JP4945184B2 - ウエーハの凹状加工方法 - Google Patents
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Description
3 チャックテーブル
3a 保持面
4 研削砥石
4c 傾斜面
5 研削ホイール
6 研削手段
D デバイス
O 回転中心
W ウエーハ
W1 デバイス領域
W2 外周余剰領域
W4 補強部
Wa 表面
Wb 裏面
Wo 回転中心
Claims (2)
- 表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とからなるウエーハの前記デバイス領域に対応する裏面を研削して前記外周余剰領域に対応する裏面にリング状の補強部を形成するウエーハの凹状加工方法であって、
ウエーハを保持する保持面を有し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハの回転中心を通過し形成すべきリング状の補強部の内側に位置付けられ、かつ外周側にウエーハ面から離れるに従って半径方向に退行するよう傾斜した傾斜面を有する研削砥石が配設された研削ホイールを回転可能に支持する研削手段とを備える研削装置を用い、
回転中心を頂点として僅かな傾斜を持った円錐形に形成された前記保持面に保持されたウエーハに対して前記研削ホイールの前記研削砥石を円錐形の頂点から底辺に向かう辺に平行に位置付けて円周方向の片側半分をウエーハに押圧接触させるとともに、ウエーハに押圧接触する片側半分の底辺側が頂点側に向かう方向に前記研削ホイールを回転させてウエーハの前記デバイス領域に対応する裏面を研削することを特徴とするウエーハの凹状加工方法。 - 前記チャックテーブルを前記研削ホイールの回転方向に対して逆らう方向に回転させることを特徴とする請求項1に記載のウエーハの凹状加工方法。
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