JP4911101B2 - 基板支持装置および電子部品実装装置 - Google Patents
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Description
距離によって定まり、孔61、71に挿入した大径部92の下端部がプレート8の上面に接地したときに、境界とプレート6の上面との間に僅かな隙間cが生じる程度であればよい。
2 基板
5 基板支持装置
6、7、8 プレート
9 支持軸
10 昇降装置
12 電子部品
21 磁石
22 磁気シールド
24 (磁石21と磁気シールド22の)孔
61 (プレート6の)孔
91 小径部
92 大径部
Claims (2)
- 一方の端部が基板の下面に接触する複数の支持軸と、前記支持軸を他方の端部側から挿入する複数の孔を有する支持台を備え、前記孔に挿入されて起立姿勢に維持された前記支持軸の前記一方の端部によって基板を水平姿勢に支える基板支持装置であって、
前記支持軸が、前記他方の端部側の方向への磁力の作用が許容される磁気シールドに覆われた磁石を備え、前記支持軸の少なくとも前記一方の端部側が非磁性体であり、前記支持台の少なくとも前記複数の孔の各周辺部が磁性体であり、
前記支持軸が、前記一方の端部側の小径部と前記他方の端部側の大径部で構成されており、前記孔には前記大径部が挿入され、前記大径部の径より小さい径を有する孔が形成された前記磁石と前記磁気シールドが前記小径部に挿着されることを特徴とする基板支持装置。 - 請求項1に記載の基板支持装置と、基板を移送する基板移送装置と、前記基板支持装置を前記基板に対して相対的に昇降させる昇降装置を備え、所定の位置に移送された基板の下面に前記支持軸の前記一方の端部を接触させた状態で基板の上面に電子部品を実装する電子部品実装装置。
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JP2008104423A JP4911101B2 (ja) | 2008-04-14 | 2008-04-14 | 基板支持装置および電子部品実装装置 |
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JP2008104423A JP4911101B2 (ja) | 2008-04-14 | 2008-04-14 | 基板支持装置および電子部品実装装置 |
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JP2009259888A JP2009259888A (ja) | 2009-11-05 |
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