JP4941839B2 - 排ガスの吸引設備 - Google Patents

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Description

本発明は、排ガスを一定の風量あるいは静圧で吸引する排ガスの吸引設備に関する。
従来、排ガスの吸引設備の一つとして、例えば、クリーン・ルームからの排ガスを収集するチャンバーボックスに、主ダクトと予備ダクトを並列に連通接続し、主ダクトには排ガスを排ガス浄化装置に送り込む電動機付き主排風機を連通接続し、また予備ダクトには排ガスをチャンバーボックスから吸引するとともに、吸引した排ガスを排ガス浄化装置の煙道に送り込む電動機付き予備排風機を連通接続したものがある。
なお、この技術は、経験的・現場的なものであるためこれを記載した技術文献を発見することができませんでした。
しかし、このように構成された従来の排ガスの吸引設備では、主排風機が稼動してクリーン・ルーム内を所定の静圧にしている状態から、停止している予備排風機を起動して主排風機の稼動から
予備排風機の稼動に切り換える際に、クリーン・ルームから吸引される排ガスの風量が増減して、クリーン・ルーム内を所定の静圧に維持することができないなどの問題があった。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、その目的は、停止している予備排風機を起動して主排風機の稼動から予備排風機の稼動に切り換える際に、排ガス発生源から吸引される排ガスの風量を目標値に維持するとともに安定させることが可能な排ガスの吸引設備を提供することにある。
上記の目的を達成するため本発明における排ガスの吸引設備は、排ガスを一定の風量あるいは静圧で吸引する設備であって、排ガス発生源からの排ガスをダクトを介して収集するチャンバーボックスと、このチャンバーボックスに連通接続された主ダクトの開口度を調整する主ダンパ装置と、前記主ダクトに連通接続されて前記チャンバーボックスから排ガスを吸引するインバータ駆動の電動機付き主排風機と、前記チャンバーボックスに前記主ダクトと並列に連通接続された予備ダクトの開口度を調整する予備ダンパ装置と、前記予備ダクトに連通接続されて前記チャンバーボックスから排ガスを吸引するインバータ駆動の電動機付き予備排風機と、前記チャンバーボックス内の静圧を検出する圧力検出手段と、この圧力検出手段と前記主排風機および前記予備排風機のインバータに電気的に接続されて前記圧力検出手段の検出結果に基づき前記主排風機および前記予備排風機のインバータに各電動機の回転数の指令を発信するコントローラと、を備えていて、前記主排風機の稼動から前記予備排風機の稼動への切換は、前記予備排風機の電動機を起動し、予備排風機の電動機の回転数が前記主排風機の電動機のそれに一致したのちは、前記コントローラから前記インバータへの指令により前記予備排風機および前記主排風機の電動機の回転数を制御して前記チャンバーボックスの静圧を目標値に維持しながら、前記予備ダンパ装置の操作により前記予備ダクトの開口度を次第に上昇させ、前記予備ダクトの開口度が所定値に上昇したのちは、前記主ダンパ装置の操作により前記主ダクトの開口度を次第に下降させ、前記主ダクトの開口度が所定値に下降したのちは、前記主排風機の稼動を停止する工程により行うことを特徴とする。
上記の説明から明らかなように本発明によれば、主排風機の稼動から予備排風機の稼動への切換は、予備排風機の電動機を起動し、予備排風機の電動機の回転数が主排風機の電動機のそれに一致したのちは、コントローラからインバータへの指令により予備排風機および主排風機の電動機の回転数を制御してチャンバーボックスの静圧を目標値に維持しながら、予備ダンパ装置の操作により予備ダクトの開口度を次第に上昇させ、予備ダクトの開口度が所定値に上昇したのちは、主ダンパ装置の操作により主ダクトの開口度を次第に下降させ、主ダクトの開口度が所定値に下降したのちは、主排風機の稼動を停止する工程により行うため、吸引作用による風量あるいは静圧を目標値に維持するとともに安定させた状態で主排風機の稼動から予備排風機への稼動に円滑に切り換えることが可能になるなどの優れた実用的効果を奏する。
本発明を適用した排ガスの吸引設備の一実施例について図１および図２に基づき詳細に説明する。本排ガスの吸引設備は、図１に示すように、排ガス発生源としてのクリーン・ルームからの排ガスをダクトを介して収集するチャンバーボックス１と、このチャンバーボックス１に連通接続された主ダクト２の開口度を調整する主ダンパ装置３と、前記主ダクト２に連通接続されて前記チャンバーボックス１から排ガスを吸引するインバータ５駆動の電動機付き主排風機６と、前記チャンバーボックス１に前記主ダクト２と並列して連通接続された予備ダクト７の開口度を調整する予備ダンパ装置８と、前記予備ダクト７に連通接続されて前記チャンバーボックス１から排ガスを吸引するインバータ９駆動の電動機付き予備排風機１０と、前記チャンバーボックス１内の静圧を検出する圧力検出手段１１と、この圧力検出手段１１と前記主排風機６および前記予備排風機１０のインバータ９に電気的に接続されて前記圧力検出手段１１の検出結果に基づき前記主排風機６および前記予備排風機１０のインバータ９に各電動機の回転数の指令を発信するコントローラ１２と、で構成してある。
そして、前記主排風機６の排出口は吸引した排ガスを浄化する排ガス浄化装置４に、また、前記予備排風機１０の排出口は前記排ガス浄化装置４の煙道にそれぞれ連通接続してある。また、前記コントローラ１２はコンピュータで構成してあって、圧力検出手段１１の検出結果に基づき、インバータ５，９をＰＩＤ制御するようになっている。
このように構成したものにおいては、主排風機６の稼動から予備排風機１０の稼動への切換は、次の工程により行う。すなわち、予備排風機９の電動機を起動し、予備排風機９の電動機の回転数が主排風機５の電動機のそれに一致したのちは、コントローラ１２からインバータへの指令により予備排風機９および主排風機５の電動機の回転数を制御してチャンバーボックス１の静圧を目標値に維持しながら、予備ダンパ装置８の操作により予備ダクト７の開口度を次第に上昇させ、予備ダクト７の開口度が所定値に上昇したのちは、主ダンパ装置３の操作により主ダクト２の開口度を次第に下降させ、主ダクト２の開口度が所定値に下降したのちは、主排風機６の稼動を停止する（図２参照）。
なお、上記の実施例では、排ガス発生源からの排ガスの収集をチャンバーボックス１によって行っているが、これに限定されるものではなく、例えば、二股構造のダクトを用いて行い、これの二股部分に主ダクト２および予備ダクト７をそれぞれ連通接続するようにしてもよい。
本発明を適用した排ガスの吸引設備の模式図である。 図１に示す排ガスの吸引設備の作動工程図である。
符号の説明
１ チャンバーボックス
２ 主ダクト
３ 主ダンパ装置
４ 排ガス浄化装置
５ インバータ
６ 主排風機
７ 予備ダクト
８ 予備ダンパ装置
９ インバータ
１０ 予備排風機
１１ 圧力検出手段
１２ コントローラ

Claims (2)

  1. 排ガスを一定の風量あるいは静圧で吸引する設備であって、
    排ガス発生源からの排ガスをダクトを介して収集するチャンバーボックスと、
    このチャンバーボックスに連通接続された主ダクトの開口度を調整する主ダンパ装置と、
    前記主ダクトに連通接続されて前記チャンバーボックスから排ガスを吸引するインバータ駆動の電動機付き主排風機と、
    前記チャンバーボックスに前記主ダクトと並列に連通接続された予備ダクトの開口度を調整する予備ダンパ装置と、
    前記予備ダクトに連通接続されて前記チャンバーボックスから排ガスを吸引するインバータ駆動の電動機付き予備排風機と、
    前記チャンバーボックス内の静圧を検出する圧力検出手段と、
    この圧力検出手段と前記主排風機および前記予備排風機のインバータに電気的に接続されて前記圧力検出手段の検出結果に基づき前記主排風機および前記予備排風機のインバータに各電動機の回転数の指令を発信するコントローラと、
    を備えていて、
    前記主排風機の稼動から前記予備排風機の稼動への切換は、前記予備排風機の電動機を起動し、予備排風機の電動機の回転数が前記主排風機の電動機のそれに一致したのちは、前記コントローラから前記インバータへの指令により前記予備排風機および前記主排風機の電動機の回転数を制御して前記チャンバーボックスの静圧を目標値に維持しながら、前記予備ダンパ装置の操作により前記予備ダクトの開口度を次第に上昇させ、前記予備ダクトの開口度が所定値に上昇したのちは、前記主ダンパ装置の操作により前記主ダクトの開口度を次第に下降させ、前記主ダクトの開口度が所定値に下降したのちは、前記主排風機の稼動を停止する工程により行うことを特徴とする排ガスの吸引設備。
  2. 前記チャンバーボックスの代わりに二股構造のダクトを用いることを特徴とする請求項１に記載の排ガスの吸引設備。
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