JP4944148B2 - 流体機器取付構造 - Google Patents

Description

本発明は、薬液ラインに設置される流体機器を取り付ける流体機器取付構造に関する。

例えば、半導体デバイスの製造工程においては、基板である半導体ウエハを所定の薬液や純水等の洗浄液によって洗浄し、ウエハからパーティクル、有機汚染物、金属不純物等コンタミネーションや有機物、酸化膜を除去する洗浄処理が行われる。洗浄処理システムの一例を図３３及び図３４に示す。

図３３及び図３４に示す洗浄処理システム１１００は、ウエハ１１２１の搬入・搬出を行うイン・アウトポート１１０１と、ウエハ１１２１を搬送するステージ部１１０２と、ウエハ１１２１を洗浄する洗浄処理ユニット１１０３と、キャリア１１２０を洗浄するキャリア洗浄ユニット１１０４と、キャリア１１２０をストックするキャリアストックユニット１１０５と、各ユニットに電力を供給する電源ユニット１１０６と、ウエハ１１２１の洗浄に使用する薬液等を貯蔵する薬液貯蔵ユニット１１０７とを備える。

これらのユニット１１０１〜１１０７は、ゴミや埃などがウエハ１１２１やキャリア１１２０に付着したり、揮発した薬液が外部に漏れることを防ぐために、第１〜第７筐体１１１１〜１１１７でそれぞれ覆われている。第２筐体１１１２と第３筐体１１１３との間は、仕切壁１１０８で仕切られ、仕切壁１１０８に設けた開口部１１０８ａをシャッタ１１０９で開閉するようにされている。

このような洗浄処理システム１１００は、ウエハ１１２１が入ったキャリア１１２０を搬送機構１１１０によりイン・アウトポート１１０１からステージ部１１０２へ搬送する。そして、洗浄処理システム１１００は、シャッタ１１０９を開いて、キャリア１１２０を開口部１１０８ａを介して洗浄処理ユニット１１０３へ搬入した後、シャッタ１１０９を閉じる。

洗浄処理ユニット１１０３は、ウエハ１１２１に薬液を吐出してレジスト除去処理を行ってから、ウエハ１１２１に純水を塗布してリンス処理を行い、その後ウエハ１１２１全体に揮発性薬剤（例えばイソプロピルアルコール）を供給して乾燥処理を行った後、ウエハをブロー乾燥又はスピン乾燥させる。

その後、洗浄処理システム１１００は、シャッタ１１０９を開いてウエハ１１２１の入ったキャリア１１２０を洗浄処理ユニット１１０３からステージ部１１０２へ搬出し、搬送機構１１１０によりキャリア１１２０をイン・アウトポート１１０１へ搬送する。イン・アウトポート１１０１に排出されたウエハ１１２１は、キャリア１１２０から作業者又は自動搬送装置によって搬出される。これにより、一連のウエハ洗浄処理が終了する（例えば特許文献１参照）。

上述したように、洗浄処理ユニット１１０３では、薬液、純水、揮発性薬剤など複数の流体を切り替えて供給される。また、流体の濃度や流量は、ウエハ１１２１の洗浄品質に影響する。そのため、洗浄処理ユニット１１０３は、薬液等の制御に、流量制御弁や開閉弁などのバルブ類や、フィルタ、圧力センサや流量センサなどのセンサ類、継手ブロックや流路ブロックなどの配管ブロック類など、流体機器を使用している。

流体機器ユニットは、例えば図３２に示すように、第１流体機器２０１の第１接続部２０３と第２流体機器２０２の第２接続部２０４とをシール部材２０５を介して接続し、第１及び第２接続部２０３，２０４の外周面に形成した第１及び第２装着溝２０３ａ，２０４ａに連結部材２０６を装着することにより、第１及び第２流体機器２０１，２０２の接続状態を維持している。このような流体機器ユニットは、流体機器同士を直接接続するので、配管スペースが減少し、フットスペースが小さくなるメリットがある（例えば特許文献２参照）。

その一方で、流体機器ユニットは、連結部材２０６のみでは接続部分の剛性が小さい。そのため、例えば、流体機器ユニットを洗浄処理ユニット１１０３に組み付けるときに、作業者が第１流体機器２０１を手でつかんで持ち上げると、第２流体機器２０２が自重により第１及び第２接続部２０３，２０４の接続部分を撓ませるようにして第１流体機器２０１に対して傾き、接続部分のシール力を低下させる恐れがある。一般に、洗浄処理ユニット１１０３に使用する流体機器ユニットは、複数の薬液を制御するために多数の流体機器を備え、単に連結部材２０６で流体機器同士を接続しただけでは撓みやすく、取扱い難い。

そこで、従来、流体機器ユニットは、ブラケット２１１に流体機器２０１，２０２を取り付けた状態で取り扱われ、洗浄処理ユニット１１０３に組み付けられていた。このような流体機器取付構造では、ブラケット２１１が流体機器ユニットの撓みを防止するので、流体機器接続部分が撓んでシール力を低下させない。

特開２００８−３４８７２号公報 特開２００７−２９０２号公報

しかしながら、従来の流体機器取付構造は、以下の問題があった。
（１）従来の流体機器取付構造は、流体機器の下面を基準にブラケット２１１に取り付けていた。そのため、ブラケット２１１は、例えば、ポート高さや取付寸法が異なる流体機器同士が取り付けられる場合、流体機器のポート高さや取付寸法などを調整する必要があった。よって、従来の流体機器取付構造は、流体機器の種類や配置に合わせて専用のブラケット２１１を設計しなければならなかった。

（２）また、従来の流体機器取付構造は、流体機器をブラケット２１１に二次元的に配置するため、流体機器の設置先には、全ての流体機器を平面的に並べられるだけの空きスペースを要した。近年、半導体製造装置のコンパクト化が進み、洗浄処理システム１１００の小型化が進んでいる。これに伴い、洗浄処理ユニット１１０３や第３筐体１１１３が小型化し、第３筐体１１１３と洗浄処理ユニット１１０３との間の空きスペースが少なく、その空きスペースも平面的であるとは限らなくなっている。その一方で、ウエハ１１２１の処理の多様化、高精度化に伴い、薬液制御に使用される流体機器の数や種類が増えている。よって、従来のように流体機器を二次元的に配置する流体機器取付構造では、空きスペースに全ての流体機器を収めきれなくなることが危惧されている。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、流体機器を三次元方向に自由に配置し、流体機器の配置スペースを低減できる流体機器取付構造を提供することを目的とする。

本発明に係る流体機器取付構造は、次のような構成を有している。
（１）第１流体機器と第２流体機器と、前記第１流体機器と第２流体機器が取り付けられる支持体とを有する流体機器取付構造において、前記第１及び前記第２流体機器は、外周面に取付溝が設けられた同一形状の第１及び第２接続部を有し、前記支持体は、複数のフレームを格子状に組み合わせたものであり、前記取付溝に着脱可能に取り付けられ、前記第１及び第２接続部の接続部分を前記支持体に支持させる支持媒体を有し、前記フレームが前記第１及び第２流体機器の接続部分を前記支持媒体を介して支持している。

（２）（１）に記載の発明において、前記フレームは、前記支持媒体を介して前記接続部分を支持する支持フレームと、前記支持フレームを保持する保持フレームとを含み、前記支持フレームの両端部に取り付けられ、前記支持フレームを前記保持フレームに対して位置決め固定する位置調整部材を有する。

（３）第１流体機器と第２流体機器と、前記第１流体機器と第２流体機器が取り付けられる支持体とを有する流体機器取付構造において、前記第１及び前記第２流体機器は、外周面に取付溝が設けられた同一形状の第１及び第２接続部を有し、前記支持体は、前記取付溝に着脱可能に取り付けられ、前記第１及び第２接続部の接続部分を前記支持体に支持させる支持媒体を有し、前記取付溝は、前記流体機器同士を引き寄せて接続する引き寄せ治具が取り付けられるものである。

（４）（１）乃至（３）の何れか１つに記載の発明において、前記フレームは中空部を備えるパイプであって、配線と配管の少なくとも一方を前記中空部へ収納するための収納孔を有する。

（５）第１流体機器と第２流体機器と、前記第１流体機器と第２流体機器が取り付けられる支持体とを有する流体機器取付構造において、前記第１及び前記第２流体機器は、外周面に取付溝が設けられた同一形状の第１及び第２接続部を有し、前記支持体は、前記取付溝に着脱可能に取り付けられ、前記第１及び第２接続部の接続部分を前記支持体に支持させる支持媒体を有し、流体機器の接続部同士を接続する接続部分に装着される補強部材を有し、前記補強部材は、前記接続部分を挟んで配置される第１部品と第２部品を有し、前記第１部品は、各流体機器の接続部の外周面に接触した状態で前記接続部に形成された取付溝に配置される一対の第１部品側突起部と、前記一対の第１部品側突起部を結合する第１部品側結合部と、前記第２部品に係止される複数の第２係止爪部と、を有し、前記第２部品は、前記第２係止爪部に対応して設けられ前記第２係止爪部を引っ掛けて係止する複数の第２掛止部を有する。

（６）（５）に記載の発明において、前記第１部品は、前記支持媒体の前記連結部と同一形状であって、前記一対の第１部品側突起部が前記第１及び前記第２連結側突起部を構成し、前記第１部品側結合部が前記連結側結合部を構成し、前記第２係止爪部が前記第１係止爪部を構成する。

（７）（１）乃至（６）の何れか１つに記載の発明において、前記支持媒体は、前記支持体に装着される本体部と、前記取付溝に嵌合した状態で前記本体部に係止される連結部と、を有する。

（８）（７）に記載の発明において、前記連結部は、ベルト状をなし、一端が前記本体部に回動可能に保持され、他端が前記本体部に着脱可能に係合されている。

（９）第１流体機器と第２流体機器と、前記第１流体機器と第２流体機器が取り付けられる支持体とを有する流体機器取付構造において、前記第１及び前記第２流体機器は、外周面に取付溝が設けられた同一形状の第１及び第２接続部を有し、前記支持体は、前記取付溝に着脱可能に取り付けられ、前記第１及び第２接続部の接続部分を前記支持体に支持させる支持媒体を有し、前記支持媒体は、前記支持体に装着される本体部と、前記取付溝に嵌合した状態で前記本体部に係止される連結部と、を有し、前記連結部は、前記第１接続部の外周面に接触した状態で前記第１接続部の前記取付溝に配置される第１連結側突起部と、前記第２接続部の外周面に接触した状態で前記第２接続部の前記取付溝に配置される第２連結側突起部と、前記第１連結側突起部と前記第２連結側突起部を結合させる連結側結合部と、前記本体部に係止される複数の第１係止爪部と、を有し、前記本体部は、前記第１係止爪部に対応して設けられ前記第１係止爪部を引っ掛けて係止する複数の第１掛止部と、前記支持体に装着される脚部と、を有する。

（１０）（９）に記載の発明において、前記支持体は、支持棒、レール溝を備えるレール、取付孔が複数形成された板状フレームの何れかに前記支持媒体を取り付けられ、前記支持媒体は、前記脚部を前記支持棒を挟むように複数立設して各脚部に前記支持棒の外周に密着する凹部を形成した支持棒用本体部と、前記脚部を前記レール溝に挿入可能に立設して前記脚部を前記レールに固定するレール用本体部と、前記脚部を前記取付孔に挿入可能に複数立設した取付フレーム用本体部の何れかを含み、前記支持用本体部と前記レール用本体部と前記取付フレーム用本体部の何れにも前記連結部を着脱可能に係止させることが可能である。

（１１）（１）乃至（１０）の何れか１つに記載の発明において、前記支持媒体は前記支持体に着脱可能に装着される。

（１２）（１）乃至（１１）の何れか１つに記載の発明において、流体機器の接続部同士を接続する接続部分に装着される補強部材を有し、前記補強部材は、前記接続部分を挟んで配置される第１部品と第２部品を有し、前記第１部品は、各流体機器の接続部の外周面に接触した状態で前記接続部に形成された取付溝に配置される一対の第１部品側突起部と、前記一対の第１部品側突起部を結合する第１部品側結合部と、前記第２部品に係止される複数の第２係止爪部と、を有し、前記第２部品は、前記第２係止爪部に対応して設けられ前記第２係止爪部を引っ掛けて係止する複数の第２掛止部を有する。

（１３）（１２）に記載の発明において、前記第１部品は、前記支持媒体の前記連結部と同一形状であって、前記一対の第１部品側突起部が前記第１及び前記第２連結側突起部を構成し、前記第１部品側結合部が前記連結側結合部を構成し、前記第２係止爪部が前記第１係止爪部を構成する。

（１）本発明の流体機器取付構造は、第１及び第２流体機器が、外周面に取付溝が設けられた同一形状の第１及び第２接続部を有し、第１及び第２接続部の取付溝に着脱可能に取り付けられ、第１及び第２接続部の接続部分を支持体に支持させる支持媒体を有する。このような本発明の流体機器取付構造は、第１及び第２流体機器の接続部分を支持媒体を介して支持体に支持させるので、第１及び第２流体機器のポート高さや取付方法が異なる場合であっても、第１及び第２流体機器の接続部分を支持体に取り付けて支持させることが可能である。よって、本発明の流体機器取付構造によれば、流体機器を三次元方向に自由に配置し、流体機器の配置スペースを低減することができる。

（２）本発明の流体機器取付構造は、第１流体機器が、外周面に取付溝を形成された接続部を有し、その接続部に配管を着脱可能に接続している。そして、接続部の取付溝に支持媒体を取り付けることにより、第１流体機器の接続部と配管との接続部分をフレームに支持させる。このような本発明の流体機器取付構造は、高さや取付方法の異なる第１流体機器と配管とを接続する接続部分であっても、当該接続部分を支持体に取り付けて支持させることが可能である。よって、本発明の流体機器取付構造によれば、流体機器を三次元方向に自由に配置し、流体機器の配置スペースを低減することができる。

上記（１）（２）の結果、例えば、ポート高さや取付寸法が異なる流体機器であっても、流体機器同士の接続部分を支持体に支持させて流体機器を支持体に取り付けることが可能になり、専用の支持体を設計する設計工数を削減できる。
また、流体機器の設置先で確保された空きスペースに配置した支持体に、流体機器の接続部分を支持媒体を介して支持させることにより、流体機器のポート高さや取付方法に関係なく、流体機器を空きスペースに納めて設置することができる。

（３）本発明の流体機器取付構造は、支持体に装着される本体部に対して、取付溝に嵌合した連結部を係止させることにより、接続部を支持体に支持させる。一方、連結部と本体部の係止状態を解除することにより、接続部が支持体に支持されなくなる。よって、本発明の流体機器取付構造によれば、連結部を本体部に係合させ、又は、連結部と本体部との係合を解除するにより、接続部の接続部分を支持体に簡単に脱着することができる。

（４）本発明の流体機器取付構造は、支持媒体が支持体に着脱可能に装着されるので、流体機器のレイアウトに合わせて支持媒体を支持体に簡単に配置できる。

（５）本発明の流体機器取付構造は、連結部がベルト状をなし、一端が本体部に回動可能に保持され、他端が本体部に着脱可能に係合されている。そのため、例えばメンテナンス等により一方の流体機器を他方の流体機器から取り外したい場合には、一方の流体機器の取付溝に嵌合する連結部を本体部との係合を解除して回動させれば、一方の流体機器を支持体から取り外すことが可能である。そして、一方の流体機器を他方の流体機器に再度接続する場合には、連結部を回動させて一方の流体機器の取付溝に嵌合させて本体部に係合させれば、一方の流体機器を支持体に支持させることが可能である。よって、本発明の流体機器取付構造によれば、各接続部を支持体に個別に支持させることができ、メンテナンス等で流体機器の脱着作業を行い易い。

（６）本発明の流体機器取付構造では、第１及び第２接続部の外周面に接触した状態で第１及び第２接続部の取付溝に配置される第１及び第２連結側突起部を連結側結合部により結合して一体化している。支持媒体は、連結部の第１係止爪部を本体部の第２掛止部にそれぞれ引っ掛けて係止させることにより構成されており、連結側係合部により曲げやねじれに対する強度が補強されている。そのため、例えば、第１及び第２接続部が第１及び第２流体機器の重さや外力などにより接続部分を支点として撓む力を受けた場合でも、支持媒体が変形せず、第１及び第２接続部が撓まない。よって、本発明の流体機器取付構造によれば、例えば、流体機器の接続部分が流体機器の重さや外力によって変形しようとした場合でも、その変形を支持媒体が防止し、シール力の低下を防ぐことができる。

（７）本発明の流体機器取付構造では、支持棒に支持媒体を取り付ける場合には、支持棒用本体部に連結部を係止させて支持媒体を構成し、レールに支持媒体を取り付ける場合には、レール用本体部に連結部を係止させて支持媒体を構成し、板状フレームに支持媒体を取り付ける場合には、板状フレーム用本体部に連結部を係止させて支持媒体を構成する。支持棒用本体部とレール用本体部と板状フレーム用本体部は、異なる形状の脚部を有し、支持体の形態に合わせて本体部を選択することにより、支持媒体を支持棒やレール、板状フレームに取り付けて流体機器の接続部分を支持体に支持させることが可能である。よって、本発明の流体機器取付構造では、支持棒用本体部とレール用本体部と板状フレーム用本体部に共通の連結部を係止させて支持媒体を構成するので、部品点数を減らしてコストダウンを図ることができる。

（８）本発明の流体機器取付構造は、複数のフレームを格子状に組み合わせて支持体を構成し、流体機器の接続部分をフレームで支持することにより、複数の流体機器を支持体に取り付けるので、流体機器を三次元方向に自由に配置し、流体機器の配置スペースを低減できる。

（９）本発明の流体機器取付構造は、フレームが、接続部分を支持する支持フレームと、支持フレームを保持する保持フレームとを含み、支持フレームの両端部に取り付けられ、支持フレームを保持フレームに対して位置決め固定する位置調整部材を有する。そのため、流体機器のレイアウトに合わせて支持フレームの配置を容易に調整でき、流体機器を支持体に取り付ける際の作業性が良い。

（１０）本発明の流体機器取付構造は、流体機器同士を引き寄せて接続する引き寄せ治具が取り付けられる取付溝を利用して、支持媒体を流体機器の接続部分に取り付けるため、支持媒体を取り付けるための加工が不要である。

（１１）本発明の流体機器取付構造は、フレームが配線と配管の少なくとも一方をフレームの収納孔から中空部へ引き込んで収納するので、流体機器の着脱時に配線や配管が邪魔にならず、流体機器を支持体に着脱しやすい。

（１２）本発明の流体機器取付構造は、例えば、支持体上に配置されない流体機器の接続部分がある場合には、その接続部分に補強部材を装着する。補強部材は、流体機器の接続部分を挟んで第１部品と第２部品を配置することにより、流体機器の接続部分に装着される。第１部品は、各流体機器の接続部の外周面に接触した状態で前記接続部に形成された取付溝に配置される一対の第１部品側突起部が第１部品側結合部に結合されて一体化されている。補強部材は、第１部品の第２係止爪部を第２部品の第２掛止部にそれぞれ引っ掛けて係止させることにより構成されているので、第１部品側結合部により曲げやねじれ等に対する強度が補強されている。よって、本発明の流体機器取付構造によれば、支持体に支持されていない流体機器の接続部分に撓む力が作用したとしても、接続部分の強度が当該接続部分に装着した補強部材によって補強されるので、流体機器の接続部分の撓みを防止してシール力の低下を防ぐことができる。

（１３）本発明の流体機器取付構造は、補強部材の第１部品が支持媒体の連結部と同一形状であって、一対の第１部品側突起部が第１及び第２連結側突起部を構成し、第１部品側結合部が連結側結合部を構成し、第２係止爪部が第１係止爪部を構成するので、補強部材の第１部品を支持媒体の連結部として支持媒体の本体部に取り付けることができ、補強部材と支持媒体の部品を共通化してコストダウンを図ることができる。

本発明の実施形態に係る流体機器取付構造の外観斜視図である。 図１に示す支持体の外観斜視図である。 図２に示す支持体の分解斜視図である。 図２のＡ部拡大断面図である。 図２に示す支持媒体の外観斜視図である。 図１に示す接続部シール構造の拡大断面図である。 図６に示す接続部シール構造の分解斜視図である。 図１の流量調整弁を流体機器ユニットから取り外す手順を説明するための図であって、流量調整弁から継手ブロックを取り外した状態を示す。 図１の流量調整弁を流体機器ユニットから取り外す手順を説明するための図であって、流量調整弁と流量計から連結部材を取り外した状態を示す。 図１流量調整弁を流体機器ユニットから取り外す手順を説明するための図であって、流量調整弁を流量計から取り外した状態を示す。 図６に示す接続部シール構造において第１及び第２接続部を接続するための治具の外観斜視図である。 図１１に示す治具を用いて第１及び第２接続部を引き寄せる前の状態を示す。 図１１に示す治具を用いて第１及び第２接続部を引き寄せた後の状態を示す。 図１に示す流体機器ユニットの回路図である。 図１に示す流体機器ユニットの変形例を示し、特に回路図を示す。 図１５に示す流体機器を支持体に取り付ける流体機器取付構造を示す外観斜視図である。 図１６に示す流体機器取付構造の側面図である。 図２に示す支持体の変形例である。 本発明の第２実施形態に係る流体機器取付構造の外観斜視図である。 本発明の第３実施形態に係る流体機器取付構造の外観斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る流体機器取付構造の外観斜視図である。 図２１に示す支持媒体による支持部分の断面図である。 図２１に示す支持媒体の分解斜視図である。 流体機器をレールに取り付けた状態を示す外観斜視図である。 本体部の分解斜視図である。 本体部をレールに取り付ける取付方法を説明する説明図であって、本体部の脚部をレール溝に挿入した状態を示す。特に、（ａ）は外観斜視図を示し、（ｂ）は（ａ）のＢＢ断面図である。 本体部をレールに取り付ける取付方法を説明する説明図であって、本体部の脚部をレールに抜け不能に取り付けた固定前の状態を示す。特に、（ａ）は外観斜視図を示し、（ｂ）は（ａ）のＣＣ断面図である。 本体部をレールに取り付ける取付方法を説明する説明図であって、本体部の脚部をレールに固定した後の状態を示す断面図である。 流体機器を取付孔を有する板状フレームに取り付けた状態を示す外観斜視図である。 図２９に示す流体機器取付構造の分解斜視図である。 図２１に示す補強部材による補強構造の断面図である。 従来の流体機器取付構造の断面図である。 洗浄処理システムの外観斜視図を示す。 図３３に示す洗浄処理システムの平面図を示す。

以下に、本発明に係る好ましい実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明することにする。

（第１実施形態）
＜流体機器ユニットの構成＞
図１４に示す流体機器ユニット１は、従来技術と同様、洗浄処理システム１１００に使用される。流体機器ユニット１は、主流路２から第１及び第２副流路３，４が分岐し、１種類の薬液を分流させて供給するものである。第１及び第２副流路３，４には、第１及び第２エアオペレイトバルブ１１，２１と、第１及び第２流量計１２，２２と、第１及び第２流量調整弁１３，２３とが配置され、第１及び第２エアオペレイトバルブ１１，２１によって第１及び第２副流路３，４へ導入された薬液が第１及び第２流量計１２，２２で流量を測定された後、第１及び第２流量調整弁１３，２３で流量調整されて出力される。

＜流体機器取付構造の全体構成＞
図１は、流体機器取付構造５の外観斜視図を示す。
流体機器ユニット１は、一対の継手ブロック２４，２４の間に第１及び第２分岐配管１５，２５を連結し、主流路２（図１４参照）を構成している。また、流体機器ユニット１は、第１及び第２エアオペレイトバルブ１１，２１と、第１及び第２流量計１２，２２と、第１及び第２流量調整弁１３，２３と、継手ブロック２４，２４とを連結し、第１及び第２副流路３，４（図１４参照）を構成している。本実施形態では、各継手ブロック２４、第１及び第２分岐配管１５，２５，第１及び第２エアオペレイトバルブ１１，２１、第１及び第２流量計１２，２２、第１及び第２流量調整弁１３，２３を「流体機器」の一例とする。これらの流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５は、耐腐食性の観点から金属を使わずに樹脂部品で構成されている。

図１に示すように、流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５は、同一形状の接続部１１ａ〜１３ａ，１５ａ，２１ａ〜２５ａを有し、同一の接続部シール構造２６（後述）で互いに連結されている。

流体機器取付構造５では、流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５を支持体３１に取り付けている。流体機器取付構造５は、保持フレーム３２と支持フレーム３３を格子状に組み合わせて支持体３１を構成し、流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５の接続部分を支持フレーム３３で支持している。

＜接続部シール構造＞
次に、接続部シール構造２６について、第１流量計１２の接続部１２ａと第１流量調整弁１３の接続部１３ａとの接続部分を例に挙げ、図６の断面図及び図７の分解斜視図を参照しながら具体的に説明する。尚、図６及び図７では、第１流量計１２と第１流量調整弁１３の接続部１２ａ，１３ａ以外の形状を簡略化して記載している。

図６及び図７に示すように、第１流量計１２の接続部１２ａと、第１流量調整弁１３の接続部１３ａは、ＰＴＦＥなどの耐熱性や耐腐食性があるフッ素樹脂を材質とする。接続部１２ａ，１３ａは、円筒状をなし、流路１２ｂ，１３ｂが端面に開口している。接続部１２ａ，１３ａの端面には、流路開口部の周りに、シール溝１２ｃ，１３ｃが形成されている。シール溝１２ｃ，１３ｃには、環状突起１２ｄ，１３ｄが流路１２ｂ，１３ｂと同心円状に突設され、環状凹凸条を設けている。接続部１２ａ，１３ａは、端面外周に沿って、環状凸部１２ｅ，１３ｅが外向きに突設されている。

接続部１２ａ，１３ａの外周面には、取付溝１２ｆ，１３ｆがそれぞれ環状に形成されている。取付溝１２ｆ，１３ｆは、後述する引き寄せ治具５０により接続部１２ａ，１３ａを引き寄せる際に端面同士を均一に当接させるために、端面側内側面が接続部１２ａ，１３ａの端面と平行に形成されている。接続部１２ａ，１３ａは、取付溝１２ｆ，１３ｆと接続部１２ａ，１３ａの端面との間に、装着溝１２ｇ，１３ｇがそれぞれ環状に形成され、接続部１２ａ，１３ａの接続状態を維持するための連結部材２７が装着される。尚、取付溝１２ｆ，１３ｆと装着溝１２ｇ，１３ｇを環状に形成するのは、連結部材２７や後述する支持媒体３４の取付方向を制限しないことにより流体機器の着脱作業をしやすくするためである。

図７に示すように、連結部材２７は、第１分割片２８と第２分割片２９とがヒンジ部２７ａを介して接続されたものである。第１分割片２８と第２分割片２９とヒンジ部２７ａは、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン(二弗化ビニリデン)）などの強度と耐腐食性があるフッ素樹脂を射出成形や切削などにより成形されている。

第１及び第２分割片２８，２９は、ヒンジ部２７ａに接続する端部に、第１及び第２係合突起２８ｄ，２９ｄと第１及び第２係合凹部２８ｅ，２９ｅが設けられている。第１及び第２係合突起２８ｄ，２９ｄは、第１及び第２係合凹部２８ｅ，２９ｅに異方向（第１及び第２分割片２８，２９が分割する方向とその分割する方向と直交する方向）に当接して係止されるように嵌合している。連結部材２７は、その嵌合部分を基点にして第１及び第２分割片２８，２９を回動させられるようになっている。

第１及び第２分割片２８，２９は、ヒンジ部２７ａに接続する端部と反対の端部に、延設部２８ａ，２９ａが半径方向に延びるように設けられている。延設部２９ａには、貫通孔２９ｃが設けられ、延設部２８ａには、係止部２８ｃが突設されている。第１及び第２分割片２８，２９は、係止部２８ｃを撓ませながら貫通孔２９ｃに貫き通した後、係止部２８ｃを復元させて延設部２９ａに引っ掛けることにより、延設部２８ａ，２９ａを適正な隙間を空けた状態で固定する。

図６に示すように、第１及び第２分割片２８，２９には、接続部１２ａ，１３ａをシール部材６を介して接続した状態で装着溝１２ｇ，１３ｇの端面側内壁に面接触するように、突部２８ｆ，２８ｆ，２９ｆ，２９ｆが設けられている。図７に示すように第１及び第２分割片２８，２９の第１及び第２係合凹部２８ｅ，２９ｅに第２及び第１係合突起２９ｄ，２８ｄを嵌合させた状態で延設部２８ａ，２９ａ側を開き、接続部１２ａ，１３ａの装着溝１２ｇ，１３ｇに突部２８ｆ，２８ｆ，２９ｆ，２９ｆをそれぞれ配置するように係止部２８ｃを貫通孔２９ｃに挿通して延設部２９ａに係止させると、第１及び第２分割片２８，２９は、突部２８ｆ，２８ｆ，２９ｆ，２９ｆがシール部材６の反発力に対する反力を接続部１２ａ，１３ａに与え、接続部１２ａ，１３ａの接続状態を維持する。

ところで、接続部１２ａ，１３ａや連結部材２７は、樹脂を材質とするため、例えば流路１２ｂ，１３ｂに高温の薬液や冷たい純水が交互に流れると、膨張と収縮を繰り返し、シール力を低下させることがある。そのため、連結部材２７は、増し締め用の固定ピン３０が備えられている。

固定ピン３０は、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン(二弗化ビニリデン)）などの強度と耐腐食性があるフッ素樹脂を材質とするピン部３０ａとナット部材３０ｃとから構成されている。ピン部３０ａは、延設部２８ａ，２９ａに設けた挿通孔２８ｂ，２９ｂに挿通しやすいように先端部が二股にされ、各先端部に爪部３０ｂが設けられている。ナット部材３０ｃは、ピン部３０ａの後端部に螺着されている。このような固定ピン３０は、ナット部材３０ｃをピン部３０ａにねじ込むことにより延設部２８ａ，２９ａを引き寄せ、突部２８ｆ，２８ｆ，２９ｆ，２９ｆの先端部内周に設けたテーパを、接続部１２ａ，１３ａの装着溝１２ｇ，１３ｇに設けたテーパに摺接させる。これにより、接続部１２ａ，１３ａは、互いに近づいてシール力を増加させる。

図６及び図７に示すように、シール部材６は、リング状の本体部７の外周に沿って張出部８を環状に設けている。張出部８の外縁部には、把持部９が断続的に設けられている。

本体部７は、接続部１２ａ，１３ａの環状突起１２ｄ，１３ｄに嵌合する環状溝７ａ，７ｂが両端面に形成され、断面Ｈ型をなす。環状溝７ａ，７ｂは、溝幅が接続部１２ａ，１３ａの環状突起１２ｄ，１３ｄの肉厚方向幅寸法と同一又は僅かに大きく形成されている。環状溝７ａ，７ｂは、開口部より奥側の内側内壁と外側内壁に圧入代７ｃ，７ｄがそれぞれ設けられ、環状溝７ａ，７ｂの開口部より奥側の溝幅を環状突起１２ｄ，１３ｄの肉厚方向幅寸法より小さくしている。そのため、シール部材６は、環状溝７ａ，７ｂの圧入代７ｃ，７ｄに環状突起１２ｄ，１３ｄが圧入されることにより、流路１２ｂ，１３ｂに対して径方向にシールする。張出部８は、膜状に形成され、外縁部に複数の把持部９が設けられている。各把持部９は、接続部１２ａ，１３ａの環状凸部１２ｅ，１３ｅに引っ掛けて係合する引掛部９ａが設けられている。

＜支持体の構成＞
次に、支持体３１の構成について説明する。図２は、図１に示す支持体３１の外観斜視図である。図３は、図２に示す支持体３１の分解斜視図である。
図２及び図３に示すように、支持体３１は、２本の支持フレーム３３が保持フレーム３２の間に保持されている。位置調整部材３５は、各支持フレーム３３の両端部に取り付けられ、支持フレーム３３を保持フレーム３２に対して位置決め固定している。

支持フレーム３３と保持フレーム３２は、樹脂製のパイプで構成されている。保持フレーム３２は、両端部外周面に雄ねじ部３２ａ，３２ｂがそれぞれ形成され、キャップ３９が螺設される。そのため、保持フレーム３２は、キャップ３９，３９を雄ねじ部３２ａ，３２ｂにねじ込む量を調整することにより、全長を調整できる。

位置調整部材３５は、保持フレーム３２が摺動可能に挿通される中空孔３５ｂを備える。位置調整部材３５の外周面には、支持フレーム保持部３５ａが中空孔３５ｂの軸線方向に対して直交する向きに立設されている。支持フレーム保持部３５ａは、支持フレーム３３が摺動可能に挿入される挿入部３５ｇを備える。支持フレーム保持部３５ａは、雄ねじ部３５ｆが外周面に形成され、楔部材３８を介してナット部材３７に螺合する。

図４の拡大断面図に示すように、楔部材３８は、筒状をなし、一端開口部から軸線方向に切り込み３８ａが複数設けられている。楔部材３８の外周面には、切り込み３８ａ側に向かって小径になるテーパ３８ｂが形成されている。挿入部３５ｇの内側面には、拡径部３５ｄが環状に形成され、その拡径部３５ｄの開口部内周面に、開口部から支持フレーム保持部３５ａ（挿入部３５ｇの軸線方向に沿って縮径するテーパ３５ｅが設けられている。テーパ３５ｅは、楔部材３８のテーパ３８ｂより傾斜が大きくされている。

楔部材３８は、切り込み３８ａが形成された開口端が位置調整部材３５側に向くように支持フレーム３３に取り付けられ、ナット部材３７の雌ねじ部３７ａを支持フレーム保持部３５ａの雄ねじ部３５ｆにねじ込む際の推進力によって支持フレーム保持部３５ａ側へ押圧される。楔部材３８は、拡径部３５ｄによって形成される支持フレーム３３と位置調整部材３５との間の隙間に先端部を挿入された後、テーパ３８ｂが図中Ｐ部で拡径部３５ｄのテーパ３５ｅに線接触して縮径され、支持フレーム３３を締め付けて固定する。これにより、支持フレーム３３の端部に位置調整部材３５が取り付けられる。

図３に示すように、保持フレーム３２は、ナット部材３７と楔部材３８に挿通され、更に位置調整部材３５の中空孔３５ｂに摺動可能に挿通される。位置調整部材３５は、支持フレーム保持部３５ａと同様に、中空孔３５ｂの一端開口部外周に雄ねじ部３５ｆが設けられている。位置調整部材３５は、保持フレーム３２の任意の位置へスライドされると、雄ねじ部３５ｆに楔部材３８を介してナット部材３７をねじ込むことにより楔部材３８で保持フレーム３２を締め付ける。これにより、位置調整部材３５は、保持フレーム３２の任意の位置に固定される。尚、位置調整部材３５を保持フレーム３２に固定する構造は、図４に示すように位置調整部材３５を支持フレーム３３に固定する構造と同様であるので詳細な説明を省略する。

上記保持フレーム３２や支持フレーム３３、位置調整部材３５、ナット部材３７、楔部材３８、キャップ３９は、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン（PE）、ポリプロピレン（PP）、ポリスチレン（PS）、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ABS樹脂（アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂）、アクリル樹脂（PMMA）など、強度があり耐腐食性に優れた樹脂を材質とする。

＜支持媒体＞
図３に示すように、支持媒体３４は、例えば接続部１２ａ，１３ａの取付溝１２ｆ，１３ｆに着脱可能に取り付けられ（図６参照）、接続部１２ａ，１３ａの接続部分を支持フレーム３３に支持させる。支持媒体３４は、支持フレーム３３に装着される本体部４１と、例えば取付溝１２ｆ，１３ｆに嵌合した状態で本体部４１に係止される連結部４２とを有し、支持フレーム３３に着脱可能に装着される。

図５の外観斜視図に示す本体部４１と連結部４２，４２は、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン(二弗化ビニリデン)）などの強度と耐腐食性があるフッ素樹脂を射出成形や切削などにより成形されている。

本体部４１は、一方に開口するＣ型形状をなすクランプ部４１ａを支持フレーム３３に嵌め合わせることにより、支持フレーム３３に着脱可能に装着されている。本体部４１は、クランプ部４１ａの内径を支持フレーム３３の直径より小さくされ、クランプ部４１ａの開口部付近の肉厚を薄くして弾性変形可能な可撓片４１ｂ，４１ｂを設けている。このような本体部４１は、可撓片４１ｂ，４１ｂを外側に弾性変形させながら支持フレーム３３をクランプ部４１ａ内へ挿入した後、可撓片４１ｂ，４１ｂを復元させることにより、支持フレーム３３に握着される。

本体部４１は、可撓片４１ｂ，４１ｂの上方に延びる延設部４１ｃ，４１ｃを有し、その延設部４１ｃ，４１ｃ上に例えば接続部１２ａ，１３ａの取付溝１２ｆ，１３ｆが配置される（図６参照）。図５に示す延設部４１ｃ，４１ｃの上端部には、連結部４２，４２の両端部に異なる構造で係合する第１係合部４１ｄと第２係合部４１ｅがそれぞれ設けられている。延設部４１ｃ，４１ｃの第１係合部４１ｄと第２係合部４１ｅは、斜向かいに配置され、第１及び第２係合部４１ｄ，４１ｅと連結部４２との係合状態を解除しにくくしている。

連結部４２は、弾性変形可能なＵ字形の帯状をなす。連結部４２は、一端に係止爪部４２ａが設けられ、他端に嵌合片４２ｂが設けられている。嵌合片４２ｂは、連結部４２に対して直角に屈曲し、さらに先端部を直角に屈曲させたくの字型に設けられている。連結部４２の内周面には、例えば図６に示すように取付溝１２ｆ，１３ｆに嵌合する凸部４２ｃが設けられている。

図５に示すように、本体部４１の第１係合部４１ｄは、係止爪部４２ａが挿通される挿通孔４１ｆが形成され、挿通孔４１ｆに挿通された係止爪部４２ａの先端部に係合するようにされている。
一方、本体部４１の第２係合部４１ｅは、嵌合片４２ｂに嵌合する嵌合凹部４１ｇが設けられている。嵌合凹部４１ｇは、第２係合部４１ｅの側面から水平方向に形成され、その先端部を下向きに形成されている。

このような支持媒体３４は、係止爪部４２ａを挿通孔４１ｆに挿通して第１係合部４１ｄに連結部４２の一端を係止させると共に、嵌合片４２ｂを嵌合凹部４１ｇに嵌合させることにより、連結部４２の他端を第２係合部４１ｅに係止させる。この位置を連結部４２の「係止位置」とする。連結部４２は、嵌合片４２ｂを嵌合凹部４１ｇに嵌合させた状態で係止位置から１８０度回転されると、嵌合片４２ｂの先端部が嵌合凹部４１ｇの開口端まで移動し、嵌合片４２ｂを嵌合凹部４１ｇから取り外せるようになる。連結部４２のこの位置を「開放位置」とする。

＜流体機器ユニットの組み付け方法＞
ここで、図１に示す流体機器ユニット１を洗浄処理システム１１００に組み付ける方法について説明する。
作業者は、例えば、洗浄処理ユニット１１０３と第３筐体１１１３との間に第３筐体１１１３の壁に沿って鉛直方向に空きスペースがある場合には、保持フレーム３２を鉛直に立てて流体機器ユニット１を空きスペースに配置する。作業者は、流体機器ユニット１を空きスペースに配置したら、キャップ３９を周囲の機器や壁に押しつけるようにキャップ３９を保持フレーム３２に対して回転させて保持フレーム３２の長さを調整し、保持フレーム３２を空きスペース内で突っ張らせる。これにより、流体機器ユニット１が空間内で倒れることを防止できる。

保持フレーム３２の全長を調整したことにより、流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５の配置がずれた場合には、位置調整部材３５を保持フレーム３２に固定するように締め付けたナット部材３７を緩め、位置調整部材３５を任意の位置へ移動させ、再度ナット部材３７を位置調整部材３５に締め付けて位置調整部材３５を保持フレーム３２に固定する。

よって、作業者は、洗浄処理ユニット１１０３と第３筐体１１１３との間の空きスペースが狭い場合でも、キャップ３９またはナット部材３７を緩めたり締め付けることで、空きスペースに対応するように支持体３１を組み付けることが可能である。そのため、工具などを用いて支持体３１を洗浄処理システム１１００に組み付ける必要がなく、流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５を空きスペースに簡単に配置することができる。

＜流体機器の着脱方法＞
次に、流体機器を支持体３１に脱着する方法について、第１流量調整弁１３のメンテナンスを例に挙げ、説明する。

先ず、図８の分解斜視図に示すように、第１流量調整弁１３と継手ブロック２４とを接続する連結部材２７から固定ピン３０を引き抜いた後、係止部２８ｃを貫通孔２９ｃから引き抜くようにして第１分割片２８と第２分割片２９とを分離させる。このとき、第１及び第２分割片２８，２９は、ヒンジ部２７ａ側の連結によりバラバラにならず、取扱いやすい。そして、継手ブロック２４を上方に引っ張って接続部２４ａを第１流量調整弁１３の接続部１３ａから引き離す。このとき、シール部材６は、引掛部９ａを接続部１３ａ，２４ａの環状凸部１３ｅ，２４ｅに引っ掛けられて、接続部１３ａ，２４ａの何れかに残り、脱落しない。

そして、図９の分解斜視図に示すように、第１流量調整弁１３の接続部１３ａと第１流量計１２の接続部１２ａを接続する連結部材２７を上記と同様にして取り外す。接続部１２ａ，１３ａは、支持媒体３４が、連結部４２，４２の凸部４２ｃ，４２ｃを取付溝１２ｆ，１３ｆに嵌合させた状態で取り付けられ（図６参照）、支持媒体３４を介して支持フレーム３３に支持されている。

そこで、図１０の分解斜視図に示すように、支持媒体３４の第１流量調整弁１３側の連結部４２を取付溝１３ｆから取り外す。具体的には、係止爪部４２ａを第１係合部４１ｄの挿通孔４１ｆから抜き出して、連結部４２を係止位置から開放位置へ回動させ、凸部４２ｃと取付溝１３ｆとの嵌合状態を解除する。これにより、接続部１３ａが支持フレーム３３に支持されなくなるので、第１流量調整弁１３を第１流量計１２と反対に引っ張って接続部１３ａを接続部１２ａから引き離す。このときも、シール部材６は、引掛部９ａを接続部１２ａ，１３ａの環状凸部１２ｅ，１３ｅの何れかに引っ掛けて脱落を防止される。

尚、開放位置に配置した連結部４２の嵌合片４２ｂを嵌合凹部４１ｇから引き抜いて連結部４２を本体部４１から取り外せば、第１流量調整弁１３の取り外し時に連結部４２が接続部１３ａに引っ掛かるなどして作業の邪魔になることがない。

第１流量調整弁１３のメンテナンスが終了したら、図１１に示す引き寄せ治具５０を装着するために、図１０に示す第１流量計１２側の連結部４２を上記と同様にして取付溝１２ｆから取り外す。

図１１に示す引き寄せ治具５０は、力を伝達する際の変形を防ぐために、剛性がある金属（ステンレス等）を材質とする。引き寄せ治具５０は、２本の柄５１Ａ，５１Ｂを交差部５２で回動自在に連結している。柄５１Ａ，５１Ｂは、先端部が内向きに屈曲し、柄５１Ａ，５１Ｂの回動方向に対して直角になるように支軸５３をそれぞれ配置されている。各支軸５３には、加圧プレート５４の支持部５４ｂが回動可能に保持されている。加圧プレート５４には、例えば接続部１２ａ，１３ａの取付溝１２ｆ，１３ｆに嵌め合わされるＵ字溝５４ａが形成されている。

図１２に示すように、例えば接続部１２ａ，１３ａを接続する場合には、シール部材６の引掛部９ａを接続部１２ａの環状凸部１２ｅに引っ掛ける。このとき、シール部材６は、環状溝７ａが接続部１２ａの環状突起１２ｄに位置合わせされる。第１流量調整弁１３は、接続部１２ａに仮装着されたシール部材６の把持部９に接続部１３ａを挿入し、環状突起１３ｄの先端を環状溝７ｂに軽く挿入する。

この時点では、接続部１２ａ，１３ａの装着溝１２ｇ，１３ｇの間隔Ｗ１が、連結部材２７の突部２８ｆ，２８ｆの間隔Ｗ２より広く、連結部材２７を接続部１２ａ，１３ａに装着できない。そこで、接続部１２ａ，１３ａの取付溝１２ｆ，１３ｆに引き寄せ治具５０の加圧プレート５４，５４を装着する。そして、引き寄せ治具５０の柄５１Ａ，５１Ｂを強く握って接続部１２ａ，１３ａを互いに近づける方向に引き寄せる。

これにより、図１３に示すように、シール部材６の環状溝７ａ，７ｂに設けた圧入代７ｃ，７ｄに接続部１２ａ，１３ａの環状突起１２ｄ，１３ｄが圧入される。装着溝１２ｇ，１３ｇの間隔Ｗ１が、連結部材２７の突部２８ｆ，２８ｆ，２９ｆ，２９ｆの間隔Ｗ２より狭くなったら、第１及び第２分割片２８，２９の突部２８ｆ，２８ｆ，２９ｆ，２９ｆを装着溝１２ｇ，１３ｇに挿入するように連結部材２７を接続部１２ａ，１３ａの周りに装着する。連結部材２７は、第１及び第２係合突起２８ｄ，２９ｄと第２及び第１係合凹部２９ｅ，２８ｅとの係合、及び、係止部２８ｃと延設部２９ａとの係合によって連結される。これにより、接続部１２ａ，１３ａが接続される。尚、連結部材２７には、延設部２８ａ，２９ａに増し締め用の固定ピン３０を予め取り付けておくと良い。

そして、引き寄せ治具５０を取付溝１２ｆ，１３ｆから外し、接続部１２ａ，１３ａと支持体３１の支持フレーム３３との間に支持媒体３４を配置する。支持媒体３４は、可撓片４１ｂ，４１ｂを撓ませながらクランプ部４１ａに支持フレーム３３を押し込むようにしてクランプ部４１ａを支持フレーム３３に嵌め合わされ、支持フレーム３３に握着される。そして、支持媒体３４の延設部４１ｃ，４１ｃ上に接続部１２ａ，１３ａを載置したら、連結部４２の嵌合片４２ｂを本体部４１の嵌合凹部４１ｇに嵌め合わせた部分を基点にして回動させ、係止爪部４２ａを本体部４１の挿通孔４１ｆに挿通して第１係合部４１ｄに係止させる。

このとき、連結部４２の凸部４２ｃを接続部１３ａの取付溝１３ｆにしっかり嵌め込み、連結部４２によって接続部１３ａを延設部４１ｃへ押し付けるようにして支持媒体３４に固定する。これと同様にして、接続部１２ａを支持媒体３４に固定する。これにより、接続部１２ａ，１３ａの接続部分が支持媒体３４を介して支持フレーム３３に支持され、第１流量調整弁１３と第１流量計１２が支持体３１に取り付けられる。

上記流体機器の脱着作業は、支持体３１がフレーム（保持フレーム３２と支持フレーム３３）を格子状に組み合わせたものであるため、作業者が保持フレーム３２と支持フレーム３３の間の空間に手を入れて行うことができる。そのため、第１及び第２エアオペレイトバルブ１１，２１及び第１及び第２流量調整弁１３，２３を第１及び第２流量計１２，２２と対向配置して配置スペースを削減させていても、第１流量調整弁１３を第１流量計１２から脱着する作業を行いやすい。

尚、脱着作業中に支持体３１が不安定になったら、保持フレーム３２が空きスペース内で突っ張るようにキャップ３９を回転させて保持フレーム３２の全長を調整することが好ましい。

＜流体機器の増設＞
次に、流体機器の増設について、図１４に示す流体機器ユニット１に別の流体機器を増設して図１５に示す流体機器ユニット８０を構成する場合を例に挙げて説明する。
図１５に示す流体機器ユニット８０は、主流路２に手動弁７１とエアオペレイトバルブ７２とレギュレータ７３が配置され、圧力調整されるようになっている。主流路２には、第１，第２副流路３，４の他に、第３，第４副流路６１，６２が接続し、薬液を分流させるようになっている。第３，第４副流路６１，６２には、第３，第４エアオペレイトバルブ７４，７６と第３，第４流量調整弁７５，７７がそれぞれ配置されている。

例えば、洗浄処理ユニット１１０３と第３筐体１１１３（図３３、図３４参照）との間に形成される空きスペースがＬ字状の場合には、図１６及び図１７に示すように、Ｌ字形の支持体８１を構成する。支持体８１は、一対の保持フレーム３２に２本の支持フレーム３３を組み合わせた第１組立体を縦置きに配置し、保持フレーム３２より長い保持フレーム３２Ａ，３２Ａの間に、支持フレーム３３より長い支持フレーム３３Ａ，３３Ａ，３３Ａを配置した第２組立体を横置きに配置している。各支持フレーム３３Ａは、位置調整部材３５を介して保持フレーム３２Ａ，３２Ａの任意の位置にそれぞれ固定されている。

縦置きにされた第１組立体は、上記支持体３１と同様に、流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５の接続部分が支持媒体３４を介して支持フレーム３３に取り付けられている。一方、横置きにされた第２組立体は、増設された流体機器が支持フレーム３３Ａに取り付けられている。

手動弁７１とエアオペレイトバルブ７２とレギュレータ７３とＬ字配管８２と分岐配管４５，４６，１５，２５と継手ブロック２４は、接続部シール構造２６を介して互いの接続部を連結され、主流路２（図１５参照）を構成している。分岐配管４５，４６には、第３及び第４エアオペレイトバルブ７４，７６と第３及び第４流量調整弁７５，７７が接続部シール構造２６を介して接続部同士を接続され、第３及び第４副流路６１，６２（図１５参照）を構成している。

支持体８１は、継手ブロック２４と手動弁７１の接続部分が支持媒体３４を介して支持フレーム３３Ａに支持されている。また、継手ブロック２４，２４と第３，第４流量調整弁７５，７７の接続部分が支持媒体３４を介して別の支持フレーム３３Ａに支持されている。更に、レギュレータ７３とＬ字配管８２との接続部分と、第３及び第４エアオペレイトバルブ７４，７６と分岐配管４５，４６との接続部分が支持媒体３４を介して更に別の支持フレーム３３Ａに支持されている。

ところで、図１７に示すように、手動弁７１とエアオペレイトバルブ７２とレギュレータ７３は、ポート高さや取付寸法が異なっている。そのため、従来技術のようにブラケットに取り付けた場合には、ポート位置の高いレギュレータ７３に対して手動弁７１やエアオペレイトバルブ７２のポート高さを合わせるように専用のブラケットの設計を必要とした。

しかし、支持体８１は、支持媒体３４を介して、継手ブロック２４と手動弁７１の接続部分、手動弁７１とエアオペレイトバルブ７２の接続部分、レギュレータ７３とＬ字配管８２の接続部分を支持フレーム３３Ａに支持させている。そして、保持フレーム３２Ａや支持フレーム３３Ａの間は、空間になっており、流体機器の高さや配置、大きさなどに制限を与えない。よって、レギュレータ７３とエアオペレイトバルブ７２と手動弁７１と継手ブロック２４は、ブラケットのように下面を基準とするのではなく、各接続部分を基準に支持体８１の支持フレーム３３Ａに取り付けられる。そのため、レギュレータ７３とエアオペレイトバルブ７２と手動弁７１は、ポート高さや取付高さの違いに関係なく第３及び第４エアオペレイトバルブ７４，７６と第３及び第４流量調整弁７５，７７の各接続部分を支持する支持フレーム３３Ａに対して、取り付けることができる。

＜支持体の変形例＞
ここで、図１８の外観斜視図に示すように、支持体８５は、形状が異なる位置調整部材３５，８６，８７を用いて保持フレーム３２と支持フレーム３３を格子状に組み上げて構成されている。位置調整部材８６は、２本の支持フレーム３３が固定され、位置調整部材８７は、３本の支持フレーム３３が固定される。位置調整部材８６，８７の支持フレーム３３の固定構造は、図３、図４に示す位置調整部材３５と同様なので、説明を省略する。

流体機器取付構造５では、共通の保持フレーム３２、支持フレーム３３、位置調整部材３５，８６，８７を用いて、二次元的な支持体３１や三次元的な支持体８５を任意に組み立てることができる。そのため、支持体３１，８５は、空きスペースや流体機器のレイアウトにあわせて任意に構成でき、専用の支持体を設計する必要がない。

＜作用効果＞
第１実施形態の流体機器取付構造５は、複数のフレーム（２本の保持フレーム３２と２本の支持フレーム３３）を格子状に組み合わせて支持体３１を構成し、流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５の各接続部分を支持フレーム３３で支持することにより、複数の流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５を支持体３１に取り付ける。そのため、例えば、第１及び第２流量計１２，２２を第１及び第２エアオペレイトバルブ１１，２１や第１及び第２流量調整弁１３，２３と支持体３１を挟んで対向配置したり、分岐配管１５，２５と第１及び第２エアオペレイトバルブ１１，２１と第１及び第２流量調整弁１３，２３とを上下に配置することができる。このように、第１実施形態の流体機器取付構造５は、流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５を三次元方向に自由に配置し、流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５の配置スペースを低減できる。例えば、本実施形態の流体機器取付構造５では、流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５をブラケットに二次元的に配置する場合と比べ、流体機器の配置スペースを約半分にすることができる。

この結果、例えば図１７に示す流体機器ユニット８０のように、ポート高さや取付寸法が異なる手動弁７１、エアオペレイトバルブ７２、レギュレータ７３を有する場合でも、継手ブロック２４，手動弁７１、エアオペレイトバルブ７２、レギュレータ７３の各接続部分を支持フレーム３３Ａに支持させて継手ブロック２４，手動弁７１、エアオペレイトバルブ７２、レギュレータ７３を支持体８１に取り付けることが可能になり、専用の支持体を設計する設計工数を削減できる。

また、流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５の設置先に、全ての流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５を平面的に配置するだけの空きスペースがない場合でも、例えば、Ｌ字形の空きスペースがある場合には、その空きスペースに対応させるように保持フレーム３２と支持フレーム３３を組み合わせてＬ字形の支持体８１を構成する（図１６及び図１７参照）。そして、各支持フレーム３３に流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５同士の接続部分を支持させれば、全ての流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５を空きスペースに収めることができるようになる。

そして仮に、流体機器の数が多く、直方体状の空きスペースがある場合には、例えば図１８に示すように保持フレーム３２と支持フレーム３３を組み合わせて直方体状の支持体８５を構成し、支持フレーム３３に支持媒体３４を介して流体機器の接続部分を支持させれば良い。このように、保持フレーム３２と支持フレーム３３と位置調整部材３５，８６，８７と支持媒体３４を標準化しているので、任意の形状の支持体３１，８１，８５を二次元でも三次元でも構成でき、支持体の設計工数を削減できる。更には、流体機器の増設に伴う支持体３１，８１，８５の形状変更も容易である。

第１実施形態の流体機器取付構造５は、支持フレーム３３の両端部に位置調整部材３５を取り付け、支持フレーム３３を保持フレーム３２に対して位置決め固定するので、流体機器のレイアウトに合わせて支持フレーム３３の配置を容易に調整でき、流体機器１１〜１３，１５，２１〜２５を支持体３１に取り付ける際の作業性が良い。

第１実施形態の流体機器取付構造５は、例えば第１流量計１２と第１流量調整弁１３が、外周面に取付溝１２ｆ，１３ｆが設けられた同一形状の接続部１２ａ，１３ａを有し、接続部１２ａ，１３ａの取付溝１２ｆ，１３ｆに着脱可能に取り付けられ、接続部１２ａ，１３ａの接続部分を支持フレーム３３に支持させる支持媒体３４を有する。このような第１実施形態の流体機器取付構造５は、第１流量計１２の接続部１２ａと第１流量調整弁１３の接続部１３ａとの接続部分を支持媒体３４を介して支持フレーム３３に簡単に脱着できる。

第１実施形態の流体機器取付構造５は、支持フレーム３３に装着される本体部４１に対して、例えば取付溝１２ｆ，１３ｆに凸部４２ｃを嵌合した連結部４２を係止させることにより、接続部１２ａ，１３ａを支持フレーム３３に支持させる。一方、連結部４２と本体部４１の係止状態を解除することにより、接続部１２ａ，１３ａが支持フレーム３３に支持されなくなる。よって、第１実施形態の流体機器取付構造５によれば、連結部４２によって接続部１２ａ，１３ａを支持フレーム３３に簡単に脱着することができる。

第１実施形態の流体機器取付構造５は、支持媒体３４が支持フレーム３３に着脱可能に装着されるので、流体機器のレイアウトに合わせて支持媒体３４を簡単に配置できる。

第１実施形態の流体機器取付構造５は、流体機器同士を引き寄せて接続する引き寄せ治具５０が取り付けられる取付溝１２ｆ，１３ｆを利用して、支持媒体３４を流体機器の接続部分に取り付けるため、支持媒体３４を取り付けるための加工が不要である。

第１実施形態の流体機器取付構造５は、ベルト状の連結部４２が、一端を本体部４１の第２係合部４１ｅに回動可能に保持され、他端を本体部４１の第１係合部４１ｄに着脱可能に係合されており、連結部４２が個々の流体機器の接続部に嵌合して各接続部を支持体３１の支持フレーム３３に個別に支持させるので、メンテナンス等で流体機器の脱着作業を行い易い。

（第２実施形態）
次に、本発明の流体機器取付構造の第２実施形態について図面を参照しながら説明する。図１９は、第２実施形態に係る流体機器取付構造９０の外観斜視図である。
流体機器取付構造９０は、保持フレーム９４と支持フレーム９６の形状が第１実施形態と相違し、その他の点が第１実施形態と共通する。ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、第１実施形態と共通する点は図面に第１実施形態と同一の符号を付し、適宜説明を省略する。

流体機器取付構造９０は、保持フレーム９４と支持フレーム９６を格子状に組み合わせて支持体９１を構成している。保持フレーム９４と支持フレーム９６は、中空部を備えるパイプ状のものである。保持フレーム９４と支持フレーム９６は、軸線方向に所定長の収納孔９４ｂ，９６ｂと、円形状の貫通孔９４ａ，９６ａを形成されたパイプを所望の長さに切断して構成されている。位置調整部材９５には、固定ピン９５ａを挿通するための挿通孔が設けられ、この挿通孔を保持フレーム９４の貫通孔９４ａに位置合わせして固定ピン９５ａを挿し通すことにより、位置調整部材９５が保持フレーム９４に対して位置決め固定されるようになっている。尚、保持フレーム９４の両端部には、キャップ９７，９８がピンなどを貫通孔９４ａに挿通して位置決め固定されている。

そして、流体機器取付構造９０は、第１及び第２流量計１２，２２の配線と第１及び第２エアオペレイトバルブ１１，２１の操作ポートに接続する配管の少なくとも一方を収納孔９４ｂ，９６ｂから保持フレーム９４や支持フレーム９６の中空部に引き込んで収納している。

よって、第２実施形態の流体機器取付構造９０によれば、第１及び第２流量計１２，２２の配線や第１及び第２エアオペレイトバルブ１１，２１に接続する配管を収納孔９４ｂから保持フレーム９４内に引き入れたり、収納孔９６ｂから支持フレーム９６内に引き入れることによって保持フレーム９４や支持フレーム９６に収納してまとめることができ、流体機器の着脱時に配線や配管が邪魔にならず、流体機器を支持体９１に着脱しやすい。

（第３実施形態）
続いて、本発明の流体機器取付構造の第３実施形態について図面を参照して説明する。図２０は、第３実施形態に係る流体機器取付構造１００の外観斜視図である。
第３実施形態の流体機器取付構造１００は、流体機器を配管チューブ１０３を介して接続するものであって、支持媒体１１０の形状が第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、共通する点は第１実施形態と同一の符号を図面に付し、説明を適宜省略する。

流体機器取付構造１００は、「流体機器」の一例であるエアオペレイトバルブ１０１を樹脂製の配管チューブ１０３で接続して流体機器ユニットを構成している。配管チューブ１０３は、継手１０２を介してエアオペレイトバルブ１０１の接続部１０１ａに接続されている。接続部１０１ａの外周面には、第１実施形態の取付溝１３ｆと同様の取付溝１０１ｆが形成されている。

支持媒体１１０は、クランプ部４１ａを備える本体部１１１に延設部４１ｃが一つだけ設けられ、その延設部４１ｃに連結部４２が係止されている。クランプ部４１ａ及び連結部４２の係止構造は、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。

このような流体機器取付構造１００では、支持媒体１１０がエアオペレイトバルブ１０１の側面に沿って延設部４１ｃを配置し、接続部１０１ａの取付溝１０１ｆに連結部４２を嵌合させた状態で支持フレーム３３に装着されている。支持媒体１１０は、クランプ部４１ａにおいて支持フレーム３３に握着されているので、エアオペレイトバルブ１０１と配管チューブ１０３との接続部分を片持ちして支持する。

このような流体機器取付構造１００は、エアオペレイトバルブ１０１が、外周面に取付溝１０１ｆを形成された接続部１０１ａを有し、その接続部１０１ａに配管チューブ１０３を着脱可能に接続している。そして、流体機器取付構造１００では、取付溝１０１ｆに取り付けられ、接続部１０１ａと配管チューブ１０３との接続部分を支持媒体１１０により支持フレーム３３に支持させている。このような第３実施形態の流体機器取付構造１００は、エアオペレイトバルブ１０１の接続部１０１ａと配管チューブ１０３とを支持媒体１１０を介して支持フレーム３３に簡単に脱着できる。

また、第３実施形態の流体機器取付構造１００は、エアオペレイトバルブ１０１の側面に沿って支持媒体１１０の延設部４１ｃを配置し、接続部１０１ａと配管チューブ１０３との接続部分を片持ちしている。そのため、ポート高さや取付寸法が異なる流体機器同士であっても、その接続部分を支持媒体１１０で支持することができる。よって、第３実施形態の流体機器取付構造１００によれば、流体機器の種類によらず支持媒体１１０を共通で使用することができる。

（第４実施形態）
続いて、本発明の流体機器取付構造に係る第４実施形態を説明する。図２１は、本発明の第４実施形態に係る流体機器取付構造１１０の外観斜視図である。
第４実施形態の流体機器取付構造１１０は、支持媒体１３０の形状が第１実施形態と相違している。また、支持媒体１３０は、本体部１３１を他の本体部１５１，１７１，１８２に交換することによって、支持フレーム３３と異なる形状のフレーム（レール１４１、板状フレーム１６１）に取り付けられる。また、接続部を支持体３１で支持できない場合に、補強部材１８１により流体機器の接続部分の補強を行う。これらの点を除き、第４実施形態の流体機器取付構造１１０は、第１実施形態の流体機器取付構造１１０と同様に構成される。ここでは、第１実施形態と異なる点を中心に説明し、共通する点は第１実施形態と同じ符号を図面に記載し、適宜説明を省略する。

流体機器の一例である第１〜第４エアオペレイトバルブ１１１，１１２，１１３，１１４は、同じ形状をなす。第１〜第４エアオペレイトバルブ１１１〜１１４は、耐腐食性を確保するために、機能的に弾性や強度を必要とするもの（例えば、ばねやねじ等）を除き、樹脂を材質とする部品を組み立てて構成されている。第１〜第４エアオペレイトバルブ１１１〜１１４は、支持媒体１３０を取り付けられる接続部１１１ａ，１１２ａ，１１３ａ，１１４ａの形状は同じである。よって、以下では、第１及び第２エアオペレイトバルブ１１１，１１２の接続部分の支持と、第２及び第３エアオペレイトバルブ１１２，１１３の接続部分の補強に焦点を当てて説明し、その他の説明を省略する。

図２２は、図２１に示す支持媒体１３０による支持部分の断面図である。図２３は、図２１に示す支持媒体１３０の分解斜視図である。
第１及び第２エアオペレイトバルブ１１１，１１２は、樹脂製の接続部１１１ａ，１１２ａを有する。接続部１１１ａ，１１２ａは、流路１１１ｂ，１１２ｂ，シール溝１１１ｃ，１１２ｃ、環状突起１１１ｄ，１１２ｄ、環状凸部１１１ｅ，１１２ｅ、取付溝１１１ｆ，１１２ｆ、装着溝１１１ｇ，１１２ｇが、第１実施形態の接続部１２ａ、流路１２ｂ、シール溝１２ｃ、環状突起１２ｄ、環状凸部１２ｅ、取付溝１２ｆ、装着溝１２ｇと同様に設けられている。接続部１１１ａ，１１２ａは、環状突起１１１ｄ，１１２ｄをシール部材６に形成した環状溝７ａ，７ｂの圧入代７ｃ，７ｄに圧入することによって、流路１１１ｂ，１１２ｂの接続部分外周を径方向にシールした状態で接続されている。この接続状態は、接続部１１１ａ，１１２ａの接続部分に装着した連結部材１２０により維持されている。

連結部材１２０は、第１及び第２分割片２８，２９に、接続部１１１ａ，１１２ａの接続部分の外側に露出する把持部９又は張出部８の外縁部を外部から視認してシール部材６の有無を確認するための露呈部１２１が設けられている。第１及び第２分割片２８，２９は、突部１２２，１２３，１２４，１２５が接続部１１１ａ，１１２ａの装着溝１１１ｇ，１１２ｇに配置される。突部１２２，１２３，１２４，１２５は、装着溝１１１ｇ，１１２ｇに沿って配置されるように円弧状をなす。連結部材１２０は、第１及び第２分割片２８，２９を引き寄せていない場合には、突部１２２，１２３，１２４，１２５のストレート部１２２ａ，１２３ａ，１２４ａ，１２５ａを装着溝１１１ｇ，１１２ｇの端面側内側面に当接させ、接続部１１１ａ、１１２ａの間に配置したシール部材６の反発力に抗して接続部１１１ａ，１１２ａの接続状態を維持するようにしている。第１及び第２分割片２８，２９は、ストレート部１２２ａ，１２３ａ，１２４ａ，１２５ａの外径方向に連結側テーパ部１２２ｂ，１２３ｂ，１２４ｂ，１２５ｂが設けられている。接続部１１１ａ，１１２ａは、装着溝１１１ｇ，１１２ｇの端面側内側面の外側に沿って接続側テーパ部１１１ｈ，１１２ｈが設けられ、第１及び第２分割片２８，２９を引き寄せた場合に接続側テーパ部１１１ｈ，１１２ｈに連結側テーパ部１２２ｂ，１２３ｂ，１２４ｂ，１２５ｂが摺接して接続部１１１ａ，１１２ａに互いに近づける方向の力を付与するようになっている。

支持媒体１３０は、支持フレーム３３を挟むように本体部１３１と連結部１３２とを配置している。本体部１３１と連結部１３２は、耐腐食性を確保するために、フッ素樹脂を材質としている。図２３に示すように、支持媒体１３０は、連結部１３２に弾性変形可能に設けた４個の係止爪部１３２ｆ，１３２ｆ，１３２ｆ，１３２ｆを本体部１３１の掛止部１３１ｆ，１３１ｆ，１３１ｆ，１３１ｆに設けた挿通孔１３１ｇ，１３１ｇ，１３１ｇ，１３１ｇにそれぞれ弾性変形させながら挿通し、各係止爪部１３１ｆの先端を挿通孔１３１ｇの開口端部に引っ掛けて掛止部１３１ｆに係止させることにより、本体部１３１と連結部１３２とを一体化している。図２２に示すように、支持媒体１３０は、本体部１３１の載置部１３１ａ，１３１ｂに形成した載置面１３１ｃ，１３１ｄと、連結部１３２の連結側突起部１３２ａ，１３２ｂに形成した段差部１３２ｃ，１３２ｄとを接続部１１１ａ，１１２ａの外周面１１１ｉ，１１２ｉに接触させて接続部１１１ａ，１１２ａを挟み込み、接続部１１１ａ，１１２ａに対して流路軸線方向と直交する方向にがたつかないようにされている。図２１に示すように、支持媒体１３０は、載置部１３１ａ，１３１ｂの間の空隙部１３１ｈと連結側突起部１３２ａ，１３２ｂの間の空隙部１３２ｈにより形成される空間に、連結部材１２０の延設部２８ａ，２９ａが配置されている。

図２２に示すように、支持媒体１３０は、第１及び第２エアオペレイトバルブ１１１，１１２の接続部１１１ａ，１１２ａに形成した取付溝１１１ｆ，１１２ｆに、連結部１３２の連結側突起部１３２ａ，１３２ｂを、所定の隙間を空けて配置されている。連結部材１２０の第１及び第２分割片２８，２９を引き寄せて増し締めする前の初期状態では、連結側突起部１３２ａ，１３２ｂは、取付溝１１１ｆ，１１２ｆの端面側内側面に接触し、支持媒体１３０が流路１１１ｂ，１１２ｂの軸線方向へがたつくのを防いでいる。この初期状態において、連結側突起部１３２ａ，１３２ｂは、取付溝１１１ｆ，１１２ｆの端面側内側面に対向する反端面側内側面との間に所定の隙間を空けている。そのため、第１及び第２分割片２８，２９を引き寄せて連結側テーパ部１２２ｂ，１２３ｂ，１２４ｂ，１２５ｂを接続側テーパ部１１１ｈ，１１２ｈに摺接させた場合に、接続部１１１ａ、１１２ａは、外周面１１１ｉ，１１２ｉを支持媒体１３０の段差部１３２ｃ，１３２ｄと載置面１３１ｃ，１３１ｄに摺接させながら互いに近づく方向へ移動し、シール力を増加させることが可能である。

連結部１３２は、連結側突起部１３２ａ，１３２ｂが連結側結合部１３２ｅにより結合されて一体化され、連結側突起部１３２ａ，１３２ｂの平行状態が維持される。そのため、本体部１３１に連結部１３２を係合させて構成した支持媒体１３０は、連結部１３２の連結側結合部１３２ｅにより、曲げやねじれに対する強度が補強されている。

図２２及び図２３に示すように、支持媒体１３０は、載置部１３１ａ，１３１ｂを本体側結合部１３１ｅにより結合して一体化し、取扱い易くしている。図２１に示すように、支持媒体１３０は、本体部１３１に立設した４個の脚部１３１ｉにより支持フレーム３３を挟み込むことにより、支持フレーム３３に取り付けられる。脚部１３１ｉは、本体部１３１に弾性変形可能に垂設され、支持フレーム３３に接する面に円弧状の凹面１３１ｊが形成されている。このような脚部１３１ｉは、凹面１３１ｊを支持フレーム３３の外周に密着させて支持フレーム３３に支持媒体１３０を位置決め固定する。

尚、支持媒体１３０は、連結側結合部１３２ｅに窓部１３２ｇが形成され、延設部２８ａ，２９ａを上向きにして連結部材１２０を接続部１１１ａ，１１２ａの接続部分に装着した場合に、その延設部２８ａ，２９ａを窓部１３２ｇに配置することにより係止爪部１３２ｆを掛止部１３１ｆに引っ掛けて係止させることを可能にしている。また、窓部１３２ｇは、連結部材１２０に空けられた露呈部１２１からシール部材６の有無を確認できるようになっている。

上記流体機器取付構造１１０では、例えば、第１及び第２エアオペレイトバルブ１１１，１１２の自重や外力などにより、接続部１１１ａ，１１２ａの接続部分を支点として当該接続部分に撓み方向の力が作用した場合でも、接続部１１１ａ，１１２ａを支持体３１に支持させるための支持媒体１３０が連結側突起部１３２ａ，１３２ｂを連結側結合部１３２ｅで結合して一体化し、曲げやねじれに対する強度を補強されているため、接続部１１１ａ、１１２ａの接続部分を撓ませない。よって、本実施形態の流体機器取付構造１１０によれば、接続部１１１ａ，１１２ａの接続部分に第１及び第２エアオペレイトバルブ１１１，１１２の自重や外力が加わっても接続部１１１ａ，１１２ａが撓むことがないため、当該接続部分の間から漏れが生じることがない。

ところで、支持体３１は、フレームを格子状に組み立てて構成されるが、そのフレームは、図２１の支持フレーム３３のように棒やパイプ状でなくても、図２４に示すレール１４１や図２９に示す板状フレーム１６１であっても良い。レール１４１や板状フレーム１６１には、本体部１３１を用いて第１及び第２エアオペレイトバルブ１１１，１１２の接続部分をレール１４１や板状フレーム１６１に取り付けることができない。そのため、本実施形態の流体機器取付構造１１０では、支持フレーム３３用の本体部１３１をレール１４１用の本体部１５１や板状フレーム１６１用の本体部１７１に交換して、本体部１５１，１７１に連結部１３２を係合させることによって支持媒体１３０を構成できるようにしている。

図２４は、第１及び第２エアオペレイトバルブ１１１，１１２をレール１４１に取り付けた状態を示す外観斜視図である。
レール１４１は、樹脂を材質とする。レール１４１は、断面矩形状をなし、軸線方向に長くレール溝１４３が形成されている。レール溝１４３は、レール１４１の一側面に開口し、その開口部１４２はレール溝１４３より幅が小さくなっている。支持媒体１３０は、本体部１５１がレール溝１４３にスライド可能に保持され、固定ナット１５３でレール１４１に対して固定されるようになっている。本体部１５１は、脚部１５２を除き、本体部１３１と同様に載置部１３１ａ，１３１ｂ、載置面１３１ｃ，１３１ｄ、本体側結合部１３１ｅ、掛止部１３１ｆ、挿通孔１３１ｇ、空隙部１３１ｈを有する。

図２５は、本体部１５１の分解斜視図である。
脚部１５２は、本体部１５１の真下に突出するように立設されている。脚部１５２は、レール１４１の開口部１４２の溝幅より太く形成されて外周面に雄ねじが形成されたねじ部１５２ａと、ねじ部１５２ａに接続して開口部１４２の溝幅より細く形成されて開口部１４２に沿ってスライド可能なスライド部１５２ｂと、スライド部１５２ｂの先端に設けられた長方形状の板状ストッパ部１５２ｃとを有する。ストッパ部１５２ｃは、長手方向寸法が開口部１４２の溝幅より大きく、開口部１４２の開口端部に引っ掛けることにより本体部１５１をレール１４１から抜けないようにする。一方、固定ナット１５３は、円板形をなし、ねじ部１５２ａに螺合可能な雌ねじ孔１５３ｂが形成されている。固定ナット１５３は、雌ねじ孔１５３ｂ上に長孔１５３ａが形成され、ストッパ部１５２ｃとスライド部１５２ｂを挿通できるようにしている。

このような本体部１５１をレール１４１に取り付ける方法を図２６〜図２８を参照しながら説明する。図２６は、本体部１５１の脚部１５２をレール溝１４３に挿入した状態を示し、特に、（ａ）は外観斜視図を示し、（ｂ）は（ａ）のＢＢ断面図である。図２７は、本体部１５１の脚部１５２をレール１４１に抜け不能に取り付けた固定前の状態を示し、（ａ）は外観斜視図を示し、（ｂ）は（ａ）のＣＣ断面図を示す。図２８は、本体部１５１の脚部１５２をレール１４１に固定した後の状態を示す断面図である。
先ず、図２６（ａ）（ｂ）に示すように、ストッパ部１５２ｃを固定ナット１５３の長孔１５３ａに挿通し、雌ねじ孔１５３ｂにねじ部１５２ａをねじ込むことにより、固定ナット１５３を脚部１５２に取り付ける。そして、本体部１５１のストッパ部１５２ｃをレール１４１の開口部１４２からレール溝１４３に挿入する。

そして、図２７（ａ）に示すように、本体部１５１を９０度回転させ、図２７（ｂ）に示すように、ストッパ部１５２ｃが開口部１４２の開口端部に引っ掛かるようにする。この時点では、固定ナット１５３がねじ部１５２ａに締め付けられておらず、ストッパ部１５３ｃと開口部１４２の開口端部との間に隙間がある。よって、本体部１５１は、レール溝１４３に沿ってスライドし、任意の位置へ移動できる。

そして、図２８に示すように、固定ナット１５３を回転させ、雌ねじ孔１５３ｂとねじ部１５２ａのねじ送りによって本体部１５１を上昇させる。ストッパ部１５２ｃがレール１４１の内壁に押し付けられて固定ナット１５３との間で開口部１４２の開口端部を挟持すると、固定ナット１５３が回転しなくなる。これにより、本体部１５１がレール１４１に固定され、スライドできなくなる。

このようにレール１４１に固定した本体部１５１に第１及び第２エアオペレイトバルブ１１１，１１２の接続部１１１ａ，１１２ａの接続部分を配置し、連結部１３２の係止爪部１３２ｆを本体部１５１の掛止部１３１ｆに係止させて連結部１３２を本体部１５１に固定する。これにより、接続部１１１ａ，１１２ａの接続部分が支持媒体１３０を介してレール１４１に支持されるようになる。

図２９は、流体機器の接続部分を取付孔１６２を有する板状フレーム１６１に取り付けた状態を示す外観斜視図である。図３０は、図２９に示す流体機器取付構造の分解斜視図である。
板状フレーム１６１は、樹脂を材質とする長い板状のものであり、複数の取付孔１６２が等間隔に幅方向と長手方向に形成されている。支持媒体１３０の本体部１７１は、４個の脚部１７２が真下に突出するように立設されている。脚部１７２は、取付孔１６２の間隔に対応して等間隔に設けられている。脚部１７２は、取付孔１６２より大径の大径部１７２ａと、大径部１７２ａより小径で取付孔１６２に挿通できる取付軸部１７２ｂとを有する。取付軸部１７２ｂの外周面には雄ねじが形成され、固定ナット１７３が螺合されるようになっている。

このような本体部１７１は、取付軸部１７２ｂを板状フレーム１６１の取付孔１６２にそれぞれ貫き通し、大径部１７２ａを板状フレーム１６１に突き当てる。そして、板状フレーム１６１から突き出す取付軸部１７２ｂに固定ナット１７３をそれぞれ締め付け、本体部１７１を板状フレーム１６１に固定する。

このように板状フレーム１６１に固定した本体部１７１に第１及び第２エアオペレイトバルブ１１１，１１２の接続部１１１ａ，１１２ａの接続部分を配置し、連結部１３２の係止爪部１３２ｆを本体部１７１の掛止部１３１ｆに係止させて連結部１３２を本体部１７１に固定する。これにより、接続部１１１ａ，１１２ａの接続部分が支持媒体１３０を介して板状フレーム１６１に支持されるようになる。

よって、本実施形態の流体機器取付構造１１０によれば、支持媒体１３０の本体部１３１をレール１４１用の本体部１５１や板状フレーム１６１用の本体部１７１に交換するだけで、支持媒体１３０を支持フレーム３３だけでなくレール１４１や板状フレーム１６１に取り付けて接続部１１１ａ，１１２ａの接続部分をレール１４１や板状フレーム１６１に支持させることが可能である。このように、支持媒体１３０の連結部１３２を本体部１３１，１５１，１７１に共通して使用し、異なる種類のフレームに接続部１１１ａ，１１２ａの接続部分を支持させることができるので、フレームの種類別に支持媒体を設計する必要がなく、部品点数を減らすことができる。

ところで、洗浄処理ユニット１１０３のように狭い隙間に流体機器を配置する場合、空きスペースの関係上、例えば図２１に示すように、全ての流体機器の接続部分を支持体３１に取り付けるとは限らない。支持媒体１３０が取り付けられない流体機器の接続部分は、流体機器の重さや外力によって撓みやすい。そのため、本実施形態の流体機器取付構造１１０では、補強部材１８１を用いて流体機器の接続部分を補強するようにしている。

図３１は、図２１に示す補強部材１８１による補強構造の断面図である。
補強部材１８１は、連結部１３２（第１部品の一例）を本体部１８２（第２部品の一例）に係合させて構成されている。本体部１８２は、脚部１３１ｉを備えないこと、及び、載置部１３１ａ，１３１ｂに本体側突起部１８２ａ，１８２ｂ（第２部品側突起部の一例）を突設したこと、及び、本体部１８２に窓部１８２ｃを設けたことを除いて、支持媒体１３０の支持体１３１と同様に載置部１３１ａ，１３１ｂ、載置面１３１ｃ，１３１ｄ、本体側結合部１３１ｅ（第２部品側結合部の一例）、掛止部１３１ｆ（第２掛止部の一例）、挿通孔１３１ｇ、空隙部１３１ｈを有する。補強部材１８１は、本体部１８２に脚部１３１ｉを設けないことにより設置スペースが小さくされているので、支持フレーム３３を配置できないような狭い場所でも流体機器の接続部分のみを補強することが可能である。

このような補強部材１８１は、例えば図２１及び図３１に示すように、連結部１３２の係止爪部１３２ｆ（第２係止爪部の一例）を本体部１８２の掛止部１３１ｆに設けられた挿通孔１３１ｇに挿通して掛止部１３１ｆに引っ掛けるようにして係止させ、連結部１３２の連結側突起部１３２ａ，１３２ｂ（一対の第１部品側突起部の一例）と本体部１８２の本体側突起部１８２ａ，１８２ｂを接続部１１２ａ，１１３ａの外周面１１２ｉ，１１３ｉに接触させた状態で第２エアオペレイトバルブ１１２の取付溝１１２ｆと第３エアオペレイトバルブ１１３の取付溝１１３ｆに配置する。これにより、補強部材１８１は、接続部１１２ａ，１１３ａに対して位置決めされた状態で装着される。ここで、補強部材１８１は、本体部１８２と連結部１３２の空隙部１３１ｈ、１３２ｈによって形成される空間や、本体部１８２と連結部１３２の窓部１８２ｃ，１３２ｇにより、連結部１２０の延設部２８ａ，２９ａを任意の方向へ向けた状態で接続部１１２ａ，１１３ａに装着することができる。

第２及び第３エアオペレイトバルブ１１２，１１３の接続部１１２ａ，１１３ａの接続部分には、第２及び第３エアオペレイトバルブ１１２，１１３の自重や外力によって、接続部１１２ａ，１１３ａの接続部分を支点として撓む力が作用することがある。しかし、接続部１１２ａ，１１３ａの接続部分に装着された補強部材１８１は、連結側突起部１３２ａ，１３２ｂが連結側結合部１３２ｅ（第１部品側結合部の一例）により結合されて一体化されると共に、本体側突起部１８２ａ，１８２ｂが本体側結合部１３１ｅにより結合されて一体化されているため、曲げやねじれに対する強度が強い。そのため、接続部１１２ａ，１１３ａの接続部分に撓む力が作用しても、連結側突起部１３２ａ，１３２ｂの位置関係と本体側連結部１３１ａ，１３１ｂの位置関係がずれず、接続部１１２ａ，１１３ａの撓みが防止される。よって、本実施形態の流体機器取付構造１１０によれば、例えば、第２及び第３エアオペレイトバルブ１１２，１１３の接続部分のように、支持体３１に支持されない流体機器の接続部分がある場合でも、その接続部分に補強部材１８１を装着して当該接続部分の強度を補強することにより、当該接続部分の撓みを防止してシール力の低下を防ぐことができる。

また、本実施形態の流体機器取付構造１１０では、補強部材１８１が支持媒体１３０と共通の連結部１３２を本体部１８２に係合させることにより構成されるため、補強部材１８１と支持媒体１３０とで部品を共通化し、コストダウンを図ることができる。

尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
（１）例えば、上記実施形態では、保持フレームの外周面に凹部を軸線方向に沿って設け、保持フレームに支持フレームを連結する部材の内周面に凹部に嵌合する凸部を設け、支持フレームの高さを調整できるようにしても良い。逆に、保持フレームの外周面に凸部を軸線方向に沿って設け、保持フレームに支持フレームを支持する部材の内周面に凸部に嵌合する凹部を設け、支持フレームの高さを調整するようにしても良い。

（２）例えば、支持媒体は、単品で流体機器を支持体に取り付けられるように、流体機器の下面に当接する座面を有し、その座面の両側に延設部４１ｃ，４１ｃを立設させて連結部４２を延設部４１ｃ，４１ｃに設けても良い。

（３）上記実施形態では、支持媒体３４を支持フレーム３３に着脱可能にしたが、支持媒体３４と支持フレーム３３とを一体に設けてもよい。
（４）上記実施形態では、支持フレーム３３と保持フレーム３２を樹脂製パイプで設けたが、棒材や角材などで支持フレーム３３や保持フレーム３２を構成してもよい。
（５）上記実施形態では、係止爪部４２ａを本体部４１の挿通孔４１ｆに挿通して本体部４１，１１１に係止させたが、ピンなどを用いて連結部４２を本体部４１，１１１に係止させてもよい。また、上記実施形態では、嵌合凹部４１ｇに嵌合片４２ｂを嵌合させて連結部４２を本体部４１に回動可能に保持させたが、連結部４２の一端と本体部４１，１１１とを回転軸で係合させてヒンジを構成し、連結部４２を本体部４１，１１１に回動可能に保持させてもよい。
（６）上記第４実施形態では、取付溝１１２ｆ，１１３ｆに配置される連結側突起部１３１ａ，１３１ｂを連結部１３１に設け、取付溝１１２ｆ，１１３ｆに配置される本体側突起部１８２ａ，１８２ｂを本体部１８２に設けたが、取付溝１１２ｆ，１１３ｆに配置される一対の突起部は、連結部１３１と本体部１８２の何れか一方のみに設けても良い。
（７）上記第４実施形態では、板状フレーム１６１の厚さに臨機応変に対応できるように、本体部１７１の脚部１７２に雄ねじを形成して固定ナット１７３を締め付けることにより、支持媒体１３０を板状フレーム１６１に取り付けた。これに対して、例えば、板状フレーム１６１の板厚が一定の場合等には、脚部１７２の所定位置にワッシャを取り付けるための環状溝や固定ピンを取り付けるためのピン孔を形成し、板状フレーム１６１の取付孔１６２に挿通した脚部１７２にワッシャや固定ピンなどを取り付けることにより、支持媒体１３０を板状フレーム１６１に取り付けるようにしても良い。

５，９０，１００，１１０ 流体機器取付構造
６ シール部材
１１〜１２，２１〜２５，７１〜７７，１０１，１１１〜１１４ 流体機器
１１ａ〜１２ａ，２１ａ〜２５ａ，７１ａ〜７７ａ，１０１ａ，１１１ａ〜１１３ａ 接続部
１１ｆ〜１２ｆ，２１ｆ〜２５ｆ，７１ｆ〜７７ｆ，１０１ｆ，１１１ｆ〜１１３ｆ 取付溝
３１、９１ 支持体
３２，９４ 保持フレーム（フレーム）
３３，９６ 支持フレーム（フレーム）
３４，１１０，１３０ 支持媒体
３５，８６，８７ 位置調整部材
４１，１１１ 本体部
４２ 連結部
５０ 引き寄せ治具
１３１，１５１，１７１，１８２ 本体部
１３２ 連結部
１３１ｆ 掛止部（第１，第２掛止部）
１３２ａ，１３２ｂ 連結側突起部（第１，第２連結側突起部、一対の第１部品側突起部）
１３２ｅ 連結側結合部（第１部品側結合部）
１３２ｆ 係止爪部（第１，第２係止爪部）
１４１ レール（支持体、フレーム）
１６１ 板状フレーム（支持体、フレーム）
１８１ 補強部材
１８２ 本体部

Claims (11)

1. 第１流体機器と第２流体機器と、前記第１流体機器と第２流体機器が取り付けられる支持体とを有する流体機器取付構造において、
   前記第１及び前記第２流体機器は、外周面に取付溝が設けられた同一形状の第１及び第２接続部を有し、
   前記支持体は、複数のフレームを格子状に組み合わせたものであり、前記取付溝に着脱可能に取り付けられ、前記第１及び第２接続部の接続部分を前記支持体に支持させる支持媒体を有し、前記フレームが前記第１及び前記第２流体機器の接続部分を前記支持媒体を介して支持している
   ことを特徴とする流体機器取付構造。
2. 請求項１に記載する流体機器取付構造において、
   前記フレームは、前記支持媒体を介して前記接続部分を支持する支持フレームと、前記支持フレームを保持する保持フレームとを含み、
   前記支持フレームの両端部に取り付けられ、前記支持フレームを前記保持フレームに対して位置決め固定する位置調整部材を有する
   ことを特徴とする流体機器取付構造。
3. 第１流体機器と第２流体機器と、前記第１流体機器と第２流体機器が取り付けられる支持体とを有する流体機器取付構造において、
   前記第１及び前記第２流体機器は、外周面に取付溝が設けられた同一形状の第１及び第２接続部を有し、
   前記支持体は、前記取付溝に着脱可能に取り付けられ、前記第１及び第２接続部の接続部分を前記支持体に支持させる支持媒体を有し、
   前記取付溝は、前記流体機器同士を引き寄せて接続する引き寄せ治具が取り付けられるものである
   ことを特徴とする流体機器取付構造。
4. 請求項１乃至請求項３の何れか１つに記載する流体機器取付構造において、
   前記フレームは中空部を備えるパイプであって、配線と配管の少なくとも一方を前記中空部へ収納するための収納孔を有する
   ことを特徴とする流体機器取付構造。
5. 第１流体機器と第２流体機器と、前記第１流体機器と第２流体機器が取り付けられる支持体とを有する流体機器取付構造において、
   前記第１及び前記第２流体機器は、外周面に取付溝が設けられた同一形状の第１及び第２接続部を有し、
   前記支持体は、前記取付溝に着脱可能に取り付けられ、前記第１及び第２接続部の接続部分を前記支持体に支持させる支持媒体を有し、
   流体機器の接続部同士を接続する接続部分に装着される補強部材を有し、
   前記補強部材は、前記接続部分を挟んで配置される第１部品と第２部品を有し、
   前記第１部品は、各流体機器の接続部の外周面に接触した状態で前記接続部に形成された取付溝に配置される一対の第１部品側突起部と、前記一対の第１部品側突起部を結合する第１部品側結合部と、前記第２部品に係止される複数の第２係止爪部と、を有し、
   前記第２部品は、前記第２係止爪部に対応して設けられ前記第２係止爪部を引っ掛けて係止する複数の第２掛止部を有する
   ことを特徴とする流体機器取付構造。
6. 請求項５に記載する流体機器取付構造において、
   前記第１部品は、前記支持媒体の前記連結部と同一形状であって、前記一対の第１部品側突起部が前記第１及び前記第２連結側突起部を構成し、前記第１部品側結合部が前記連結側結合部を構成し、前記第２係止爪部が前記第１係止爪部を構成する
   ことを特徴とする流体機器取付構造。
7. 請求項１乃至請求項６の何れか１つに記載する流体機器取付構造において、
   前記支持媒体は、
   前記支持体に装着される本体部と、
   前記取付溝に嵌合した状態で前記本体部に係止される連結部と、を有する
   ことを特徴とする流体機器取付構造。
8. 請求項７に記載する流体機器取付構造において、
   前記連結部は、ベルト状をなし、一端が前記本体部に回動可能に保持され、他端が前記本体部に着脱可能に係合されている
   ことを特徴とする流体機器取付構造。
9. 第１流体機器と第２流体機器と、前記第１流体機器と第２流体機器が取り付けられる支持体とを有する流体機器取付構造において、
   前記第１及び前記第２流体機器は、外周面に取付溝が設けられた同一形状の第１及び第２接続部を有し、
   前記支持体は、前記取付溝に着脱可能に取り付けられ、前記第１及び第２接続部の接続部分を前記支持体に支持させる支持媒体を有し、
   前記支持媒体は、前記支持体に装着される本体部と、前記取付溝に嵌合した状態で前記本体部に係止される連結部と、を有し、
   前記連結部は、前記第１接続部の外周面に接触した状態で前記第１接続部の前記取付溝に配置される第１連結側突起部と、前記第２接続部の外周面に接触した状態で前記第２接続部の前記取付溝に配置される第２連結側突起部と、前記第１連結側突起部と前記第２連結側突起部を結合させる連結側結合部と、前記本体部に係止される複数の第１係止爪部と、を有し、
   前記本体部は、前記第１係止爪部に対応して設けられ前記第１係止爪部を引っ掛けて係止する複数の第１掛止部と、前記支持体に装着される脚部と、を有する
   ことを特徴とする流体機器取付構造。
10. 請求項９に記載する流体機器取付構造において、
    前記支持体は、支持棒、レール溝を備えるレール、取付孔が複数形成された板状フレームの何れかに前記支持媒体を取り付けられ、
    前記支持媒体は、
    前記脚部を前記支持棒を挟むように複数立設して各脚部に前記支持棒の外周に密着する凹部を形成した支持棒用本体部と、前記脚部を前記レール溝に挿入可能に立設して前記脚部を前記レールに固定するレール用本体部と、前記脚部を前記取付孔に挿入可能に複数立設した取付フレーム用本体部の何れかを含み、
    前記支持用本体部と前記レール用本体部と前記取付フレーム用本体部の何れにも前記連結部を着脱可能に係止させることが可能である
    ことを特徴とする流体機器取付構造。
11. 請求項１0乃至請求項１０の何れか１つに記載する流体機器取付構造において、
    前記支持媒体は前記支持体に着脱可能に装着される
    ことを特徴とする流体機器取付構造。

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