JP4919398B2

JP4919398B2 - インクジェットプリントヘッド及びその製造方法

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Publication number: JP4919398B2
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Inventors: 用植朴; 性俊朴; 明鐘權; 鎭郁李
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Description

本発明は、インクジェットプリントヘッド及びその製造方法に関する。

一般的に、インクジェットプリンタは、プリントヘッドから印刷媒体上の所望の位置にインクを吐出させて、所定色相の画像を形成する装置をいう。このようなインクジェットプリンタには、プリントヘッドが印刷媒体の移送方向と直角方向に往復移動しつつ印刷作業を行うシャトル方式のインクジェットプリンタと、最近、高速印刷実現のために開発されているものであって、印刷媒体の幅に該当するサイズの一つ又は複数のプリントヘッドを備えて、プリントヘッドは、固定された状態で印刷媒体のみが移送されつつ印刷作業を行うラインプリンティング方式のインクジェットプリンタとがある。上記のラインプリンティング方式のインクジェットプリンタには、複数のプリントヘッドが所定の形態に配列されたアレイプリントヘッドが主に使用されている。

一方、インクジェットプリントヘッドは、インク液滴の吐出メカニズムによって、ヒータがインクを加熱してバブルを発生させ、このバブルの膨張力によってインクを吐出させる熱駆動方式のインクジェットプリントヘッドと、圧電体の変形によりインクに加えられる圧力によってインクを吐出させる圧電駆動方式のインクジェットプリントヘッドとに分類されうる。

熱駆動方式のインクジェットプリントヘッドでのインク液滴吐出メカニズムをさらに詳細に説明すれば、次の通りである。発熱抵抗体からなるヒータにパルス状の電流が流れると、ヒータから熱が発生して、ヒータに隣接したインクは、約300℃に瞬間加熱される。これにより、インクが沸騰しつつバブルが生成され、生成されたバブルは膨脹して、インクチャンバの内部に満たされたインクに圧力を加える。これによって、ノズルの付近にあったインクが、ノズルを介して液滴の形態でインクチャンバの外へ吐出される。

最近では、インクジェットプリンタの印刷速度が向上するにつれて、プリントヘッドのサイズ及びノズルの数が増加しているが、この場合、各ノズルの間に吐出性能の差が発生すると、信頼性及び印刷品質が低下しうる。また、最近、高速印刷実現のために開発されているアレイプリントヘッドでも、各プリントヘッドの間に性能の差が発生しうる。従って、信頼性及び印刷品質の向上のために、プリントヘッドの各ノズル、又はアレイプリントヘッドの各プリントヘッドの印刷性能を一定に維持する必要がある。

以下に、従来の熱駆動方式のインクジェットプリントヘッドについて説明する。図１は、従来の熱駆動方式のインクジェットプリントヘッドの一部を切断して示す斜視図である。図１に示すように、インクジェットプリントヘッドは、基板１０と、基板１０上に積層されてインクチャンバ２５を形成するチャンバ層２０と、チャンバ層２０上に積層されるノズル層３０とからなっている。ここで、インクチャンバ２５内には吐出されるインクが満たされ、各インクチャンバ２５の底面には、インクチャンバ２５内のインクを加熱してバブルを発生させるためのヒータ２７が設けられている。そして、ノズル層３０には、インクの吐出が行われるノズル３５が、インクチャンバ２５のそれぞれに対応して形成されている。そして、基板１０の下部には、インクを共通的に供給するためのマニホールド１２が形成されており、基板１０の上部には、マニホールド１２からインクチャンバ２５のそれぞれにインクを個別的に供給するためのインクフィードホール１４が形成されている。

特開２００４−３３０６０５号公報

上記のようなインクジェットプリントヘッドでは、インクフィードホール１４がインクチャンバ２５のそれぞれに個別的にインクを供給することによって、隣接したノズル３５の間にクロストーク現像が発生することを減少させ、また、電気配線の配置が単純となり、プリントヘッドのサイズを減らしうるという長所があるが、各インクフィードホール１４の長さを所定の同一長さに加工し難いという問題点がある。また、その結果、インクフィードホール１４の長さが相異なることとなるが、これは各ノズル３５の間に吐出性能の差を発生させて、印刷品質を低下させる要因となる。

以下に、吐出されるインクのシミュレーション結果について説明する。図２Ａ及び図２Ｂは、インクフィードホール１４の長さがそれぞれ30μm、20μmであるときの、吐出されるインクのシミュレーション実験結果を示す断面図である。このような実験を通じて計算した結果、インクフィードホール１４の長さが30μmである場合に、インクの吐出速度は8.97m/s、吐出されるインクの体積は4.34pl、駆動周波数は28kHzであった。そして、インクフィードホール１４の長さが20μmである場合に、インクの吐出速度は8.76m/s、吐出されるインクの体積は5.75pl、駆動周波数は20kHzであった。このような結果を参照すれば、インクフィードホール１４の長さが少し変わっただけでも、各ノズル３５間に吐出性能の差が発生するということが分かる。このように、インクフィードホール１４の長さが相異なれば、各ノズル３５の吐出性能が一定なインクジェットプリントヘッドの製作が難しくなる。また、複数のプリントヘッドから構成されたアレイプリントヘッドでは、各ノズル３５間の吐出性能の差によって、各プリントヘッドごとにインクの吐出量及び吐出速度が変わり、プリントヘッド間の印刷性能の差が生じるため、印刷品質を低下させる。

そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、インクフィードホールを所定の同一長さに定めることによって、信頼性及び印刷品質を向上させることが可能な、新規かつ改良されたインクジェットプリントヘッド及びその製造方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明のある観点によれば、下部には、インク供給のためのマニホールドが形成され、上部には、前記マニホールドと連通する複数のインクフィードホールが形成された基板と、前記インクフィードホールのそれぞれの内壁に設けられて、前記各インクフィードホールの長さを所定の同一長さに定めることが可能なフィードホールガイドと、前記基板上に積層されるものであって、前記インクフィードホールと連通する複数のインクチャンバが形成されたチャンバ層と、前記インクチャンバ内のインクを加熱してバブルを発生させる複数のヒータと、前記チャンバ層上に積層され、インクが吐出される複数のノズルが形成されたノズル層と、を備え、前記インクフィードホールは、前記基板の一側上部に形成され、前記フィードホールガイドは、前記基板に対してエッチング選択性のある物質からなることを特徴とする、インクジェットプリントヘッドが提供される。なお、同一長さとは、長さが等しい場合に限定されず、ほぼ等しい場合も含む。

上記インクフィードホールは、インクチャンバに対応して形成されてもよい。

上記マニホールドの上壁は、フィードホールガイドの最下端部と同じ高さに位置するか、又はフィードホールガイドの最下端部より高く位置してもよい。

上記基板は、シリコンからなり、フィードホールガイドは、シリコン酸化物又はシリコン窒化物からなるとしてもよい。

上記ヒータは、インクチャンバの底部をなす基板の表面に設けられてもよい。

また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、基板の表面に複数のヒータを形成する工程と、前記基板の上部に、フィードホールガイドによって所定の同一長さに定められた複数のインクフィードホールを形成する工程と、前記基板上に、前記インクフィードホールと連通する複数のインクチャンバが形成されたチャンバ層を積層する工程と、前記チャンバ層上に、前記インクチャンバと連通する複数のノズルが形成されたノズル層を積層する工程と、前記基板の下部に、前記インクフィードホールと連通するマニホールドを形成する工程と、を有し、前記フィードホールガイドによって所定の同一長さに定められた前記インクフィードホールを形成する工程は、前記ヒータが形成された前記基板の一側上部を所定の深さにエッチングして、前記インクフィードホールが形成される部分を取り囲むようにトレンチを形成する工程と、前記トレンチの内部に前記基板とエッチング選択性のある物質を満たしてフィードホールガイドを形成する工程と、前記フィードホールガイドによって取り囲まれた前記基板の上部をエッチングして除去することにより前記インクフィードホールを形成する工程と、を含むことを特徴とする、インクジェットプリントヘッドの製造方法が提供される。

上記フィードホールガイドによって所定の同一長さに定められたインクフィードホールを形成する工程は、基板の上部を所定の深さにエッチングしてインクフィードホールを形成する工程と、インクフィードホールを覆うように、基板上に所定の物質層を形成する工程と、物質層をパターニングして、インクフィードホールの内壁にフィードホールガイドを形成する工程と、を含んでもよい。

上記フィードホールガイドは、基板に対してエッチング選択性のある物質からなるとしてもよい。

上記マニホールドは、フィードホールガイドの最下端部が露出されるように基板の下部をエッチングすることによって形成されてもよい

上記マニホールドは、上壁がフィードホールガイドの最下端部と同じ高さに位置するか、又はフィードホールガイドの最下端部より高く位置するように形成されてもよい。

また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、基板の表面に複数のヒータを形成する工程と、前記基板の上部に、フィードホールガイドによって所定の同一長さに定められた複数のインクフィードホールを形成する工程と、前記基板の下部に、前記インクフィードホールと連通するマニホールドを形成する工程と、前記基板上に、前記インクフィードホールと連通する複数のインクチャンバが形成されたチャンバ層を積層する工程と、前記チャンバ層上に、前記インクチャンバに対応する複数のノズルが形成されたノズル層を積層する工程と、を有し、前記インクフィードホールを形成する工程は、前記基板の一側上部を所定の深さにエッチングして前記インクフィールドホールを形成し、次に、前記インクフィールドホールを覆うように前記基板上に前記基板とエッチング選択性のある物質層を形成し、そして、インクフィールドホールの内壁にのみ前記物質層が残るように、前記物質層をパターニングして前記フィードホールガイドを形成し、前記マニホールドを形成する工程において、前記基板の下部をエッチングする過程で前記フィードホールガイドはエッチングされず、前記基板のみがエッチングされ続けて前記マニホールドが形成され、前マニホールドはその上壁が前記フィールドホールガイドの最下端部と同じ高さか、又はより高く位置するように形成され、前記基板の下部に前記インクフィールドホールと連通する前記マニホールドが形成されることを特徴とする、インクジェットプリントヘッドの製造方法が提供される。

本発明によれば、インクフィードホールを所定の同一長さに定めることによって、信頼性及び印刷品質を向上させることができる。

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。なお、一層が基板や他の層上に存在すると説明されるとき、その層は、基板や他の層に直接的に接して上部に存在してもよく、その間に第３の層が存在してもよい。

（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態にかかるインクジェットプリントヘッドについて説明する。図３は、本実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの一部を切断して示す斜視図である。そして、図４は、本実施形態に係るインクジェットプリントヘッドを示す断面図である。図３及び図４には、便宜上、インクジェットプリントヘッドの単位構造のみが示されている。

図３及び図４に示すように、本実施形態は、基板１１０と、基板１１０上に積層されて複数のインクチャンバ１２５を形成するチャンバ層１２０と、チャンバ層１２０上に積層されるノズル層１３０と、を備える。ここで、インクチャンバ１２５内には、吐出されるインクが満たされ、各インクチャンバ１２５の底面をなす基板１１０の表面には、インクチャンバ１２５内のインクを加熱してバブルを発生させるヒータ１２７が設けられている。そして、ノズル層１３０には、インクが吐出されるノズル１３５がインクチャンバ１２５に対応して形成されている。

基板１１０の上部には、後述するマニホールド１１２から各インクチャンバ１２５にインクを個別的に供給するための複数のインクフィードホール１１４が形成されている。ここで、インクフィードホール１１４は、インクチャンバ１２５に対応するように形成される。そして、インクフィードホール１１４のそれぞれの内壁には、各インクフィードホール１１４の長さを所定の同一長さに定めることが可能なフィードホールガイド１５０が設けられている。フィードホールガイド１５０は、それぞれ所定の同一長さを有している。フィードホールガイド１５０によって、インクフィードホール１１４は、相互に同じ長さを有する。ここで、フィードホールガイド１５０は、基板１１０及びエッチング選択性のある物質からなるとすることができる。基板１１０がシリコンからなる場合、フィードホールガイド１５０は、例えば、シリコン酸化物又はシリコン窒化物からなりうる。

そして、基板１１０の下部には、インクフィードホール１１４と連通するマニホールド１１２が形成されている。マニホールド１１２は、各インクフィードホール１１４にインクを共通的に供給する。ここで、マニホールド１１２の上壁は、フィードホールガイド１５０の最下端部と同じ高さに位置するか、又はフィードホールガイド１５０の最下端部より高く位置してもよい。このように、本発明の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドでは、インクフィードホール１１４の内壁にフィードホールガイド１５０が設けられることによって、所定の同一長さを有するインクフィードホール１１４を形成することができる。

以下に、本実施形態にかかるインクジェットプリントヘッドにおいて、吐出されるインクのシミュレーション結果について説明する。図５Ａ及び図５Ｂは、本実施形態に係るインクジェットプリントヘッドにおいて、所定の同一長さを有するインクフィードホール１１４を有しており、インクチャンバ１２５の底部とマニホールド１１２の上壁との間の基板１１０の厚さをそれぞれ25μm、10μmにしたとき、吐出されるインクのシミュレーション実験結果を示す断面図である。このような実験によって計算した結果、インクチャンバ１２５の底部とマニホールド１１２の上壁との間の基板１１０の厚さが25μmである場合には、インクの吐出速度が8.72m/s、吐出されるインクの体積は5.00pl、駆動周波数は28kHzであった。そして、インクチャンバ１２５の底部とマニホールド１１２の上壁との間の基板１１０の厚さが10μmである場合には、インクの吐出速度が8.77m/s、吐出されるインクの体積は5.00pl、駆動周波数は27kHzであった。このような結果を参照すれば、インクフィードホール１１４の長さが所定の同一長さであれば、インクチャンバ１２５の底部とマニホールド１１２の上壁との間の基板１１０の厚さが変化しても、各ノズル１３５間の吐出性能の変化はほとんどないということが分かる。

本実施形態に係るインクジェットプリントヘッドでは、フィードホールガイド１５０によって所定の同一長さを有するインクフィードホール１１４を形成することができるので、各ノズル１３５の吐出性能を一定に維持できる。従って、インクジェットプリントヘッドの信頼性及び印刷品質を向上させることができる。また、複数のインクジェットプリントヘッドから構成されるアレイプリントヘッドでは、各インクジェットプリントヘッド間の印刷性能を一定に維持させることができる。

次に、図６〜図１３を参照して、本発明の第１の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの製造方法を説明する。図６〜図１３は、本実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの製造方法を示す説明図である。図６〜図１３には、便宜上、インクジェットプリントヘッドの単位構造のみが示されている。

まず、図６に示すように、所定の厚さを有する基板１１０の表面にヒータ１２７を形成する。基板１１０としては、シリコン基板が一般的に使用される。そして、ヒータ１２７は、基板１１０の表面に発熱抵抗体を塗布した後、これを所定の形態にパターニングすることによって形成されうる。次に、図７に示すように、ヒータ１２７が形成された基板１１０の一側上部を所定の深さにエッチングして、後述するインクフィードホール１１４（図９参照）が形成される部分を取り囲むトレンチ１５１を形成する。ここで、トレンチ１５１は、ヒータ１２７に対応するように形成される。

更に、図８に示すように、トレンチ１５１の内部に所定物質を満たして、フィードホールガイド１５０を形成する。ここで、フィードホールガイド１５０は、基板１１０とエッチング選択性のある物質とからなるとすることができる。基板１１０がシリコンからなる場合、フィードホールガイド１５０は、例えば、シリコン酸化物又はシリコン窒化物からなるとすることができる。次に、図９に示すように、フィードホールガイド１５０によって取り囲まれた基板１１０の上部をエッチングして除去すれば、基板１１０の上部には、内壁にフィードホールガイド１５０が設けられたインクフィードホール１１４が形成される。このとき、各インクフィードホール１１４は、フィードホールガイド１５０によってその長さが所定の長さになる。

なお、インクフィードホール１１４は、図１２及び図１３に示す工程によって形成されてもよい。まず、図１２に示すように、ヒータ１２７が形成された基板１１０の上部を所定の深さにエッチングしてインクフィードホール１１４を形成する。次に、図１３に示すように、インクフィードホール１１４を覆うように、基板１１０上に所定の物質層１５０’を形成する。このとき、物質層１５０’は、基板１１０及びエッチング選択性のある物質からなるとすることができる。そして、インクフィードホール１１４の内壁にのみ物質層１５０’が残るように物質層１５０’をパターニングすれば、図９に示すような内壁にフィードホールガイド１５０が形成されたインクフィードホール１１４が形成される。

次に、図１０に示すように、基板１１０上にインクフィードホール１１４と連通する複数のインクチャンバ１２５が形成されたチャンバ層１２０を積層する。ここで、インクチャンバ１２５は、インクフィードホール１１４と対応するように形成される。従って、インクフィードホール１１４は、後述するマニホールド１１２（図１１参照）からインクチャンバ１２５に個別的にインクを供給する。チャンバ層１２０は、基板１１０上に所定の物質層を積層した後、インクチャンバ１２５の形成のために、物質層を所定の形態にパターニングすることによって形成されうる。次いで、チャンバ層１２０上に、インクチャンバ１２５と連通する複数のノズル１３５が形成されたノズル層１３０を形成する。ノズル層１３０は、チャンバ層１２０上に所定の物質層を積層した後、ノズル１３５の形成のために、物質層を所定の形態にパターニングすることによって形成されうる。

その後、図１１に示すように、基板１１０の下部をエッチングして、インクフィードホール１１４と連通するマニホールド１１２を形成すれば、本実施形態に係るインクジェットプリントヘッドが完成する。基板１１０の下部をエッチングする過程でフィードホールガイド１５０の下端部が露出されるが、このとき、基板１１０とエッチング選択性のある物質とからなっているフィードホールガイド１５０はエッチングされず、基板１１０のみがエッチングされ続けて、マニホールド１１２が形成される。従って、マニホールド１１２は、その上壁がフィードホールガイド１５０の最下端部より高く位置するように形成される。一方、マニホールド１１２は、その上壁がフィードホールガイド１５０の最下端部と同じ高さに位置するように形成されてもよい。

以上では、基板１１０の下部にマニホールド１１２が形成される前に、チャンバ層１２０及びノズル層１３０が形成される場合について説明したが、チャンバ層１２０及びノズル層１３０は、基板１１０の下部にマニホールド１１２が形成された後に形成されてもよい。

本実施形態によれば、次のような効果がある。第一に、インクフィードホール１１４の内壁にインクフィードホール１１４の長さを所定の同一長さにするフィードホールガイド１５０が形成されることによって、所定の同一長さを有するインクフィードホール１１４を形成できる。これにより、インクジェットプリントヘッドでの各ノズル１３５、及びアレイプリントヘッドでの各インクジェットプリントヘッドの印刷性能を一定に維持できるので、信頼性及び印刷品質を向上させることができる。また、インクジェットプリントヘッドの歩留まりを向上させうるので、製造コストを低減させることができる。

第二に、本実施形態に係るインクジェットプリントヘッドは、インクフィードホール１１４が各インクチャンバ１２５にインクを個別的に供給する構造を取っているので、隣接したノズル１３５の間にクロストークが発生することを防止できる。また、電気配線の配置が単純となり、インクジェットプリントヘッドのサイズを減らすことができる。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例又は修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

本発明は、インクジェットプリントヘッド及びその製造方法に適用可能であり、特に印刷媒体上の所望の位置にインクを吐出させて、所定色の画像を形成する装置であるインクジェットプリンタのインクジェットプリントヘッド及びその製造方法に適用可能である。

従来のインクジェットプリントヘッドの一部を切断して示す斜視図である。インクフィードホールの長さが30μmであるとき、吐出されるインクのシミュレーション実験結果を示す断面図である。インクフィードホールの長さが20μmであるとき、吐出されるインクのシミュレーション実験結果を示す断面図である。本発明の第１の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの一部を切断して示す斜視図である。同実施形態に係るインクジェットプリントヘッドを示す断面図である。同実施形態に係るインクジェットプリントヘッドで、インクチャンバの底部とマニホールドの上壁との間の基板の厚さを25μmにしたとき、吐出されるインクのシミュレーション実験結果を示す断面図である。同実施形態に係るインクジェットプリントヘッドで、インクチャンバの底部とマニホールドの上壁との間の基板の厚さを10μmにしたとき、吐出されるインクのシミュレーション実験結果を示す断面図である。同実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの製造方法を示す説明図である。本発明の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの製造方法を示す説明図である。本発明の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの製造方法を示す説明図である。本発明の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの製造方法を示す説明図である。本発明の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの製造方法を示す説明図である。本発明の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの製造方法を示す説明図である。本発明の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの製造方法を示す説明図である。本発明の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの製造方法を示す説明図である。

符号の説明

１１０基板
１１２マニホールド
１１４インクフィードホール
１２０チャンバ層
１２５インクチャンバ
１２７ヒータ
１３０ノズル層
１３５ノズル
１５０フィードホールガイド
１５１トレンチ

Claims

下部には、インク供給のためのマニホールドが形成され、上部には、前記マニホールドと連通する複数のインクフィードホールが形成された基板と、
前記インクフィードホールのそれぞれの内壁に設けられて、前記各インクフィードホールの長さを所定の同一長さに定めることが可能なフィードホールガイドと、
前記基板上に積層されるものであって、前記インクフィードホールと連通する複数のインクチャンバが形成されたチャンバ層と、
前記インクチャンバ内のインクを加熱してバブルを発生させる複数のヒータと、
前記チャンバ層上に積層され、インクが吐出される複数のノズルが形成されたノズル層と、を備え、
前記インクフィードホールは、前記基板の一側上部に形成され、前記フィードホールガイドは、前記基板に対してエッチング選択性のある物質からなることを特徴とする、インクジェットプリントヘッド。
前記インクフィードホールは、前記インクチャンバに対応して形成されたことを特徴とする、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
前記マニホールドの上壁は、前記フィードホールガイドの最下端部と同じ高さに位置するか、又は前記フィードホールガイドの最下端部より高く位置することを特徴とする、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
前記基板は、シリコンからなり、前記フィードホールガイドは、シリコン酸化物又はシリコン窒化物からなることを特徴とする、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
前記ヒータは、前記インクチャンバの底部をなす前記基板の表面に設けられることを特徴とする、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
基板の表面に複数のヒータを形成する工程と、
前記基板の上部に、フィードホールガイドによって所定の同一長さに定められた複数のインクフィードホールを形成する工程と、
前記基板上に、前記インクフィードホールと連通する複数のインクチャンバが形成されたチャンバ層を積層する工程と、
前記チャンバ層上に、前記インクチャンバと連通する複数のノズルが形成されたノズル層を積層する工程と、
前記基板の下部に、前記インクフィードホールと連通するマニホールドを形成する工程と、を有し、
前記フィードホールガイドによって所定の同一長さに定められた前記インクフィードホールを形成する工程は、
前記ヒータが形成された前記基板の一側上部を所定の深さにエッチングして、前記インクフィードホールが形成される部分を取り囲むようにトレンチを形成する工程と、
前記トレンチの内部に前記基板とエッチング選択性のある物質を満たしてフィードホールガイドを形成する工程と、
前記フィードホールガイドによって取り囲まれた前記基板の上部をエッチングして除去することにより前記インクフィードホールを形成する工程と、を含むことを特徴とする、インクジェットプリントヘッドの製造方法。
前記フィードホールガイドによって所定の同一長さに定められた前記インクフィードホールを形成する工程は、
前記基板の上部を所定の深さにエッチングして前記インクフィードホールを形成する工程と、
前記インクフィードホールを覆うように、前記基板上に所定の物質層を形成する工程と、

前記物質層をパターニングして、前記インクフィードホールの内壁に前記フィードホールガイドを形成する工程と、
を含むことを特徴とする、請求項６に記載のインクジェットプリントヘッドの製造方法。
前記インクフィードホールは、前記インクチャンバに対応して形成されることを特徴とする、請求項６に記載のインクジェットプリントヘッドの製造方法。
前記フィードホールガイドは、前記基板に対してエッチング選択性のある物質からなることを特徴とする、請求項６に記載のインクジェットプリントヘッドの製造方法。
前記基板は、シリコンからなり、前記フィードホールガイドは、シリコン酸化物又はシリコン窒化物からなることを特徴とする、請求項９に記載のインクジェットプリントヘッドの製造方法。
前記マニホールドは、前記フィードホールガイドの最下端部が露出されるように前記基板の下部をエッチングすることによって形成されることを特徴とする、請求項６に記載のインクジェットプリントヘッドの製造方法。
前記マニホールドは、上壁が前記フィードホールガイドの最下端部と同じ高さに位置するか、又は前記フィードホールガイドの最下端部より高く位置するように形成されることを特徴とする、請求項１１に記載のインクジェットプリントヘッドの製造方法。
基板の表面に複数のヒータを形成する工程と、
前記基板の上部に、フィードホールガイドによって所定の同一長さに定められた複数のインクフィードホールを形成する工程と、
前記基板の下部に、前記インクフィードホールと連通するマニホールドを形成する工程と、
前記基板上に、前記インクフィードホールと連通する複数のインクチャンバが形成されたチャンバ層を積層する工程と、
前記チャンバ層上に、前記インクチャンバに対応する複数のノズルが形成されたノズル層を積層する工程と、を有し、
前記インクフィードホールを形成する工程は、前記基板の一側上部を所定の深さにエッチングして前記インクフィールドホールを形成し、次に、前記インクフィールドホールを覆うように前記基板上に前記基板とエッチング選択性のある物質層を形成し、そして、インクフィールドホールの内壁にのみ前記物質層が残るように、前記物質層をパターニングして前記フィードホールガイドを形成し、
前記マニホールドを形成する工程において、前記基板の下部をエッチングする過程で前記フィードホールガイドはエッチングされず、前記基板のみがエッチングされ続けて前記マニホールドが形成され、前マニホールドはその上壁が前記フィールドホールガイドの最下端部と同じ高さか、又はより高く位置するように形成され、前記基板の下部に前記インクフィールドホールと連通する前記マニホールドが形成されることを特徴とする、インクジェットプリントヘッドの製造方法。