KR102509223B1

KR102509223B1 - 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치

Info

Publication number: KR102509223B1
Application number: KR1020210007189A
Authority: KR
Inventors: 이성진; 박정훈; 맹호; 심세현
Original assignee: (주)유니젯
Priority date: 2021-01-19
Filing date: 2021-01-19
Publication date: 2023-03-15
Also published as: EP4282658A1; CN116635242A; KR20220105220A; US20240025192A1; WO2022158675A1; JP2024501545A

Abstract

본 발명은 글로브 박스 내에 구비된 잉크젯 장비의 헤드 노즐에서 분사되는 잉크방울의 토출상태를 검사하기 위한 검사필름의 교체를 신속하고 간편하게 할 수 있는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치는, 잉크젯 장비가 내장된 글로브 박스 내에 설치된 카트리지 체결부; 및 상기 잉크젯 장비의 헤드 노즐의 잉크방울 토출상태를 검사하기 위한 테스트 베드가 구비되고, 상기 테스트 베드의 상부로 검사필름을 공급하도록 교체 가능한 검사필름 공급 롤과 검사필름 회수 롤이 장착되며, 상기 카트리지 체결부에 착탈가능하도록 구성된 카트리지부;를 포함하여 구성된다.

Description

잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치{APPARATUS FOR PROVIDING FILM FOR INSPECTION OF INKJET HEAD NOZZLE}

본 발명은 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 글로브 박스 내에 구비된 잉크젯 장비의 헤드 노즐에서 분사되는 잉크방울의 토출상태를 검사하기 위한 검사필름의 교체를 신속하고 간편하게 할 수 있는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치에 관한 것이다.

최근, 잉크젯 기술이 발전됨에 따라 디스플레이 반도체 분야 등과 같은 다양한 분야에서 잉크젯 기술이 사용되고 있다.

예를 들어, LCD, 컬러 필터(Color filter), OLED RGB, OLED TFE(Thin Film Encapsulation) 등 매우 작은 영역에 잉크를 인쇄하거나 정밀 코팅을 하는 공정 등에 잉크젯 기술이 사용되고 있으며, 컬러 필터 또는 OLED RGB는 수십 또는 수 마이크로 크기의 뱅크(Bank) 내에 정확하게 정량의 잉크방울을 탄착시켜 각 색깔을 표현하도록 적용되고 있고, 이러한 경우의 물리적 오차는 1% 미만이어야 한다.

상술한 바와 같이, 잉크젯 기술을 이용하여 정밀한 공정을 수행하기 위해서는 잉크젯 장비의 헤드 노즐에서 토출되는 잉크방울이 정확한 방향으로 토출되는 상태가 유지되어야 한다.

따라서, 상기 헤드 노즐의 잉크방울 토출상태를 주기적으로 검사하여 상기 헤드 노즐에서 토출되는 잉크방울이 정확한 방향이 아닌 사선 방향으로 토출되거나 토출이 되지 않는 등의 문제가 발생하지 않도록 하고, 문제 발생 시 불량 노즐은 사용을 중지하고 다른 노즐을 이용하여 보정해주는 등의 유지보수를 해야 한다.

상기 헤드 노즐의 잉크방울 토출상태를 주기적으로 검사하기 위한 방법으로서, 잉크방울이 토출되는 시점에 비젼장치를 이용하여 잉크방울의 토출 상태, 속도 등을 관찰하여 헤드 노즐의 잉크방울 토출상태가 정상인지 판단하는 방법이 있다.

하지만, 상술한 방법은 많은 수의 노즐에서 토출되는 잉크방울을 일일이 비젼장치로 촬영하고 판단해야하기 때문에 시간이 오래 걸리는 단점이 있으며, 이를 보완하기 위한 기술이 개발되고 있다.

잉크젯 헤드에 구비된 많은 수의 노즐에서 토출되는 잉크방울의 토출상태를 빠르게 검사하기 위한 기술로서, 한국공개특허 제10-2016-0083420호에 개시된 '기판 처리 장치, 토출량 측정 유닛, 그리고 기판 처리 방법'가 있다.

그러나, 상술한 바와 같은 '기판 처리 장치, 토출량 측정 유닛, 그리고 기판 처리 방법'은 특정 가스분위기로 밀폐 구성된 글로브 박스 내에 상기 기판 처리 장치가 설치되어 있고, 상기 토출량 측정 유닛도 상기 글로브 박스 내에 설치되어 있기 때문에 공급 롤러와 회수 롤러를 새로운 공급 롤러와 회수 롤러로 교체하는 작업이 글로브 박스 내에서 이루어져야 하기 때문에 매우 번거로운 문제점이 있다.

따라서, 공급 롤러와 회수 롤러를 신속하게 교체하고 잉크방울의 토출상태를 신속하게 검사할 수 있는 기술이 요구되고 있다.

한국공개특허 제10-2016-0083420호(2016년07월12일)

상기 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 글로브 박스 내에 구비된 잉크젯 장비의 헤드 노즐에서 분사되는 잉크방울의 토출상태를 검사하기 위한 검사필름의 교체를 신속하고 간편하게 할 수 있는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치를 제공함에 있다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치는, 글로브 박스 내에 구비된 잉크젯 장비의 헤드 노즐에서 분사되는 잉크방울의 토출상태를 검사하기 위한 검사필름을 공급하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치로서, 잉크젯 장비의 헤드 노즐을 유지보수하기 위한 글로브 박스 내의 유지보수 영역에 설치된 고정 베이스; 상기 고정 베이스의 일측 상부에 고정된 사각 박스 형상의 하우징; 및 상기 하우징의 상부에 장착된 공급 매니폴드;를 포함하여 구성된 카트리지 체결부; 및 일측이 개방된 사각 박스의 형상으로 형성되고, 하면이 상기 고정 베이스의 상면에 안착됨과 함께 개방된 부분이 상기 하우징에 안착되어 상기 카트리지 체결부에 체결이 가능하도록 구성된 커버박스; 상기 커버박스의 타측에 복수의 연결봉에 의해 체결된 외측 플레이트; 상기 커버박스의 상부와 상기 외측 플레이트의 상부에 걸쳐 체결된 접속 매니폴드; 상기 접속 매니폴드의 상부에 조립된 테스트 베드; 및 상기 커버박스와 상기 외측 플레이트 사이에 서로 평행하게 구비되어 교체 가능한 검사필름 공급 롤이 장착되는 권출롤러와 교체 가능한 검사필름 회수 롤이 장착되는 권취롤러;를 포함하여 구성된다.

바람직하게, 상기 공급 매니폴드는, 양압을 제공받는 양압포트와 연결된 적어도 하나의 양압공급홀 및 음압을 제공받는 음압포트와 연결된 적어도 하나의 음압공급홀을 포함하여 구성되고, 상기 접속 매니폴드는, 상기 양압공급홀의 양압을 제공받도록 상기 양압공급홀에 접속되는 적어도 하나의 양압접속홀, 상기 양압접속홀의 양압을 상기 테스트 베드로 제공하는 양압배출홀, 상기 음압공급홀의 음압을 제공받도록 상기 음압공급홀에 접속되는 적어도 하나의 음압접속홀 및 상기 음압접속홀의 음압을 상기 테스트 베드로 제공하는 음압배출홀을 포함하여 구성될 수 있다.

바람직하게, 상기 하우징의 내부에는, 회전구동부 및 상기 회전구동부의 회전력에 의해 회전하며 상기 하우징의 외부로 노출된 구동기어가 구비되고, 상기 권취롤러는, 상기 커버박스의 개방된 부분으로 노출되어 상기 구동기어와 치합되는 피동기어가 축결합되도록 구성될 수 있다.

바람직하게, 상기 카트리지부는, 상기 커버박스와 상기 외측 플레이트 사이에 상기 권출롤러와 평행하게 구비되고, 상기 커버박스의 개방된 부분으로 노출된 전달기어가 축결합된 피동마찰롤러를 포함하여 구성되고, 상기 카트리지 체결부는, 상기 전달기어와 치합되는 측정기어, 상기 측정기어와 축결합된 회전 디스크 및 상기 회전 디스크의 회전량을 감지하는 포토 센서를 포함하여 구성될 수 있다.

바람직하게, 상기 고정 베이스의 상면에는 가이드 레일이 형성되고, 상기 커버박스와 상기 외측 플레이트의 하면에는 상기 가이드 레일에 의해 안내되는 가이더가 구비될 수 있다.

바람직하게, 상기 하우징과 상기 커버 박스의 서로 마주하는 면에는 상기 카트리지 체결부에 대한 상기 카트리지부의 장착 위치를 안내하기 위한 가이드 돌기 및 상기 가이드 돌기가 삽입되는 가이드 부싱이 각각 구비될 수 있다.

바람직하게, 상기 권출롤러는, 상기 권출롤러와 축결합되어 상기 커버박스의 개방된 부분으로 노출된 풀리; 상기 풀리에 감겨져 소정의 마찰력을 발생시키는 마찰와이어; 및 상기 마찰와이어의 양단을 고정하는 고정 브라켓;을 포함하여 구성된 마찰수단에 의해 마찰지지되도록 구성될 수 있다.

바람직하게, 상기 권출롤러는, 상기 커버박스 상에 회전가능하게 지지되는 제1 권출바디와 상기 외측 플레이트 상에 회전가능하게 지지되는 제2 권출바디로 구성되고, 상기 권취롤러는, 상기 커버박스 상에 회전가능하게 지지되는 제1 권취바디와 상기 외측 플레이트 상에 회전가능하게 지지되는 제2 권취바디로 구성될 수 있다.

바람직하게, 상기 복수의 연결봉은 상기 커버박스와 상기 외측 플레이트에서 분리가 가능하도록 구성되고, 상기 커버박스와 상기 외측 플레이트에서 상기 복수의 연결봉이 분리 시 상기 커버박스로부터 상기 외측 플레이트가 분리되도록 구성될 수 있다.

바람직하게, 상기 권출롤러와 권취롤러에는, 상기 검사필름 공급 롤 또는 검사필름 회수 롤의 상대회전을 방지하도록 상기 검사필름 롤의 일부분이 걸려 삽입되는 회전방지 돌기가 형성될 수 있다.

바람직하게, 상기 권출롤러와 권취롤러의 양단에는, 상기 검사필름 공급 롤 또는 검사필름 회수 롤의 이탈을 방지하는 원형 플랜지가 일체로 형성될 수 있다.

바람직하게, 상기 접속 매니폴드의 양측에는 지지브라켓이 각각 구비되고, 상기 지지브라켓의 상부에는 상기 검사필름의 수평상태를 유지하기 위해 상부가 라운드 형상으로 형성된 필름지지바가 구비될 수 있다.

바람직하게, 상기 하우징과 상기 커버 박스에는 상기 카트리지 체결부에 대한 상기 카트리지부의 장착 상태를 고정시키기 위해 서로 체결이 가능한 체결수단이 각각 구비될 수 있다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치는, 글로브 박스 내에 구비된 잉크젯 장비의 헤드 노즐에서 분사되는 잉크방울의 토출상태를 검사하기 위한 검사필름을 공급하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치로서, 잉크젯 장비가 내장된 글로브 박스 내에 설치된 카트리지 체결부; 및 상기 잉크젯 장비의 헤드 노즐의 잉크방울 토출상태를 검사하기 위한 테스트 베드가 구비되고, 상기 테스트 베드의 상부로 검사필름을 공급하도록 교체 가능한 검사필름 공급 롤과 검사필름 회수 롤이 장착되며, 상기 카트리지 체결부에 착탈가능하도록 구성된 카트리지부;를 포함한다.

바람직하게, 상기 카트리지 체결부는, 상기 잉크젯 장비의 헤드 노즐을 유지보수하기 위한 상기 글로브 박스 내의 유지보수 영역에 설치될 수 있다.

바람직하게, 상기 카트리지 체결부는, 양압을 제공받는 양압포트와 연결된 적어도 하나의 양압공급홀 및 음압을 제공받는 음압포트와 연결된 적어도 하나의 음압공급홀을 포함하여 구성되고, 상기 양압공급홀의 양압과 상기 음압공급홀의 음압은 상기 카트리지부에 제공될 수 있다.

바람직하게, 상기 카트리지 체결부는, 회전구동부 및 상기 회전구동부의 회전력에 의해 회전하는 구동기어를 포함하여 구성되고, 상기 구동기어의 회전력이 상기 카트리지부에 제공될 수 있다.

바람직하게, 상기 카트리지 체결부는, 상기 검사필름 공급 롤에서 권출되는 검사필름과 마찰에 의해 회전하도록 상기 카트리지부에 구비된 피동마찰롤러의 회전력을 제공받아 회전하는 측정기어, 상기 측정기어와 연결되어 회전하는 회전 디스크 및 상기 회전 디스크의 회전량을 감지하는 포토 센서를 포함하여 구성되고, 상기 포토 센서에서 감지된 상기 회전 디스크의 회전량에 근거하여 상기 검사필름 공급 롤에서 권출된 검사필름의 권출량을 산출하도록 구성될 수 있다.

바람직하게, 상기 카트리지 체결부는, 상기 카트리지부의 장착위치를 안내하기 위한 적어도 하나의 장착 가이드가 구비될 수 있다.

바람직하게, 상기 카트리지부는, 상기 카트리지 체결부로부터 양압을 제공받는 적어도 하나의 양압접속홀 및 상기 카트리지 체결부로부터 음압을 제공받는 적어도 하나의 음압접속홀을 포함하여 구성되고, 상기 카트리지 체결부로부터 상기 양압접속홀에 공급된 양압과 상기 카트리지 체결부로부터 상기 음압접속홀에 공급된 음압은 상기 테스트 베드의 상부로 공급될 수 있다.

바람직하게, 상기 카트리지부는, 상기 검사필름 공급 롤이 장착되는 권출롤러 및 상기 권출롤러에 장착된 검사필름 공급 롤의 검사필름을 권취시키는 검사필름 회수 롤이 장착되는 권취롤러를 포함하여 구성되고, 상기 권취롤러는 상기 카트리지 체결부로부터 회전력을 제공받아 회전하도록 구성되고, 상기 권출롤러는 마찰수단에 의해 마찰지지되도록 구성될 수 있다.

바람직하게, 상기 권출롤러에 장착된 검사필름 공급 롤에서 권출된 검사필름의 검사표면이 상기 테스트 베드의 반대측을 향하도록 이송된 후 상기 권취롤러에 장착된 검사필림 회수 롤에 권취되도록 구성될 수 있다.

바람직하게, 상기 카트리지부는, 상기 검사필름 공급 롤에서 권출되는 검사필름과 마찰에 의해 회전하는 피동마찰롤러를 포함하여 구성되고, 상기 피동마찰롤러의 회전력이 상기 카트리지 체결부 측에 제공될 수 있다.

바람직하게, 상기 카트리지 체결부는, 양압을 제공받는 양압포트와 연결된 적어도 하나의 양압공급홀 및 음압을 제공받는 음압포트와 연결된 적어도 하나의 음압공급홀을 포함하여 구성되고, 상기 카트리지부는, 상기 양압공급홀의 양압을 제공받도록 상기 양압공급홀에 접속되는 적어도 하나의 양압접속홀 및 상기 음압공급홀의 음압을 제공받도록 상기 음압공급홀에 접속되는 적어도 하나의 음압접속홀을 포함하여 구성되며, 상기 양압접속홀에 공급된 양압과 상기 음압접속홀에 공급된 음압은 상기 테스트 베드의 상부로 공급되어 상기 검사필름을 부상시키도록 구성될 수 있다.

바람직하게, 상기 카트리지 체결부는, 회전구동부 및 상기 회전구동부의 회전력에 의해 회전하는 구동기어를 포함하여 구성되고, 상기 카트리지부는, 상기 검사필름 공급 롤이 장착되는 권출롤러 및 상기 권출롤러에 장착된 검사필름 공급 롤의 검사필름을 권취시키는 검사필름 회수 롤이 장착되는 권취롤러를 포함하여 구성되며, 상기 권출롤러는 마찰수단에 의해 마찰지지되도록 구성되고, 상기 권취롤러에는 피동기어가 축결합되며, 상기 구동기어의 회전력이 상기 피동기어에 전달되어 상기 권취롤러가 회전 구동하도록 구성될 수 있다.

바람직하게, 상기 카트리지부는, 상기 검사필름 공급 롤에서 권출되는 검사필름과 마찰에 의해 회전하는 피동마찰롤러를 포함하여 구성되고, 상기 피동마찰롤러에는 전달기어가 축결합되고, 상기 카트리지 체결부는, 상기 전달기어의 회전력을 전달받아 회전하는 측정기어, 상기 측정기어와 연결되어 회전하는 회전 디스크 및 상기 회전 디스크의 회전량을 감지하는 포토 센서를 포함하여 구성되며, 상기 포토 센서에서 감지된 상기 회전 디스크의 회전량에 근거하여 상기 검사필름 공급 롤에서 권출된 검사필름의 권출량을 산출하도록 구성될 수 있다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치에서 사용되는 검사필름의 표면에는 다공성의 잉크방울 안착층이 구비될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명은, 글로브 박스 내에 구비된 잉크젯 장비의 헤드 노즐에서 분사되는 잉크방울의 토출상태를 검사하기 위한 검사필름의 교체를 신속하고 간편하게 할 수 있는 이점이 있다.

본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 효과는 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치를 도시한 일측 방향 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치를 도시한 타측 방향 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치를 도시한 일부 분해사시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치의 카트리지 체결부의 내부를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치의 카트리지부의 일부 구성을 도시한 분해사시도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치의 카트리지부에 구비된 테스트 베드 부분을 도시한 분해사시도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치를 도시한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치의 카트리지부에 구성된 검사필름 부분을 도시한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치의 카트리지 체결부에 카트리지부가 체결되는 과정을 도시한 도면이다.

본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안된다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다.

상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

및/또는 이라는 용어는 복수 항목들의 조합 또는 복수 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 ‘연결되어’있다거나 ‘접속되어’있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 ‘직접 연결되어’있다거나 ‘직접 접속되어’있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

본 출원에서, ‘포함하다’또는 ‘구비하다’, ‘가지다’등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

본 발명의 일실시예에 따른 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 카트리지 체결부(100)와 카트리지부(200)로 구성된다.

먼저, 상기 카트리지 체결부(100)에 대하여 상세하게 설명하도록 한다.

상기 카트리지 체결부(100)는 잉크젯 장비가 내장된 글로브 박스 내에 설치되고, 상기 카트리지부(200)가 착탈가능하도록 구성된다.

구체적으로, 상기 카트리지 체결부(100)는 상기 글로브 박스의 내부 공간 중 상기 잉크젯 장비의 헤드 노즐을 유지보수하기 위한 유지보수 영역, 즉, 작업자가 글로브를 이용하여 접근이 가능한 영역에 설치된다.

상기 카트리지 체결부(100)는, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 고정 베이스(110), 하우징(120), 공급 매니폴드(130)를 포함하여 구성된다.

상기 고정 베이스(110)는 상기 카트리지 체결부(100)가 글로브 박스 내에 설치될 수 있도록 구성된 부분으로서, 상기 고정 베이스(110)는 잉크젯 장비의 헤드 노즐을 유지보수하기 위한 글로브 박스 내의 유지보수 영역에 설치된다.

구체적으로, 상기 고정 베이스(110)는 글로브 박스 내의 유지보수 영역 상에서 평면상 X축 또는 Y축 방향으로 이동이 가능한 스테이지에 설치될 수 있다.

상기 고정 베이스(110)의 상면에는 상기 카트리지부(200)의 장착을 안내하기 위한 가이드 레일(111)이 형성되며, 상기 카트리지부(200)에는 상기 가이드 레일(111)을 따라 슬라이딩이 가능한 제1 가이더(211)와 제2가이더가 구비되며, 상기 가이드 레일(111)에 의해 상기 카트리지부(200)가 장착 시 장착위치로 안내될 수 있다.

구체적으로, 상기 카트리지부(200)를 구성하는 커버박스(210)의 하면에 제1 가이더(211)가 구비되고, 상기 카트리지부(200)를 구성하는 외측 플레이트(220)의 하면에 제2 가이더(221)가 구비될 수 있다.

상기 하우징(120)은 상기 고정 베이스(110)의 일측 상부에 고정된 부분으로서, 사각 박스 형상으로 형성될 수 있다.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 하우징(120)의 내부에는 회전구동부(121) 및 상기 회전구동부(121)의 회전력에 의해 회전하며 상기 하우징(120)의 외부로 노출된 구동기어(123)가 구비된다.

상기 회전구동부(121)는 모터, 감속기 등의 회전 구동을 위한 수단이며, 상기 회전구동부(121)는 글로브 박스 내의 전원 제공장치로부터 전원을 제공받아 회전력을 발생시킬 수 있다.

상기 구동기어(123)는 상기 회전구동부(121)의 구동축에 축결합되어 회전되는 부분으로서, 상기 구동기어(123)는 상기 카트리지부(200)가 체결되는 방향을 향하여 상기 하우징(120)의 외부로 노출되도록 구성된다.

상기 카트리지 체결부(100)와 카트리지부(200)의 체결 시, 상기 회전구동부(121)에 의해 회전 구동하는 상기 구동기어(123)의 회전력이 상기 카트리지부(200)에 제공될 수 있다.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 하우징(120)의 내부에는 상기 카트리지부(200)에 구비된 피동마찰롤러(245)의 회전력을 제공받아 회전하는 측정기어(125a)가 구비되고, 상기 측정기어(125a)와 연결되어 회전하는 회전 디스크(125b) 및 상기 회전 디스크(125b)의 회전량을 감지하는 포토 센서(125c)를 포함하여 구비된다.

예를 들어, 베어링 등의 구름수단에 회전 가능하게 지지된 회전축의 일측에 상기 측정기어(125a)가 축결합되고, 상기 회전축의 타측에 상기 회전 디스크(125b)가 축결합됨에 따라 상기 측정기어(125a)의 회전 시 상기 회전 디스크(125b)가 일체로 회전될 수 있다.

상기 포토 센서(125c)는 상기 회전 디스크(125b)의 회전량을 감지하고, 감지된 상기 회전 디스크(125b)의 회전량에 근거하여 상기 피동마찰롤러(245)의 회전량을 산출할 수 있다.

상기 피동마찰롤러(245)는 검사필름 공급 롤(R1)에서 권출되는 검사필름(F)과 마찰에 의해 회전하는 부분으로서, 상기 피동마찰롤러(245)의 회전량을 산출함에 따라 상기 검사필름 공급 롤(R1)에서 권출된 검사필름(F)의 권출량을 산출할 수 있다.

상기 카트리지부(200)가 장착되는 상기 하우징(120)의 대응면에는 가이드 돌기(127)가 구비되고, 상기 가이드 돌기(127)에 대응하는 상기 카트리지부(200)의 대응부에는 가이드 부싱(217)이 구비되며, 상기 가이드 돌기(127)와 상기 가이드 부싱(217)에 의해 상기 카트리지 체결부(100)에 대한 상기 카트리지부(200)의 장착 위치가 안내될 수 있다.

구체적으로, 상기 하우징(120)과 마주하는 상기 카트리지부(200)의 커버박스(210)의 대응면에 상기 가이드 부싱(217)이 구비될 수 있다.

한편, 상기 하우징(120)의 측면 부분에는 상기 카트리지부(200)의 커버박스(210)와 체결을 위한 제1 체결수단(190)이 구비되고, 제1 체결수단(190)과 대응하는 상기 커버박스(210)의 대응 부분에는 제2 체결수단(290)이 구비되며, 상기 제1 체결수단(190)과 제2 체결수단(290)에 의해 상기 카트리지 체결부(100)에 대한 상기 카트리지부(200)의 장착 상태를 고정시킬 수 있다.

상기 공급 매니폴드(130)는 상기 하우징(120)의 상부에 장착된다.

상기 공급 매니폴드(130)의 일측에는 글로브 박스 내의 양압 제공장치와 연결되어 양압을 제공받는 양압포트(131a)와 글로브 박스 내의 음압 제공장치와 연결되어 음압을 제공받는 음압포트(132a)가 구비된다.

상기 공급 매니폴드(130)의 타측에는 상기 양압포트(131a)와 연결되어 양압이 공급되는 양압공급홀(131b)과 상기 음압포트(132a)와 연결되어 음압이 공급되는 음압공급홀(132b)이 구비된다.

본 실시예의 공급 매니폴드(130)는 2개의 양압포트(131a)와 양압공급홀(131b), 1개의 음압포트(132a)와 음압공급홀(132b)이 구비된 경우에 대해 예시하였지만, 상기 양압포트(131a), 음압포트(132a), 양압공급홀(131b), 음압공급홀(132b)의 갯수는 다양하게 변경될 수 있다.

상기 카트리지 체결부(100)와 카트리지부(200)의 체결 시, 상기 양압공급홀(131b)의 양압과 상기 음압공급홀(132b)의 음압은 상기 카트리지부(200)의 접속 매니폴드(230)에 제공될 수 있다.

다음으로, 상기 카트리지부(200)에 대하여 상세하게 설명하도록 한다.

상기 카트리지부(200)는 상기 잉크젯 장비의 헤드 노즐의 잉크방울 토출상태를 검사하기 위한 테스트 베드(235)가 구비되고, 상기 테스트 베드(235)의 상부로 검사필름(F)을 공급하기 위하여 검사필름 공급 롤(R1)과 검사필름 회수 롤(R2)이 장착될 수 있다.

한편, 상기 카트리지부(200)는 상기 카트리지 체결부(100)에 체결되거나 분리될 수 있도록 구성된다.

예를 들어, 상기 카트리지부(200)는 글로브 박스와 개폐도어를 통해 서로 공간이 연결되거나 서로 공간이 분리될 수 있도록 구성된 안테챔버(Antechamber)를 통해 상기 글로브 박스 내부의 유지보수 영역으로 공급한 후 작업자가 상기 카트리지 체결부(100)에 간단하게 장착할 수 있다.

상기 카트리지부(200)는 도 1 내지 도 3, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 커버박스(210), 외측 플레이트(220), 접속 매니폴드(230), 테스트 베드(235), 권출롤러(241)와 권취롤러(243)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 커버박스(210)는 일측이 개방된 사각 박스의 형상으로 형성되고, 하면이 상기 고정 베이스(110)의 상면에 안착됨과 함께 개방된 부분이 상기 하우징(120)에 안착되어 상기 카트리지 체결부(100)에 체결이 가능하도록 구성된다.

상기 외측 플레이트(220)는 상기 커버박스(210)의 타측에 복수의 연결봉(250)에 의해 체결되며, 대략 'I'자 형태로 형성될 수 있다.

상기 복수의 연결봉(250)은 상기 커버박스(210)와 상기 외측 플레이트(220)를 서로 연결하거나 분리하도록 구성되며, 예를 들어, 각 연결봉(250)의 일단부가 상기 외측 플레이트(220)의 제1 홀(h1)을 관통하여 커버박스(210)의 제2 홈(h2)에 고정되고, 각 연결봉(250)의 타단부에 구비된 노브(250n)가 상기 외측 플레이트(220)의 제1 홀(h1)에 걸쳐지도록 구성될 수 있다.

따라서, 상기 연결봉(250)의 일단부가 제1 홀(h1)을 관통한 후 제2 홈(h2)에 위치된 상태에서, 상기 노브(250n)를 회전시킴에 따라 상기 연결봉(250)이 상기 커버박스(210)와 상기 외측 플레이트(220)가 서로 일정한 간격을 유지한 상태로 체결시키게 된다.

상기 연결봉(250)의 일단부와 상기 제2 홈(h2)에는 상기 연결봉(250)의 회전 시 상호간 체결이 가능한 볼트, 너트 구조나 걸림편 등 공지의 체결 구조가 적용될 수 있다.

상기 접속 매니폴드(230)는 상기 커버박스(210)의 상부와 상기 외측 플레이트(220)의 상부에 걸쳐 체결된다.

상기 접속 매니폴드(230)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 대략 사각 형상의 블록 형상으로 형성되고, 상기 공급 매니폴드(130)의 양압공급홀(131b)의 양압을 제공받도록 상기 양압공급홀(131b)에 접속되는 적어도 하나의 양압접속홀(231a), 상기 양압접속홀(231a)의 양압을 상기 테스트 베드(235)로 제공하는 양압배출홀(231b), 상기 공급 매니폴드(130)의 음압공급홀(132b)의 음압을 제공받도록 상기 음압공급홀(132b)에 접속되는 적어도 하나의 음압접속홀(232a) 및 상기 음압접속홀(232a)의 음압을 상기 테스트 베드(235)로 제공하는 음압배출홀(232b)을 포함하여 구성된다.

즉, 상기 카트리지 체결부(100)와 카트리지부(200)의 체결 시, 상기 카트리지 체결부(100)의 공급 매니폴드(130)와 상기 카트리지부(200)의 접속 매니폴드(230)가 서로 접속되며, 이때, 상기 양압공급홀(131b)과 상기 양압접속홀(231a)이 서로 접속되고, 상기 음압공급홀(132b)과 상기 음압접속홀(232a)이 서로 접속된다.

한편, 상기 양압공급홀(131b)과 상기 양압접속홀(231a)의 사이, 상기 음압공급홀(132b)과 상기 음압접속홀(232a)의 사이에는 오링이 구비될 수 있으며, 상기 오링은 공급 매니폴드(130)나 접속 매니폴드(230) 중 어느 일측에 구비될 수 있다.

상기 카트리지 체결부(100)의 공급 매니폴드(130)로부터 상기 양압접속홀(231a)에 공급된 양압과 상기 음압접속홀(232a)에 공급된 음압은 상기 테스트 베드(235)로 공급된다.

상기 테스트 베드(235)는 상기 접속 매니폴드(230)의 상부에 조립된다.

상기 테스트 베드(235)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 하부 블록(235a)과 상부 블록(235b)이 서로 일체로 구성되는 구조로 형성될 수 있으며, 양압과 음압을 이용하여 소정 간극으로 기판을 부상시키는 공지의 부상장치와 동일 내지 유사한 구조로 구성될 수 있으며, 상세한 설명은 생략한다.

상기 테스트 베드(235)는 상기 접속 매니폴드(230)의 양압배출홀(231b)과 음압배출홀(232b)에 연결되고, 상기 테스트 베드(235)의 상부 블록의 상면으로 양압과 음압이 함께 작용하도록 구성된다.

상기 접속 매니폴드(230)의 양압배출홀(231b)과 음압배출홀(232b)에는 오링(O)이 구비될 수 있다.

한편, 상기 접속 매니폴드(230)의 양측에는 지지브라켓(233)이 각각 구비되고, 상기 지지브라켓(233)의 상부에는 상기 검사필름(F)의 수평상태를 유지하기 위해 상부가 라운드 형상으로 형성된 필름지지바(234)가 구비된다.

따라서, 상기 필름지지바(234)에 의해 상기 테스트 베드(235)의 상부로 상기 검사필름(F)이 수평하게 유지되는 상태로 공급될 수 있고, 상기 테스트 베드(235)의 상면으로 작용하는 양압과 음압에 의해 상기 검사필름(F)이 상기 테스트 베드(235)의 상부에 소정 간격으로 부상된 상태로 유지될 수 있게 된다.

상기 권출롤러(241)와 권취롤러(243)는 상기 커버박스(210)와 상기 외측 플레이트(220) 사이에 서로 평행하게 구비되어 교체 가능한 검사필름 롤이 장착되며, 구체적으로, 상기 권출롤러(241)에는 검사필름 공급 롤(R1)이 장착되고, 상기 권취롤러(243)에는 검사필름 회수 롤(R2)이 장착될 수 있다.

상기 권출롤러(241)는, 도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 커버박스(210) 상에 제1 베어링(B1)에 의해 회전가능하게 지지되는 제1 권출바디(241-1)와 상기 외측 플레이트(220) 상에 제2 베어링(B2)에 의해 회전가능하게 지지되는 제2 권출바디(241-2)로 분할되어 구성될 수 있다.

한편, 상기 권출롤러(241)의 제1 권출바디(241-1)에는 상기 검사필름 공급 롤(R1)의 상대회전을 방지하도록 상기 검사필름 공급 롤(R1)의 일부분이 걸려 삽입되는 제1 회전방지 돌기(241-1p)가 형성될 수 있다.

그리고, 상기 권출롤러(241)의 양단에는 상기 검사필름 공급 롤(R1)의 이탈을 방지하는 제1 원형 플랜지(241p)가 일체로 형성될 수 있다.

상기 권출롤러(241)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 권출롤러(241)와 축결합되어 상기 커버박스(210)의 개방된 부분으로 노출된 풀리(241a), 상기 풀리(241a)에 감겨져 소정의 마찰력을 발생시키는 마찰와이어(241b) 및 상기 마찰와이어(241b)의 양단을 고정하는 고정 브라켓(241c)을 포함하여 구성된 마찰수단에 의해 마찰지지되도록 구성된다.

상기 권출롤러(241)가 상기 마찰수단에 의해 마찰지지됨에 따라 상기 검사필름 공급 롤(R1)에 감겨진 검사필름(F)이 상기 권취롤러(243)에 의해 풀려지는 경우에, 상기 검사필름(F)은 상기 마찰수단에 의해 소정의 장력이 작용할 수 있게 된다.

상기 권취롤러(243)는, 도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 커버박스(210) 상에 제3 베어링(B3)에 의해 회전가능하게 지지되는 제1 권취바디(243-1)와 상기 외측 플레이트(220) 상에 제4 베어링(B4)에 의해 회전가능하게 지지되는 제2 권취바디(243-2)로 분할되어 구성될 수 있다.

한편, 상기 권취롤러(243)의 제1 권취바디(243-1)에는 상기 검사필름 회수 롤(R2)의 상대회전을 방지하도록 상기 검사필름 회수 롤(R2)의 일부분이 걸려 삽입되는 제2 회전방지 돌기(243-1p)가 형성될 수 있다.

그리고, 상기 권취롤러(243)의 양단에는 상기 검사필름 회수 롤(R2)의 이탈을 방지하는 제2 원형 플랜지(243p)가 일체로 형성될 수 있다.

상기 권취롤러(243)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 커버박스(210)의 개방된 부분으로 노출되어 상기 구동기어(123)와 치합되는 피동기어(243g)가 축결합되도록 구성된다.

상기 권취롤러(243)는 상기 카트리지 체결부(100)로부터 회전력을 제공받아 회전하도록 구성되며, 구체적으로, 상기 구동기어(123)의 회전력이 상기 피동기어(243g)에 전달되어 상기 권취롤러(243)가 회전 구동하도록 구성된다.

한편, 상기 커버박스(210)와 상기 외측 플레이트(220) 사이에 피동마찰롤러(245)가 더욱 구비되고, 상기 피동마찰롤러(245)는 상기 권출롤러(241)와 평행하게 구비되고, 상기 커버박스(210)의 개방된 부분으로 노출된 전달기어(245g)가 축결합되도록 구성된다.

구체적으로, 상기 피동마찰롤러(245)는 제3 홀(h3), 제4 홀(h4)에 구비된 베어링에 의해 회전가능하게 지지될 수 있다.

따라서, 상기 전달기어(245g)의 회전력이 상기 측정기어(125a)로 전달되고, 상기 측정기어(125a)로 전달된 회전력이 회전 디스크(125b)를 회전 시키게 되며, 상기 회전 디스크(125b)의 회전량을 포토 센서(125c)가 감지하여 상기 검사필름 공급 롤(R1)에서 권출된 검사필름(F)의 권출량을 산출할 수 있다.

상술한 바와 같은 권출롤러(241)와 권취롤러(243)의 구성에 의하여, 상기 권출롤러(241)에 장착된 검사필름 공급 롤(R1)에서 권출된 검사필름(F)의 검사표면이 테스트 베드(235)에서 상방을 향하도록 이송된 후 상기 권취롤러(243)에 장착된 검사필름 회수 롤(R2)에 권취될 수 있게 된다.

한편, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 검사필름 공급 롤에 감겨진 검사필름의 표면에는 다공성의 잉크방울 안착층(F2)이 구비되며, 구체적으로, PET 필름(F1)의 표면에 AAO(Anodic aluminium oxide)층 또는 나노파티클(Nanoparticle)층이 코팅되도록 하여 잉크방울 안착층(F2)을 구성할 수 있고, 이를 통해, 검사필름(F)의 표면에 탄착된 잉크 방울(D)이 장치이동이나 진동으로 인하여 위치가 변하는 오류를 방지할 수 있다.

본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양하고 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형예들을 포함하도록 기술된 특허청구범위에 의해서 해석돼야 한다.

100:카트리지 체결부 110:고정 베이스
111:가이드 레일 120:하우징
121:회전구동부 123:구동기어
125a:측정기어 125b:회전 디스크
125c:포토 센서 127:가이드 돌기
130:공급 매니폴드 131a:양압포트
131b:양압공급홀 132a:음압포트
132b:음압공급홀 190:제1 체결수단
200:카트리지부 210:커버박스
211:제1 가이더 217:가이드 부싱
220:외측 플레이트 221:제2 가이더
230:접속 매니폴드 231a:양압접속홀
231b:양압배출홀 232a:음압접속홀
232b:음압배출홀 233:지지브라켓
234:필름지지바 235:테스트 베드
241:권출롤러 241-1:제1 권출바디
241-1p:제1 회전방지 돌기 241-2:제2 권출바디
241a:풀리 241b:마찰와이어
241c:고정 브라켓 241p:제1 원형 플랜지
243:권취롤러 243-1:제1 권취바디
243-1p:제2 회전방지 돌기 243-2:제2 권취바디
243g:피동기어 243p:제2 원형 플랜지
245:피동마찰롤러 245g:전달기어
250:연결봉 290:제2 체결수단
R1:검사필름 공급 롤 R2:검사필름 회수 롤
F:검사필름

Claims

글로브 박스 내에 구비된 잉크젯 장비의 헤드 노즐에서 분사되는 잉크방울의 토출상태를 검사하기 위한 검사필름을 공급하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치로서,
잉크젯 장비의 헤드 노즐을 유지보수하기 위한 글로브 박스 내의 유지보수 영역에 설치된 고정 베이스; 상기 고정 베이스의 일측 상부에 고정된 사각 박스 형상의 하우징; 및 상기 하우징의 상부에 장착된 공급 매니폴드;를 포함하여 구성된 카트리지 체결부; 및
일측이 개방된 사각 박스의 형상으로 형성되고, 하면이 상기 고정 베이스의 상면에 안착됨과 함께 개방된 부분이 상기 하우징에 안착되어 상기 카트리지 체결부에 체결이 가능하도록 구성된 커버박스; 상기 커버박스의 타측에 복수의 연결봉에 의해 체결된 외측 플레이트; 상기 커버박스의 상부와 상기 외측 플레이트의 상부에 걸쳐 체결된 접속 매니폴드; 상기 접속 매니폴드의 상부에 조립된 테스트 베드; 및 상기 커버박스와 상기 외측 플레이트 사이에 서로 평행하게 구비되어 교체 가능한 검사필름 공급 롤이 장착되는 권출롤러와 교체 가능한 검사필름 회수 롤이 장착되는 권취롤러;를 포함하여 구성된 카트리지부;를 포함하여 구성된 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 공급 매니폴드는,
양압을 제공받는 양압포트와 연결된 적어도 하나의 양압공급홀 및 음압을 제공받는 음압포트와 연결된 적어도 하나의 음압공급홀을 포함하여 구성되고,
상기 접속 매니폴드는,
상기 양압공급홀의 양압을 제공받도록 상기 양압공급홀에 접속되는 적어도 하나의 양압접속홀, 상기 양압접속홀의 양압을 상기 테스트 베드로 제공하는 양압배출홀, 상기 음압공급홀의 음압을 제공받도록 상기 음압공급홀에 접속되는 적어도 하나의 음압접속홀 및 상기 음압접속홀의 음압을 상기 테스트 베드로 제공하는 음압배출홀을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제1에 있어서,
상기 하우징의 내부에는,
회전구동부 및 상기 회전구동부의 회전력에 의해 회전하며 상기 하우징의 외부로 노출된 구동기어가 구비되고,
상기 권취롤러는,
상기 커버박스의 개방된 부분으로 노출되어 상기 구동기어와 치합되는 피동기어가 축결합되도록 구성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 카트리지부는,
상기 커버박스와 상기 외측 플레이트 사이에 상기 권출롤러와 평행하게 구비되고, 상기 커버박스의 개방된 부분으로 노출된 전달기어가 축결합된 피동마찰롤러를 포함하여 구성되고,
상기 카트리지 체결부는,
상기 전달기어와 치합되는 측정기어, 상기 측정기어와 축결합된 회전 디스크 및 상기 회전 디스크의 회전량을 감지하는 포토 센서를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 고정 베이스의 상면에는 가이드 레일이 형성되고, 상기 커버박스와 상기 외측 플레이트의 하면에는 상기 가이드 레일에 의해 안내되는 가이더가 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 하우징과 상기 커버 박스의 서로 마주하는 면에는 상기 카트리지 체결부에 대한 상기 카트리지부의 장착 위치를 안내하기 위한 가이드 돌기 및 상기 가이드 돌기가 삽입되는 가이드 부싱이 각각 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 권출롤러는,
상기 권출롤러와 축결합되어 상기 커버박스의 개방된 부분으로 노출된 풀리; 상기 풀리에 감겨져 소정의 마찰력을 발생시키는 마찰와이어; 및 상기 마찰와이어의 양단을 고정하는 고정 브라켓;을 포함하여 구성된 마찰수단에 의해 마찰지지되도록 구성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 권출롤러는,
상기 커버박스 상에 회전가능하게 지지되는 제1 권출바디와 상기 외측 플레이트 상에 회전가능하게 지지되는 제2 권출바디로 구성되고,
상기 권취롤러는,
상기 커버박스 상에 회전가능하게 지지되는 제1 권취바디와 상기 외측 플레이트 상에 회전가능하게 지지되는 제2 권취바디로 구성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 복수의 연결봉은 상기 커버박스와 상기 외측 플레이트에서 분리가 가능하도록 구성되고, 상기 커버박스와 상기 외측 플레이트에서 상기 복수의 연결봉이 분리 시 상기 커버박스로부터 상기 외측 플레이트가 분리되도록 구성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 권출롤러와 권취롤러에는,
상기 검사필름 공급 롤 또는 검사필름 회수 롤의 상대회전을 방지하도록 상기 검사필름 공급 롤 또는 검사필름 회수 롤의 일부분이 걸려 삽입되는 회전방지 돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 권출롤러와 권취롤러의 양단에는,
상기 검사필름 공급 롤 또는 검사필름 회수 롤의 이탈을 방지하는 원형 플랜지가 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 접속 매니폴드의 양측에는 지지브라켓이 각각 구비되고, 상기 지지브라켓의 상부에는 상기 검사필름의 수평상태를 유지하기 위해 상부가 라운드 형상으로 형성된 필름지지바가 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 하우징과 상기 커버 박스에는 상기 카트리지 체결부에 대한 상기 카트리지부의 장착 상태를 고정시키기 위해 서로 체결이 가능한 체결수단이 각각 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
글로브 박스 내에 구비된 잉크젯 장비의 헤드 노즐에서 분사되는 잉크방울의 토출상태를 검사하기 위한 검사필름을 공급하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치로서,
잉크젯 장비가 내장된 글로브 박스 내에 설치된 카트리지 체결부; 및 상기 잉크젯 장비의 헤드 노즐의 잉크방울 토출상태를 검사하기 위한 테스트 베드가 구비되고, 상기 테스트 베드의 상부로 검사필름을 공급하도록 교체 가능한 검사필름 공급 롤과 검사필름 회수 롤이 장착되며, 상기 카트리지 체결부에 착탈가능하도록 구성된 카트리지부;를 포함하여 구성되며,
상기 카트리지부는,
상기 검사필름 공급 롤이 장착되는 권출롤러 및 상기 권출롤러에 장착된 검사필름 공급 롤의 검사필름을 권취시키는 검사필름 회수 롤이 장착되는 권취롤러를 포함하여 구성되고,
상기 권취롤러는 상기 카트리지 체결부로부터 회전력을 제공받아 회전하도록 구성되고, 상기 권출롤러는 마찰수단에 의해 마찰지지되도록 구성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제14항에 있어서,
상기 카트리지 체결부는,
상기 잉크젯 장비의 헤드 노즐을 유지보수하기 위한 상기 글로브 박스 내의 유지보수 영역에 설치된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제14항에 있어서,
상기 카트리지 체결부는,
양압을 제공받는 양압포트와 연결된 적어도 하나의 양압공급홀 및 음압을 제공받는 음압포트와 연결된 적어도 하나의 음압공급홀을 포함하여 구성되고,
상기 양압공급홀의 양압과 상기 음압공급홀의 음압은 상기 카트리지부에 제공되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제14항에 있어서,
상기 카트리지 체결부는,
회전구동부 및 상기 회전구동부의 회전력에 의해 회전하는 구동기어를 포함하여 구성되고,
상기 구동기어의 회전력이 상기 카트리지부에 제공되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제14항에 있어서,
상기 카트리지 체결부는,
상기 검사필름 공급 롤에서 권출되는 검사필름과 마찰에 의해 회전하도록 상기 카트리지부에 구비된 피동마찰롤러의 회전력을 제공받아 회전하는 측정기어, 상기 측정기어와 연결되어 회전하는 회전 디스크 및 상기 회전 디스크의 회전량을 감지하는 포토 센서를 포함하여 구성되고,
상기 포토 센서에서 감지된 상기 회전 디스크의 회전량에 근거하여 상기 검사필름 공급 롤에서 권출된 검사필름의 권출량을 산출하도록 구성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제14항에 있어서,
상기 카트리지 체결부는,
상기 카트리지부의 장착위치를 안내하기 위한 적어도 하나의 장착 가이드가 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제14항에 있어서,
상기 카트리지부는,
상기 카트리지 체결부로부터 양압을 제공받는 적어도 하나의 양압접속홀 및 상기 카트리지 체결부로부터 음압을 제공받는 적어도 하나의 음압접속홀을 포함하여 구성되고,
상기 카트리지 체결부로부터 상기 양압접속홀에 공급된 양압과 상기 카트리지 체결부로부터 상기 음압접속홀에 공급된 음압은 상기 테스트 베드의 상부로 공급되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
삭제
제14항에 있어서,
상기 권출롤러에 장착된 검사필름 공급 롤에서 권출된 검사필름의 검사표면이 상기 테스트 베드의 반대측을 향하도록 이송된 후 상기 권취롤러에 장착된 검사필림 회수 롤에 권취되도록 구성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제14항에 있어서,
상기 카트리지부는,
상기 검사필름 공급 롤에서 권출되는 검사필름과 마찰에 의해 회전하는 피동마찰롤러를 포함하여 구성되고,
상기 피동마찰롤러의 회전력이 상기 카트리지 체결부 측에 제공되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제14항에 있어서,
상기 카트리지 체결부는,
양압을 제공받는 양압포트와 연결된 적어도 하나의 양압공급홀 및 음압을 제공받는 음압포트와 연결된 적어도 하나의 음압공급홀을 포함하여 구성되고,
상기 카트리지부는,
상기 양압공급홀의 양압을 제공받도록 상기 양압공급홀에 접속되는 적어도 하나의 양압접속홀 및 상기 음압공급홀의 음압을 제공받도록 상기 음압공급홀에 접속되는 적어도 하나의 음압접속홀을 포함하여 구성되며,
상기 양압접속홀에 공급된 양압과 상기 음압접속홀에 공급된 음압은 상기 테스트 베드의 상부로 공급되어 상기 검사필름을 부상시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제14항에 있어서,
상기 카트리지 체결부는,
회전구동부 및 상기 회전구동부의 회전력에 의해 회전하는 구동기어를 포함하여 구성되고,
상기 카트리지부는,
상기 검사필름 공급 롤이 장착되는 권출롤러 및 상기 권출롤러에 장착된 검사필름 공급 롤의 검사필름을 권취시키는 검사필름 회수 롤이 장착되는 권취롤러를 포함하여 구성되며, 상기 권출롤러는 마찰수단에 의해 마찰지지되도록 구성되고, 상기 권취롤러에는 피동기어가 축결합되며,
상기 구동기어의 회전력이 상기 피동기어에 전달되어 상기 권취롤러가 회전 구동하도록 구성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제14항에 있어서,
상기 카트리지부는,
상기 검사필름 공급 롤에서 권출되는 검사필름과 마찰에 의해 회전하는 피동마찰롤러를 포함하여 구성되고, 상기 피동마찰롤러에는 전달기어가 축결합되고,
상기 카트리지 체결부는,
상기 전달기어의 회전력을 전달받아 회전하는 측정기어, 상기 측정기어와 연결되어 회전하는 회전 디스크 및 상기 회전 디스크의 회전량을 감지하는 포토 센서를 포함하여 구성되며,
상기 포토 센서에서 감지된 상기 회전 디스크의 회전량에 근거하여 상기 검사필름 공급 롤에서 권출된 검사필름의 권출량을 산출하도록 구성된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.
제1항 또는 제14항에 있어서,
상기 검사필름의 표면에는 다공성의 잉크방울 안착층이 구비된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 노즐 검사용 필름 공급 장치.