JP4918827B2 - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Description
ターン部(マスク遮蔽部)との境界線付近でのパターンの工夫により逆テーパーを防止する提案がなされている(特許文献1参照)。ここでは、画素パターン開口部の周囲を境界遮光部とし、その外側に開口輪郭線を設けたマスクを用い、回折による光の合成で縁部の硬化を強固にしている。
定される、カラーフィルタ画素パターンの境界線付近では、カラーフィルタ画素の上底部は、境界線付近まで不溶解化し、カラーフィルタ画素の下底部は、境界線より内部側まで、溶解性のままである。その結果、画素の上底部線幅は正常であり、画素の下底部線幅は狭幅となる逆テーパー形状となる。すなわち、この形状をオーバーハング形状といわれる。
狭い形状、すなわち、オーバーハング状の側断面形状のRGB画素部12を持つカラーフィルタとなる。カラーフィルタにスパッタ法等を用いて透明電極層14を膜付けする際、前記オーバーハング状のRGB画素部では、下底部の側壁部の膜形成が妨げられ、均一な膜厚で透明電極層が形成されずに、不着膜・着膜不足等による断線不良の部位30が発生する問題がある。
カラーフィルタ用フォトマスクに形成するカラーフィルタ層のパターン外周部の近傍領域に、カラーフィルタ層のパターンを区画形成する境界領域から外側へ拡張する領域に形成し、その拡張幅を用いる感光性樹脂の解像度以下とするハーフトーン膜により区画形成したハーフトーン膜層を有するカラーフィルタ用フォトマスクを用いて露光、現像、ベークし、該ベーク時にカラーフィルタ層のパターン外周部で熱ダレを起こすことにより、順テーパー形状のカラーフィルタ層を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
マスク、(b)は、カラーフィルタ20の画素の拡大図である。
レジストを現像処理した後、パターンレジストをマスクとして、露出した遮蔽膜面をエッチング処理し、レジスト剥膜処理後、遮蔽膜パターン層2が区画形成され、さらに遮蔽膜パターンから透明基板まで全面に、スパッタリング法によりハーフトーン膜を形成し、該ハーフトーン膜上にレジスト塗布した後、電子線描画装置によりハーフトーンのパターン図形を描画したパターンレジストを形成する。該パターンレジストを現像処理した後、パターンレジストをマスクとして、露出したハーフトーン膜面をエッチング処理し、レジスト剥膜処理後、ハーフトーン膜層3が区画形成され、本発明のハーフトーンを有するカラーフィルタ用マスクが完成する。
あり、(b)は、現像処理後であり、(c)は、ポストベーク処理後の画素である。
フィルタ基板11の全面へ顔料分散樹脂レジストを1.3μm厚さで均一に塗布した後、該レジストを70℃の温度で20分間加熱するプリベーク処理をした。顔料分散樹脂レジストはCB―2000(品番、(株)フジハント社製造)を使用した。露光光の照射処理条件では、実施例1のカラーフィルタ用マスクを用いて、露光量が180mJ/cm2の条件下で、紫外線露光をした。次いで、専用の現像液を用いて現像処理をした後、該レジストを230℃の温度で20分間加熱するポストベーク処理をし、B画素52を形成した。B画素52の断面形状は、正常な状態であり、順テーパーの傾斜角度であった。以上により、カラーフィルタ基板11上に、格子付き遮光膜層13及びRGB画素12を区画形成した。
2…遮蔽膜層
3…ハーフトーン膜層
4…顔料分散樹脂層
6…下底部(線幅)
9…上底部(線幅)
10…カラーフィルタ用マスク
11…カラーフィルタ用基板
12…RGB画素
4a…不溶解部
4b…半溶解部
4c…溶解部
13…遮光膜層
14…透明電極
20…カラーフィルタ
30…断線不良の部位
32…R画素
42…G画素
52…B画素
50…50%露光光透過域
100…100%露光光透過域
200…0%露光光透過域
Claims (1)
- カラーフィルタ用透明基板上に格子パターンの遮光膜層と、着色感光性樹脂を用いたカラーフィルタ層を形成し、遮光膜層及びカラーフィルタ層の上に透明電極層を形成するカラーフィルタの製造方法において、
カラーフィルタ用フォトマスクに形成するカラーフィルタ層のパターン外周部の近傍領域に、カラーフィルタ層のパターンを区画形成する境界領域から外側へ拡張する領域に形成し、その拡張幅を用いる感光性樹脂の解像度以下とするハーフトーン膜により区画形成したハーフトーン膜層を有するカラーフィルタ用フォトマスクを用いて露光、現像、ベークし、該ベーク時にカラーフィルタ層のパターン外周部で熱ダレを起こすことにより、順テーパー形状のカラーフィルタ層を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
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JP2006235158A JP4918827B2 (ja) | 2006-08-31 | 2006-08-31 | カラーフィルタの製造方法 |
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