JP4916697B2 - インク塗布装置、吐出ノズルの検査方法及びインクの塗布方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えばインクジェットヘッドの吐出ノズルからインクを吐出し、塗布対象物上に塗布膜を形成するためのインク塗布装置及びインクの塗布方法に関し、特に、インクジェットヘッドの吐出ノズルの吐出状態を検査する技術に関する。

従来より、インクジェットヘッドの吐出ノズルからインクを吐出して、塗布対象物上に塗布膜を形成する装置が広く知られている。
このような装置においては、例えば長時間の使用により、いくつかの吐出ノズルにインク詰まりが発生する場合がある。
そして、この吐出ノズルのインク詰まりは、塗布対象物上に形成される塗布膜に欠損をもたらす結果となる。

一方、塗布対象物上に形成された塗布膜の欠損を検査する方法としては、インクジェットヘッドの吐出ノズルから塗布対象物上にインクを吐出し塗布膜を形成した後、インク塗布装置内に設けられた撮像手段により塗布膜を撮像し吐出ノズルの検査を行うことが行われている（例えば特許文献１参照）。

しかし、このような塗布膜の欠損の検査方法は、塗布対象物上に塗布膜を形成した後に塗布膜を検査するもので、インク塗布の際にインクジェットヘッドの吐出ノズルのインク詰まりの有無を確実に検出する技術が要望されている。

他方、インク塗布装置内に撮像手段を設けた場合、塗布対象物に着弾したインクから蒸発するインク溶剤によって撮像手段が汚染する問題が生ずるおそれがある。
特開平１１−３１６３８０号公報

本発明は、このような従来技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、インク塗布の際にインクジェットヘッドの吐出ノズルのインク詰まりの有無を確実に検出して欠損のないインク塗布を可能にするとともに、吐出ノズルのインクの吐出状態を検査するための撮像手段のインク溶剤による汚染を防止する技術を提供することにある。

上記目的を達成するためになされた請求項１に記載の発明は、インクジェットヘッドの吐出ノズルから塗布対象物上にインクを吐出して塗布を行うインク塗布装置であって、前記塗布対象物のインクを塗布する領域の近傍に設けられ、前記吐出ノズルから吐出されるインクを受けるインク着弾部を有し且つ前記吐出ノズルの近傍の空間を仕切るための透光性を有するフィルム状のインク着弾シートと、前記インク着弾シートのインク着弾部を、その面方向に移動させるインク着弾部移動機構と、前記インク着弾シートのインク着弾部上に着弾したインクの像をその着弾位置で裏面側から取り込んで所定の画像情報に変換するための撮像手段と、前記画像情報に基づき前記インク着弾部上のインクの着弾状態を解析する解析手段とを備え、前記インク着弾部移動機構が、前記インク着弾シートを繰り出す繰出ロールと、前記インク着弾シートを巻き取る巻取ロールと、前記繰出ロールと前記巻取ロールの上方に所定間隔をおいて同じ高さ位置に設けられ前記インク着弾シートを支持する二つの支持ロールとを有するとともに、当該インク着弾シートによって囲まれた空間が、前記インクジェットヘッドの前記吐出ノズルの近傍の空間に対して隔てられ、前記撮像手段が、前記インク着弾部移動機構の前記インク着弾シートによって囲まれた空間に設けられ、前記インクジェットヘッドが、前記インク着弾シートのインク着弾部に対してインクを吐出する位置と前記塗布対象物に対してインクを吐出する位置との間を移動するように構成されているものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記吐出ノズルから吐出されたインクを前記インク着弾シートのインク着弾部上に着弾させた後、前記インク着弾部移動機構によって当該インク着弾シートのインク着弾部をその面方向に所定距離移動させ、さらに、前記吐出ノズルから吐出されたインクを前記インク着弾シートのインク着弾部上に着弾させ、当該インク着弾部上に着弾した全てのインクの像を取り込んで所定の画像情報に変換するように構成されているものである。
請求項３記載の発明は、請求項１又は２のいずれか１項記載の発明において、前記撮像手段が前記インク着弾シートの面方向に移動するように構成されているものである。
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれか１項記載のインク塗布装置を用いた吐出ノズルの検査方法であって、前記吐出ノズルから前記インク着弾シートのインク着弾部に対してインクを吐出して着弾させた後、前記インク着弾シートと前記吐出ノズルを前記インク着弾シートの面方向に相対的に移動させ、さらに前記吐出ノズルから前記インク着弾シートのインク着弾部に対してインクを吐出して着弾させる動作を所定回数行う工程と、前記インク着弾シートによって前記インクジェットヘッドに対して隔てられた空間において、前記インク着弾シートのインク着弾部上に着弾した所定領域のインクの像を裏面側から取り込んで所定の画像情報に変換する工程と、前記画像情報に基づき前記インク着弾シートのインク着弾部上のインクの着弾状態を解析する工程とを有するものである。
請求項５記載の発明は、インクジェットヘッドを用いて塗布対象物上に塗布膜を形成する前に、請求項４に記載の方法によって当該インクジェットヘッドの吐出ノズルの吐出状態を検査する工程を有するインクの塗布方法である。

本発明においては、塗布対象物とは別に設けたインク着弾シートのインク着弾部に対してインクジェットヘッドの吐出ノズルからインクを吐出し、着弾したインクの像をその着弾位置で取り込み画像情報に変換した後、インクの着弾状態を解析する。

この場合、例えばインクジェットヘッドの吐出ノズルの配置等を予め記憶しておき、その情報と着弾インクの画像情報を比較することにより、吐出ノズルのインクの吐出の有無等を検知することができる。
そして、本発明によれば、塗布対象物上にインクを塗布して塗布膜を形成する際に、各吐出ノズルのインク吐出状態を検出して常に良好な状態に保持しておくことが可能になる。

また、本発明の場合、インク着弾部移動機構のインク着弾シートによって囲まれた空間が、インクジェットヘッドの吐出ノズルの近傍の空間に対して隔てられるとともに、撮像手段が、インク着弾部移動機構のインク着弾シートによって囲まれた空間に設けられていることから、吐出ノズルから吐出されたインクが撮像手段に付着したり、着弾したインクから蒸発したインク溶剤が撮像手段が設けられた空間に入り込むことがない。このため、本発明によれば、撮像手段が吐出ノズルから吐出されるインクにより汚染されることがなく、常に良好なインク像を撮像手段によって取り込むことができる。

さらに、本発明の場合、撮像手段が、インクジェットヘッドの駆動系等と干渉し合うことがないため、インクジェットヘッド等を最適の位置に配置してインク塗布装置の小型化を図ることができる。

さらにまた、本発明の場合、インクジェットヘッドが、インク着弾部に対してインクを吐出する位置と塗布対象物に対してインクを吐出する位置との間を移動するように構成されていることから、インク着弾部に着弾させたインクの画像解析によって吐出ノズルのインクの吐出状態を検査した後、直ちに塗布対象物に対してインクの塗布を行うことができ、これにより連続して迅速に塗布膜を形成することが可能になる。

一方、本発明のように、吐出ノズルからインク着弾部に対してインクを吐出して着弾させた後、インク着弾部と吐出ノズルをインク着弾部の面方向に相対的に移動させ、さらに吐出ノズルから前記インク着弾部に対してインクを吐出して着弾させる動作を所定回数行うようにすれば、一回吐出しただけでは検出することが困難な吐出ノズルの軽微な吐出不良を精度良く検出することができるとともに、実際のインクの塗布に近い状態で吐出を行うことにより、インク塗布時における吐出ノズルのインクの吐出ずれの有無を確実に検査することができる。

また、本発明において、インクジェットヘッドを用いて塗布対象物上に塗布膜を形成する前に、上述した方法によってインクジェットヘッドの吐出ノズルの吐出状態を検査するようにすれば、予めメンテナンスを行うことによってインク塗布の際に常に吐出ノズルの吐出状態を良好にすることができる。
このため、本発明によれば、塗布膜の欠損の発生を抑えて歩留りの向上を図ることができる。

本発明によれば、インク塗布の際にインクジェットヘッドの吐出ノズルのインク詰まりの有無を確実に検出して欠損のないインク塗布を行うことができる。また、吐出ノズルのインクの吐出状態を検査するための撮像手段のインク溶剤による汚染を防止することができる。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明のインク塗布装置の実施の形態の正面図、図２は、同インク塗布装置の平面図、図３（ａ）は、同インク塗布装置の側面図、図３（ｂ）は、同インク塗布装置のインクジェットヘッドと撮像手段の例を示す説明図である。

図４（ａ）〜（ｃ）は、本発明の吐出ノズルの検査方法を用いて吐出ノズルの検査を行う動作を示す説明図、図５は、インク着弾部上のインクの着弾状態を示す概略図である。

図１又は２に示すように、本実施の形態のインク塗布装置１は、箱型形状の本体１１を有し、この本体１１には、インク塗布装置１を構成する後述する各手段が取り付けられている。
本体１１の上方には、インク３を吐出するためのインクジェットヘッド２が設けられている。

インクジェットヘッド２の下部には吐出ノズル２ａが設けられている。本発明の場合、例えば図３（ａ）に示すように本体１１の幅方向に複数の吐出ノズル２ａが直線状に並ぶ構成のほか、複数の吐出ノズル列を有するヘッド部を複数個並べる構成を採用することもできる。

この場合、図３（ｂ）に示すように、インク塗布方向に対して吐出ノズル２ａを所定の角度傾けたヘッド部２０を複数個並べることも可能である。
そして、インクジェットヘッド２は、インクの塗布方向に水平に移動するように構成されている。

本体１１の上部の所定の領域には支持台４が設けられ、この支持台４上に塗布対象物５が載置されるようになっている。
本体１１の支持台４と隣接する領域には、保守手段６が設けられている。この保守手段６は、インクジェットヘッド２の吐出ノズル２ａにインク詰まりが発生した場合において、例えば、その吐出ノズル２ａに対して吸引を行いインク詰まりを除去するなどのメンテナンスを行うものである。

図１及び図４（ａ）に示すように、本体１１の保守手段６と隣接する領域には、円筒形状の繰出ロール９が設けられ、さらに繰出ロール９と同じ高さの位置には、所定の間隔を置いて、円筒形状の巻取ロール１２が設けられている。巻取ロール１２は、図示しない制御部からの命令によって所定のタイミングで回転するように構成されている。

繰出ロール９及び巻取ロール１２の上方には、それぞれ所定の間隔を置いて円筒形状の支持ロール１０ａ及び１０ｂが同じ高さ位置に設けられている。
繰出ロール９には、インク着弾シート８が巻回されており、このインク着弾シート８は繰出ロール９から繰り出され、支持ロール１０ａ及び１０ｂによって支持されてインクジェットヘッド２と対向し、巻取ロール１２によって巻き取られるように構成されている。

このような構成により、インク着弾シート８は、下部が開放された略断面コ字状に形成される。以下、インク着弾シート８のインクジェットヘッド２と対向してインク３を受ける水平部分を、インク着弾部８ａという。
本実施の形態のインク着弾シート８は、透光性及び耐溶剤性を有する材料で構成されている。

本発明の場合、インク着弾シート８を構成する材料としては、特に限定されるものではないが、透光性及び耐溶剤性を確保する観点からは、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム等の透明な樹脂フィルムを好適に用いることができる。

また、本発明では、着弾したインク３とインク着弾シート８の間の接触角を考慮し、着弾したインク３同士がインク着弾部８ａ部上で接触しないような材料のものを用いることが好ましい。

この場合、引張強度とインク３に対する接触角の最適化のため、異なる種類のフィルムをラミネートしたものを用いることもできる。また、インク３に対する接触角の最適化のため、プラズマ、反応性ガス、ＵＶ光等によって表面処理を施したフィルムや、表面に接触角調整用の材料によるコーティングを施したフィルムを用いることもできる。

さらに、図２に示すように、本実施の形態のインク着弾シート８は、本体１１内壁の幅とほぼ等しくなるように構成され、インク着弾シート８と本体１１内壁との間に隙間がないようになっている。そして、このような構成により、インク着弾シート８で囲まれる空間が、インクジェットヘッド２の吐出ノズル２ａ近傍の空間に対して隔てられている。

インク着弾シート８で囲まれる空間には、複数の撮像手段１４が設けられている。図３（ａ）（ｂ）に示すように、これら撮像手段１４は、インク着弾部８ａ上のインク３が着弾する領域とほぼ等しい長さにわたって所定の位置に設けられており、個々の撮像手段１４の撮影領域Ｑが重なり全域を撮像することができるように構成されている。
ここで、撮像手段１４は、例えばＣＣＤカメラ等からなるもので、取り込んだ画像をデジタルデータに変換する機能を有している。

撮像手段１４は、解析手段１５に接続されている。そして、撮像手段１４において作成された画像情報を解析手段１５に送り、この画像情報に基づき後述するインク３の着弾状態を解析するように構成されている。

このような構成を有する本実施の形態においては、塗布対象物５上に塗布膜を形成する前に、図１に示すように、インクジェットヘッド２をインク着弾シート８の上方に配置して吐出ノズル２ａの吐出状態を検査する。

この検査を行うには、まず、図４（ａ）に示すように、インク着弾シート８の上方に配置したインクジェットヘッド２の複数の吐出ノズル２ａからインク着弾シート８に対してインク３を吐出し、インク着弾シート８のインク着弾部８ａ上にインク３を着弾させる。

次いで、図４（ｂ）に示すように、巻取ロール１２を回転させてインク着弾シート８を巻き取り、インク着弾部８ａ上に着弾したインク３を、インク３の配列方向と直交する方向へ水平に移動させる。このとき、例えば実際に塗布対象物５に対してインク３を吐出する際に塗布対象物５上の隣接するインク着弾点の間隔と等しい距離だけインク着弾シート８を移動させる。

そして、図４（ｃ）に示すように、再度、吐出ノズル２ａからインク３を吐出し、インク着弾部８ａ上にインク３を着弾させる。これにより、図５に示すように、インク着弾部８ａ上には、インクジェットヘッド２の吐出ノズル２ａの位置に対応するようにインク３が２本の直線列状に着弾する。

この場合、それぞれのインク３は、着弾時の衝撃やインク着弾シート８の表面の濡れ性に起因して着弾点の周囲に広がったとしてもお互いに重なり合うことがないような位置に点在させるようにする。

そして、インク着弾部８ａ上に着弾した全てのインク３の像を、インク着弾部８ａの裏面側から撮像手段１４によって取り込み、所定の画像情報に変換する。
その後、この画像情報を、撮像手段１４から解析手段１５へ送出して所定の画像処理及び画像解析を行う。

解析手段１５においては、例えば、全ての吐出ノズル２ａからインク３を吐出してインク着弾部８ａ上に重ならない状態で着弾させたインク３の画像情報を予め記憶しておき、この情報と撮像手段１４によって取り込んだインク３の画像情報とを比較し、所定の画像処理を行うことによりインクジェットヘッド２の吐出ノズル２ａのインク３の吐出状態を検査する。

そして、インク着弾部８ａ上において、インク３が着弾していない領域や、欠損した状態で着弾したインク３の位置を認識することにより、インク詰まりが発生している吐出ノズル２ａを特定する。
また、インク着弾部８ａ上において、所定の位置から外れて着弾したインク３を認識することにより、所定の方向からずれてインク３を吐出する吐出ノズル２ａを特定する。

このような解析手段１５における解析によって、吐出ノズル２ａのインクの吐出不良があると判断した場合には、例えば、インクジェットヘッド２を、保守手段６の上方に移動し、この保守手段６により、インクの吐出不良が発生しているインクジェットヘッド２の吐出ノズル２ａの吸引を行う等して吐出ノズル２ａのインク詰まりを取り除く。
その後、インクジェットヘッド２を塗布対象物５の上方に配置し、塗布対象物５上を移動させつつインク３を吐出し、塗布対象物５上に例えばスペーサ等を塗布形成する。

一方、本発明においては、インク着弾部８ａに対して吐出ノズル２ａから吐出したインク３が着弾する毎に、インク着弾部８ａの裏面側から撮像手段１４によってインク３の像を取り込み、所定の画像情報に変換するようにすることも可能である。

この場合には、取り込まれた複数の画像情報を撮像手段１４から解析手段１５へそれぞれ送出し、インク着弾部８ａに着弾したインク３の全体像として合成して、このデータに基づき画像解析を行う。

以上述べたように本実施の形態によれば、インクジェットヘッド２の吐出ノズル２ａのインク３の吐出状態を容易に検知することができるので、塗布対象物５上にインク３を塗布して塗布膜を形成する際に、各吐出ノズル２ａのインク吐出状態を常に良好な状態に保持することができる。その結果、塗布膜の欠損の発生を抑えて歩留りの向上を図ることができる。

また、本実施の形態によれば、撮像手段１４が、インクジェットヘッド２側の空間の雰囲気から隔てられていることから、吐出ノズル２ａから吐出されたインク３や、着弾したインク３から蒸発したインク溶剤が撮像手段１４側の空間に入り込むことがない。その結果、撮像手段１４がインク３により汚染されることがなく、常に良好なインク像を撮像手段１４により取り込むことができる。

さらに、本実施の形態によれば、撮像手段１４が、インクジェットヘッド２の駆動系等と干渉し合うことがないため、インクジェットヘッド２等を最適の位置に配置して装置の小型化を図ることができる。

一方、本実施の形態の場合、吐出ノズル２ａからインク着弾部８ａに対してインク３を吐出して着弾させた後、インク着弾部８ａを面方向に移動させ、さらに吐出ノズル２ａから前記インク着弾部８ａに対してインク３を吐出して着弾させて検査を行うことから、一回吐出しただけでは検出することが困難な吐出ノズル２ａの軽微な吐出不良を精度良く検出することができるとともに、実際のインクの塗布に近い状態で吐出を行うことにより、インク塗布時における吐出ノズル２ａのインク３の吐出ずれの有無を確実に検査することができる。

加えて、本実施の形態の場合、インクジェットヘッド２が、インク着弾部８ａに対してインク３を吐出する位置と塗布対象物５に対してインク３を吐出する位置との間を移動するように構成されていることから、インク着弾部８ａに着弾させたインクの画像解析によって吐出ノズル２ａのインクの吐出状態を検査した後、直ちに塗布対象物５に対してインク３の塗布を行うことができ、これにより連続して迅速に塗布膜を形成することができる。

図６は、本発明のさらに他の実施の形態のインク塗布装置の平面図、図７は、同インク塗布装置の側面図である。以下、上記実施の形態と共通する部分については同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
図６に示すように、本実施の形態のインク塗布装置１Ａでは、インク着弾シート８で囲まれる空間に、一つの撮像手段１４Ａが設けられている。

この撮像手段１４Ａは、図６及び図７（ａ）（ｂ）に示すように、インク着弾部８ａ上のインク３が着弾する領域をインク３の配列方向（インクジェットヘッド２の長手方向）に移動してインク３の全着弾領域を撮像できるように構成されている。

そして、本実施の形態においては、上記実施の形態と同様の動作を行い吐出ノズル２ａから複数回にわたってインク着弾部８ａに対してインク３を吐出した後、撮像手段１４Ａをインク３の配列方向へ移動させながらインク３の像を取り込み、解析手段１５において画像の解析を行う。

なお、本実施の形態においても、吐出ノズル２ａからインク着弾部８ａに対してインク３を吐出する毎に着弾したインク３の像を取り込み、その後、各画像データを合成して画像解析を行ってもよい。

このような本実施の形態によれば、１台の撮像手段１４Ａでインク着弾部８ａに着弾したインク３の像を取り込むことができることから、装置構成の簡素化を図ることができる。
その他の構成及び作用効果については上述の実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。

なお、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、上述の実施の形態においては、吐出ノズル２ａから塗布対象物５に対してインク３の吐出を２回行うようにしたが、本発明はこれに限られず、３回以上インク３の吐出を行うことも可能である。

また、上述の実施の形態においては、塗布対象物に対してインク３の吐出を行う際に、インクジェットヘッド２を固定してインク着弾シート８を移動させるようにしたが、本発明はこれに限られず、インク着弾シート８を固定してインクジェットヘッド２を移動させるようにすることもできる。

また、上述の実施の形態においては、インク着弾部８ａとしてシート状のものを用いたが、本発明はこれに限られず、平板状のインク着弾部であればシート状以外のものを用いることもできる。

さらに、上述の実施の形態においては、インク着弾部８ａ上に着弾した全てのインク３の像を取り込むようにしたが、本発明はこれに限られず、インク着弾部８ａ上に着弾したインク３のうち特定の領域のインク像を取り込むようにすることもできる。

さらにまた、本発明は、塗布対象物５に対して吐出ノズル２ａからインク３を吐出することによりスペーサの形成や配線パターンの形成や塗布膜の形成等を行う種々の装置に適用することができる。

本発明のインク塗布装置の実施の形態の正面図 同インク塗布装置の平面図 （ａ）：同インク塗布装置の側面図 （ｂ）：同インク塗布装置のインクジェットヘッドと撮像手段の例を示す説明図 本発明の吐出ノズルの検査方法を用いて吐出ノズルの検査を行う動作を示す説明図 インク着弾部上のインクの着弾状態を示す概略図 本発明の他の実施の形態のインク塗布装置の平面図 （ａ）：本発明の他の実施の形態のインク塗布装置の側面図 （ｂ）：同インク塗布装置のインクジェットヘッドと撮像手段の例を示す説明図

符号の説明

１…インク塗布装置 ２…インクジェットヘッド ２ａ…吐出ノズル ３…インク ５…塗布対象物 ６…保守手段 ８…インク着弾シート ８ａ…インク着弾部 ９…巻取ロール １０ａ、ｂ…搬送ロール １１…本体 １２…巻取ロール １４…撮像手段 １５…解析手段

Claims (5)

1. インクジェットヘッドの吐出ノズルから塗布対象物上にインクを吐出して塗布を行うインク塗布装置であって、
   前記塗布対象物のインクを塗布する領域の近傍に設けられ、前記吐出ノズルから吐出されるインクを受けるインク着弾部を有し且つ前記吐出ノズルの近傍の空間を仕切るための透光性を有するフィルム状のインク着弾シートと、
   前記インク着弾シートのインク着弾部を、その面方向に移動させるインク着弾部移動機構と、
   前記インク着弾シートのインク着弾部上に着弾したインクの像をその着弾位置で裏面側から取り込んで所定の画像情報に変換するための撮像手段と、
   前記画像情報に基づき前記インク着弾部上のインクの着弾状態を解析する解析手段とを備え、
   前記インク着弾部移動機構が、前記インク着弾シートを繰り出す繰出ロールと、前記インク着弾シートを巻き取る巻取ロールと、前記繰出ロールと前記巻取ロールの上方に所定間隔をおいて同じ高さ位置に設けられ前記インク着弾シートを支持する二つの支持ロールとを有するとともに、当該インク着弾シートによって囲まれた空間が、前記インクジェットヘッドの前記吐出ノズルの近傍の空間に対して隔てられ、
   前記撮像手段が、前記インク着弾部移動機構の前記インク着弾シートによって囲まれた空間に設けられ、
   前記インクジェットヘッドが、前記インク着弾シートのインク着弾部に対してインクを吐出する位置と前記塗布対象物に対してインクを吐出する位置との間を移動するように構成されているインク塗布装置。
2. 前記吐出ノズルから吐出されたインクを前記インク着弾シートのインク着弾部上に着弾させた後、前記インク着弾部移動機構によって当該インク着弾シートのインク着弾部をその面方向に所定距離移動させ、さらに、前記吐出ノズルから吐出されたインクを前記インク着弾シートのインク着弾部上に着弾させ、当該インク着弾部上に着弾した全てのインクの像を取り込んで所定の画像情報に変換するように構成されている請求項１記載のインク塗布装置。
3. 前記撮像手段が前記インク着弾シートの面方向に移動するように構成されている請求項１又は２のいずれか１項記載のインク塗布装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか１項記載のインク塗布装置を用いた吐出ノズルの検査方法であって、
   前記吐出ノズルから前記インク着弾シートのインク着弾部に対してインクを吐出して着弾させた後、前記インク着弾シートと前記吐出ノズルを前記インク着弾シートの面方向に相対的に移動させ、さらに前記吐出ノズルから前記インク着弾シートのインク着弾部に対してインクを吐出して着弾させる動作を所定回数行う工程と、
   前記インク着弾シートによって前記インクジェットヘッドに対して隔てられた空間において、前記インク着弾シートのインク着弾部上に着弾した所定領域のインクの像を裏面側から取り込んで所定の画像情報に変換する工程と、
   前記画像情報に基づき前記インク着弾シートのインク着弾部上のインクの着弾状態を解析する工程とを有する吐出ノズルの検査方法。
5. インクジェットヘッドを用いて塗布対象物上に塗布膜を形成する前に、請求項４に記載の方法によって当該インクジェットヘッドの吐出ノズルの吐出状態を検査する工程を有するインクの塗布方法。

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