JP4924806B2 - Gas barrier laminate - Google Patents

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Description

本発明は、例えば食品、日用品、医薬品等の包装分野に用いられる包装用の積層体、或いは電子機器関連部材等に用いられる積層体に関するものであり、特に高度なガスバリア性が必要とされる包装分野における包装や電子機器関連部材などに好適に用いられるようにした、高ガスバリア性を有する透明積層体に関するものである。   The present invention relates to a laminated body for packaging used in the packaging field of foods, daily necessities, pharmaceuticals, etc., or a laminated body used for electronic equipment-related members, etc., and packaging that requires particularly high gas barrier properties. The present invention relates to a transparent laminate having high gas barrier properties, which is preferably used for packaging in the field, electronic device-related members, and the like.

食品、日用品及び医薬品等の包装に用いられる包装材料は、内容物の変質を抑制しそれらの機能や性質を保持するために、包装材料を透過する酸素、水蒸気、その他内容物を変質させる気体による影響を防止する必要があり、これらを遮断するガスバリア性等を備えることが求められている。通常のガスバリア性が要求される包装材料においては、高分子の中では比較的にガスバリア性に優れる塩化ビニリデン樹脂のフィルムまたはそれらをコーティングしたフィルム等がよく用いられてきた。しかし、これらのフィルムは高度なガスバリア性が要求される包装材料としては使用できない。そのため上記のような要求があるものについては、アルミニウム等の金属からなる金属箔等をガスバリア層として用いた包装材料を用いざるを得なかった。   Packaging materials used for packaging food, daily necessities, pharmaceuticals, etc. are made of oxygen, water vapor, or other gas that alters the contents to penetrate the packaging materials in order to suppress the deterioration of the contents and maintain their functions and properties. It is necessary to prevent the influence, and it is required to have a gas barrier property or the like for blocking these. In general packaging materials that require gas barrier properties, among polymers, vinylidene chloride resin films that are relatively excellent in gas barrier properties or films coated with them have been often used. However, these films cannot be used as packaging materials that require high gas barrier properties. Therefore, for those having the above requirements, a packaging material using a metal foil made of a metal such as aluminum as a gas barrier layer has to be used.

ところが、アルミニウム等の金属からなる金属箔等を用いた包装材料は、温度・湿度の影響がなく高度なガスバリア性を持つが、包装材料を介して内容物を確認することができないこと、使用後の廃棄の際には不燃物として処理しなければならないこと、さらには検査の際に金属探知器が使用できないこと等、数多くの欠点を有し問題があった。   However, packaging materials using metal foils made of metal such as aluminum have high gas barrier properties without the influence of temperature and humidity, but the contents cannot be confirmed through the packaging materials. However, there are a number of drawbacks, such as the fact that the metal detector must be treated as an incombustible material and the metal detector cannot be used for the inspection.

そこで、これらの欠点を克服した包装材料として、例えば、特許文献1、2等に記載されているような、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム等の無機化合物からなる蒸着薄膜を真空蒸着法やスパッタリング法等の薄膜形成手段によりプラスチックフィルム上に成膜したフィルムが上市されている。これらの蒸着フィルムは透明性及び酸素、水蒸気等のガス遮断性を有していることが知られ、金属箔等では得ることのできない透明性とガスバリア性を有する包装材料として好適とされている。
米国特許第3442686号明細書 特公昭63−28017号公報
Therefore, as a packaging material that overcomes these drawbacks, for example, a vapor-deposited thin film made of an inorganic compound such as silicon oxide, aluminum oxide, and magnesium oxide as described in Patent Documents 1 and 2, etc., is formed by vacuum evaporation or sputtering. A film formed on a plastic film by a thin film forming means such as a method is put on the market. These vapor-deposited films are known to have transparency and gas barrier properties such as oxygen and water vapor, and are suitable as packaging materials having transparency and gas barrier properties that cannot be obtained with metal foil or the like.
U.S. Pat. No. 3,442,686 Japanese Patent Publication No.63-28017

透明蒸着フィルムにおいて、無機化合物の膜厚が薄い場合には基材上にある滑剤等の突起物をカバーできず十分なバリア性が得られない。また無機化合物の膜厚を増加させていくことによって高いバリア性が期待されるが、実際には膜厚を増加させていったとしても膜の内部応力によってクラックが発生し、バリア性が飽和してしまったり、逆に低下してしまうという現象が起こる。そのため、生産性を考慮した無機化合物の膜厚において、高いバリア性を得ることは大きな課題となっている。
また、プラスチックフィルムの長尺物に蒸着、印刷等を連続的に加工するためには、前記フィルムを巻き取り状態から、巻き出して加工する。このとき、前記フィルムは、一定の滑り性を有していないとフィルムの巻き出しが行えず、加工適正が低下してしまう。このため、前記フィルムには、上記のように一定の粒径の滑剤が充填されており、この滑剤が突起を形成している。このようなフィルムにそのまま真空蒸着等により蒸着層を設けると、ピンホール等の不具合が生じてしまう恐れがあった。
In a transparent vapor deposition film, when the film thickness of an inorganic compound is thin, protrusions such as a lubricant on the substrate cannot be covered, and sufficient barrier properties cannot be obtained. In addition, a high barrier property is expected by increasing the film thickness of the inorganic compound. However, even if the film thickness is actually increased, cracks are generated by the internal stress of the film, and the barrier property is saturated. The phenomenon that it falls or conversely occurs. Therefore, obtaining a high barrier property in the film thickness of the inorganic compound in consideration of productivity is a big problem.
Further, in order to continuously process vapor deposition, printing, and the like on a long plastic film, the film is unwound from the wound state and processed. At this time, if the film does not have a certain slip property, the film cannot be unwound and the processing suitability is lowered. For this reason, the film is filled with a lubricant having a certain particle diameter as described above, and the lubricant forms protrusions. If such a film is provided with a vapor deposition layer as it is by vacuum vapor deposition or the like, there is a risk that problems such as pinholes may occur.

したがって本発明の目的は、透明プラスチックフィルムのような基材に滑剤等の突起物が形成されていたとしても、生産上適切な無機化合物層の膜厚でもって、ピンホール等の不具合が生じることなく、高いバリア性を得ることのできるカスバリア積層体を提供することにある。   Therefore, the object of the present invention is that even if protrusions such as a lubricant are formed on a base material such as a transparent plastic film, defects such as pinholes occur due to the film thickness of the inorganic compound layer suitable for production. Therefore, an object of the present invention is to provide a cas barrier laminate capable of obtaining a high barrier property.

本発明ではプラスチックフィルムに滑剤の突起物が形成されていたとしても、該フィルムの表面に特定の樹脂層を設け、その表面状態を特定化することにより上記のような課題を解決することができた。   In the present invention, even if a lubricant projection is formed on the plastic film, the above-mentioned problems can be solved by providing a specific resin layer on the surface of the film and specifying the surface state. It was.

請求項1に記載の発明は、透明プラスチック基材としてポリエチレンテレフタレートの少なくとも片面に、樹脂層および無機化合物層をこの順で積層したガスバリア性積層体であって、
前記樹脂層が、テトラエトキシシランの加水分解物と、ポリビニルアルコール、有機官能基としてエポキシ基を含むシランカップリング剤とを混合した溶液を塗布し加熱乾燥して形成され、
前記形成された樹脂層の中心線平均表面粗さが20nm以下であり、かつ最大高さが100nm以下であり、
前記無機化合物層が、酸化珪素膜であり、前記樹脂層表面をプラズマにより表面処理した後に積層されたものであることを特徴とするガスバリア性積層体である。
The invention according to claim 1 is a gas barrier laminate in which a resin layer and an inorganic compound layer are laminated in this order on at least one surface of polyethylene terephthalate as a transparent plastic substrate,
The resin layer is formed by applying and drying a solution obtained by mixing a hydrolyzate of tetraethoxysilane , polyvinyl alcohol, and a silane coupling agent containing an epoxy group as an organic functional group ,
The center line average surface roughness of the formed resin layer is 20 nm or less, and the maximum height is 100 nm or less,
The gas barrier laminate, wherein the inorganic compound layer is a silicon oxide film and is laminated after the surface of the resin layer is surface-treated with plasma.

請求項2に記載の発明は、透明プラスチック基材としてポリエチレンテレフタレートの少なくとも片面に、樹脂層および無機化合物層をこの順で積層したガスバリア性積層体であって、
前記樹脂層が、テトラエトキシシランの加水分解物と、ポリビニルアルコール、有機官能基としてエポキシ基を含むシランカップリング剤とを混合した溶液を塗布し加熱乾燥して形成され、
前記形成された樹脂層の中心線平均表面粗さが20nm以下であり、かつ最大高さが100nm以下であり、
前記無機化合物層が、酸化珪素膜であり、前記樹脂層上に、プラズマCVD法により積層されたものであることを特徴とするガスバリア性積層体である。
The invention according to claim 2 is a gas barrier laminate in which a resin layer and an inorganic compound layer are laminated in this order on at least one surface of polyethylene terephthalate as a transparent plastic substrate,
The resin layer is formed by applying and drying a solution obtained by mixing a hydrolyzate of tetraethoxysilane , polyvinyl alcohol, and a silane coupling agent containing an epoxy group as an organic functional group ,
The center line average surface roughness of the formed resin layer is 20 nm or less, and the maximum height is 100 nm or less,
The gas barrier laminate, wherein the inorganic compound layer is a silicon oxide film and is laminated on the resin layer by a plasma CVD method.

本発明のガスバリア積層体によれば、透明プラスチック基材の少なくとも片面に、中心線平均表面粗さが20nm以下であり、かつ最大高さが100nm以下となるように樹脂層を形成している。この樹脂層の存在により、基材上にある滑剤等の突起物の影響が抑制される。また、この樹脂層の上に、プラズマ処理後あるいはプラズマCVD法により無機化合物層を積層している。これにより、樹脂層表面に存在する珪素化合物あるいはその加水分解物が活性化され、無機化合物層における無機化合物と、当該化合物との相互作用が起き、高いバリア性を発現するものである。   According to the gas barrier laminate of the present invention, the resin layer is formed on at least one surface of the transparent plastic substrate so that the center line average surface roughness is 20 nm or less and the maximum height is 100 nm or less. The presence of this resin layer suppresses the influence of protrusions such as a lubricant on the base material. Further, an inorganic compound layer is laminated on the resin layer after the plasma treatment or by the plasma CVD method. Thereby, the silicon compound or its hydrolyzate existing on the surface of the resin layer is activated, an interaction between the inorganic compound in the inorganic compound layer and the compound occurs, and a high barrier property is expressed.

本発明によれば、透明プラスチックフィルムのような基材に滑剤等の突起物が形成されていたとしても、生産上適切な無機化合物層の膜厚でもって、ピンホール等の不具合が生じることなく、高いバリア性を得ることのできるカスバリア積層体を提供することができる。   According to the present invention, even if protrusions such as a lubricant are formed on a substrate such as a transparent plastic film, the film thickness of the inorganic compound layer suitable for production does not cause problems such as pinholes. Thus, it is possible to provide a residue barrier laminate that can obtain high barrier properties.

本発明のガスバリア性積層体を実施の形態に沿って詳細に説明する。図1は本発明のガスバリア性積層体の一実施形態を示す側断面図であり、厚み方向に順に、透明プラスチック基材1、樹脂層2、無機化合物層3が順次積層されている。   The gas barrier laminate of the present invention will be described in detail along the embodiments. FIG. 1 is a side sectional view showing an embodiment of the gas barrier laminate of the present invention, in which a transparent plastic substrate 1, a resin layer 2, and an inorganic compound layer 3 are sequentially laminated in the thickness direction.

本発明に用いられる透明プラスチック基材は、バリア層の透明性を生かすために透明なフィルムが好ましい。例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)などのポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルム(PC)、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリカーボネートフィルム、ポリアリレートフィルム、ポリエチレンやポリプロピレンなどのポリオレフィンフィルムや、環状シクロオレフィンを含むシクロオレフィンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリアクリルニトリルフィルム、ポリイミドフィルム等が用いられる。   The transparent plastic substrate used in the present invention is preferably a transparent film in order to make use of the transparency of the barrier layer. For example, polyester films such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polycarbonate films (PC), polyether sulfone (PES), polycarbonate films, polyarylate films, polyolefin films such as polyethylene and polypropylene, cyclic cyclo A cycloolefin film containing olefin, a polystyrene film, a polyamide film, a polyvinyl chloride film, a polyacrylonitrile film, a polyimide film, or the like is used.

透明プラスチック基材は、延伸、未延伸のどちらでも良く、また機械的強度や寸法安定性を有するものが良い。これらをフィルム状に加工して用いられる。二軸方向に任意に延伸されていても問題ない。また、この基材の表面に、周知の種々の添加剤や安定剤、例えば、帯電防止剤、紫外線防止剤、可塑剤、滑剤などが使用されていても良く、薄膜との密着性を良くするために、前処理としてコロナ処理、低温プラズマ処理、イオンボンバード処理を施しておいても良く、さらに薬品処理、溶剤処理などを施しても良い。前述のように、本発明では透明プラスチック基材に滑剤を配合し、その突起物が形成されていたとしても、樹脂層の存在によりその影響が軽減され、優れたバリア性を提供することができる。   The transparent plastic substrate may be either stretched or unstretched, and preferably has mechanical strength and dimensional stability. These are processed into a film and used. There is no problem even if the film is arbitrarily stretched in the biaxial direction. In addition, various known additives and stabilizers such as antistatic agents, ultraviolet inhibitors, plasticizers, lubricants, and the like may be used on the surface of the base material to improve adhesion to the thin film. Therefore, corona treatment, low temperature plasma treatment, ion bombardment treatment may be performed as pretreatment, and chemical treatment, solvent treatment, etc. may be performed. As described above, in the present invention, even if a lubricant is blended in the transparent plastic base material and the protrusions are formed, the influence is reduced by the presence of the resin layer, and excellent barrier properties can be provided. .

本発明の透明プラスチック基材1上に形成される樹脂層2は、Si(OR1)4 (R1 はCH3、C25、C24OCH3 等の加水分解性基)で表される珪素化合物あるいはその加水分解物と、水酸基を有する水溶性高分子とを混合した溶液(コーティング剤)を塗布し加熱乾燥して形成される皮膜であり、樹脂層の表面平滑性を示す中心線平均表面粗さは20nm以下であり、最大高さは100nm以下でなければならない。より好ましくは、中心線平均表面粗さは10nm以下、最大高さは50nm以下が好ましい。なお、ここでいう中心線平均表面粗さおよび最大高さは、JIS B0601に示されるRaおよびRmaxを意味する。
コーティング剤に含まれる各成分について以下に詳述する。
The resin layer 2 formed on the transparent plastic substrate 1 of the present invention is Si (OR 1 ) 4 (R 1 is a hydrolyzable group such as CH 3 , C 2 H 5 , C 2 H 4 OCH 3 ). It is a film formed by applying a solution (coating agent) in which a silicon compound or a hydrolyzate thereof and a water-soluble polymer having a hydroxyl group are mixed and drying by heating, and exhibits a smooth surface of the resin layer The centerline average surface roughness should be 20 nm or less and the maximum height should be 100 nm or less. More preferably, the center line average surface roughness is 10 nm or less and the maximum height is 50 nm or less. In addition, the centerline average surface roughness and the maximum height here mean Ra and Rmax shown in JIS B0601.
Each component contained in the coating agent will be described in detail below.

本発明でコーティング剤に用いられる水溶性高分子はポリビニルアルコール、ポリ(ビニルアルコール−co−エチレン)、ポリビニルピロリドン、デンプン、セルロース、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、アルギン酸ナトリウムなどが挙げられる。中でも、ポリビニルアルコール、ポリ(ビニルアルコール−co−エチレン)、セルロースおよびデンプンからなる群から選択された少なくとも1種類以上を成分として有することが好ましい。とくにポリビニルアルコール(以下、PVAとする)を本発明のガスバリア性積層体のコーティング剤に用いた場合にガスバリア性が最も優れる。ここでいうPVAは、一般にポリ酢酸ビニルをけん化して得られるもので、酢酸基が数十%残存している、いわゆる部分けん化PVAから酢酸基が数%しか残存していない完全けん化PVAまでを含み、とくに限定されるものではない。   Examples of the water-soluble polymer used in the coating agent in the present invention include polyvinyl alcohol, poly (vinyl alcohol-co-ethylene), polyvinyl pyrrolidone, starch, cellulose, methyl cellulose, carboxymethyl cellulose, and sodium alginate. Among these, it is preferable to have at least one selected from the group consisting of polyvinyl alcohol, poly (vinyl alcohol-co-ethylene), cellulose, and starch as a component. In particular, when polyvinyl alcohol (hereinafter referred to as PVA) is used for the coating agent of the gas barrier laminate of the present invention, the gas barrier property is most excellent. The PVA here is generally obtained by saponifying polyvinyl acetate, from a so-called partially saponified PVA in which several tens percent of acetic acid groups remain to completely saponified PVA in which only several percent of acetic acid groups remain. Including, but not limited to.

金属アルコキシドは加水分解後に縮合し、ガラスなどのセラミック膜を形成することは周知の事実である。しかし金属酸化物は硬く、さらに縮合時の体積縮小による歪みによりクラックが入りやすいため、フィルム上に薄く透明で均一な縮合体被膜を形成することは非常に困難である。そこで、高分子を添加する事によって構造体に柔軟性を付与しクラックを防止して造膜する事が可能である。しかし金属アルコキシドあるいはその加水分解物と水酸基を有する水溶性高分子との混合物からなる樹脂層は、水素結合からなるため水に膨潤し溶解する。蒸着層との積層構造による相乗効果があっても過酷な条件での処理では劣化は免れない。   It is a well-known fact that metal alkoxides condense after hydrolysis to form a ceramic film such as glass. However, since metal oxides are hard and cracks easily occur due to distortion due to volume reduction during condensation, it is very difficult to form a thin, transparent and uniform condensate film on the film. Therefore, it is possible to form a film by adding flexibility to the structure and preventing cracks by adding a polymer. However, a resin layer made of a mixture of a metal alkoxide or a hydrolyzate thereof and a water-soluble polymer having a hydroxyl group swells and dissolves in water because it consists of hydrogen bonds. Even if there is a synergistic effect due to the laminated structure with the vapor deposition layer, deterioration is unavoidable in processing under severe conditions.

そこで、樹脂層2にR2 Si(OR3)3 (R3 はCH3、C25、C24OCH3 等の加水分解性基、R2 は有機官能基)、所謂シランカップリング剤を添加することにより、この膨潤を防ぐことができる。R2 Si(OR3)3 は加水分解基によりSi(OR1)4 、水溶性高分子と水素結合を形成するためにバリアの孔になり難く、また一方で有機官能基はネットワークをつくることで水素結合の膨潤を防ぐ。なかでも、ビニル基、エポキシ基、メタクリロキシ基、ウレイド基、イソシアネート基を持つものは、官能基が疎水性であるため、耐水性はさらに向上する。シランカップリング剤の添加量は乾燥後の樹脂層の質量に対し、任意の割合で添加が可能であるが、好ましくは1〜20%の割合で添加が可能である。 Therefore, R 2 Si (OR 3 ) 3 (R 3 is a hydrolyzable group such as CH 3 , C 2 H 5 , C 2 H 4 OCH 3 , R 2 is an organic functional group), a so-called silane cup. This swelling can be prevented by adding a ring agent. R 2 Si (OR 3 ) 3 forms a hydrogen bond with Si (OR 1 ) 4 , a water-soluble polymer, due to a hydrolyzable group, so that it does not easily become a barrier hole, while an organic functional group forms a network. Prevents hydrogen bond swelling. Among them, those having a vinyl group, an epoxy group, a methacryloxy group, a ureido group, and an isocyanate group are further improved in water resistance because the functional group is hydrophobic. The addition amount of the silane coupling agent can be added at an arbitrary ratio with respect to the mass of the resin layer after drying, but it can be preferably added at a ratio of 1 to 20%.

Si(OR1)4 にテトラエトキシシラン、水溶性高分子にPVAを用いた場合、金属アルコキシドあるいは金属アルコキシドの加水分解物を金属酸化物(例えばSiO2)に換算したときの金属酸化物と水溶性高分子との重量比率は、特にSiO2 /PVAが100/10〜100/100であることがより好ましい。PVAが100/10より少ないと無機化合物層3が硬く、フレキシビリティが低く、ヒビ割れ等のが劣化しやすい。またPVAが100/100以上であれば耐水性阻害の原因となる。 When tetraethoxysilane is used for Si (OR 1 ) 4 and PVA is used for the water-soluble polymer, the metal alkoxide or the hydrolyzate of the metal alkoxide is converted into a metal oxide (for example, SiO 2 ) and the water content. As for the weight ratio with the functional polymer, SiO 2 / PVA is more preferably 100/10 to 100/100. When the PVA is less than 100/10, the inorganic compound layer 3 is hard, the flexibility is low, and cracks and the like are likely to deteriorate. Moreover, if PVA is 100/100 or more, it will become a cause of water resistance inhibition.

樹脂層2を形成するためのコーティング溶液へは、インキ、接着剤との密着性、濡れ性、収縮によるクラック発生防止を考慮して、イソシアネート化合物、コロイダルシリカやスメクタイトなどの粘土鉱物や、安定化剤、着色剤、粘度調整剤などの公知の添加剤などを、ガスバリア性や耐水性を阻害しない範囲で添加する事ができる。   The coating solution for forming the resin layer 2 is stabilized by clay minerals such as isocyanate compounds, colloidal silica and smectite, in consideration of adhesion with ink and adhesive, wettability, and prevention of cracking due to shrinkage. Known additives such as a colorant, a colorant, and a viscosity modifier can be added within a range that does not impair gas barrier properties and water resistance.

乾燥後の樹脂層2の厚みは特に限定しないが、0.1μmを下まわると基材の凹凸を平滑にすることが難しく、厚みが50μm以上を越えるとクラックが生じ易くなる可能性があるため、0.1〜50μmとすることが望ましい。   The thickness of the resin layer 2 after drying is not particularly limited, but if it is less than 0.1 μm, it is difficult to smooth the unevenness of the substrate, and if the thickness exceeds 50 μm, cracks may easily occur. 0.1 to 50 μm is desirable.

樹脂層2の形成方法としては、通常のコーティング方法を用いることができる。例えばディッピング法、ロールコート、グラビアコート、リバースコート、エアナイフコート、コンマコート、ダイコート、スクリーン印刷法、スプレーコート、グラビアオフセット法等を用いることができる。これらの塗工方式を用いて基材の上に塗布する。   As a method for forming the resin layer 2, a normal coating method can be used. For example, dipping method, roll coating, gravure coating, reverse coating, air knife coating, comma coating, die coating, screen printing method, spray coating, gravure offset method and the like can be used. It apply | coats on a base material using these coating systems.

樹脂層2の乾燥法は、熱風乾燥、熱ロール乾燥、高周波照射、赤外線照射、UV照射など樹脂層2に熱をかけて、水分子を飛ばす方法であれば、これらのいずれでも、またこれらを2つ以上組み合わせてもかまわない。   The resin layer 2 can be dried by hot air drying, hot roll drying, high-frequency irradiation, infrared irradiation, UV irradiation, etc., as long as it heats the resin layer 2 and blows off water molecules. Two or more may be combined.

続いて樹脂層2上への無機化合物からなる無機化合物層3の形成は、真空蒸着法によって形成させるが、樹脂層2をプラズマによって処理後、無機化合物からなる無機化合物層3を形成する必要がある。 プラズマ処理を行った後に無機化合物を成膜することによって、樹脂層2表面に存在する珪素化合物あるいはその加水分解物を活性化し無機化合物を成膜するため、無機化合物と、樹脂層表面との間の相互作用が起き、高いバリア性を発現するものである。そのため、このプラズマ処理と無機化合物からなる無機化合物層3の形成は同一の真空装置中で行われることが好ましい。   Subsequently, the inorganic compound layer 3 made of an inorganic compound is formed on the resin layer 2 by a vacuum vapor deposition method, but it is necessary to form the inorganic compound layer 3 made of an inorganic compound after treating the resin layer 2 with plasma. is there. By depositing an inorganic compound after the plasma treatment, the silicon compound or its hydrolyzate existing on the surface of the resin layer 2 is activated to form an inorganic compound. Interaction occurs, and high barrier properties are expressed. For this reason, the plasma treatment and the formation of the inorganic compound layer 3 made of an inorganic compound are preferably performed in the same vacuum apparatus.

無機化合物からなる無機化合物層3は、ケイ素、アルミニウム、チタン、ジルコニウム、錫、マグネシウムなどの酸化物、チッソ、弗化物の単位あるいはそれらの複合物からなり、透明性を有しかつ酸素、水蒸気等のガスバリア性を有するものであればよい。その中では、特に酸化アルミニウム、酸化珪素、窒化珪素、酸窒化珪素が好ましい。最適には、酸化珪素、窒化珪素、酸窒化珪素である。   The inorganic compound layer 3 made of an inorganic compound is made of oxides such as silicon, aluminum, titanium, zirconium, tin, magnesium, nitrogen, fluoride units, or a composite thereof, and has transparency and oxygen, water vapor, etc. Any gas barrier property may be used. Among these, aluminum oxide, silicon oxide, silicon nitride, and silicon oxynitride are particularly preferable. Optimally, silicon oxide, silicon nitride, and silicon oxynitride are used.

プラズマ処理後に、無機化合物からなる無機化合物層3を樹脂層2上に形成する方法は、通常の真空蒸着法により形成することが可能である。例えば、反応性蒸着法、スパッタリング法やイオンプレーティング法、プラズマ気相成長法(PECVD)などを用いることもできる。なお、プラズマCVD法により無機化合物層3を形成すれば、プラズマ中で成膜を行うため、樹脂層2の活性化と成膜が同時に可能であり、特に適していると考えられる。   A method of forming the inorganic compound layer 3 made of an inorganic compound on the resin layer 2 after the plasma treatment can be formed by a normal vacuum deposition method. For example, reactive vapor deposition, sputtering, ion plating, plasma vapor deposition (PECVD), or the like can be used. If the inorganic compound layer 3 is formed by the plasma CVD method, the film formation is performed in the plasma, so that the activation and film formation of the resin layer 2 are possible at the same time, which is considered particularly suitable.

無機化合物からなる無機化合物層3の厚さは、用いられる無機化合物の種類・構成により最適条件が異なるが、一般的には5〜1000nmの範囲内が望ましく、その値は適宜選択される。ただし膜厚が5nm未満であると均一な膜が得られないことや膜厚が十分ではないことがあり、ガスバリア材としての機能を十分に果たすことができない場合がある。また膜厚が1000nmを越える場合は薄膜にフレキシビリティを保持させることが難しく、生産性も低くなる。   The optimum condition of the thickness of the inorganic compound layer 3 made of an inorganic compound varies depending on the type and configuration of the inorganic compound used, but is generally within the range of 5 to 1000 nm, and the value is appropriately selected. However, if the film thickness is less than 5 nm, a uniform film may not be obtained or the film thickness may not be sufficient, and the function as a gas barrier material may not be sufficiently achieved. On the other hand, when the film thickness exceeds 1000 nm, it is difficult to maintain flexibility in the thin film, and productivity is lowered.

本発明のガスバリア性積層体を具体的な実施例を挙げて更に説明する。   The gas barrier laminate of the present invention will be further described with reference to specific examples.

[実施例1]
厚さ100μmのポリエチレンテレフタレート(以下PET)を基材とし、その片面に下記組成を組み合わせ、所定の割合に混合してなるコーティング剤をバーコーターにより塗布し乾燥機で120℃、1分間乾燥させ、膜厚約0.5μmの樹脂層を形成した。得られた樹脂層の中心線平均表面粗さは12nmであり、最大高さは43nmであった。さらに樹脂層表面にプラズマ処理を行った後、SiO(酸化珪素)を蒸着源とし、電子線加熱方式による真空蒸着法により、膜厚40nmの無機化合物層を形成しガスバリア性積層体を得た。
[Example 1]
Using a polyethylene terephthalate (hereinafter referred to as PET) having a thickness of 100 μm as a base material, the following composition is combined on one side, and a coating agent formed by mixing at a predetermined ratio is applied by a bar coater and dried at 120 ° C. for 1 minute by a dryer. A resin layer having a thickness of about 0.5 μm was formed. The obtained resin layer had a centerline average surface roughness of 12 nm and a maximum height of 43 nm. Further, after the plasma treatment was performed on the surface of the resin layer, an inorganic compound layer having a thickness of 40 nm was formed by a vacuum vapor deposition method using an electron beam heating method using SiO (silicon oxide) as a vapor deposition source to obtain a gas barrier laminate.

[実施例2]
厚さ100μmのPETを基材とし、その片面に下記組成を組み合わせ、所定の割合に混合してなるコーティング剤をバーコーターにより塗布し乾燥機で120℃、1分間乾燥させ、膜厚約0.5μmの樹脂層を形成した。得られた樹脂層の中心線平均表面粗さは12nmであり、最大高さは43nmであった。さらにヘキサメチルジシロキサン(HMDSO):酸素=10:100混合した原料ガスをもちい、プラズマCVD法によって酸化珪素膜を30nm成膜しガスバリア性積層体を得た。
[Example 2]
A coating agent formed by using PET having a thickness of 100 μm as a base material, combining the following composition on one side and mixing at a predetermined ratio is applied by a bar coater and dried at 120 ° C. for 1 minute in a drier. A 5 μm resin layer was formed. The obtained resin layer had a centerline average surface roughness of 12 nm and a maximum height of 43 nm. Further, using a source gas mixed with hexamethyldisiloxane (HMDSO): oxygen = 10: 100, a silicon oxide film was formed to a thickness of 30 nm by a plasma CVD method to obtain a gas barrier laminate.

[実施例3]
厚さ100μmのPETを基材とし、その片面に下記組成を組み合わせ、所定の割合に混合してなるコーティング剤をバーコーターにより塗布し乾燥機で120℃、1分間乾燥させ、膜厚約0.5μmの樹脂層を形成した。得られた樹脂層の中心線平均表面粗さは15nmであり、最大高さは39nmであった。さらにヘキサメチルジシロキサン(HMDSO):酸素=10:100混合した原料ガスをもちい、プラズマCVD法によって酸化珪素膜を30nm成膜しガスバリア性積層体を得た。
[Example 3]
A coating agent formed by using PET having a thickness of 100 μm as a base material, combining the following composition on one side and mixing at a predetermined ratio is applied by a bar coater and dried at 120 ° C. for 1 minute in a drier. A 5 μm resin layer was formed. The center line average surface roughness of the obtained resin layer was 15 nm, and the maximum height was 39 nm. Further, using a source gas mixed with hexamethyldisiloxane (HMDSO): oxygen = 10: 100, a silicon oxide film was formed to a thickness of 30 nm by a plasma CVD method to obtain a gas barrier laminate.

[比較例1]
厚さ100μmのPETを基材とし、その片面にヘキサメチルジシロキサン(HMDSO):酸素=10:100混合した原料ガスをもちい、プラズマCVD法によって酸化珪素膜を30nm成膜した。PET基材の中心線平均表面粗さは32nmであり、最大高さは152nmであった。
[Comparative Example 1]
A silicon oxide film having a thickness of 30 nm was formed by plasma CVD using a raw material gas mixed with hexamethyldisiloxane (HMDSO): oxygen = 10: 100 on one side of PET having a thickness of 100 μm as a base material. The center line average surface roughness of the PET substrate was 32 nm, and the maximum height was 152 nm.

[比較例2]
厚さ100μmのポリエチレンナフタレート(以下PEN)を基材とし、その片面にヘキサメチルジシロキサン(HMDSO):酸素=10:100混合した原料ガスをもちい、プラズマCVD法によって酸化珪素膜を30nm成膜した。PEN基材の中心線平均荒さは10nmであり、最大高さが80nmであった。
[Comparative Example 2]
A silicon oxide film having a thickness of 30 nm is formed by a plasma CVD method using a raw material gas mixed with hexamethyldisiloxane (HMDSO): oxygen = 10: 100 on one side of polyethylene naphthalate (hereinafter PEN) having a thickness of 100 μm. did. The center line average roughness of the PEN substrate was 10 nm, and the maximum height was 80 nm.

[比較例3]
厚さ100μmのPETを基材とし、その片面に下記組成を組み合わせ、所定の割合に混合してなるコーティング剤をバーコーターにより塗布し乾燥機で120℃、1分間乾燥させ、膜厚約0.5μmの樹脂層を形成した。得られた樹脂層の中心線平均表面粗さは12nmであり、最大高さは43nmであった。この樹脂層上にプラズマ処理を行わずに、SiO(酸化珪素)を蒸着源とし、電子線加熱方式による真空蒸着法により、膜厚40nmの蒸着層を形成した。
[Comparative Example 3]
A coating agent formed by using PET having a thickness of 100 μm as a base material, combining the following composition on one side and mixing at a predetermined ratio is applied by a bar coater and dried at 120 ° C. for 1 minute in a drier. A 5 μm resin layer was formed. The obtained resin layer had a centerline average surface roughness of 12 nm and a maximum height of 43 nm. A plasma deposition was not performed on this resin layer, and a vapor deposition layer having a film thickness of 40 nm was formed by a vacuum vapor deposition method using an electron beam heating method using SiO (silicon oxide) as a vapor deposition source.

[比較例4]
厚さ100μmのPENを基材とし、その片面にHMDSO:酸素=10:100混合した原料ガスをもちい、プラズマCVD法によって酸化珪素膜を30nm成膜した。さらに下記組成を組み合わせ、所定の割合に混合してなるコーティング剤をバーコーターにより塗布し乾燥機で120℃、1分間乾燥させ、膜厚約0.5μmの樹脂層を形成した。
[Comparative Example 4]
A PEN having a thickness of 100 μm was used as a base material, and a source gas mixed with HMDSO: oxygen = 10: 100 was used on one surface thereof, and a 30 nm silicon oxide film was formed by plasma CVD. Furthermore, the following compositions were combined and a coating agent formed by mixing at a predetermined ratio was applied by a bar coater and dried at 120 ° C. for 1 minute by a dryer to form a resin layer having a film thickness of about 0.5 μm.

(ガスバリア性被膜コーティング剤の調整)
(A):テトラエトキシシラン(Si(OC254 、以下TEOSと称す)17.9gと、メタノール10gに塩酸(0。1N)72.1gを加え、30分間攪拌し、加水分解させた固形分5%(重量比SiO2 換算)の加水分解溶液。
(B):ポリビニルアルコールの5%(重量比):水/メタノールアルコール=95:5(重量比)水溶液。
(C):β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)トリメトキシシランとイソプロピルアルコール(IPA溶液)に塩酸(1N)を徐々に加え、30分間攪拌し、加水分解させた後、水/IPA=1/1溶液で加水分解を行い、固形分5%(重量比R2 Si(OH)3換算)に調整した加水分解溶液。
(D):粒径0.5μmのシリカの標準粒子。
(Adjustment of gas barrier coating agent)
(A): 17.9 g of tetraethoxysilane (Si (OC 2 H 5 ) 4 , hereinafter referred to as TEOS) and 72.1 g of hydrochloric acid (0.1N) are added to 10 g of methanol, and the mixture is stirred for 30 minutes for hydrolysis. A hydrolyzed solution having a solid content of 5% (weight ratio in terms of SiO 2 ).
(B): 5% (weight ratio) of polyvinyl alcohol: water / methanol alcohol = 95: 5 (weight ratio) aqueous solution.
(C): Hydrochloric acid (1N) was gradually added to β- (3,4-epoxycyclohexyl) trimethoxysilane and isopropyl alcohol (IPA solution), stirred for 30 minutes, hydrolyzed, and then water / IPA = 1. / 1 Hydrolysis solution adjusted to a solid content of 5% (weight ratio R 2 Si (OH) 3 conversion) by hydrolysis with the solution.
(D): Standard particles of silica having a particle size of 0.5 μm.

(ガスバリア性被膜コーティング剤の成分配合比)
A:TEOSのSiO2 固形分(換算値)
B:PVA固形分
C:β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)トリメトキシシランのR2 Si(OH)3固形分(換算値)
配合比はすべて固形分重量比率である。
実施例1・・・・・・・・・・・・・・A/B/C=70/20/10
実施例2・・・・・・・・・・・・・・A/B/C=70/20/10
実施例3・・・・・・・・・・・・・・A/B/D=70/20/10
比較例1・・・・・・・・・・・・・・コーティングなし
比較例2・・・・・・・・・・・・・・コーティングなし
比較例3・・・・・・・・・・・・・・A/B/C=70/20/10
比較例4・・・・・・・・・・・・・・A/B/C=70/20/10
(Composition ratio of gas barrier film coating agent)
A: Solid SiO 2 content of TEOS (converted value)
B: PVA solid content C: R 2 Si (OH) 3 solid content (converted value) of β- (3,4-epoxycyclohexyl) trimethoxysilane
All compounding ratios are solid weight ratios.
Example 1 ... A / B / C = 70/20/10
Example 2 ... A / B / C = 70/20/10
Example 3 ... A / B / D = 70/20/10
Comparative Example 1 ... Uncoated Comparative Example 2 ... Uncoated Comparative Example 3 ... ... A / B / C = 70/20/10
Comparative Example 4 ... A / B / C = 70/20/10

また、実施例、比較例中におけるバスバリア性の測定は水蒸気透過率測定装置(MOCON社製 PERMATRAN-W 3/33)をもちい、40℃、相対湿度90%の条件下で測定を行った。その結果を下表に示す。また基材に用いたPETフィルムのバリア性は5.0g/m2/day 、PENフィルムのバリア性は2.0g/m2/dayである。 In the examples and comparative examples, the bath barrier property was measured using a water vapor transmission rate measuring device (PERMATRAN-W 3/33 manufactured by MOCON) under the conditions of 40 ° C. and relative humidity of 90%. The results are shown in the table below. The barrier property of the PET film used for the substrate is 5.0 g / m 2 / day, and the barrier property of the PEN film is 2.0 g / m 2 / day.

Figure 0004924806
Figure 0004924806

表1により比較例1、2に示されているように表面平滑性の低いPETフィルムや、表面平滑性は高いものの樹脂層のないPENフィルムはバリア性が得られていない。また、樹脂層を形成したにもかかわらずプラズマ処理を行わなかった比較例3もバリア性に劣っている。比較例4では比較例2のフィルム上に皮膜層を形成した本発明とは逆の構成となっているが、比較例2と比較してほとんどバリア性は向上しない。一方で本発明によって作製された実施例1から3の積層体は良好なバリア性を示していることがわかる。   As shown in Comparative Examples 1 and 2 according to Table 1, a PET film having a low surface smoothness or a PEN film having a high surface smoothness but no resin layer does not have a barrier property. Further, Comparative Example 3 in which the plasma treatment was not performed despite the formation of the resin layer is also inferior in barrier properties. Although the comparative example 4 has a configuration opposite to that of the present invention in which a film layer is formed on the film of the comparative example 2, the barrier property is hardly improved as compared with the comparative example 2. On the other hand, it turns out that the laminated body of Examples 1-3 produced by this invention has shown favorable barrier property.

本発明のカスバリア積層体は、透明プラスチックフィルムのような基材に滑剤等の突起物が形成されていたとしても、生産上適切な無機化合物層の膜厚でもって、ピンホール等の不具合が生じることなく、高いバリア性を得ることができるので、食品、日用品、医薬品等の包装分野に用いられる包装用の積層体、或いは電子機器関連部材等に用いられる積層体、特に高度なガスバリア性が必要とされる包装分野における包装や電子機器関連部材などに好適に用いられる。   Even if a protrusion such as a lubricant is formed on a base material such as a transparent plastic film, the cas barrier laminate of the present invention has problems such as pinholes due to the film thickness of an inorganic compound layer suitable for production. High barrier properties can be obtained without the need for a laminate for packaging used in the packaging field of foods, daily necessities, pharmaceuticals, etc., or a laminate used for electronic equipment-related materials, especially high gas barrier properties. It is preferably used for packaging in the packaging field and electronic equipment related members.

本発明のガスバリア積層体の構成を説明する概略断面図である。It is a schematic sectional drawing explaining the structure of the gas barrier laminated body of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1……透明プラスチック基材、2……樹脂層、3……無機化合物層。
1 ... Transparent plastic substrate, 2 ... Resin layer, 3 ... Inorganic compound layer.

Claims (2)

透明プラスチック基材としてポリエチレンテレフタレートの少なくとも片面に、樹脂層および無機化合物層をこの順で積層したガスバリア性積層体であって、
前記樹脂層が、テトラエトキシシランの加水分解物と、ポリビニルアルコール、有機官能基としてエポキシ基を含むシランカップリング剤とを混合した溶液を塗布し加熱乾燥して形成され、
前記形成された樹脂層の中心線平均表面粗さが20nm以下であり、かつ最大高さが100nm以下であり、
前記無機化合物層が、酸化珪素膜であり、前記樹脂層表面をプラズマにより表面処理した後に積層されたものであることを特徴とするガスバリア性積層体。
A gas barrier laminate in which a resin layer and an inorganic compound layer are laminated in this order on at least one surface of polyethylene terephthalate as a transparent plastic substrate,
The resin layer is formed by applying and drying a solution obtained by mixing a hydrolyzate of tetraethoxysilane , polyvinyl alcohol, and a silane coupling agent containing an epoxy group as an organic functional group ,
The center line average surface roughness of the formed resin layer is 20 nm or less, and the maximum height is 100 nm or less,
The gas barrier laminate, wherein the inorganic compound layer is a silicon oxide film and is laminated after the surface of the resin layer is surface-treated with plasma.
透明プラスチック基材としてポリエチレンテレフタレートの少なくとも片面に、樹脂層および無機化合物層をこの順で積層したガスバリア性積層体であって、
前記樹脂層が、テトラエトキシシランの加水分解物と、ポリビニルアルコール、有機官能基としてエポキシ基を含むシランカップリング剤とを混合した溶液を塗布し加熱乾燥して形成され、
前記形成された樹脂層の中心線平均表面粗さが20nm以下であり、かつ最大高さが100nm以下であり、
前記無機化合物層が、酸化珪素膜であり、前記樹脂層上に、プラズマCVD法により積層されたものであることを特徴とするガスバリア性積層体。
A gas barrier laminate in which a resin layer and an inorganic compound layer are laminated in this order on at least one surface of polyethylene terephthalate as a transparent plastic substrate,
The resin layer is formed by applying and drying a solution obtained by mixing a hydrolyzate of tetraethoxysilane , polyvinyl alcohol, and a silane coupling agent containing an epoxy group as an organic functional group ,
The center line average surface roughness of the formed resin layer is 20 nm or less, and the maximum height is 100 nm or less,
The gas barrier laminate, wherein the inorganic compound layer is a silicon oxide film and is laminated on the resin layer by a plasma CVD method.
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