JP4910931B2 - 気相成長方法 - Google Patents
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Description
そこで、前記問題を解決するために、本発明は、バレル型気相成長装置での裏面シリコン転写を抑制し、高品質のエピタキシャルウェーハを生産できる気相成長装置および気相成長方法を提供することを目的とする。
図5のバレル型気相成長装置を用い、直径6インチ、厚さ625μmのシリコンウェーハをサセプタ2のザグリ部4に収容し、ウェーハ上にシリコンのエピタキシャル層を気相成長させた。その後、加熱用のランプ3を消灯し、従来と同様に自然冷却により250℃まで冷却してからエピタキシャルウェーハを取り出した(比較例1)。このとき、気相成長反応後冷却を開始してから800℃までの自然冷却による降温速度は120℃/分であった。これに対し、同様に気相成長を行った後、加熱ランプのパワーを制御することで気相成長反応後の降温速度を100℃/分(実施例1)、80℃/分(実施例2)、60℃/分(実施例3)、40℃/分(実施例4)、20℃/分(実施例5)と5水準振って、800℃まで冷却し、その後完全に加熱ランプ3のパワーを落としてその後は自然冷却により250℃まで冷却してからエピタキシャルウェーハを取り出した。各比較例、実施例においてそれぞれ1500枚のウェーハにエピタキシャル成長を行った。また、サセプタ2は、表面にSiC膜がコートされた黒鉛製であり、ウェーハを仕込む前にあらかじめ前記SiC膜の上に約1μmのポリSiをコートしたものを用いた。なお、測温はサセプタ裏面の温度をパイロメータにより行った。
4…ザクリ部、 5…ガス導入口、 6…ジェット、
7…ガス排出口、 8…シールプレート W…ウェーハ、
S…Siコート。
Claims (4)
- シリコンウェーハ表面にシリコン薄膜を気相成長させる気相成長方法であって、反応室内に複数枚の板状のサセプタが角錐台形状に設置され、該サセプタは表面にSi膜が形成された黒鉛からなり、該サセプタの外表面にシリコンウェーハを収容可能な円形ザグリ部が形成されている気相成長装置の前記ザグリ部にシリコンウェーハを収容し、該シリコンウェーハを外表面側から加熱して、シリコンウェーハ表面にシリコン薄膜を気相成長させ、その後冷却する際に、少なくとも気相成長温度より800℃以上1100℃以下の温度までは100℃/分以下の降温速度で降温することを特徴とする気相成長方法。
- 請求項1記載の気相成長方法において、前記サセプタの表面に形成されるSi膜は、前記黒鉛にSiC膜をコートした上に形成されているものとすることを特徴とする気相成長方法。
- 前記降温速度を30℃/分以上とすることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の気相成長方法。
- 前記800℃以上1100℃以下の温度まで降温した後は、70℃/分以上の降温速度で降温することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の気相成長方法。
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