JP4310783B2 - High barrier sheet - Google Patents

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Description

本発明は、酸素、水蒸気等に対するガスバリア性に優れ、さらに高い透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性を有する高バリア性シートに関するものである。   The present invention relates to a high barrier sheet having excellent gas barrier properties against oxygen, water vapor and the like, and further having various properties such as high transparency, heat resistance and flexibility.

今日では、食品、医薬品等の包装分野において、内容物の酸化や変質を抑制して味、鮮度、効能等を維持するために、使用する包装材料には酸素や水蒸気の透過に対する高度なガスバリア性が要求されている。特に、食品等の包装においては、内容物の視認性確保や種々雑多な物の包装性確保のために、包装材料には上記ガスバリア性に加えて透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性が要求されている。また、今日開発が進められている有機EL、有機薄膜太陽電池、有機トランジスタ、フレキシブル液晶等の新規分野においても、高いガスバリア性、透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性を有する高バリア性シートの開発が待望されている。   Today, in the packaging field of foods, pharmaceuticals, etc., in order to maintain the taste, freshness, efficacy, etc. by suppressing the oxidation and alteration of the contents, the packaging material used has a high gas barrier property against the permeation of oxygen and water vapor. Is required. In particular, in packaging of foods, etc., in order to ensure the visibility of the contents and the packaging properties of various miscellaneous items, the packaging material has various characteristics such as transparency, heat resistance and flexibility in addition to the above gas barrier properties. Is required. In addition, even in new fields such as organic EL, organic thin-film solar cells, organic transistors, and flexible liquid crystals that are being developed today, high barrier properties having various properties such as high gas barrier properties, transparency, heat resistance, and flexibility. The development of seats is awaited.

上記ガスバリア性、透明性等の諸特性を有する従来の高バリア性シートとしては、図3に示すように、合成樹脂製の基材フィルム51と、この基材フィルム51の表面に積層されるガスバリア層52とを備えている(例えば特開2003−181974等参照)。この基材フィルム51は、耐熱性向上のためにポリエチレンテレフタレートフィルム等が用いられている。また、ガスバリア層52は、物理気相成長法又は化学気相成長法によって形成されるケイ素酸化物又はアルミニウム酸化物の蒸着薄膜から構成されている。
特開2003−181974公報
As a conventional high-barrier sheet having various properties such as gas barrier properties and transparency, a synthetic resin base film 51 and a gas barrier laminated on the surface of the base film 51 are shown in FIG. Layer 52 (see, for example, JP-A-2003-181974). For the base film 51, a polyethylene terephthalate film or the like is used to improve heat resistance. The gas barrier layer 52 is composed of a deposited thin film of silicon oxide or aluminum oxide formed by physical vapor deposition or chemical vapor deposition.
JP 2003-181974 A

上記従来の高バリア性シートは、ガスバリア層52により所定のガスバリア性を有するが、ケイ素酸化物又はアルミニウム酸化物の蒸着薄膜の製造方法及び製造条件を制御してもガスバリア層52にピンホール、結晶粒界、クラック等の欠陥が発生し、このガスバリア層52の欠陥を介して水蒸気等のガスが透過する。そのため、上記従来の高バリア性シートは、ガスバリア性の向上には限界があり、高いガスバリア性が要求される有機EL用バリア性シート、有機薄膜太陽電池用基板シート、有機トランジスタ用基板シート、フレキシブル液晶用基板シート等としての使用に耐え得るものではない。   The conventional high-barrier sheet has a predetermined gas barrier property due to the gas barrier layer 52. However, even if the manufacturing method and manufacturing conditions of the deposited thin film of silicon oxide or aluminum oxide are controlled, pinholes and crystals are formed in the gas barrier layer 52. Defects such as grain boundaries and cracks occur, and a gas such as water vapor passes through the defects in the gas barrier layer 52. Therefore, the conventional high-barrier sheet has a limit in improving the gas barrier property, and a barrier sheet for organic EL, a substrate sheet for organic thin-film solar cells, a substrate sheet for organic transistor, and a flexible film that require high gas barrier properties. It cannot withstand use as a liquid crystal substrate sheet or the like.

また、上記従来の高バリア性シートにおける合成樹脂製の基材フィルム51の表面は、所定の表面粗さを有し、ダストや滑り防止剤などが付着している。かかる基材フィルム51の表面性状に起因してガスバリア層52の蒸着膜への欠陥の発生が増大し、上記従来の高バリア性シートのガスバリア性の低下を招来している。   Moreover, the surface of the base film 51 made of synthetic resin in the conventional high barrier sheet has a predetermined surface roughness, and dust, an anti-slip agent, or the like is attached to the surface. Due to the surface properties of the base film 51, the occurrence of defects in the deposited film of the gas barrier layer 52 is increased, leading to a decrease in gas barrier properties of the conventional high barrier sheet.

本発明はこれらの不都合に鑑みてなされたものであり、酸素、水蒸気等に対するガスバリア性に優れ、さらに高い透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性を有し、非常に高いガスバリア性が要求される例えば有機EL用バリア性シート、有機薄膜太陽電池用基板シート、有機トランジスタ用基板シート、フレキシブル液晶用基板シート等に好適に使用される高バリア性シートの提供を目的とするものである。   The present invention has been made in view of these disadvantages, and has excellent gas barrier properties against oxygen, water vapor and the like, and has various properties such as high transparency, heat resistance and flexibility, and requires extremely high gas barrier properties. For example, the present invention aims to provide a high-barrier sheet suitably used for an organic EL barrier sheet, an organic thin film solar cell substrate sheet, an organic transistor substrate sheet, a flexible liquid crystal substrate sheet, and the like.

上記課題を解決するためになされた本発明の高バリア性シートは、
合成樹脂製の基材フィルムと、
この基材フィルムの少なくとも一方の面に積層される一の平坦化層と、
この一の平坦化層の外面に積層されるガスバリア層と、
このガスバリア層の外面に積層される他の平坦化層とを備えており、
上記一の平坦化層が、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法により、若しくは外面に酸素プラズマ処理が施されたシリコーン樹脂より形成され、
上記ガスバリア層が、無機酸化物又は無機窒化物から形成され、
上記他の平坦化層が、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法により形成されており、
上記一の平坦化層のゾル・ゲル法による形成において、加熱と共に、組成物への紫外線照射が施されている。
The high barrier sheet of the present invention made to solve the above problems is
A base film made of synthetic resin;
One planarization layer laminated on at least one surface of the base film;
A gas barrier layer laminated on the outer surface of the one planarization layer;
Another planarization layer laminated on the outer surface of the gas barrier layer,
The one planarizing layer is formed by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof, or a silicone resin having an outer surface subjected to oxygen plasma treatment,
The gas barrier layer is formed of an inorganic oxide or an inorganic nitride;
The other planarizing layer is formed by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof,
In the formation of the one flattening layer by the sol-gel method, the composition is irradiated with ultraviolet rays while being heated.

当該高バリア性シートは、基材フィルムに一の平坦化層が積層され、その平坦化層の外面にガスバリア層が積層されていることから、一の平坦化層によって基材フィルムの表面粗さが低減され、かつ基材フィルム表面に付着しているダストや滑り防止剤などが被覆される結果、ガスバリア層を積層する界面の平滑性を促進することができる。そのため、当該高バリア性シートは、ガスバリア層の緻密性が促進されて、ガスバリア層へのピンホール、結晶粒界、クラック等の欠陥の発生が低減され、その結果水蒸気等に対するガスバリア性が格段に向上する。   In the high barrier sheet, since one flattening layer is laminated on the base film, and the gas barrier layer is laminated on the outer surface of the flattening layer, the surface roughness of the base film by the one flattening layer. As a result of being coated with dust, an anti-slip agent or the like adhering to the surface of the base film, the smoothness of the interface where the gas barrier layers are laminated can be promoted. Therefore, the high-barrier sheet promotes the denseness of the gas barrier layer and reduces the occurrence of defects such as pinholes, crystal grain boundaries, and cracks in the gas barrier layer. improves.

また、当該高バリア性シートは、ガスバリア層の外面に他の平坦化層が積層されていることから、ガスバリア層にピンホール、結晶粒界、クラック等の欠陥が発生しても、その欠陥が他の平坦化層によって封鎖され、また他の平坦化層によってガスバリア層が保護される。そのため、当該高バリア性シートは、水蒸気等に対するガスバリア性がさらに向上し、ガスバリア性の経時的劣化が低減される。   In addition, since the high barrier sheet has another planarization layer laminated on the outer surface of the gas barrier layer, even if defects such as pinholes, crystal grain boundaries, cracks, etc. occur in the gas barrier layer, the defects are not detected. It is sealed by another planarizing layer and the gas barrier layer is protected by the other planarizing layer. Therefore, the high barrier sheet further improves the gas barrier property against water vapor and the like, and the deterioration of the gas barrier property with time is reduced.

上記ガスバリア層及び他の平坦化層は、同順に複数回繰り返して積層するとよい。このようにガスバリア層及び他の平坦化層を同じ順序で複数回繰り返して積層することで、当該高バリア性シートのガスバリア性を格段に向上することができる。なお、一対のガスバリア層間に積層される他の平坦化層は、上述の内面側のガスバリア層に対する欠陥封鎖機能に加えて、外面側に積層されるガスバリア層に対して界面の平滑性に起因するガスバリア層の緻密性促進機能をも奏することができる。   The gas barrier layer and the other planarization layer may be laminated by repeating a plurality of times in the same order. Thus, the gas barrier property of the high barrier sheet can be remarkably improved by repeatedly laminating the gas barrier layer and the other planarizing layer in the same order a plurality of times. The other planarization layer laminated between the pair of gas barrier layers is caused by the smoothness of the interface with respect to the gas barrier layer laminated on the outer surface side in addition to the defect sealing function for the gas barrier layer on the inner surface side described above. The denseness promoting function of the gas barrier layer can also be exhibited.

上記ガスバリア層は、無機酸化物又は無機窒化物から形成されている。このようにガスバリア層を無機酸化物又は無機窒化物から形成することで、ガスバリア層の高いガスバリア性、透明性、耐熱性、柔軟性等が確保される。
The gas barrier layer is formed from an inorganic oxide or an inorganic nitride. Thus, by forming a gas barrier layer from an inorganic oxide or an inorganic nitride, the high gas barrier property of a gas barrier layer, transparency, heat resistance, a softness | flexibility, etc. are ensured.

上記無機酸化物又は無機窒化物としては、ケイ素酸化物、ケイ素窒化物及びアルミニウム酸化物からなる群より選択される1種又は2種以上のものが好ましい。かかるケイ素酸化物、ケイ素窒化物又はアルミニウム酸化物からガスバリア層を形成することで、当該高バリア性シートのガスバリア性、透明性等が高められる。   The inorganic oxide or inorganic nitride is preferably one or more selected from the group consisting of silicon oxide, silicon nitride, and aluminum oxide. By forming a gas barrier layer from such silicon oxide, silicon nitride, or aluminum oxide, the gas barrier property, transparency, etc. of the high barrier sheet are enhanced.

上記ガスバリア層は、物理気相成長法又は化学気相成長法により形成するとよい。このように物理気相成長法又は化学気相成長法によりガスバリア層を形成することで、緻密かつ均一で、高いガスバリア性を有するガスバリア層を形成することができる。   The gas barrier layer may be formed by physical vapor deposition or chemical vapor deposition. Thus, by forming the gas barrier layer by physical vapor deposition or chemical vapor deposition, a dense and uniform gas barrier layer having high gas barrier properties can be formed.

上記物理気相成長法としてはスパッタリング法が好ましく、上記化学気相成長法としてはプラズマ化学気相成長法が好ましい。かかるスパッタリング法によれば、緻密かつ均一で、高いガスバリア性を有する無機酸化物等の蒸着膜(ガスバリア層)を形成することができる。また、プラズマCVDによれば、比較的低温で、密着性、柔軟性等に富みかつ緻密な無機酸化物等の蒸着膜(ガスバリア層)を形成することができる。   The physical vapor deposition method is preferably a sputtering method, and the chemical vapor deposition method is preferably a plasma chemical vapor deposition method. According to such a sputtering method, it is possible to form a vapor-deposited film (gas barrier layer) such as a dense and uniform inorganic oxide having a high gas barrier property. Moreover, according to plasma CVD, it is possible to form a vapor-deposited film (gas barrier layer) such as a dense inorganic oxide which is rich in adhesion and flexibility at a relatively low temperature.

上記平坦化層は、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法により形成するとよい。このような金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法によれば、上述の平坦化層外面に積層されるガスバリア層に対する緻密性促進機能と平坦化層内面に積層されるガスバリア層に対する欠陥封鎖機能とを有する平坦化層を容易かつ確実に形成することができる。また、このように平坦化層をゾル・ゲル法により形成することで、平坦化層にもガスバリア性が付与され、当該高バリア性シートのガスバリア性をさらに向上することができる。   The planarizing layer may be formed by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof. According to the sol-gel method using such a composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof, the above-described gas barrier layer laminated on the flattening layer outer surface has a function of promoting denseness and the inner surface of the flattening layer. A planarization layer having a defect sealing function for the gas barrier layer to be laminated can be easily and reliably formed. Further, by forming the planarization layer by the sol-gel method in this manner, the gas barrier property is also imparted to the planarization layer, and the gas barrier property of the high barrier sheet can be further improved.

上記組成物中に、窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基を有する金属アルコキシドを含有するとよい。このように窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基を有する金属アルコキシドを含有することで、平坦化層の膜物性が向上し、また上述のガスバリア層に対する緻密性促進機能及び欠陥封鎖機能並びに平坦化層のガスバリア性を促進することができ、さらに基材フィルムと一の平坦化層との密着性を改善することができる。   The composition may contain a metal alkoxide having a functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur and halogen. Thus, by including a metal alkoxide having a functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur and halogen, the film physical properties of the planarization layer are improved, and the denseness promoting function and defects for the above-mentioned gas barrier layer are improved. The sealing function and the gas barrier property of the planarizing layer can be promoted, and the adhesion between the base film and the one planarizing layer can be improved.

上記組成物中に、ゾル・ゲル法に使用可能な有機溶媒及び/又は水に対して可溶性を有するポリマー(以下「溶剤可溶性ポリマー」と称する)を含むとよい。このように金属アルコキシドと溶剤可溶性ポリマーとを含む組成物を用いたゾル・ゲル法により平坦化層を形成することで、平坦化層の膜物性が向上し、かつ平坦化層のガスバリア性(特に、高温時におけるガスバリア性)をより高めることができる。
The composition may contain an organic solvent that can be used in the sol-gel method and / or a polymer that is soluble in water (hereinafter referred to as “solvent-soluble polymer”). Thus, by forming a planarization layer by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and a solvent-soluble polymer, the physical properties of the planarization layer are improved, and the gas barrier property of the planarization layer (particularly, , Gas barrier properties at high temperatures) can be further enhanced.

上記ゾル・ゲル法による一の平坦化層の形成において、加熱と共に、組成物への紫外線照射が施されており、他の平坦化層の形成においても、加熱と共に、組成物への紫外線照射が施されるとよい。このように、ゾル・ゲル法による平坦化層の形成の際に、加熱と共に、組成物への紫外線照射を施すことで、組成物がより低温で硬化し、膜物性及び平坦化層の密着性が向上する。そのため、当該高バリア性シートは、ガスバリア性、耐熱性、透明性等がより高められる。
In the formation of one planarization layer by the sol-gel method, ultraviolet irradiation is applied to the composition together with heating, and in the formation of the other planarization layer, ultraviolet irradiation is applied to the composition together with heating. It should be given. In this way, when the planarization layer is formed by the sol-gel method, the composition is cured at a lower temperature by applying ultraviolet irradiation to the composition together with heating, so that the film properties and the adhesion of the planarization layer are increased. Will improve. Therefore, the high barrier sheet has higher gas barrier properties, heat resistance, transparency, and the like.

また、上記一の平坦化層は、シリコーン樹脂から形成してもよい。このように一の平坦化層をシリコーン樹脂から形成しても、上述のガスバリア層に対する緻密性促進機能及び欠陥封鎖機能を奏することができ、さらに一の平坦化層のガスバリア性を促進することができる。   The one planarizing layer may be formed of a silicone resin. Thus, even if one flattening layer is formed from a silicone resin, the above-described gas barrier layer can be provided with a denseness promoting function and a defect sealing function, and further, the one flattening layer can be promoted with a gas barrier property. it can.

上記シリコーン樹脂から形成される一の平坦化層の外面(ガスバリア層積層面)に酸素プラズマ処理を施すとよい。このようにシリコーン樹脂からなる一の平坦化層外面に酸素プラズマ処理を施すことで、一の平坦化層の表面が活性化され、ガスバリア層の緻密性促進機能が向上する。そのため、当該高バリア性シートは、一の平坦化層とガスバリア層(特に、ケイ素酸化物からなるガスバリア層)との密着性が良好になり、このガスバリア層のガスバリア性がさらに高められる。   Oxygen plasma treatment may be performed on the outer surface (gas barrier layer lamination surface) of one planarization layer formed from the silicone resin. In this way, by performing oxygen plasma treatment on the outer surface of the one planarizing layer made of silicone resin, the surface of the one planarizing layer is activated, and the function of promoting the denseness of the gas barrier layer is improved. Therefore, the high barrier sheet has good adhesion between one planarization layer and a gas barrier layer (particularly, a gas barrier layer made of silicon oxide), and the gas barrier property of the gas barrier layer is further enhanced.

以上説明したように、本発明の高バリア性シートは、酸素、水蒸気等に対するガスバリア性に優れ、さらに高い透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性を有している。そのため、当該高バリア性シートは、非常に高いガスバリア性が要求される例えば有機EL用バリア性シート、有機薄膜太陽電池用基板シート、有機トランジスタ用基板シート、フレキシブル液晶用基板シート等に好適に使用される。   As described above, the high barrier sheet of the present invention has excellent gas barrier properties against oxygen, water vapor, and the like, and has various properties such as high transparency, heat resistance, and flexibility. Therefore, the high barrier sheet is suitably used for, for example, an organic EL barrier sheet, an organic thin film solar cell substrate sheet, an organic transistor substrate sheet, a flexible liquid crystal substrate sheet, etc., which require extremely high gas barrier properties. Is done.

以下、適宜図面を参照しつつ本発明の実施の形態を詳説する。図1は本発明の一実施形態に係る高バリア性シートを示す模式的断面図、図2は図1の高バリア性シートとは異なる形態に係る高バリア性シートを示す模式的断面図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a high-barrier sheet according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a high-barrier sheet according to a form different from the high-barrier sheet of FIG. .

図1の高バリア性シートは、合成樹脂製の基材フィルム1と、この基材フィルム1の一方の面に積層される一の平坦化層2と、この一の平坦化層2の外面に積層されるガスバリア層3と、このガスバリア層3の外面に積層される他の平坦化層4とを備えている。当該高バリア性シートは、主にガスバリア層3によって高いガスバリア性を有し、加えて高い透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性を有している。   The high barrier sheet of FIG. 1 includes a base film 1 made of synthetic resin, a flattening layer 2 laminated on one surface of the base film 1, and an outer surface of the flattening layer 2. A gas barrier layer 3 to be laminated and another planarizing layer 4 to be laminated on the outer surface of the gas barrier layer 3 are provided. The high-barrier sheet has high gas barrier properties mainly due to the gas barrier layer 3 and, in addition, has various properties such as high transparency, heat resistance, and flexibility.

基材フィルム1は、合成樹脂を材料とするシート成形により形成されている。かかる基材フィルム1に用いられる合成樹脂としては、特に限定されるものではなく、例えばポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体(AS樹脂)、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体(ABS樹脂)、ポリ塩化ビニル系樹脂、フッ素系樹脂、ポリ(メタ)アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリアリールフタレート系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、アセタール系樹脂、セルロース系樹脂等が挙げられる。上記樹脂の中でも、高い耐熱性、強度、耐候性、耐久性、水蒸気等に対するガスバリア性等を有し、ガスバリア層3の蒸着条件等に耐え、一の平坦化層2との密接着性に優れているポリエステル系樹脂、フッ素系樹脂及び環状ポリオレフィン系樹脂が好ましい。   The base film 1 is formed by sheet molding using a synthetic resin as a material. The synthetic resin used for the base film 1 is not particularly limited, and for example, a polyethylene resin, a polypropylene resin, a cyclic polyolefin resin, a polystyrene resin, an acrylonitrile-styrene copolymer (AS resin), Acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS resin), polyvinyl chloride resin, fluorine resin, poly (meth) acrylic resin, polycarbonate resin, polyester resin, polyamide resin, polyimide resin, polyamideimide Examples thereof include resins, polyaryl phthalate resins, silicone resins, polysulfone resins, polyphenylene sulfide resins, polyether sulfone resins, polyurethane resins, acetal resins, and cellulose resins. Among the above resins, it has high heat resistance, strength, weather resistance, durability, gas barrier properties against water vapor, etc., withstands vapor deposition conditions of the gas barrier layer 3, and has excellent tight adhesion with one planarizing layer 2. Polyester resins, fluorine resins and cyclic polyolefin resins are preferred.

上記ポリエステル系樹脂としては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等が挙げられる。これらのポリエステル系樹脂の中でも、耐熱性、耐候性等の諸機能面及び価格面のバランスが良好なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。   Examples of the polyester resin include polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate. Among these polyester-based resins, polyethylene terephthalate is particularly preferable because it has a good balance between various functions such as heat resistance and weather resistance, and price.

上記フッ素系樹脂としては、例えばポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレンとペルフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体からなるペルフルオロアルコキシ樹脂(PFA)、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンとのコポリマー(FEP)、テトラフルオロエチレンとペルフルオロアルキルビニルエーテルとヘキサフルオロプロピレンとのコポリマー(EPE)、テトラフルオロエチレンとエチレン又はプロピレンとのコポリマー(ETFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン樹脂(PCTFE)、エチレンとクロロトリフルオロエチレンとのコポリマー(ECTFE)、フッ化ビニリデン系樹脂(PVDF)、フッ化ビニル系樹脂(PVF)等が挙げられる。これらのフッ素系樹脂の中でも、強度、耐熱性、耐候性等に優れるポリフッ化ビニル系樹脂(PVF)やテトラフルオロエチレンとエチレン又はプロピレンとのコポリマー(ETFE)が特に好ましい。   Examples of the fluororesin include polytetrafluoroethylene (PTFE), perfluoroalkoxy resin (PFA) made of a copolymer of tetrafluoroethylene and perfluoroalkyl vinyl ether, and a copolymer of tetrafluoroethylene and hexafluoropropylene (FEP). Copolymer of tetrafluoroethylene and perfluoroalkyl vinyl ether and hexafluoropropylene (EPE), copolymer of tetrafluoroethylene and ethylene or propylene (ETFE), polychlorotrifluoroethylene resin (PCTFE), ethylene and chlorotrifluoroethylene Copolymer (ECTFE), vinylidene fluoride resin (PVDF), vinyl fluoride resin (PVF), and the like. Among these fluororesins, polyvinyl fluoride resin (PVF) and a copolymer of tetrafluoroethylene and ethylene or propylene (ETFE) which are excellent in strength, heat resistance, weather resistance and the like are particularly preferable.

上記環状ポリオレフィン系樹脂としては、例えばa)シクロペンタジエン(及びその誘導体)、ジシクロペンタジエン(及びその誘導体)、シクロヘキサジエン(及びその誘導体)、ノルボルナジエン(及びその誘導体)等の環状ジエンを重合させてなるポリマー、b)当該環状ジエンとエチレン、プロピレン、4−メチル−1−ペンテン、スチレン、ブタジエン、イソプレン等のオレフィン系モノマーの1種又は2種以上とを共重合させてなるコポリマー等が挙げられる。これらの環状ポリオレフィン系樹脂の中でも、強度、耐熱性、耐候性等に優れるシクロペンタジエン(及びその誘導体)、ジシクロペンタジエン(及びその誘導体)又はノルボルナジエン(及びその誘導体)等の環状ジエンのポリマーが特に好ましい。   As the cyclic polyolefin resin, for example, a) cyclic dienes such as cyclopentadiene (and derivatives thereof), dicyclopentadiene (and derivatives thereof), cyclohexadiene (and derivatives thereof), norbornadiene (and derivatives thereof) are polymerized. And b) a copolymer obtained by copolymerizing the cyclic diene with one or more olefinic monomers such as ethylene, propylene, 4-methyl-1-pentene, styrene, butadiene, and isoprene. . Among these cyclic polyolefin resins, cyclopentadiene (and derivatives thereof), dicyclopentadiene (and derivatives thereof) or norbornadiene (and derivatives thereof) such as polymers having excellent strength, heat resistance, and weather resistance are particularly preferred. preferable.

なお、基材フィルム1の形成材料としては、上記合成樹脂を1種又は2種以上混合して使用することができる。また、基材フィルム1の形成材料中には、加工性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法安定性等を改良、改質する目的で、種々の添加剤等を混合することができる。この添加剤としては、例えば滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定化剤、充填剤、強化繊維、補強剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔料等が挙げられる。上記基材フィルム1の成形方法としては、特に限定されず、例えば押出し法、キャスト成形法、Tダイ法、切削法、インフレーション法等の公知の方法が採用される。   In addition, as a forming material of the base film 1, the said synthetic resin can be used 1 type or in mixture of 2 or more types. In addition, various additives and the like can be mixed in the forming material of the base film 1 for the purpose of improving and modifying processability, heat resistance, weather resistance, mechanical properties, dimensional stability, and the like. . Examples of the additive include a lubricant, a crosslinking agent, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, a filler, a reinforcing fiber, a reinforcing agent, an antistatic agent, a flame retardant, a flame retardant, a foaming agent, and an antifungal agent. And pigments. The method for forming the base film 1 is not particularly limited, and known methods such as an extrusion method, a cast forming method, a T-die method, a cutting method, and an inflation method are employed.

基材フィルム1の厚み(平均厚み)の下限としては、10μmが好ましく、20μmが特に好ましい。一方、基材フィルム1の厚みの上限としては、250μmが好ましく、188μmが特に好ましい。基材フィルム1の厚みが上記下限未満であると、ガスバリア層3を形成するための蒸着加工の際にカールが発生しやすくなってしまう、取扱いが困難になる等の不都合が発生する。逆に、基材フィルム1の厚みが上記上限を超えると、高バリア性シートの薄型化及び軽量化の要請に反することになる。   As a minimum of the thickness (average thickness) of base film 1, 10 micrometers is preferred and 20 micrometers is especially preferred. On the other hand, the upper limit of the thickness of the base film 1 is preferably 250 μm and particularly preferably 188 μm. When the thickness of the base film 1 is less than the above lower limit, inconveniences such as curl are likely to occur during vapor deposition for forming the gas barrier layer 3 and handling becomes difficult. On the other hand, if the thickness of the base film 1 exceeds the above upper limit, it is contrary to the demand for thinning and lightening the high barrier sheet.

一の平坦化層2は、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法により形成される。   One planarization layer 2 is formed by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof.

この金属アルコキシドが含有する金属としては、3価以上の金属、例えば遷移金属、希土類金属、周期表3〜5族の金属などが挙げられ、周期表3b族又は4族に属する金属が好ましい。周期表3b族に属する金属としては例えばAlなどが挙げられる。周期表4族に属する金属としては例えば4a族に属するTi、Zrなど、4b族に属するSiなどが挙げられる。これらの金属のうち、ゾル・ゲル法による製膜が容易で界面平坦化機能に優れるAl及びSiが好ましく、Siが特に好ましい。   Examples of the metal contained in the metal alkoxide include trivalent or higher metals, for example, transition metals, rare earth metals, metals in groups 3 to 5 of the periodic table, and metals belonging to groups 3b or 4 of the periodic table are preferable. Examples of the metal belonging to Group 3b of the periodic table include Al. Examples of the metal belonging to Group 4 of the periodic table include Ti and Zr belonging to Group 4a, Si and the like belonging to Group 4b. Of these metals, Al and Si, which are easy to form a film by a sol-gel method and have an excellent interface flattening function, are preferable, and Si is particularly preferable.

金属アルコキシドが有するアルコキシ基としては、例えばメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基などが挙げられる。中でも、加水分解重合性に優れる炭素数1〜4の低級アルコキシ基が好ましく、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基が特に好ましい。また、加水分解重合性を促進する趣旨で、少なくとも2つのアルコキシ基を有する金属アルコキシドが好ましい。   Examples of the alkoxy group possessed by the metal alkoxide include a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an isopropoxy group, a butoxy group, an isobutoxy group, a pentyloxy group, and a hexyloxy group. Among them, a lower alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms that is excellent in hydrolysis polymerizability is preferable, and a methoxy group, an ethoxy group, and a propoxy group are particularly preferable. In addition, a metal alkoxide having at least two alkoxy groups is preferred for the purpose of promoting hydrolysis polymerizability.

金属アルコキシドは、炭化水素基を有していてもよい。この炭化水素基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基;シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基;フェニル基、ナフチル基等のアリール基;ベンジル基、2−フェニルエチル基等のアラルキル基等が挙げられる。これらの炭化水素基のうち、アルキル基及びアリール基が好ましい。このアルキル基の中でも、炭素数1〜4の低級アルキル基が好ましく、メチル基、エチル基及びプロピル基が特に好ましい。また、アリール基の中でも、フェニル基が好ましい。金属アルコキシドにおける炭化水素基の数としては、アルコキシ基の数に応じて適当に選択でき、一般的に1分子中0〜2個程度とされている。   The metal alkoxide may have a hydrocarbon group. Examples of the hydrocarbon group include alkyl groups such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, a pentyl group, and a hexyl group; a cycloalkyl group such as a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, and a cyclooctyl group; a phenyl group Aryl groups such as naphthyl group; aralkyl groups such as benzyl group and 2-phenylethyl group. Of these hydrocarbon groups, alkyl groups and aryl groups are preferred. Among these alkyl groups, a lower alkyl group having 1 to 4 carbon atoms is preferable, and a methyl group, an ethyl group, and a propyl group are particularly preferable. Of the aryl groups, a phenyl group is preferable. The number of hydrocarbon groups in the metal alkoxide can be appropriately selected according to the number of alkoxy groups, and is generally about 0 to 2 in one molecule.

金属アルコキシドとしては、具体的には、下記式(1)で表されるものが好ましい。
(RM(ORX−m (1)
上記式(1)において、Rは、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基又はアラルキル基を示し、置換基を有していてもよい。Rは、低級アルキル基を示す。R及びRは、mによって異なっていてもよい。Mは、3価以上の金属を示す。Xは、金属Mの価数を示す。mは、0〜2の整数を示し、X−m≧2である。
Specifically, the metal alkoxide is preferably represented by the following formula (1).
(R 1 ) m M (OR 2 ) Xm (1)
In the above formula (1), R 1 represents an alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group or an aralkyl group, and may have a substituent. R 2 represents a lower alkyl group. R 1 and R 2 may be different depending on m. M represents a trivalent or higher metal. X represents the valence of the metal M. m shows the integer of 0-2 and it is Xm> = 2.

特に、金属がSiである金属アルコキシドとしては、下記式(2)で表されるものが好ましい。
(RSi(OR4−n (2)
上記式(2)において、Rは、アルキル基又はアリール基を示し、置換基を有していてもよい。Rは、低級アルキル基を示す。R及びRは、nによって異なっていてもよい。nは、0〜2の整数を示す。
In particular, the metal alkoxide whose metal is Si is preferably represented by the following formula (2).
(R 1 ) n Si (OR 2 ) 4-n (2)
In the above formula (2), R 1 represents an alkyl group or an aryl group, and may have a substituent. R 2 represents a lower alkyl group. R 1 and R 2 may be different depending on n. n shows the integer of 0-2.

金属がAlである金属アルコキシドとしては、具体的にはトリメトキシアルミネート、トリエトキシアルミネート、エチルジエトキシアルミネート、トリプロポキシアルミネートなどが挙げられる。   Specific examples of the metal alkoxide whose metal is Al include trimethoxy aluminate, triethoxy aluminate, ethyl diethoxy aluminate, tripropoxy aluminate and the like.

上記式(2)で表される金属(Si)アルコキシドとしては、具体的にはテトラメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、プロピルトリメトキシシラン、ブチルトリメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、プロピルトリエトキシシラン、ブチルトリエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、エチルトリプロポキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジプロピルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリプロポキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシランなどが挙げられる。   Specific examples of the metal (Si) alkoxide represented by the above formula (2) include tetramethoxysilane, methyltrimethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, propyltrimethoxysilane, butyltrimethoxysilane, tetraethoxysilane, and methyl. Triethoxysilane, ethyltriethoxysilane, propyltriethoxysilane, butyltriethoxysilane, tetrapropoxysilane, methyltripropoxysilane, ethyltripropoxysilane, dimethyldimethoxysilane, diethyldimethoxysilane, dipropyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane , Diethyldiethoxysilane, γ-chloropropyltrimethoxysilane, γ-chloropropyltriethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-mercaptop Pills triethoxysilane, .gamma.-aminopropyltrimethoxysilane, .gamma.-aminopropyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane propoxy, diphenyldimethoxysilane, and the like diphenyl diethoxy silane.

上記式(2)で表される金属(Si)アルコキシドの中でも、炭素数1〜4程度のアルキル基又はアリール基を0〜2個、炭素数1〜3程度のアルコキシ基を2〜4個有する化合物、例えばテトラメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、テトラエトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシランなどが特に好ましい。   Among metal (Si) alkoxides represented by the above formula (2), 0 to 2 alkyl groups or aryl groups having about 1 to 4 carbon atoms, and 2 to 4 alkoxy groups having about 1 to 3 carbon atoms. Compounds such as tetramethoxysilane, methyltrimethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, tetraethoxysilane, ethyltriethoxysilane, diethyldiethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane Etc. are particularly preferred.

なお、上記組成物中には、同種又は異種の金属アルコキシドを一種又は二種以上混合して使用できる。また、上記組成物中には、組成物の硬さ、柔軟性などを調整するため、n=3のモノアルコキシシランを添加してもよい。また、上記組成物中には、5b族の化合物、例えばメチルホスホナスジメチルエステル、エチルホスホナスジメチルエステル、トリクロロメチルホスホナスジエチルエステル、メチルホスホナスジエチルエステル、メチルホスホニックジメチルエステル、フェニルホスホニックジメチルエステル、リン酸トリアルキルエステルなどのリン系化合物や、ホウ酸トリアルキルエステルなどのホウ素化合物を添加してもよい。さらに、上記組成物中には、少なくとも1つの加水分解性有機基を有するアルカリ土類金属化合物を必要に応じて添加してもよい。このアルカリ土類金属化合物は、炭化水素基と加水分解性有機基との双方を有していてもよい。   In addition, in the said composition, the same kind or different kind of metal alkoxide can be used 1 type or in mixture of 2 or more types. Further, in order to adjust the hardness, flexibility and the like of the composition, n = 3 monoalkoxysilane may be added to the composition. Further, in the above composition, a group 5b compound such as methylphosphonas dimethyl ester, ethylphosphonas dimethyl ester, trichloromethylphosphonas diethyl ester, methylphosphonas diethyl ester, methylphosphonic dimethyl ester, phenylphosphonic dimethyl ester Phosphorus compounds such as esters and trialkyl phosphates and boron compounds such as boric acid trialkyl esters may be added. Further, an alkaline earth metal compound having at least one hydrolyzable organic group may be added to the composition as necessary. This alkaline earth metal compound may have both a hydrocarbon group and a hydrolyzable organic group.

上記組成物中に、窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基を有する金属アルコキシド(A)を含有するとよい。このように窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基を有する金属アルコキシド(A)を含有する組成物を塗工及びキュアすることで、平坦化層2に特定のポリシロキサン構造を発現させ、平坦化層2の膜物性ひいてはガスバリア性を向上させることができ、加えて平坦化層2のガスバリア性の温度依存性を低減することができる。   The composition may contain a metal alkoxide (A) having a functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur and halogen. Thus, by coating and curing the composition containing the metal alkoxide (A) having a functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur and halogen, a specific polysiloxane structure is formed on the planarizing layer 2. It is possible to improve the film physical properties of the planarization layer 2 and thus the gas barrier property, and in addition, the temperature dependence of the gas barrier property of the planarization layer 2 can be reduced.

上記窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基としては、例えばアミノ基、塩素、メルカプト基、グリシドキシ基などが挙げられる。上記窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基を有する金属アルコキシド(A)としては、例えばγ−クロロプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリクロロシラン、β−(3、4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ビス(β−ヒドロキシエチル)−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルシリコ−ン等が挙げられ、これらの金属アルコキシドの1種又は2種以上を使用することができる。   Examples of the functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur and halogen include an amino group, chlorine, mercapto group, and glycidoxy group. Examples of the metal alkoxide (A) having a functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur and halogen include γ-chloropropyltrimethoxysilane, vinyltrichlorosilane, and β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl. Trimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, N- β (aminoethyl) -γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, γ-ureidopropyltriethoxysilane, bis (β-hydroxyethyl) -γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropylsilicone, etc. One of these metal alkoxides It may be used or two or more.

上記金属アルコキシド(A)の含有量(組成物中の全金属アルコキシドに対する含有量)としては、1質量%以上50質量%以下が好ましく、3質量%以上30質量%以下が特に好ましい。金属アルコキシド(A)の含有量を上記範囲とすることで、平坦化層2にガスバリア性に寄与するポリシロキサン構造を発現することができる。   As content (content with respect to all the metal alkoxides in a composition) of the said metal alkoxide (A), 1 to 50 mass% is preferable, and 3 to 30 mass% is especially preferable. By setting the content of the metal alkoxide (A) within the above range, a polysiloxane structure that contributes to gas barrier properties can be expressed in the planarization layer 2.

上記組成物中に、溶剤可溶性ポリマーを含有するとよい。かかる溶剤可溶性ポリマーと金属アルコキシドとを含む組成物を用いたゾル・ゲル法により平坦化層2を形成することで、平坦化層2の膜物性が向上し、かつ平坦化層2のガスバリア性(特に、高温時におけるガスバリア性)をより高めることができる。   A solvent-soluble polymer may be contained in the composition. By forming the planarization layer 2 by a sol-gel method using a composition containing such a solvent-soluble polymer and a metal alkoxide, the film physical properties of the planarization layer 2 are improved, and the gas barrier property of the planarization layer 2 ( In particular, the gas barrier property at a high temperature can be further improved.

上記溶剤可溶性ポリマーとしては、種々の官能基や官能性結合基(例えば、ヒドロキシル基、カルボキシル基、エステル結合、エーテル結合、カーボネート結合、アミド基、アミド結合など)を有するポリマー、グリシジル基を有するポリマー、ハロゲン含有ポリマー、これらのポリマーからの誘導体等が挙げられる。これらの官能基や官能性結合基はポリマーの主鎖又は側鎖のいずれに存在していてもよい。溶媒可溶性ポリマーとしては、熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂のいずれであってもよく、単独又は二種以上混合して使用してもよい。また、溶媒可溶性ポリマーとしては、金属アルコキシドとの反応に活性であってもよく、不活性であってもよいが、一般的には非反応性ポリマーとされている。なお、「アミド結合」とは、−NHC(O)−に限定されず、>NC(O)−結合単位を含む概念である。
Examples of the solvent-soluble polymer include polymers having various functional groups and functional bonding groups (for example, hydroxyl groups, carboxyl groups, ester bonds, ether bonds, carbonate bonds, amide groups, amide bonds, etc.), polymers having glycidyl groups. , Halogen-containing polymers, and derivatives from these polymers. These functional groups and functional binding groups may be present in either the main chain or the side chain of the polymer. The solvent-soluble polymer may be either a thermoplastic resin or a thermosetting resin, and may be used alone or in combination of two or more. The solvent-soluble polymer may be active in the reaction with the metal alkoxide or inactive, but is generally a non-reactive polymer. The “amide bond” is not limited to —NHC (O) — and is a concept including a> NC (O) — bond unit.

上記ヒドロキシル基を有するポリマーとその誘導体としては、例えばポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール、エチレン−ビニルアルコール共重合体、フェノール樹脂、メチロールメラミン等とその誘導体(例えばアセタール化物、ヘキサメトキシメチルメラミン等)が挙げられる。上記カルボキシルを有するポリマーとその誘導体としては、例えばポリ(メタ)アクリル酸、無水マレイン酸、イタコン酸等の重合性不飽和酸の単位を含む単独又は共重合体、これらのポリマーのエステル化物などが挙げられる。上記エステル結合を有するポリマーとしては、例えば酢酸ビニル等のビニルエステル、メタクリル酸メチル等の(メタ)アクリル酸エステルなどの単位を含む単独又は共重合体(例えばポリ酢酸ビニル、エチレン−酢酸ビニル共重合体、(メタ)アクリル系樹脂など)、飽和ポリエステル、不飽和ポリエステル、ビニルエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、セルロースエステルなどが挙げられる。上記エーテル結合を有するポリマーとしては、例えばポリアルキレンオキサイド、ポリオキシアルキレングリコール、ポリビニルエーテル、ケイ素樹脂などが挙げられる。上記カーボネート結合を有するポリマーとしては、ビスフェノールA型ポリカーボネートなどのポリカーボネートが挙げられる。   Examples of the hydroxyl group-containing polymer and derivatives thereof include polyvinyl alcohol, polyvinyl acetal, ethylene-vinyl alcohol copolymer, phenol resin, methylol melamine, and derivatives thereof (for example, acetalized products, hexamethoxymethyl melamine, etc.). . Examples of the carboxyl-containing polymer and derivatives thereof include homopolymers or copolymers containing units of polymerizable unsaturated acids such as poly (meth) acrylic acid, maleic anhydride, and itaconic acid, and esterified products of these polymers. Can be mentioned. Examples of the polymer having an ester bond include homopolymers or copolymers (for example, polyvinyl acetate, ethylene-vinyl acetate copolymer, etc.) containing units such as vinyl esters such as vinyl acetate and (meth) acrylic esters such as methyl methacrylate. Coalescence, (meth) acrylic resin, etc.), saturated polyester, unsaturated polyester, vinyl ester resin, diallyl phthalate resin, cellulose ester and the like. Examples of the polymer having an ether bond include polyalkylene oxide, polyoxyalkylene glycol, polyvinyl ether, and silicon resin. Examples of the polymer having a carbonate bond include polycarbonates such as bisphenol A polycarbonate.

上記アミド結合を有するポリマーとしては、例えば>N(COR)−結合を有するポリオキサゾリン、ポリアルキレンイミン等のN−アシル化物;>NC(O)−結合を有するポリビニルピロリドンとその誘導体;ウレタン結合−HNC(O)O−を有するポリウレタン;尿素結合−HNC(O)NH−を有するポリマー;アミド結合−C(O)NH−を有するポリマー;ビュレツト結合を有するポリマー;アロハネート結合を有するポリマーなどが含まれる。上記結合式において、Rは、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよいアリール基を示す。   Examples of the polymer having an amide bond include:> N (COR) -bonded polyoxazoline, polyalkyleneimine and other N-acylated products;> NC (O) -bonded polyvinylpyrrolidone and derivatives thereof; urethane bond- Includes polyurethanes with HNC (O) O—; polymers with urea linkages—HNC (O) NH—; polymers with amide linkages—C (O) NH—; polymers with bullet linkages; polymers with allophanate linkages, etc. It is. In the above bonding formula, R represents a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent, or an aryl group which may have a substituent.

>N(COR)−結合を有するポリオキサゾリンの場合、上記Rで示されるアルキル基としては、例えば炭素数1〜10程度のアルキル基、好ましくは炭素数1〜4の低級アルキル基、特にメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基などが該当する。アルキル基の置換基としては、例えばフッ素、塩素、臭素等のハロゲン原子、ヒドロキシル基、炭素数1〜4程度のアルコキシ基、カルボキシル基、アルキル部分の炭素数が1〜4程度のアルコキシカルボニル基などが挙げられる。アリール基としては、例えばフェニル、ナフチル基などが挙げられる。アリール基の置換基としては、例えば前記ハロゲン原子、炭素数1〜4程度のアルキル基、ヒドロキシル基、炭素数1〜4程度のアルコキシ基、カルボキシル基、アルキル部分の炭素数が1〜4程度のアルコキシカルボニル基などが挙げられる。   In the case of a polyoxazoline having> N (COR) -bond, the alkyl group represented by R is, for example, an alkyl group having about 1 to 10 carbon atoms, preferably a lower alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, particularly a methyl group. , Ethyl group, propyl group, isopropyl group and the like. Examples of the substituent of the alkyl group include halogen atoms such as fluorine, chlorine and bromine, hydroxyl groups, alkoxy groups having about 1 to 4 carbon atoms, carboxyl groups, and alkoxycarbonyl groups having about 1 to 4 carbon atoms in the alkyl portion. Is mentioned. Examples of the aryl group include phenyl and naphthyl groups. Examples of the substituent of the aryl group include the halogen atom, an alkyl group having about 1 to 4 carbon atoms, a hydroxyl group, an alkoxy group having about 1 to 4 carbon atoms, a carboxyl group, and an alkyl moiety having about 1 to 4 carbon atoms. An alkoxycarbonyl group etc. are mentioned.

オキサゾリンとしては、例えば2−オキサゾリン、2−メチル−2−オキサゾリン、2−エチル−2−オキサゾリン、2−プロピル−2−オキサゾリン、2−イソプロピル−2−オキサゾリン、2−ブチル−2−オキサゾリン、2−ジクロロメチル−2−オキサゾリン、2−トリクロロメチル−2−オキサゾリン、2−ペンタフルオロエチル−2−オキサゾリン、2−フェニル−2−オキサゾリン、2−メトキシカルボニルエチル−2−オキサゾリン、2−(4−メチルフェニル)−2−オキサゾリン、2−(4−クロロフェニル)−2−オキサゾリンなどが挙げられる。特に、2−オキサゾリン、2−メチル−2−オキサゾリン、2−エチル−2−オキサゾリンなどが好ましい。このようなオキサゾリンのポリマーは一種又は二種以上混合して使用できる。ポリオキサゾリンは、単独重合体であってもよく、共重合体であってもよい。また、ポリオキサゾリンは、ポリマーにポリオキサゾリンがグラフトした共重合体であってもよい。   Examples of oxazolines include 2-oxazoline, 2-methyl-2-oxazoline, 2-ethyl-2-oxazoline, 2-propyl-2-oxazoline, 2-isopropyl-2-oxazoline, 2-butyl-2-oxazoline, 2 -Dichloromethyl-2-oxazoline, 2-trichloromethyl-2-oxazoline, 2-pentafluoroethyl-2-oxazoline, 2-phenyl-2-oxazoline, 2-methoxycarbonylethyl-2-oxazoline, 2- (4- Methylphenyl) -2-oxazoline, 2- (4-chlorophenyl) -2-oxazoline and the like. In particular, 2-oxazoline, 2-methyl-2-oxazoline, 2-ethyl-2-oxazoline and the like are preferable. Such oxazoline polymers can be used singly or in combination. The polyoxazoline may be a homopolymer or a copolymer. The polyoxazoline may be a copolymer obtained by grafting polyoxazoline to a polymer.

なお、ポリオキサゾリンは、置換基を有していてもよいオキサゾリンを触媒の存在下で開環重合することにより得られる。触媒としては、例えば硫酸ジメチル、p−トルエンスルホン酸アルキルエステルなどの硫酸エステルやスルホン酸エステル;ヨウ化アルキル(例えば、ヨウ化メチル)などのハロゲン化アルキル;フリーデルクラフツ触媒のうち金属フッ素化物;硫酸、ヨウ化水素、p−トルエンスホン酸などの酸、これらの酸とオキサゾリンとの塩であるオキサゾリニウム塩などが使用できる。   The polyoxazoline can be obtained by ring-opening polymerization of an oxazoline which may have a substituent in the presence of a catalyst. Examples of the catalyst include sulfuric acid esters and sulfonic acid esters such as dimethyl sulfate and p-toluenesulfonic acid alkyl ester; alkyl halides such as alkyl iodide (for example, methyl iodide); metal fluorides among Friedel-Crafts catalysts; Acids such as sulfuric acid, hydrogen iodide and p-toluenesulfonic acid, and oxazolinium salts which are salts of these acids with oxazoline can be used.

ポリアルキレンイミンのアシル化物としては、前記ポリオキサゾリンに対応するポリマー、例えばN−アセチルアミノ、N−プロピオニルアミノなどのN−アシルアミノ基を有するポリマーが挙げられる。ポリビニルピロリドンとその誘導体としては、置換基を有してもよいビニルピロリドンのポリマー、例えばポリビニルピロリドンなどが挙げられる。ウレタン結合を有するポリウレタンとしては、例えばポリイソシアネート(トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等)と、ポリオール(エチレングリコール、プロピレングリコール、テトラメチレングリコール、グリセリンなどの多価アルコール;ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、ジプロピレングリコール、ポリプロビレングリコール等のポリエーテルポリオール;ポリエステルポリオールなど)との反応により生成するポリウレタンが挙げられる。尿素結合を有するポリマーとしては、例えばポリ尿素、ポリイソシアネートとポリアミン(例えば、エチレンジアミン、ジエチレントリアミンなどのジアミンなど)との反応により生成するポリマーなどが挙げられる。   Examples of the acylated product of polyalkyleneimine include polymers corresponding to the polyoxazoline, for example, polymers having an N-acylamino group such as N-acetylamino and N-propionylamino. Examples of polyvinyl pyrrolidone and derivatives thereof include polymers of vinyl pyrrolidone which may have a substituent, such as polyvinyl pyrrolidone. Examples of polyurethanes having urethane bonds include polyisocyanates (tolylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, etc.) and polyols (polyhydric alcohols such as ethylene glycol, propylene glycol, tetramethylene glycol, glycerin; diethylene glycol, polyethylene glycol, dipropylene glycol). And polyurethanes produced by reaction with polyether polyols such as polypropylene glycol; polyester polyols, etc.). Examples of the polymer having a urea bond include polyurea, a polymer formed by a reaction of polyisocyanate and polyamine (for example, diamine such as ethylenediamine and diethylenetriamine).

アミド結合を有するポリマーとしては、ポリアミド、ポリ(メタ)アクリルアミド、ポリアミノ酸などが挙げられる。このアミド結合を有するポリマーとしては、置換基を有していてもよいオキサゾリンのポリマー、ポリアルキレンイミンのN−アシル化物、ポリビニルピロリドン、ポリウレタン、ポリアミド、ポリ(メタ)アクリルアミドなどが好ましい。ビュレツト結合を有するポリマーとしては、前記ポリイソシアネートとウレタン結合を有する化合物との反応により生成するポリマーが挙げられる。アロハネート結合を有するポリマーとしては、前記ポリイソシアネートと尿素結合を有する化合物との反応により生成するポリマーなどが挙げられる。グリシジル基を有するポリマーとしては、例えばエポキシ樹脂、グリシジル(メタ)アクリレートの単独又は共重合体等が挙げられる。ハロゲン含有ポリマーとしては、例えばポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニリデンの単位を有する塩化ビニリデン系ポリマー、塩素化ポリプロピレンなどが挙げられる。   Examples of the polymer having an amide bond include polyamide, poly (meth) acrylamide, and polyamino acid. The polymer having an amide bond is preferably an oxazoline polymer which may have a substituent, an N-acylated product of polyalkyleneimine, polyvinyl pyrrolidone, polyurethane, polyamide, poly (meth) acrylamide or the like. Examples of the polymer having a buret bond include a polymer produced by a reaction between the polyisocyanate and a compound having a urethane bond. Examples of the polymer having an allophanate bond include a polymer produced by a reaction between the polyisocyanate and a compound having a urea bond. Examples of the polymer having a glycidyl group include epoxy resins and glycidyl (meth) acrylate homopolymers or copolymers. Examples of the halogen-containing polymer include polyvinyl chloride, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinylidene chloride-based polymer having vinylidene chloride units, and chlorinated polypropylene.

溶剤可溶性ポリマーは、一般的には、水;メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、シクロヘキサノール等のアルコール類;ヘキサン、オクタン等の脂肪族炭化水素類;シクロヘキサン等の脂環族炭化水素類;ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;塩化メチル、塩化メチレン、クロロホルム、トリクロロエチレン等のハロゲン化炭化水素;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類;ジエチルエーテル、ジオキサン、ジメトキシエタン、テトラヒドロフラン等のエーテル類;含窒素溶媒(例えば、N−メチルピロリドン、アセトニトリル等のニトリル類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド等のアミド類など)やスルホキシド類(例えばジメチルスルホキシドなど)等の非プロトン性極性溶媒;又はこれらの混合溶媒に可溶である。
Solvent-soluble polymers are generally water; alcohols such as methanol, ethanol, propanol, isopropanol, butanol and cyclohexanol; aliphatic hydrocarbons such as hexane and octane; alicyclic hydrocarbons such as cyclohexane; Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene; Halogenated hydrocarbons such as methyl chloride, methylene chloride, chloroform and trichloroethylene; Esters such as methyl acetate, ethyl acetate and butyl acetate; Ketones such as acetone and methyl ethyl ketone; Ethers such as diethyl ether, dioxane, dimethoxyethane, tetrahydrofuran; nitrogen-containing solvents (eg, nitriles such as N-methylpyrrolidone and acetonitrile; amides such as dimethylformamide and dimethylacetamide) and sulfo Aprotic polar solvents such as earth (such as dimethyl sulfoxide, etc.); or soluble in a mixed solvent thereof.

溶剤可溶性ポリマーとしては、水素結合可能な基、例えばヒドロキシル基、カルボキシル基、アミド基、アミド結合や窒素原子などを有するものが好ましい。このような水素結合可能な基を有する溶剤可溶性ポリマーを用いると、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物に対して共通する良溶媒を使用できる場合が多く、金属アルコキシドの加水分解重合により生成した有機金属ポリマーのヒドロキシル基と溶剤可溶性ポリマーの官能基や結合基とが水素結合し、その結果均一な有機・無機ハイブリッドを形成し、ミクロ的に均質で透明な皮膜を形成できると考えられる。
As the solvent-soluble polymer, those having a hydrogen bondable group, for example, a hydroxyl group, a carboxyl group, an amide group, an amide bond or a nitrogen atom are preferable. When such a solvent-soluble polymer having a hydrogen-bondable group is used, it is often possible to use a good solvent common to the metal alkoxide and / or its hydrolyzate, and an organic product produced by hydrolysis polymerization of the metal alkoxide. It is considered that the hydroxyl group of the metal polymer and the functional group or bonding group of the solvent-soluble polymer form a hydrogen bond, thereby forming a uniform organic / inorganic hybrid and forming a microscopically uniform and transparent film.

また、溶剤可溶性ポリマーとしては、金属アルコキシドとの共通溶媒が使用できるアルコール可溶性ポリマーが好ましい。このようなアルコール可溶性ポリマーとしては、ヒドロキシル基を有するポリマー等の水溶性ポリマーが好ましく、窒素原子を有するポリマー(例えば、前記アミド結合を有するポリマー)が特に好ましい。
Moreover, as a solvent soluble polymer, the alcohol soluble polymer which can use a common solvent with a metal alkoxide is preferable. As such an alcohol-soluble polymer, a water-soluble polymer such as a polymer having a hydroxyl group is preferable, and a polymer having a nitrogen atom (for example, a polymer having the amide bond) is particularly preferable.

溶剤可溶性ポリマーの金属アルコキシド(その加水分解物を含む)100質量部に対する含有量は、40質量%以上90質量%以下が好ましく、50質量%以上80質量%以下が特に好ましい。溶剤可溶性ポリマーの含有量が上記範囲より小さいと、ガスバリア性の向上効果が低下し、無機ポリマーと有機ポリマーとの複合体で均一な皮膜を形成するのが困難となるおそれがある。一方、溶媒可溶性ポリマーの含有量が上記範囲を超えると、成膜性や均一性が高くなる傾向を示すが、ガスバリア性が低下するおそれがある。
The content of the solvent-soluble polymer with respect to 100 parts by mass of the metal alkoxide (including the hydrolyzate thereof) is preferably 40% by mass to 90% by mass, and particularly preferably 50% by mass to 80% by mass. If the content of the solvent-soluble polymer is smaller than the above range, the effect of improving the gas barrier property is lowered, and it may be difficult to form a uniform film with a composite of an inorganic polymer and an organic polymer. On the other hand, when the content of the solvent-soluble polymer exceeds the above range, the film formability and uniformity tend to be improved, but the gas barrier property may be lowered.

上記組成物中には、一般的には有機溶媒が配合される。この有機溶媒としては、金属アルコキシドの種類に応じて重合反応に不活性な適当な溶媒、例えばアルコール類、芳香族炭化水素、エーテル類、含窒素溶媒、スルホキシド類、又はこれらの混合溶媒などが使用される。また、上記溶剤可溶性ポリマーも有機溶媒として使用することができる。この有機溶媒としては、金属アルコキシドの溶媒と混和性を有する溶媒が好ましく、溶剤可溶性ポリマー及び金属アルコキシドに対して共通する良溶媒が特に好ましい。
In general, an organic solvent is blended in the composition. As this organic solvent, an appropriate solvent inert to the polymerization reaction depending on the type of metal alkoxide, for example, alcohols, aromatic hydrocarbons, ethers, nitrogen-containing solvents, sulfoxides, or a mixed solvent thereof is used. Is done. Moreover, the said solvent soluble polymer can also be used as an organic solvent. As the organic solvent, a solvent miscible with the metal alkoxide solvent is preferable, and a good solvent common to the solvent-soluble polymer and the metal alkoxide is particularly preferable.

また、上記組成物中には硬化触媒を含有し、硬化触媒の存在下で金属アルコキシドの加水分解重合を行なってもよい。硬化触媒としては、実質的に水に不溶であり、かつ有機溶媒に可溶な第三アミン類や酸触媒などが使用される。第三アミン類としては、例えばN.N−ジメチルベンジルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン等が挙げられる。酸触媒としては、例えば塩酸、硫酸、硝酸、リン酸などの無機酸;例えばギ酸、酢酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸、プロピオン酸等のカルボン酸、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸、p−トルエンスルホン酸等のスルホン酸などの有機酸が挙げられる。
The composition may contain a curing catalyst, and the hydrolysis polymerization of the metal alkoxide may be performed in the presence of the curing catalyst. As the curing catalyst, tertiary amines and acid catalysts which are substantially insoluble in water and soluble in an organic solvent are used. Tertiary amines include, for example, N.I. N-dimethylbenzylamine, tripropylamine, tributylamine, tripentylamine and the like can be mentioned. Examples of the acid catalyst include inorganic acids such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, and phosphoric acid; carboxylic acids such as formic acid, acetic acid, trichloroacetic acid, trifluoroacetic acid, and propionic acid, methanesulfonic acid, ethanesulfonic acid, and p-toluenesulfone. Examples thereof include organic acids such as sulfonic acids such as acids.

なお、平坦化層2を形成する組成物中には、必要に応じて、可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、帯電防止剤、界面活性剤、充填剤、着色剤などの種々の添加剤が適宜配合されてもよい。   In the composition for forming the planarizing layer 2, various kinds of plasticizers, antioxidants, ultraviolet absorbers, flame retardants, antistatic agents, surfactants, fillers, colorants and the like may be used as necessary. These additives may be appropriately blended.

次に、平坦化層2の形成方法を説明する。平坦化層2は、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む上記組成物を用いたゾル・ゲル法により形成することができる。具体的には金属アルコキシド及び/又はその加水分解物に溶剤可溶性ポリマー、硬化触媒、有機溶媒等を適宜添加して充分に混練することで上記組成物を調整し、この組成物を通常のコ−ティング法で基材フィルム1の表面にコ−ティングし、次いで加熱乾燥し、更にエ−ジング処理等を施すことにより、コ−ティング硬化膜である平坦化層2を形成する。この加熱温度としては、金属アルコキシドの加水分解性や基材フィルム1の耐熱性に応じて適宜選択されるが、50℃以上120℃以下が好ましい。なお、重合反応は、不活性ガスの存在下で行なってもよく、減圧下で行なってもよい。また、加水分解重合に伴なって生成するアルコールを除去しながら、重合してもよい。   Next, a method for forming the planarizing layer 2 will be described. The planarization layer 2 can be formed by a sol-gel method using the above composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof. Specifically, a solvent-soluble polymer, a curing catalyst, an organic solvent and the like are appropriately added to a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof, and the mixture is sufficiently kneaded to prepare the composition. The surface of the base film 1 is coated by a coating method, then heated and dried, and further subjected to an aging treatment or the like, thereby forming a planarized layer 2 that is a cured coating film. The heating temperature is appropriately selected according to the hydrolyzability of the metal alkoxide and the heat resistance of the base film 1, but is preferably 50 ° C or higher and 120 ° C or lower. The polymerization reaction may be performed in the presence of an inert gas or may be performed under reduced pressure. Moreover, you may superpose | polymerize, removing the alcohol produced | generated with hydrolysis polymerization.

上記平坦化層2の形成方法において、加熱工程の際に、組成物への紫外線照射を施すとよい。このようにゾル・ゲル法の加熱工程の際に組成物への紫外線照射を施すことで、組成物がより低温(100℃以下)で硬化し、かつ平坦化層2に欠陥が格段に少なく膜物性に優れ、平坦化層2と基材フィルム1との密着性が向上する。そのため、平坦化層2のガスバリア性がより高められる。   In the method for forming the planarizing layer 2, the composition may be irradiated with ultraviolet rays during the heating step. In this way, the composition is cured at a lower temperature (100 ° C. or less) by irradiating the composition with ultraviolet rays during the heating step of the sol-gel method, and the flattening layer 2 has significantly fewer defects. Excellent physical properties and improved adhesion between the planarizing layer 2 and the base film 1. Therefore, the gas barrier property of the planarization layer 2 is further improved.

ガスバリア層3は、一の平坦化層2の外面に物理気相成長法又は化学気相成長法により無機酸化物又は無機窒化物を蒸着することで形成されている。この無機酸化物又は無機窒化物としては、例えばケイ素(Si)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)、カリウム(K)、スズ(Sn)、ナトリウム(Na)、ホウ素(B)、チタン(Ti)、鉛(Pb)、ジルコニウム(Zr)、イットリウム(Y)等の酸化物又は窒化物が挙げられる。上記無機酸化物及び無機窒化物のうち、ガスバリア性及び透明性に優れるケイ素酸化物、ケイ素窒化物及びアルミニウム酸化物が好ましく、これらの群より選択される1種又は2種以上のものが好適に使用される。これらの中でも、ガスバリア性、透明性、柔軟性、密着性等が良好なケイ素酸化物が特に好ましい。なお、無機酸化物は例えばSiO、AlO等のようにMO(Mは金属元素、Xは酸化度を表す)で表記されるが、ガスバリア性及び透明性の観点からケイ素(Si)の場合は酸化度X=1.3〜1.9の範囲が好ましく、アルミニウム(Al)の場合は酸化度X=0.5〜1.5の範囲が好ましい。 The gas barrier layer 3 is formed by depositing an inorganic oxide or an inorganic nitride on the outer surface of one planarizing layer 2 by physical vapor deposition or chemical vapor deposition. As this inorganic oxide or inorganic nitride, for example, silicon (Si), aluminum (Al), magnesium (Mg), calcium (Ca), potassium (K), tin (Sn), sodium (Na), boron (B ), Titanium (Ti), lead (Pb), zirconium (Zr), yttrium (Y), and other oxides or nitrides. Of the inorganic oxides and inorganic nitrides, silicon oxides, silicon nitrides, and aluminum oxides that are excellent in gas barrier properties and transparency are preferable, and one or more selected from these groups are preferable. used. Among these, silicon oxides having good gas barrier properties, transparency, flexibility, adhesion, and the like are particularly preferable. The inorganic oxide is expressed by MO X (M represents a metal element, X represents the degree of oxidation) such as SiO X , AlO X, etc., but silicon (Si) is used from the viewpoint of gas barrier properties and transparency. In this case, the oxidation degree X is preferably in the range of 1.3 to 1.9, and in the case of aluminum (Al), the oxidation degree X is preferably in the range of 0.5 to 1.5.

上記物理気相成長法(Physical Vapor Deposition法;PVD法)としては、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンクラスタービーム法等が挙げられる。具体的には、(a)金属酸化物を原料とし、これを加熱し、蒸気化して平坦化層2の上に蒸着する真空蒸着法、(b)原料として金属または金属酸化物を使用し、必要ならば、酸素ガス等を導入して酸化等させて平坦化層2の上に蒸着する反応型蒸着法、(c)さらに酸化等の反応をプラズマで助成するプラズマ助成式の反応型蒸着法等を用いて金属酸化物の蒸着膜を形成することができる。蒸着材料の加熱方式としては、例えば抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エレクトロンビーム加熱方式(EB)等により行うことができる。上記物理気相成長法の中でも、無機酸化物又は無機窒化物の蒸気化が容易なスパッタリング法が特に好ましい。   Examples of the physical vapor deposition method (Physical Vapor Deposition method; PVD method) include a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, and an ion cluster beam method. Specifically, (a) using a metal oxide as a raw material, heating this, evaporating and vapor-depositing on the planarizing layer 2, (b) using a metal or metal oxide as the raw material, If necessary, a reactive deposition method in which oxygen gas or the like is introduced to oxidize and deposit on the planarizing layer 2, and (c) a plasma-assisted reactive deposition method in which a reaction such as oxidation is further supported by plasma. Etc. can be used to form a metal oxide vapor-deposited film. As a heating method for the vapor deposition material, for example, a resistance heating method, a high frequency induction heating method, an electron beam heating method (EB), or the like can be used. Among the physical vapor deposition methods, a sputtering method is particularly preferable because the vaporization of inorganic oxide or inorganic nitride is easy.

上記化学気相成長法(Chemical Vapor Deposition法;CVD法)としては、例えばプラズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成長法等が挙げられる。この化学気相成長法の中でも、比較的低温でガスバリア層3の形成が可能なプラズマCVDが特に好ましい。プラズマCVDは、具体的には、有機珪素化合物等の蒸着用モノマーガスを原料とし、キャリヤーガスとしてアルゴン、ヘリウム等の不活性ガスを使用し、さらに酸素ガス、アンモニアガス等を供給し、低温プラズマ発生装置等を利用して化学反応を起こさせ、平坦化層2の上に酸化珪素等の無機酸化物又は窒化物の蒸着薄膜を形成する方法である。この低温プラズマ発生装置としては、例えば高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ波プラズマ等の発生装置を使用することがてき、高活性の安定したプラズマを得ることができる高周波プラズマ方式による発生装置が特に好ましい。   Examples of the chemical vapor deposition method (Chemical Vapor Deposition method; CVD method) include a plasma chemical vapor deposition method, a thermal chemical vapor deposition method, and a photochemical vapor deposition method. Among these chemical vapor deposition methods, plasma CVD capable of forming the gas barrier layer 3 at a relatively low temperature is particularly preferable. Specifically, plasma CVD uses a vapor deposition monomer gas such as an organosilicon compound as a raw material, uses an inert gas such as argon or helium as a carrier gas, and further supplies oxygen gas, ammonia gas, etc. In this method, a chemical reaction is caused by using a generator or the like to form an inorganic oxide or nitride vapor-deposited thin film such as silicon oxide on the planarizing layer 2. As this low-temperature plasma generator, for example, generators such as high-frequency plasma, pulse wave plasma, and microwave plasma can be used, and a generator using a high-frequency plasma system that can obtain highly active and stable plasma is particularly preferable. .

酸化珪素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマーガスとしては、例えば1.1.3.3−テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン等を使用することができる。これらの蒸着用モノマーガスの中でも、取扱性、蒸着膜の物性等の良好な1.1.3.3−テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサンが好ましい。   Examples of a monomer gas for vapor deposition of an organic silicon compound or the like that forms a vapor deposition thin film of an inorganic oxide such as silicon oxide include 1.1.3.3-tetramethyldisiloxane, hexamethyldisiloxane, vinyltrimethylsilane, and methyltrimethyl. Silane, hexamethyldisilane, methylsilane, dimethylsilane, trimethylsilane, diethylsilane, propylsilane, phenylsilane, vinyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane , Octamethylcyclotetrasiloxane, and the like can be used. Among these monomer gases for vapor deposition, 1.1.3.3-tetramethyldisiloxane and hexamethyldisiloxane, which have good handling properties and physical properties of the vapor deposition film, are preferable.

なお、ガスバリア層3は、単層構造でもよく、2層以上の多層構造でもよい。このようにガスバリア層3を多層構造とすることで、蒸着の際に懸かる熱負担の軽減により基材フィルム1の劣化が低減され、さらに平坦化層2とガスバリア層3との密着性等を改善することができる。また、上記物理気相成長法及び化学気相成長法における蒸着条件は、基材フィルム1の樹脂種類、ガスバリア層3の厚み等に応じて適宜設計される。   The gas barrier layer 3 may have a single layer structure or a multilayer structure of two or more layers. As described above, the gas barrier layer 3 has a multi-layer structure, thereby reducing the deterioration of the base film 1 by reducing the thermal load applied during vapor deposition, and further improving the adhesion between the planarizing layer 2 and the gas barrier layer 3. can do. The vapor deposition conditions in the physical vapor deposition method and the chemical vapor deposition method are appropriately designed according to the resin type of the base film 1, the thickness of the gas barrier layer 3, and the like.

ガスバリア層3の厚み(平均厚み)の下限としては、10nmが好ましく、20nmが特に好ましい。一方、ガスバリア層3の厚みの上限としては、200nmが好ましく、100nmが特に好ましい。ガスバリア層3の厚みが上記下限より小さいと、ガスバリア性が低下するおそれがある。一方、ガスバリア層3の厚みが上記上限を超えると、柔軟性が低下し、ガスバリア層3にクラック等の欠陥が発生しやすくなる。   As a minimum of the thickness (average thickness) of gas barrier layer 3, 10 nm is preferred and 20 nm is especially preferred. On the other hand, the upper limit of the thickness of the gas barrier layer 3 is preferably 200 nm, and particularly preferably 100 nm. If the thickness of the gas barrier layer 3 is smaller than the lower limit, the gas barrier property may be lowered. On the other hand, when the thickness of the gas barrier layer 3 exceeds the above upper limit, the flexibility is lowered and defects such as cracks are likely to occur in the gas barrier layer 3.

他の平坦化層4は、ガスバリア層3の外面に積層されており、上記一の平坦化層2と同様に金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法により形成される。   The other planarization layer 4 is laminated on the outer surface of the gas barrier layer 3 and is formed by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof in the same manner as the one planarization layer 2 described above. It is formed.

当該高バリア性シートは、基材フィルム1の表面(ガスバリア層3積層面)に所定の表面粗さやダスト、滑り防止剤等の付着があっても、一の平坦化層2によって基材フィルム1の表面が被覆され、ガスバリア層3を積層する界面の平滑性が促進されている。そのため、当該高バリア性シートは、緻密かつ均一な無機酸化物等の蒸着膜の成長が促進され、ガスバリア層3のピンホール、結晶粒界、クラック等の欠陥の発生が低減される。また、当該高バリア性シートは、ガスバリア層3にピンホール、結晶粒界、クラック等の欠陥が発生しても、その欠陥が他の平坦化層4によって封鎖され、また他の平坦化層4によってガスバリア層3が保護される。さらに、当該高バリア性シートは、ガスバリア層3の高いガスバリア性に加え、ガスバリア層3の両面に積層される一対の平坦化層2、4もガスバリア性の向上に寄与する。従って、当該高バリア性シートは、水蒸気等に対するガスバリア性が格段に向上し、ガスバリア性の経時的劣化が低減される。   Even if the surface of the base film 1 (the gas barrier layer 3 laminated surface) has a predetermined surface roughness, dust, anti-slip agent or the like attached thereto, the high barrier sheet has the base film 1 by the flattening layer 2. The smoothness of the interface where the gas barrier layer 3 is laminated is promoted. Therefore, the high barrier sheet promotes the growth of a dense and uniform deposited film such as an inorganic oxide, and reduces the occurrence of defects such as pinholes, crystal grain boundaries, and cracks in the gas barrier layer 3. In the high barrier sheet, even if defects such as pinholes, crystal grain boundaries, and cracks occur in the gas barrier layer 3, the defects are blocked by another planarizing layer 4, and the other planarizing layer 4 Thus, the gas barrier layer 3 is protected. Furthermore, in addition to the high gas barrier property of the gas barrier layer 3, the pair of planarization layers 2 and 4 laminated on both surfaces of the gas barrier layer 3 contribute to the improvement of the gas barrier property. Therefore, the high barrier sheet significantly improves the gas barrier property against water vapor and the like, and the deterioration of the gas barrier property with time is reduced.

図2の高バリア性シートは、合成樹脂製の基材フィルム1と、この基材フィルム1の一方の面に積層される一の平坦化層2と、この一の平坦化層2の外面に積層されるガスバリア層3と、このガスバリア層3の外面に積層される他の平坦化層4と、この他の平坦化層4の外面に積層されるガスバリア層3と、このガスバリア層3の外面に積層される他の平坦化層4とを備えている。つまり、当該高バリア性シートは、基材フィルム1及び一の平坦化層2の積層体の外面に、ガスバリア層3及び他の平坦化層4がこの順に2回繰り返して積層されている。当該高バリア性シートにおける基材フィルム1、一の平坦化層2、ガスバリア層3及び他の平坦化層4は、上記図1の高バリア性シートと同様であるため、同一番号を付して説明を省略する。   The high barrier sheet of FIG. 2 includes a base film 1 made of synthetic resin, one flattening layer 2 laminated on one surface of the base film 1, and an outer surface of the one flattening layer 2. The gas barrier layer 3 to be laminated, the other planarizing layer 4 laminated on the outer surface of the gas barrier layer 3, the gas barrier layer 3 laminated on the outer surface of the other planarizing layer 4, and the outer surface of the gas barrier layer 3 And another planarizing layer 4 laminated on the substrate. That is, in the high barrier sheet, the gas barrier layer 3 and the other planarization layer 4 are repeatedly laminated in this order twice on the outer surface of the laminate of the base film 1 and the one planarization layer 2. The base film 1, the one flattening layer 2, the gas barrier layer 3 and the other flattening layer 4 in the high barrier sheet are the same as the high barrier sheet of FIG. Description is omitted.

当該高バリア性シートは、高いガスバリア性を有するガスバリア層3を2層備え、所定のガスバリア性を有する平坦化層2、4を3層備えているため、非常に高いガスバリア性を有し、かつ高い透明性、耐熱性、柔軟性等の諸特性を有している。なお、一対のガスバリア層3の中間に積層される他の平坦化層4は、上述の内面側のガスバリア層3に対する欠陥封鎖機能に加え、外面側に積層されるガスバリア層3に対して界面の平滑性に起因する緻密かつ均一な蒸着膜の成長促進機能をも奏することができる。   Since the high barrier sheet has two gas barrier layers 3 having high gas barrier properties and three planarization layers 2 and 4 having predetermined gas barrier properties, the sheet has very high gas barrier properties, and It has various properties such as high transparency, heat resistance and flexibility. The other planarization layer 4 laminated between the pair of gas barrier layers 3 has an interface with respect to the gas barrier layer 3 laminated on the outer surface side in addition to the above-described defect sealing function for the gas barrier layer 3 on the inner surface side. A function of promoting the growth of a dense and uniform deposited film due to smoothness can also be exhibited.

なお、本発明の高バリア性シートは上記実施形態に限定されるものではなく、例えばガスバリア層3及び他の平坦化層4がこの順に3回以上繰り返し積層された構造の高バリア性シートも可能である。このように3層以上のガスバリア層3を積層することで、ガスバリア性、耐候性、耐久性等の諸特性を格段に向上することができる。   The high barrier sheet of the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, a high barrier sheet having a structure in which the gas barrier layer 3 and another planarizing layer 4 are repeatedly laminated three or more times in this order is also possible. It is. By laminating three or more gas barrier layers 3 in this manner, various characteristics such as gas barrier properties, weather resistance, and durability can be significantly improved.

また、一の平坦化層2は、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法により形成することに限定されるものではなく、例えばシリコーン樹脂から形成してもよい。このように一の平坦化層2をシリコーン樹脂から形成しても、上述のガスバリア層3に対する緻密性促進機能及び欠陥封鎖機能を奏することができ、一の平坦化層2のガスバリア性を促進することができる。   Moreover, the one planarization layer 2 is not limited to being formed by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof, and may be formed from, for example, a silicone resin. Good. Thus, even if one flattening layer 2 is formed from a silicone resin, the above-described gas barrier layer 3 can have a denseness promoting function and a defect sealing function, and the one flattening layer 2 can have a gas barrier property. be able to.

上記シリコーン樹脂のビルディング・ブロックとしては、例えばジメチルシロキサン、ジエチルシロキサン、ジフェニルシロキサン、メチルビニルシロキサン、エチルビニルシロキサン、フェニルビニルシロキサン、エチルメチルシロキサン、メチルフェニルシロキサン、エチルフェニルシロキサン等を含むポリシロキサンが挙げられ、良好な平滑性促進機能を有するポリジメチルシロキサンが好ましい。   Examples of the silicone resin building blocks include polysiloxanes including dimethylsiloxane, diethylsiloxane, diphenylsiloxane, methylvinylsiloxane, ethylvinylsiloxane, phenylvinylsiloxane, ethylmethylsiloxane, methylphenylsiloxane, ethylphenylsiloxane, and the like. Polydimethylsiloxane having a good smoothness promoting function is preferable.

一の平坦化層2をシリコーン樹脂から形成する場合、一の平坦化層2の外面(ガスバリア層3を積層する面)に酸素プラズマ処理を施すとよい。このようにシリコーン樹脂からなる一の平坦化層2外面に酸素プラズマ処理を施すことで、一の平坦化層2表面のメチル基等を水酸基に変換でき、特にケイ素酸化物からなるガスバリア層との密着性が良好になり、かつケイ素酸化物の蒸着膜を緻密かつ均一に成長させることができ、その結果、当該高バリア性シートのガスバリア性がさらに高められる。   When one planarization layer 2 is formed from a silicone resin, an oxygen plasma treatment may be performed on the outer surface of the one planarization layer 2 (the surface on which the gas barrier layer 3 is laminated). In this way, by performing oxygen plasma treatment on the outer surface of the flattening layer 2 made of silicone resin, the methyl group on the surface of the flattening layer 2 can be converted into a hydroxyl group, and in particular with a gas barrier layer made of silicon oxide. Adhesiveness can be improved, and a vapor-deposited film of silicon oxide can be grown densely and uniformly. As a result, the gas barrier property of the high barrier sheet is further enhanced.

以下、実施例に基づき本発明を詳述するが、この実施例の記載に基づいて本発明が限定的に解釈されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is explained in full detail based on an Example, this invention is not interpreted limitedly based on description of this Example.

[実施例1]
厚さ25μmの透明ポリエチレンテレフタレート製の基材フィルムを用い、テトラエトキシシラン34質量部、水15質量部、イソプロピルアルコール10質量部、三級アミン0.17質量部及びγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン3.4質量部を含む一の平坦化層用組成物を上記基材フィルムの一方の面にグラビアロ−ルコ−ト法を用いて1.0g/m(乾燥状態)コ−ティングし、120℃で1分間加熱処理することで一の平坦化層を積層した。次に、この一の平坦化層の外面に、スパッタリング法によりケイ素酸化物(酸化度X=約1.8)を蒸着することで厚さ100nmのガスバリア層を積層した。さらに、テトラエトキシシラン5.2質量部、メチルトリエトキシシラン1.1質量部、イソプロピルアルコール3質量部、三級アミン0.03質量部を含む他の平坦化層用組成物を上記ガスバリア層の外面にグラビアロ−ルコ−ト法を用いて1.0g/m(乾燥状態)コ−ティングし、100℃で3分間加熱処理することで他の平坦化層を積層した。かかる工程で実施例1の高バリア性シートを得た。
[Example 1]
Using a base film made of transparent polyethylene terephthalate having a thickness of 25 μm, 34 parts by mass of tetraethoxysilane, 15 parts by mass of water, 10 parts by mass of isopropyl alcohol, 0.17 parts by mass of tertiary amine, and γ-glycidoxypropyltrimethoxy One composition for flattening layer containing 3.4 parts by mass of silane was coated on one surface of the substrate film by 1.0 g / m 2 (dry state) using a gravure roll coating method, One planarization layer was laminated by heat treatment at 120 ° C. for 1 minute. Next, a gas barrier layer having a thickness of 100 nm was laminated on the outer surface of the one planarizing layer by vapor-depositing silicon oxide (oxidation degree X = about 1.8) by a sputtering method. Further, another composition for a flattening layer containing 5.2 parts by mass of tetraethoxysilane, 1.1 parts by mass of methyltriethoxysilane, 3 parts by mass of isopropyl alcohol, and 0.03 parts by mass of a tertiary amine is added to the gas barrier layer. The outer surface was coated with 1.0 g / m 2 (dry state) using a gravure roll coating method, and heat treatment was performed at 100 ° C. for 3 minutes to laminate another planarizing layer. The high barrier sheet of Example 1 was obtained through this process.

[実施例2]
上記一の平坦化層用組成物において、上記テトラエトキシシランの含有量を20質量部とし、さらにγ−アミノプロピルトリメトキシシラン14質量部含有した以外は上記実施例1と同様にして実施例2の高バリア性シートを得た。
[Example 2]
Example 2 in the same manner as in Example 1 except that the content of the tetraethoxysilane was 20 parts by mass and 14 parts by mass of γ-aminopropyltrimethoxysilane was contained in the one flattening layer composition. The high barrier property sheet was obtained.

[実施例3]
上記一の平坦化層用組成物中に、アルコール可溶性共重合ナイロン(東レ社製)35質量部含有した以外は上記実施例1と同様にして実施例3の高バリア性シートを得た。
[Example 3]
A high-barrier sheet of Example 3 was obtained in the same manner as in Example 1 except that 35 parts by mass of alcohol-soluble copolymer nylon (manufactured by Toray Industries, Inc.) was contained in the one flattening layer composition.

[実施例4]
上記一の平坦化層の形成工程において、加熱処理温度を90℃とし、加えて加熱処理の際にコーティング面に波長210nmの紫外線を10分間照射した以外は上記実施例1と同様にして実施例4の高バリア性シートを得た。
[Example 4]
In the step of forming the one flattening layer, an example was carried out in the same manner as in Example 1 except that the heat treatment temperature was set to 90 ° C. and the coating surface was irradiated with ultraviolet rays having a wavelength of 210 nm for 10 minutes during the heat treatment. 4 high barrier property sheet was obtained.

[実施例5]
ガスバリア層の厚さを10nmとした以外は上記実施例1と同様にして実施例5の高バリア性シートを得た。
[Example 5]
A high barrier sheet of Example 5 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the gas barrier layer was 10 nm.

[実施例6]
ガスバリア層の厚さを20nmとした以外は上記実施例1と同様にして実施例6の高バリア性シートを得た。
[Example 6]
A high barrier sheet of Example 6 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the gas barrier layer was 20 nm.

[実施例7]
ガスバリア層の厚さを50nmとした以外は上記実施例1と同様にして実施例7の高バリア性シートを得た。
[Example 7]
A high barrier sheet of Example 7 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the gas barrier layer was 50 nm.

[実施例8]
ガスバリア層の厚さを200nmとした以外は上記実施例1と同様にして実施例8の高バリア性シートを得た。
[Example 8]
A high barrier sheet of Example 8 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the gas barrier layer was 200 nm.

[実施例9]
一の平坦化層をポリジメチルシロキサンから形成し、一の平坦化層の外面に酸素プラズマ処理を施した以外は上記実施例1と同様にして実施例9の高バリア性シートを得た。
[Example 9]
A high barrier sheet of Example 9 was obtained in the same manner as in Example 1 except that one planarizing layer was formed from polydimethylsiloxane and the outer surface of the one planarizing layer was subjected to oxygen plasma treatment.

[比較例]
平坦化層を積層せず、基材フィルムの一方の面に直接上記ガスバリア層を積層した以外は上記実施例1と同様にして比較例の高バリア性シートを得た。
[Comparative example]
A high barrier sheet of a comparative example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the planarizing layer was not laminated and the gas barrier layer was laminated directly on one surface of the base film.

[特性の評価]
上記実施例1〜9の高バリア性シート及び比較例の高バリア性シートを用い、これらの高バリア性シートの水蒸気透過度を測定した。この水蒸気透過度は、JIS−Z−0208B法に準拠し、温度40℃及び相対湿度90%の条件で測定した。その結果を下記表1に示す。
[Evaluation of characteristics]
Using the high barrier sheet of Examples 1 to 9 and the high barrier sheet of the comparative example, the water vapor permeability of these high barrier sheets was measured. This water vapor permeability was measured under the conditions of a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 90% in accordance with the JIS-Z-0208B method. The results are shown in Table 1 below.

Figure 0004310783
Figure 0004310783

上記表1に示すように、ガスバリア層が基材フィルムに直接積層される比較例の高バリア性シートと比較して、ガスバリア層の両側に一対の平坦化層が積層される実施例1〜9の高バリア性シートが高いガスバリア性を有している。また、実施例1、5、6、7及び8の高バリア性シートを対比すると、ガスバリア層の厚さが大きいほど、高いガスバリア性を有している。さらに、実施例2、3及び4の高バリア性シートは、より優れたガスバリア性を有している。   As shown in Table 1 above, Examples 1 to 9 in which a pair of planarization layers are laminated on both sides of the gas barrier layer as compared with the high barrier sheet of the comparative example in which the gas barrier layer is directly laminated on the base film. This high barrier sheet has a high gas barrier property. Further, when comparing the high barrier sheets of Examples 1, 5, 6, 7, and 8, the higher the gas barrier layer, the higher the gas barrier property. Furthermore, the high barrier sheets of Examples 2, 3 and 4 have better gas barrier properties.

以上のように、本発明の高バリア性シートは、食品、医薬品等の包装材料として有用であり、特に今日開発が進められている有機EL、有機薄膜太陽電池、有機トランジスタ、フレキシブル液晶等の構成材料として好適に使用される。   As described above, the high-barrier sheet of the present invention is useful as a packaging material for foods, pharmaceuticals, etc., and is particularly composed of organic EL, organic thin-film solar cells, organic transistors, flexible liquid crystals and the like that are being developed today. It is suitably used as a material.

本発明の一実施形態に係る高バリア性シートを示す模式的断面図である。It is a typical sectional view showing the high barrier property sheet concerning one embodiment of the present invention. 図1の高バリア性シートとは異なる形態に係る高バリア性シートを示す模式的断面図である。It is typical sectional drawing which shows the high barrier property sheet | seat which concerns on the form different from the high barrier property sheet | seat of FIG. 従来の一般的な高バリア性シートを示す模式的断面図である。It is typical sectional drawing which shows the conventional general high barrier property sheet | seat.

符号の説明Explanation of symbols

1 基材フィルム
2 一の平坦化層
3 ガスバリア層
4 他の平坦化層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base film 2 One planarization layer 3 Gas barrier layer 4 Other planarization layers

Claims (8)

合成樹脂製の基材フィルムと、
この基材フィルムの少なくとも一方の面に積層される一の平坦化層と、
この一の平坦化層の外面に積層されるガスバリア層と、
このガスバリア層の外面に積層される他の平坦化層とを備えており、
上記一の平坦化層が、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法により、若しくは外面に酸素プラズマ処理が施されたシリコーン樹脂より形成され、
上記ガスバリア層が、無機酸化物又は無機窒化物から形成され、
上記他の平坦化層が、金属アルコキシド及び/又はその加水分解物を含む組成物を用いたゾル・ゲル法により形成されており、
上記一の平坦化層のゾル・ゲル法による形成において、加熱と共に、組成物への紫外線照射が施されている高バリア性シート。
A base film made of synthetic resin;
One planarization layer laminated on at least one surface of the base film;
A gas barrier layer laminated on the outer surface of the one planarization layer;
Another planarization layer laminated on the outer surface of the gas barrier layer,
The one planarizing layer is formed by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof, or a silicone resin having an outer surface subjected to oxygen plasma treatment,
The gas barrier layer is formed of an inorganic oxide or an inorganic nitride;
The other planarizing layer is formed by a sol-gel method using a composition containing a metal alkoxide and / or a hydrolyzate thereof,
A high-barrier sheet in which, in the formation of the one flattening layer by a sol-gel method, ultraviolet irradiation is applied to the composition together with heating .
上記ガスバリア層及び他の平坦化層が同順に複数回繰り返して積層されている請求項1に記載の高バリア性シート。   The high-barrier sheet according to claim 1, wherein the gas barrier layer and another planarizing layer are repeatedly laminated in the same order a plurality of times. 上記無機酸化物又は無機窒化物として、ケイ素酸化物、ケイ素窒化物及びアルミニウム酸化物からなる群より選択される1種又は2種以上のものが用いられている請求項1又は請求項2に記載の高バリア性シート。 As the inorganic oxide or an inorganic nitride, silicon oxide, according to the silicon nitride and one or claim 1 2 or more that have been used or Claim 2 selected from the group consisting of aluminum oxide High barrier sheet. 上記ガスバリア層が物理気相成長法又は化学気相成長法により形成されている請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の高バリア性シート。 The high barrier property sheet according to any one of claims 1 to 3 , wherein the gas barrier layer is formed by a physical vapor deposition method or a chemical vapor deposition method. 上記物理気相成長法としてスパッタリング法が用いられている請求項4に記載の高バリア性シート。 The high barrier sheet according to claim 4 , wherein a sputtering method is used as the physical vapor deposition method. 上記化学気相成長法としてプラズマ化学気相成長法が用いられている請求項4に記載の高バリア性シート。 The high barrier property sheet according to claim 4 , wherein a plasma chemical vapor deposition method is used as the chemical vapor deposition method. 上記組成物中に、窒素、酸素、硫黄及びハロゲンの少なくとも1つを含む官能基を有する金属アルコキシドを含有する請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の高バリア性シート。 The high barrier property sheet according to any one of claims 1 to 6, wherein the composition contains a metal alkoxide having a functional group containing at least one of nitrogen, oxygen, sulfur and halogen. 上記組成物中に、ゾル・ゲル法に使用可能な有機溶媒及び/又は水に対して可溶性を有するポリマーを含む請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の高バリア性シート。 The high barrier sheet according to any one of claims 1 to 7, wherein the composition contains an organic solvent that can be used in a sol-gel method and / or a polymer that is soluble in water .
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