JP4920596B2 - 急激な金属−絶縁体転移素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
20 金属−絶縁体転移物質膜
30 ソース電極
40 ドレイン電極
100 金属−絶縁体転移素子
Claims (19)
- 2eV以下のエネルギーギャップと正孔準位内の正孔を持つ急激な金属−絶縁体転移物質膜と、
前記急激な金属−絶縁体転移物質膜にコンタクトする2つの電極と、を備え、
前記電極は、前記急激な金属−絶縁体転移物質膜上に形成されてNiまたはCrを含む第1層と、前記第1層上に形成されてInを含む第2層と、前記第2層上に形成されてMoまたはWを含む第3層と、前記第3層上に形成されてAuを含む第4層とで形成された積層膜を熱処理して形成されているとともに、
前記急激な金属−絶縁体転移物質膜は、GaAsで形成される、
ことを特徴とする急激な金属−絶縁体転移素子。 - 前記電極と前記急激な金属−絶縁体転移物質膜との間に、前記急激な金属−絶縁体転移物質膜より小さなバンドギャップを持つ中間層をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の急激な金属−絶縁体転移素子。
- 前記2つの電極のうち、第1電極は、前記急激な金属−絶縁体転移物質膜の下面に配置されており、前記2つの電極のうち、第2電極は、前記急激な金属−絶縁体転移物質膜の上面に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の急激な金属−絶縁体転移素子。
- 前記2つの電極は、前記急激な金属−絶縁体転移物質膜上で相互対向しつつ離隔されるように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の急激な金属−絶縁体転移素子。
- 前記2つの電極上に、
ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成され、前記2つの電極間の前記急激な金属−絶縁体転移物質膜上に配置されているさらに一つの電極と、をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載の急激な金属−絶縁体転移素子。 - 前記また一つの電極は、前記ゲート絶縁膜上に形成されてNiまたはCrを含む第1層と、前記第1層上に形成されてInを含む第2層と、前記第2層上に形成されてMoまたはWを含む第3層と、前記第3層上に形成されてAuを含む第4層とで形成された積層膜を熱処理して形成したことを特徴とする請求項5に記載の急激な金属−絶縁体転移素子。
- GaAsからなる急激な金属−絶縁体転移物質膜と、
前記急激な金属−絶縁体転移物質膜上で相互対向しつつ離隔されるように配置されている2つの電極を備え、
前記電極は、前記急激な金属−絶縁体転移物質膜上に形成されてNiまたはCrを含む第1層と、前記第1層上に形成されてInを含む第2層と、前記第2層上に形成されてMoまたはWを含む第3層と、前記第3層上に形成されてAuを含む第4層とで形成された積層膜を熱処理して形成したことを特徴とする急激な金属−絶縁体転移素子。 - 前記電極と前記急激な金属−絶縁体転移物質膜との間に、InGaAsからなる中間層をさらに備えることを特徴とする請求項7に記載の急激な金属−絶縁体転移素子。
- 2eV以下のエネルギーギャップと正孔準位内の正孔を持つ急激な金属−絶縁体転移物質膜を形成する工程と、
前記急激な金属−絶縁体転移物質膜にコンタクトする2つの電極を形成する工程と、を含み、
前記電極を形成する工程は、
前記急激な金属−絶縁体転移物質膜上に、NiまたはCrで構成される第1層と、前記第1層上に形成されてInで構成される第2層と、前記第2層上に形成されてMoまたはWで構成される第3層と、前記第3層上に形成されてAuで構成される第4層と、を備える積層膜を形成する工程と、
前記積層膜を熱処理する工程と、を含んでいるとともに、
前記急激な金属−絶縁体転移物質膜は、GaAs層で形成される、
ことを特徴とする急激な金属−絶縁体転移素子の製造方法。 - 前記積層膜の前記第1層ないし第4層それぞれは、電子ビーム蒸着で形成することを特徴とする請求項9に記載の急激な金属−絶縁体転移素子の製造方法。
- 前記積層膜をリフトオフ工程でパターニングする工程をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の急激な金属−絶縁体転移素子の製造方法。
- 前記GaAs層は、MBE結晶成長方法で形成することを特徴とする請求項9に記載の急激な金属−絶縁体転移素子の製造方法。
- 前記積層膜の前記第2層と前記急激な金属−絶縁体転移物質膜とを反応させて、前記電極と前記急激な金属−絶縁体転移物質膜との間にInGaAsからなる中間層を形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の急激な金属−絶縁体転移素子の製造方法。
- 前記積層膜の前記第1層と前記急激な金属−絶縁体転移物質膜との境界面反応を起こす工程をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の急激な金属−絶縁体転移素子の製造方法。
- 前記積層膜の前記第2層と前記急激な金属−絶縁体転移物質膜とを反応させて、前記電極と前記急激な金属−絶縁体転移物質膜との間に前記急激な金属−絶縁体転移物質膜より小さなバンドギャップを持つ中間層を形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の急激な金属−絶縁体転移素子の製造方法。
- 前記2つの電極のうち、第1電極は、前記急激な金属−絶縁体転移物質膜の下面に配置されるように形成し、前記2つの電極のうち、第2電極は、前記急激な金属−絶縁体転移物質膜の上面に配置されるように形成することを特徴とする請求項9に記載の急激な金属−絶縁体転移素子の製造方法。
- 前記2つの電極は、前記急激な金属−絶縁体転移物質膜上で相互対向しつつ離隔して配置されるように形成することを特徴とする請求項9に記載の急激な金属−絶縁体転移素子の製造方法。
- 前記2つの電極上にゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上に前記2つの電極間の前記急激な金属−絶縁体転移物質膜上に配置されているまた一つの電極を形成する工程と、をさらに含むことを特徴とする請求項17に記載の急激な金属−絶縁体転移素子の製造方法。 - 前記さらに一つの電極を形成する工程は、
前記ゲート絶縁膜上にNiまたはCrで構成される第1層と、前記第1層上に形成されてInで構成される第2層と、前記第2層上に形成されてMoまたはWで構成される第3層と、前記第3層上に形成されてAuで構成される第4層と、を備える積層膜を形成する工程と、
前記積層膜を熱処理する工程と、を含むことを特徴とする請求項17に記載の急激な金属−絶縁体転移素子の製造方法。
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