発光素子であり、活性層14の発光領域14Aから放出された光が開口部17Aから射出されるようになっている。
支持基板10は、閃亜鉛鉱型構造を有する混晶、例えばn型GaAsやn型GaPにより構成される。
反射層としての第1金属層11および第2金属層12は、例えば金(Au)やクロム(Cr)などの高反射率の金属により形成されている。
第1クラッド層13、活性層14、第2クラッド層15およびコンタクト層16は化合物半導体層であり、ここでは閃亜鉛鉱型構造を有する混晶、例えばAlGaInP系半導体によりそれぞれ構成されている。AlGaInP系半導体とは、長周期型周期表における3B族元素のアルミニウム(Al),ガリウム(Ga)またはインジウム(In)と、5B族元素のリン(P)とを含む化合物半導体のことをいう。
活性層14は、例えば量子井戸層(図示せず)と障壁層(図示せず)とを交互に積層してなる多重量子井戸構造を備え、例えば、アンドープIna Ga1-a P(0≦a≦1)からなる量子井戸層とアンドープ(Alb Ga1-b )1-c Inc P(0≦b≦1,0≦c≦1)からなる障壁層とを一組として、それを複数積層して構成される。ここで、活性層14のIn組成の値a,cおよびAl組成の値bは、発光波長や、キャリア密度分布などを勘案して決定される。なお、活性層14は、多重量子井戸構造以外の構造、例えば単一量子井戸構造やバルク構造を有するものであってもよい。
第1クラッド層13は例えばn型(Ald Ga1-d )1-e Ine P(0≦d≦1,0≦e≦1)により、第2クラッド層15は例えばp型(Alf Ga1-f )1-g Ing P(0≦f≦1,0≦g≦1)によりそれぞれ構成される。また、第1クラッド層13および第2クラッド層15は、活性層14より大きなバンドギャップを有する。ここで、第1クラッド層13および第2クラッド層15のAl組成およびIn組成は、活性層14に対するキャリアの閉じ込め性や注入性などを勘案して決定される。コンタクト層16は、例えばp型GaPにより構成される。
p側電極17は、例えば、チタン(Ti)層,白金(Pt)層および金(Au)層をコンタクト層16の表面にこの順に積層した構造を有し、コンタクト層16と電気的に接続されている。また、n側電極18は、例えば、金(Au)とゲルマニウム(Ge)との合金層,ニッケル(Ni)層および金(Au)層とをこの順に積層した構造を有し、支持基板10と電気的に接続されている。
本実施の形態では、支持基板10、第1クラッド層13、活性層14、第2クラッド層15およびコンタクト層16は、上記のように閃亜鉛鉱型構造を有する混晶により構成され、図2に示したように、支持基板10と活性層14などの化合物半導体層とは、互いに対向する結晶面S1,S2が格子面(100)と平行となっている。一方、支持基板10および化合物半導体層のそれぞれの結晶方向[011]は互いに異なる方向を向いており、角度θでねじれの関係となっている。[01−1]方向についても同様である。
すなわち、化合物半導体層は、支持基板10とは異なる別の基板(後述の成長基板100D)上に結晶成長させたものであり、本実施の形態の発光ダイオード1は、この化合物半導体層が形成された成長基板100Dに支持基板10を互いの結晶方向をずらして重ねた状態で貼り合わせたのち、成長基板100Dを除去したものであることがわかる。ここで、ねじれの角度θは、[011]と[01−1]とが重なる角度0,90,180,270度を除くものであり、好ましくは5度以上85度以下の範囲内の一の角度であり、より好ましくは45度である。
このように本実施の形態では、それぞれの結晶方向[011],[01−1]が意図的に互いに異なる方向を向くようにして、支持基板10と化合物半導体層とが貼り合わされているので、支持基板10および化合物半導体層それぞれの劈開しやすい方向が互いに異なるものとなっている。
本実施の形態の発光ダイオード1では、p側電極17およびn側電極18に電流が供給されると、電流が活性層14の発光領域14Aに注入され、これにより電子と正孔の再結合による発光(ここでは、赤色発光)が生じる。この発光領域14Aで生じた発光光のうち射出窓である開口部17Aに直接向かう光はp側コンタクト層16を透過して外部に射出され、基板10側に向かう光は第1金属層11および第2金属層12からなる反射層によってp側コンタクト層16側に反射されたのち、開口部17Aから射出される。
このとき、後述の製造工程で説明するように光吸収作用を有する成長基板(GaAs基板)は製造工程において予め除去されているので、開口部17A側で光が吸収されるようなことはなく、さらに、支持基板10と第1クラッド層13との間に反射層(第1金属層11および第2金属層12)が形成されているので、支持基板10側で光が吸収されることもない。これにより光抽出効率が向上する。
次に、図3〜図5を参照して上記発光ダイオード1の製造方法について説明する。
なお、以下の説明において、符号の末尾に付いているD(例えば、活性層14Dにおける末尾の「D」)は、劈開してチップ状に成形する前のウェハの状態であることを示しており、符号の末尾にDの付いたものは符号の末尾にDの付いていないものと同様の組成からなる。また、図3および図5に示した、積層方向に垂直な点線はチップ状に成形する際に劈開することとなる箇所を表している。このことは、図8、図10、図11および図13においても同様である。
この発光ダイオード1を製造するためには、例えばGaAsからなる成長基板100D上に、AlGaInP系半導体層を、例えば、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition ;有機金属化学気相成長)法により形成する。この際、AlGaInP系半導体の原料としては、例えば、トリメチルアルミニウム(TMA)、トリメチルガリウム(TMG)、トリメチルインジウム(TMIn)、ホスフィン (PH3 ) を用い、ドナー不純物の原料としては、例えばセレン化水素(H2 Se)を用い、アクセプタ不純物の原料としては、例えばジメチル亜鉛(DMZn)を用いる。
具体的には、まず、図3(A)に示したように、成長基板100Dの表面に、コンタクト層16D、第2クラッド層15D、活性層14D、第1クラッド層13Dをこの順に積層したのち、更に第1クラッド層13D上に第2金属層12Dを形成する。以下、これを第1ウェハW1という。一方、例えばGaPからなる支持基板10Dの表面に第1金属層11Dを形成する。以下、これを第2ウェハW2という。
次に、図3(B)に示したように、第1ウェハW1および第2ウェハW2を、第1金属層11Dおよび第2金属層12Dを互いに対向させた状態で、所定の温度(例えば300℃〜350℃)、所定の圧力F(例えばウェハサイズが3インチの場合は2000N〜8000N)を加えて貼り合わせる。このとき、図4に示したように、それぞれの結晶方向[011],[01−1]が角度θでねじれの関係となるようにして、第1ウェハW1および第2ウェハW2を貼り合わせる。
これにより、第1ウェハW1および第2ウェハW2の劈開しやすい方向が互いに異なる方向となるので、第1ウェハW1および第2ウェハW2に対して、貼り合わせ強度が十分に得られるような圧力Fを加えたとしても、第1ウェハW1および第2ウェハW2がそれぞれ結晶方向に沿って割れる虞はない。この結果、これらの結晶方向[011],[01−1]それぞれが第1ウェハW1と第2ウェハW2とで重なるように貼り合わされた場合と比べて、歩留りが向上する。
なお、図4では、第1ウェハW1および第2ウェハW2のそれぞれのオリエンテーションフラット(Orientation Flat, 以下、OFという)a1,a2を、結晶方向[011]と直交する弦で切り欠くことにより形成し、互いのOFa1,a2が重ならないようにして第1ウェハW1と第2ウェハW2とを貼り合わせるようにしているが、一方のOFの結晶方向に対する位置を上記ねじれ角分だけずらし、第1ウェハW1および第2ウェハW2を貼り合わせる際にOFa1,a2がぴったりと重なり合うようにしてもよい。これにより第1ウェハW1と第2ウェハW2との位置合せが容易になる。
次に、図5に示したように、例えばウエットエッチング法により、成長基板100Dを除去する。次いで、図1に示したように、例えば真空蒸着法により、コンタクト層16Dの表面上にリング状のp側電極17Dを、支持基板10Dの裏面にn側電極18Dをそれぞれ形成したのち、ダイシングしてチップ状に成形する。このようにして図1に示した発光ダイオード1が製造される。
このように本実施の形態においては、第1ウェハW1と第2ウェハW2を貼り合わせる工程において、互いの結晶方向がねじれの関係を有するように位置合わせをするようにしたので、互いの劈開しやすい方向が異なり、よって十分な強度の圧力をもって貼り合わせたとしても、割れる虞はなく、また貼り合わせ面が均一となってボイド等の発生も低減され、歩留りが向上する。
〔第2の実施の形態〕
図6は、本発明の第2の実施の形態に係る面発光型半導体レーザの断面構造を表したものである。この面発光型半導体レーザ2は、支持基板20の一面側に、下部DBRミラー層21(第1多層膜反射鏡)、下部クラッド層22、活性層23、上部クラッド層24、上部DBRミラー層25(第2多層膜反射鏡)およびp側コンタクト層26をこの順に重ねて構成したものである。ここで、下部DBRミラー層21の一部、下部クラッド層22、活性層23、上部クラッド層24、上部DBRミラー層25およびp側コンタクト層26は、p側コンタクト層26まで形成されたのち、選択的にエッチングされることによりメサ部30を構成している。
支持基板20は閃亜鉛鉱型構造を有する混晶、例えばn型GaAsにより構成される。下部DBRミラー層21、下部クラッド層22、上部クラッド層24、上部DBRミラー層25およびp型コンタクト層26も化合物半導体層であり、同じく閃亜鉛鉱型構造を有する混晶、例えばGaAs系半導体によりそれぞれ構成される。活性層23も化合物半導体層であり、同じく閃亜鉛鉱型構造を有する混晶、例えばInP系半導体によりそれぞれ構成される。なお、GaAs系半導体とは、長周期型周期表における3B族元素のインジウム(In)と、5B族元素のヒ素(As)とを含む化合物半導体のことをいい、InP系半導体とは、長周期型周期表における3B族元素のインジウム(In)と、5B族元素のリン(P)とを含む化合物半導体のことをいう。
下部DBRミラー層21は、低屈折率層および高屈折率層を1組として、それを複数組分含んで構成されたものである。低屈折率層は、例えば厚さがλ/4n(λは発振波長、nは屈折率)のn型Alk Ga1-k As(0≦k≦1)により構成され、高屈折率層は、例えば厚さがλ/4nのn型Alm Ga1-m As(0≦m≦k)により構成される。ここで、n型不純物としては、例えばケイ素(Si)またはセレン(Se)などが挙げられる。下部クラッド層22は、例えばAln Ga1-n As(0≦n≦1)により構成され、上部クラッド層24は、例えばAlp Ga1-p As(0≦p≦1)により構成される。
活性層23は、例えば、量子井戸層(図示せず)と障壁層(図示せず)とを交互に積層してなる多重量子井戸構造を備え、例えば、アンドープInq Ga1-q P(0≦q≦1)からなる量子井戸層とアンドープ(Alr Ga1-r )1-s Ins P(0≦r≦1,0≦s≦1)からなる障壁層とを一組として、それを複数積層して構成される。ここで、活性層23のIn組成の値q,sおよびAl組成の値rは、発光波長や、キャリア密度分布などを勘案して決定される。なお、活性層23は、多重量子井戸構造以外の構造、例えば単一量子井戸構造やバルク構造を有するものであってもよい。
なお、下部クラッド層22、活性層23および上部クラッド層24は、アンドープであることが望ましいが、p型またはn型不純物が含まれていてもよい。
上部DBRミラー層25は、低屈折率層および高屈折率層を1組として、それを複数組分含んで構成されたものである。この低屈折率層は、例えば厚さがλ/4n(λは発振波長、nは屈折率)のp型Alt Ga1-t As(0≦t≦1)により構成され、高屈折率層は、例えば厚さがλ/4nのp型Alu Ga1-u As(0≦u≦t)により構成される。ここで、p型不純物としては、亜鉛(Zn)、マグネシウム(Mg)、ベリリウム(Be)などが挙げられる。
ただし、上部DBRミラー層25において、活性層23側から数えて例えば1組離れた低屈折率層の部位には、低屈折率層の代わりに電流狭窄層25Cが形成されている。この電流狭窄層25Cは、リング状の電流狭窄領域25C−2の中央領域に電流注入領域25C−1を有するものである。
p型コンタクト層26は、例えばp型GaAsにより構成されており、上記の電流注入領域25C−1と対向する領域に例えば円形の開口部26Aを有する。
また、メサ部30の周辺領域からp型コンタクト層26の周縁部までは例えばSiO2 からなる絶縁層27により覆われている。p型コンタクト層26上には一部が絶縁層27上に跨がるようにしてリング状のp側電極28が形成されている。このp側電極28は、例えば、チタン(Ti)層,白金(Pt)層および金(Au)層をp側コンタクト層26の側から順に積層したものであり、p型コンタクト層26と電気的に接続されている。また、支持基板20の裏面にはn側電極29が形成されている。ここで、n側電極29は、例えば、金(Au)とゲルマニウム(Ge)との合金層,ニッケル(Ni)層および金(Au)層とを支持基板20の側から順に積層した構造を有し、支持基板20と電気的に接続されている。
ここで、図7に示したように、支持基板20に下部DBRミラー層21を有する構造を第1構造31、下部クラッド層22、活性層23および上部クラッド層24の積層構造を第2構造32、上部DBRミラー層25およびp型コンタクト層26の積層構造を第3構造33として分けて考えると、これら第1構造31,第2構造32および第3構造33の結晶面および結晶方位については、第1の実施の形態で説明した支持基板10とその上に形成された化合物半導体層との関係と同様である。すなわち、いずれも閃亜鉛鉱型構造を有する混晶により構成されたものであり、第1構造31,第2構造32および第3構造33の互いに対向する結晶面S3,S4,S5は格子面(100)と平行となっているが、結晶面S3およびS4の結晶方向[011],[01−1]、ならびに結晶面S3およびS5の結晶方向[011],[01−1]はそれぞれ、互いに異なる方向を向いている。つまり、第1構造31と第2構造32との間では角度θ1でねじれの関係、また、第1構造31と第3構造33との間では角度θ2でねじれの関係となっている。
すなわち、第2構造32および第3構造33はそれぞれ支持基板20とは異なる別の基板(後述の成長基板200D,300D)上に結晶成長により形成されたものであり、本実施の形態の面発光型半導体レーザ2は、第1構造31および第2構造32を相互に貼り合わせたのち成長基板200Dを除去すると共に、更に第3構造33を相互に貼り合わせたのち成長基板300Dを除去することにより形成されたものである。なお、ねじれの角度θ1,θ2については、5度以上85度以下の範囲内の一の角度であることが好ましく、45度であることがより好ましい。なお、θ1とθ2とが互いに異なる角度であってもよいし、共に同一の角度であってもよい。
このように本実施の形態では、少なくとも、結晶面S3およびS4の結晶方向[011],[01−1]、ならびに結晶面S3およびS5の結晶方向[011],[01−1]がそれぞれ、意図的に互いに異なる方向を向くようにして、第1構造31、第2構造32および第3構造33が貼り合わされているので、第1構造31および第2構造32、ならびに第1構造31および第3構造33の劈開しやすい方向がそれぞれ、互いに異なるものとなっている。
この面発光型半導体レーザ2では、n側電極29とp側電極28との間に所定の電圧が印加されると、電流狭窄層25Cにおける電流注入領域25C−1を通して活性層23に電流が注入され、これにより電子と正孔の再結合による発光が生じる。この光は、一対の下部DBRミラー層21および上部DBRミラー層25により反射され、素子内を一往復したときの位相の変化が2πの整数倍となる波長でレーザ発振を生じ、レーザビームとして外部に出射される。このとき、本実施の形態においても、光吸収作用を有するような層、例えば、GaAs基板(成長基板300D)などは製造工程においてあらかじめ除去されており、開口部26A側には光吸収作用を有するような層はなく、これにより光抽出効率が極めてよくなる。
次に、この面発光型半導体レーザ2の製造方法の一例について説明する。
図8ないし図13はその製造方法を工程順に表したものである。ここではGaAs系の化合物半導体層や、InP系の化合物半導体層を形成するために、下部DBRミラー層21D,下部クラッド層22D,活性層23D,上部クラッド層24D,上部DBRミラー層25Dおよびp側コンタクト層26Dを、例えば、MOCVD法により形成する。この際、GaAs系の化合物半導体の原料としては、例えば、トリメチルアルミニウム(TMA)、トリメチルガリウム(TMG)、アルシン (AsH3)を用い、GaP系の化合物半導体の原料としては、例えば、トリメチルアルミニウム(TMA)、トリメチルガリウム(TMG)、トリメチルインジウム(TMIn)、フォスフィン(PH3 )を用いる。ドナー不純物の原料としては、例えば、H2 Seを用い、アクセプタ不純物の原料としては、例えば、ジメチルジンク(DMZ)を用いる。
具体的には、まず、図8に示したように、例えばn型GaAsからなる支持基板20D上に下部DBRミラー層21Dおよび下部クラッド層22Dをこの順に形成する(以下、第1ウェハW11)。また、例えばInPからなる成長基板200D上に活性層23Dを形成する(以下、第2ウェハW12)。更に、図11に示したように、例えばp型GaAsからなる成長基板300D上にp側コンタクト層26D、上部DBRミラー層25Dおよび上部クラッド層24Dをこの順に形成する(以下、第3ウェハW13)。
次に、図8に戻って、第1ウェハW11および第2ウェハW12を、下部クラッド層22Dおよび活性層23Dを対向させた状態で、所定の温度、所定の圧力F(例えばウェハサイズが3インチの場合は2000N〜8000N)で貼り合わせる。このとき、図9に示したように、それぞれの結晶方向[011],[01−1]がそれぞれ角度θ1でねじれの関係となるように、第1ウェハW11と第2ウェハW12との位置関係を設定する。
これにより、第1ウェハW11および第2ウェハW12のそれぞれの劈開しやすい方向が互いに異なるので、第1ウェハW11および第2ウェハW12に対して、貼り合わせ強度が十分に得られるような圧力Fを加えたとしても、第1ウェハW11および第2ウェハW12が結晶方向に沿って割れる虞はない。従って、2つのウェハを劈開しやすい方向が同一となるように貼り合わせた従来の場合と比べて、製造歩留りが向上する。
なお、結晶方向[011]に対するOFa11,a12の位置関係(図9)は、本実施の形態でも、第1の実施の形態で説明したと同様に、一方のOFの結晶方向に対する位置を上記ねじれ角θ1分だけずらし、第1ウェハW1および第2ウェハW2を貼り合わせる際にOFa11,a12がぴったりと重なり合うようにしてもよい。これは、後述(図11)の第1ウェハW1のOFa11と第3ウェハW2のOFa12との関係についても同様である。
次に、図10に示したように、例えばウエットエッチング法により成長基板200Dを取り除く(以下、これを第4ウェハW14という)。続いて、図11に示したように、第4ウェハW14および第3ウェハW13を、活性層23Dおよび上部クラッド層24Dを対向させた状態で、所定の温度、所定の圧力F(例えばウェハサイズが3インチの場合は2000N〜8000N)で貼り合わせる。
このとき、図12に示したように、第1ウェハW11および第3ウェハW13の結晶方向[011],[01−1]がそれぞれ角度θ2でねじれの関係となるように、第4ウェハW14と第3ウェハW13との位置関係を設定する。これにより、第4ウェハW14および第3ウェハW13の劈開しやすい方向が互いに異なる方向になり、貼り合わせ強度が十分に得られるような圧力Fを加えたとしても、第4ウェハW14および第3ウェハW13が結晶方向に沿って割れる虞はなく、従来方法に比べて製造歩留りが向上する。
次に、図13に示したように、例えばウエットエッチング法により成長基板300Dを取り除く。続いて、例えば、p側コンタクト層26Dの上にマスク層(図示せず)を形成し、反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching;RIE)法により、p側コンタクト層26D,上部DBRミラー層25D,上部クラッド層24D,活性層23Dおよび下部クラッド層22Dの一部を選択的に除去すると共に、p側コンタクト層26Dの一部をエッチングして開口部26Aを形成する。これにより、頂上に開口部26Aを有するメサポスト30が形成される。
次に、水蒸気雰囲気中において、メサポスト30の外側から上部DBRミラー層25内の一部の層を選択酸化して電流狭窄領域25C−2を形成することにより、中心領域に電流注入領域25C−1を有する電流狭窄層25Cを形成する。
次に、図6に示したように、メサポスト30上およびメサポスト30の周辺基板上に例えばCVD(Chemical Vapor Deposition) 法により絶縁層27を積層させる。その後、エッチングにより絶縁層27のうちメサポスト30の頂上の一部分を選択的に除去して、開口部26A内に上部DBRミラー層25を露出させると共に、p側コンタクト層26のうち開口部26Aの外縁領域を露出させる。
次に、メサポスト30上に例えば真空蒸着法により例えばTi(チタン)、Pt(白金)およびAu(金)を順次積層し、続いて選択エッチングにより開口部26A内に上部DBRミラー層25を露出させることによりリング状のp側電極28を形成する。
次に、支持基板20Dの裏面を適宜研磨して基板の厚さを調整した後、その面上にn側電極29を形成する。このようにして本実施の形態の面発光型半導体レーザ2が製造される。
このように本実施の形態においても、少なくとも、第1構造31および第2構造32のそれぞれの結晶方向、ならびに第1構造31および第3構造33のそれぞれの結晶方向がそれぞれ、意図的に異なる方向を向くようにしたものであり、第1構造31と第2構造32との間、および第1構造31と第3構造33との間においてその劈開しやすい方向が異なっているため、貼り合わせ時の圧力によって、劈開方向にそって割れるようなことがなくなる。また、貼り合わせ面が均一となってボイド等の発生も低減され、歩留りが向上する。
また、本実施の形態では、長波長の光を発生するための活性層23DをInP系の成長基板200Dで形成し、これを予め下部クラッド層22Dが形成された熱伝導率の高いGaAs系の支持基板20D(支持基板20)側に転写するようにしたので、基板での熱抵抗が小さく、発熱量を抑制することができる。
更に、GaAs系の成長基板200Dを用いて上部クラッド層24Dを形成し、これを活性層23Dが転写されたGaAs系基板(支持基板20)に転写したのち、AlGaAsおよびAlAsからなる電流狭窄層25を形成するようにしているので、InP系では困難な上記のような選択酸化方法を用いることができる。
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形可能である。
例えば、上記実施の形態では、GaAs系や、AlGaInP系などの長波長帯の半導体材料を例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の半導体材料、例えば、窒化物系III−V族化合物半導体などの短波長帯の半導体材料などに適用することももちろん可能である。
また、上記実施の形態では、各半導体層における互いに対向する結晶面S1,S2,S3,S4,S5が格子面(100)と平行となっている場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の格子面、例えば(111)と平行となっている場合についても適用することが可能である。
また、上記実施の形態では、各半導体層を構成する混晶の構造が閃亜鉛鉱型構造となっている場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の構造、例えばダイヤモンド構造や、ウルツ鉱構造となっている場合についても適用することが可能である。
例えば、支持基板10Dをシリコン(Si)などのダイヤモンド構造により構成した場合に支持基板10Dの結晶面が格子面(100)と平行となっているときは、上記実施の形態と同様、劈開しやすい結晶方向が[011],[01−1]となる。従って、図4に示したように、支持基板10Dの結晶方向と、成長基板100Dの結晶方向とが角度θでねじれの関係となるようにして、支持基板10Dと成長基板100Dとを貼り合わせることにより、上記実施の形態と同様の効果を奏する。
また、支持基板10Dをシリコン(Si)などのダイヤモンド構造により構成した場合に支持基板10Dの結晶面が格子面(111)と平行となっているときは、劈開しやすい結晶方向が、上記とは異なり、図14(A)〜(C)に示したように、[1−10],[0−11],[10−1]となる。従って、支持基板10Dの結晶方向と、成長基板100Dの結晶方向とが互いに異なる方向を向いており、角度θ3でねじれの関係となるようにして、支持基板10Dと成長基板100Dとを貼り合わせることにより、上記実施の形態と同様の効果を奏する。ここで、ねじれの角度θ3は、支持基板10Dの結晶方向[1−10],[0−11],[10−1]のいずれか1つと、成長基板100Dの結晶方向[011],[01−1]のいずれか1つとが互いに重なる角度である0,30,60,90,120,150,180,210,240,270,300,330度を除くものであり、好ましくは5度以上25度以下の範囲内の一の角度であり、より好ましくは15度である。
次に、例えば、各半導体層をGaN系材料などのウルツ鉱構造により構成した場合に支持基板10D,20Dや成長基板100D,200D,300Dの結晶面が格子面(0001)と平行となっているときは、劈開しやすい結晶方向がそれぞれ、図15(A)〜(C)に示したように、(0−110),(−1−120),(10−10),(2−1−10),(−1100),(−12−10)となる。従って、支持基板10D,20Dの結晶方向と、成長基板100D,200D,300Dの結晶方向とが互いに異なる方向を向いており、角度θ4でねじれの関係となるようにして、支持基板10Dおよび成長基板100Dや、支持基板20Dおよび成長基板200D、支持基板20Dおよび成長基板300Dをそれぞれ貼り合わせることにより、上記実施の形態と同様の効果を奏する。ここで、ねじれの角度θ4は、支持基板10Dの結晶方向(0−110),(−1−120),(10−10),(2−1−10),(−1100),(−12−10)のいずれか1つと、成長基板100Dの結晶方向(0−110),(−1−120),(10−10),(2−1−10),(−1100),(−12−10)のいずれか1つとが互いに重なる角度である0,30,60,90,120,150,180,210,240,270,300,330度を除くものであり、好ましくは5度以上25度以下の範囲内の一の角度であり、より好ましくは15度である。
1…発光ダイオード、2…面発光型半導体レーザ、10,20…支持基板、11…第1金属層、12…第2金属層、13…第1型クラッド層、14…活性層、14A,23A…発光領域、15…第2クラッド層、16…コンタクト層、17,28…p側電極、17A,26A…開口部、18,29…n側電極、21…下部DBRミラー層、22…下部クラッド層、24…上部クラッド層、25…上部DBRミラー層、25C…電流狭窄層、25C−1…電流注入領域、25C−2…電流狭窄領域、26…p側コンタクト層、27…絶縁層、30…メサ部、a1,a2,a11〜a13…オリエンテーションフラット(OF)、F…圧力、L1,L2,L3…光、S1〜S5…結晶面、W1,W11…第1ウェハ、W2,W12…第2ウェハ、W13…第3ウェハ、W14…第4ウェハ。