JP4916471B2 - 単結晶の引上げ方法 - Google Patents
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Description
32インチ石英ルツボに、250kgのシリコン原料を収容し、φ300mmの単結晶引上げ実験を行った。ネック直径制御はCCDカメラを使い、最小径をφ4.5mmとした。ネック長さは200〜400mmで、ネック平均変動幅が0.5〜2.0mmになるように狙いテストを実施した。このネック形状を狙い、狙い形状に対し外れた場合と成功した場合から成功率を計算した。
ネック育成では、絞り部育成開始温度の見極め、絞り部育成縮径比率規定を行なわない以外は、実施例と同様である。結果N=10で60%の成功率であった。
2 チャンバー
3 石英ルツボ
4 ヒータ
5 輻射シールド
6 引上げ軸
7 カメラポート
8 CCDカメラ
9 制御装置
Claims (4)
- チョクラルスキー法により種結晶をルツボ内のシリコン融液に接触させ、ネック部を育成してシリコン単結晶を引上げる単結晶の引上げ方法において、
前記ネック部は、このネック部の径を拡径する拡径部と、ネック部の径を縮径する縮径部とを交互に複数形成したものであり、
前記種結晶の前記シリコン融液への接触からネッキング開始太さ迄を略逆円錐形状とした絞り部の育成開始前の状態における、前記ルツボ内のシリコン融液表面に前記種結晶を接触させることで発生するメニスカスの晶癖線突出幅が、前記種結晶の晶癖線幅の1.2〜3.0倍になるように、前記シリコン融液の温度をコントロールすることによって、最適な前記ネック縮径部の育成開始時における融液表面温度を見極めるステップと、
前記絞り部の直径設定値のずれを、前記絞り部の育成速度と前記シリコン融液を加熱するヒータ供給電力とで修正する絞り部育成ステップと、
前記ネック部の長さ寸法を200mm〜400mmの範囲内かつ前記拡径部の最大値と前記縮径部の最小値との差の平均値であるネック平均変動幅を0.5〜2.0mmの範囲として前記ネック部の直径設定値のずれを、前記ネック部の育成速度と前記シリコン融液を加熱する前記ヒータ供給電力とで修正するステップを有することを特徴とする単結晶の引上げ方法。 - 前記絞り部育成ステップでの縮径比率は、絞り部長さをXmm、縮径半径をYmmとした場合、Y/X=0.07〜0.14であることを特徴とする請求項1に記載の単結晶の引上げ方法。
- 前記絞り部育成ステップでの単結晶育成速度を、連続的に上昇させることを特徴とする請求項1に記載の単結晶の引上げ方法。
- 前記ネック部の径の最小値がφ4.5〜φ5.7mmであることを特徴とする請求項1に記載の単結晶の引上げ方法。
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