JP4943879B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4943879B2 JP4943879B2 JP2007022144A JP2007022144A JP4943879B2 JP 4943879 B2 JP4943879 B2 JP 4943879B2 JP 2007022144 A JP2007022144 A JP 2007022144A JP 2007022144 A JP2007022144 A JP 2007022144A JP 4943879 B2 JP4943879 B2 JP 4943879B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- frequency power
- upper electrode
- filter
- inductances
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 0 CC[C@](CCCC1(C)N)C1(*)NC Chemical compound CC[C@](CCCC1(C)N)C1(*)NC 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
Zp<ZLの関係を充たすために、LPF内にインピーダンスの大きなインダクタンスを用いる必要がある。しかし、インダクタンスには自己共振という特性が有り、この周波数を超える領域では、インピーダンスが低下してきてしまう。
これらの効果により高周波電力を第3フィルタ6で遮断することができ、上部電極をアース電位に保つことができる。
101 浮遊容量
102 磁力線
1 真空処理室
11 放電生成用高周波電源(プラズマ発生用高周波電源)
111 整合機
112 第1フィルタ回路
12 バイアス用高周波電源
121 整合機
122 第2フィルタ回路
13 バイアス用高周波電源
131 整合機
14 静電吸着用電源
15 位相制御機
2 アンテナ電極(シャワープレート)
3 ウエハ載置電極(下部電極)
4 真空排気系
5 ガス供給系
6 第3フィルタ回路
61 インダクタンス
62 磁性体材料
63 静電シールド
64 貫通コンデンサ
9 ウエハ
Claims (5)
- 内部側壁が絶縁体で覆われた真空処理容器と、ガス供給手段と、真空排気手段と、前記真空処理容器内にプラズマを発生させるプラズマ発生用高周波電源と、前記プラズマ発生用高周波電源が接続された上部電極と、プラズマ処理されるウエハを載置する下部電極とを有するプラズマ処理装置において、
前記上部電極はフィルタを介してアース電位に接続されており、前記フィルタは複数のインダクタンスで構成され、前記複数のインダクタンスはお互いが発生する磁力線がお互いを貫かない位置に配置されており、かつ、前記複数のインダクタンスは静電シールドで囲まれていることを特徴としたプラズマ処理装置。 - 内部側壁が絶縁体で覆われた真空処理容器と、ガス供給手段と、真空排気手段と、前記真空処理容器内にプラズマを発生させるプラズマ発生用高周波電源と、バイアス高周波電源と、上部電極と、プラズマ処理されるウエハを載置する下部電極と、前記プラズマ発生用高周波電源と前記上部電極との間に接続された第一のフィルタと、前記バイアス高周波電源と前記上部電極との間に接続された第二のフィルタとを有するプラズマ処理装置において、
前記上部電極は第三のフィルタを介してアース電位に接続されており、前記第三のフィルタは複数のインダクタンスで構成され、前記複数のインダクタンスはお互いを約90度の位置に配置することで、お互いが発生する磁力線がお互いを貫かないことを特徴としたプラズマ処理装置。 - 内部側壁がイットリアで覆われた真空処理容器と、ガス供給手段と、真空排気手段と、前記真空処理容器内にプラズマを発生させる周波数が50MHzから500MHzのプラズマ発生用高周波電源と、周波数5MHz以下のバイアス高周波電源と、プラズマに接する面がシリコンからなる上部電極と、プラズマ処理されるウエハを載置する下部電極と、前記プラズマ発生用高周波電源と前記上部電極との間に接続された第一のフィルタと、前記バイアス高周波電源と前記上部電極との間に接続された第二のフィルタとを有するプラズマ処理装置において、
前記上部電極は直流的に低抵抗でインピーダンスがプラズマのインピーダンスよりも大きい第三のフィルタを介してアース電位に接続されており、前記第三のフィルタは静電シールドで囲まれた複数のインダクタンスで構成され、前記複数のインダクタンスはお互いを約90度の位置に配置することで、お互いが発生する磁力線がお互いを貫かないことを特徴としたプラズマ処理装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置において、
前記複数のインダクタンスのうち、一番アース側に接続されたインダクタンスに磁性体材料が挿入されていることを特徴としたプラズマ処理装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置において、
前記複数のインダクタンスのうち、一番アース側に接続されたインダクタンスの前記上部電極側とアースの間に貫通コンデンサが挿入されていることを特徴としたプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007022144A JP4943879B2 (ja) | 2007-01-31 | 2007-01-31 | プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007022144A JP4943879B2 (ja) | 2007-01-31 | 2007-01-31 | プラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008192633A JP2008192633A (ja) | 2008-08-21 |
JP4943879B2 true JP4943879B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=39752494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007022144A Expired - Fee Related JP4943879B2 (ja) | 2007-01-31 | 2007-01-31 | プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4943879B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102152811B1 (ko) * | 2013-11-06 | 2020-09-07 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | Dc 바이어스 변조에 의한 입자 발생 억제기 |
EP3125354B1 (en) | 2014-04-09 | 2019-12-18 | Mitsubishi Electric Corporation | Storage battery deterioration measurement device and power storage system device |
JP6637846B2 (ja) * | 2016-06-23 | 2020-01-29 | 東京エレクトロン株式会社 | フィルタを設計する方法 |
TW202118354A (zh) * | 2019-07-17 | 2021-05-01 | 美商得昇科技股份有限公司 | 利用可調式電漿電位的可變模式電漿室 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6163021A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-04-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 放電加工装置 |
JP2003203800A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-07-18 | Sekisui Chem Co Ltd | 常圧プラズマ処理方法および装置 |
US7212078B2 (en) * | 2003-02-25 | 2007-05-01 | Tokyo Electron Limited | Method and assembly for providing impedance matching network and network assembly |
JP4553247B2 (ja) * | 2004-04-30 | 2010-09-29 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP4523352B2 (ja) * | 2004-07-20 | 2010-08-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
JP4838525B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2011-12-14 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置及び可変整合器におけるインピーダンスのプリセット値を決定するためのプログラム |
JP2006319043A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
-
2007
- 2007-01-31 JP JP2007022144A patent/JP4943879B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008192633A (ja) | 2008-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100748798B1 (ko) | 플라즈마 에칭 장치 | |
KR100900595B1 (ko) | 플라즈마 한정 및 유동 컨덕턴스 강화 방법 및 장치 | |
KR101385678B1 (ko) | 라디칼 선택 장치 및 기판 처리 장치 | |
KR101456810B1 (ko) | 플라즈마 가공 설비 | |
JP5659425B2 (ja) | 負イオンプラズマを生成する処理システムおよび中性ビーム源 | |
JP4838736B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
TWI588864B (zh) | 電漿處理裝置 | |
US8431035B2 (en) | Plasma processing apparatus and method | |
US20100326601A1 (en) | Plasma processing apparatus | |
TW202042279A (zh) | 電漿處理裝置及電漿處理方法 | |
JP4945566B2 (ja) | 容量結合型磁気中性線プラズマスパッタ装置 | |
US20100078129A1 (en) | Mounting table for plasma processing apparatus | |
KR100733992B1 (ko) | 바이폴라 esc 시스템의 동적 플라즈마 처리를 위한 방법및 장치 | |
JP2011082180A (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP4943879B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
CN117795639A (zh) | 射频等离子体处理腔室中的失真电流减缓 | |
KR100196038B1 (ko) | 헬리콘파플라즈마처리방법 및 장치 | |
KR102207755B1 (ko) | 플라스마 처리 장치 | |
JP4127488B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
CN110875168B (zh) | 反应腔室及等离子体加工设备 | |
JP3687474B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP6869858B2 (ja) | スパッタリング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090826 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120228 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120301 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |