JP4903624B2 - Probe unit and inspection device - Google Patents

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Description

本発明は、液晶パネル等の検査対象板の検査に用いるプローブユニット及び検査装置に関するものである。   The present invention relates to a probe unit and an inspection apparatus used for inspecting an inspection target plate such as a liquid crystal panel.

例えば液晶パネルにおいては、その製造工程において、液晶が封入された液晶パネルについて、仕様書通りの性能を有するか否かの検査（試験）が行われる。この検査には、一般に、複数のプローブを有するプローブユニットを備えた検査装置が用いられる。この場合、検査装置の各プローブを液晶パネルの電極に押圧した状態で、所定の電極に所定の電気信号を供給することにより行われる。   For example, in the manufacturing process of a liquid crystal panel, an inspection (test) is performed to determine whether or not the liquid crystal panel in which the liquid crystal is sealed has a performance according to the specifications. In general, an inspection apparatus including a probe unit having a plurality of probes is used for this inspection. In this case, it is performed by supplying a predetermined electric signal to a predetermined electrode in a state where each probe of the inspection apparatus is pressed against the electrode of the liquid crystal panel.

このような検査装置の一例を図２に示す。図示する検査装置１は主に、パネルセット部２と、測定部３とから構成されている。   An example of such an inspection apparatus is shown in FIG. The illustrated inspection apparatus 1 mainly includes a panel setting unit 2 and a measurement unit 3.

パネルセット部２は、外部から挿入された液晶パネル等の検査対象板５を測定部３へ搬送し、検査終了後の検査対象板５を外部へ搬送するための装置である。パネルセット部２は、開口部６の奥にパネルセットステージ７を有し、このパネルセットステージ７で検査対象板５を支持して、測定部３へ搬送する。また、パネルセットステージ７は、測定部３で検査終了後の検査対象板５を受け取って外部へ搬送する。   The panel setting unit 2 is a device for transporting the inspection object plate 5 such as a liquid crystal panel inserted from the outside to the measurement unit 3 and conveying the inspection object plate 5 after the inspection to the outside. The panel set unit 2 has a panel set stage 7 at the back of the opening 6, supports the inspection target plate 5 with the panel set stage 7, and conveys it to the measuring unit 3. The panel set stage 7 receives the inspection object plate 5 after the inspection is completed by the measuring unit 3 and conveys it to the outside.

測定部３は、パネルセット部２から渡された検査対象板５を支持して試験するための装置である。測定部３は、チャックトップ８やプローバ９等を備えて構成されている。   The measuring unit 3 is a device for supporting and testing the inspection object plate 5 passed from the panel setting unit 2. The measurement unit 3 includes a chuck top 8, a prober 9, and the like.

チャックトップ８は、検査対象板５を支持するための部材である。このチャックトップ８は、ＸＹＺθステージ(図示せず)に支持されて、ＸＹＺ軸方向への移動及び回転が制御されて、検査対象板５の位置が調整される。プローバ９は主に、ベースプレート１０、プローブユニット１１を備えて構成されている。プローブユニット１１は、ベースプレート１０の開口１０Ａに臨ませた状態でベースプレート１０に支持されている。   The chuck top 8 is a member for supporting the inspection object plate 5. The chuck top 8 is supported by an XYZθ stage (not shown), and its movement and rotation in the XYZ axial directions are controlled to adjust the position of the inspection object plate 5. The prober 9 mainly includes a base plate 10 and a probe unit 11. The probe unit 11 is supported by the base plate 10 so as to face the opening 10 </ b> A of the base plate 10.

プローブユニット１１の一例として特許文献１がある。この例を図３に示す。このプローブユニット１１は主に、プローブベース１２と、このプローブベース１２に支持されたプローブ組立体１３とを備えて構成されている。   There exists patent document 1 as an example of the probe unit 11. FIG. An example of this is shown in FIG. The probe unit 11 mainly includes a probe base 12 and a probe assembly 13 supported by the probe base 12.

前記プローブベース１２は、複数のプローブ組立体１３を一体的に支持する板材である。このプローブベース１２で、複数のプローブ組立体１３が液晶パネル等の検査対象板５に面した状態で支持されている。   The probe base 12 is a plate material that integrally supports a plurality of probe assemblies 13. A plurality of probe assemblies 13 are supported by the probe base 12 so as to face the inspection target plate 5 such as a liquid crystal panel.

フレーム１４には、プローブユニット１１を移動させて位置を調整する移動機構１５が設けられている。この移動機構１５は、リードナット１６と、移動体(図示せず)と、リードスクリュー１７と、モータ１８と、ブラケット１９とから構成されている。リードナット１６は、移動体に組み付けられており、またリードスクリュー１７と螺合されている。移動体は、リードスクリュー１７がモータ１８により回転されることにより、Ｘ辺方向へ移動される。モータ１８は、ブラケット１９によりフレーム１４の上に組み付けられている。
特開２００１−７４７７８号公報 The frame 14 is provided with a moving mechanism 15 that moves the probe unit 11 to adjust the position. The moving mechanism 15 includes a lead nut 16, a moving body (not shown), a lead screw 17, a motor 18, and a bracket 19. The lead nut 16 is assembled to the moving body and is screwed with the lead screw 17. The moving body is moved in the X-side direction when the lead screw 17 is rotated by the motor 18. The motor 18 is assembled on the frame 14 by a bracket 19.
JP 2001-74778 A

ところで、前記検査装置１では、検査対象板５の品種交換に伴ってプローブユニット１１も交換される。例えば液晶パネルの場合、プローブユニット１１は、新しい品種の液晶パネルの寸法に適合したものに交換される。   By the way, in the inspection apparatus 1, the probe unit 11 is also replaced with the replacement of the type of the inspection object plate 5. For example, in the case of a liquid crystal panel, the probe unit 11 is replaced with one that is suitable for the dimensions of a new type of liquid crystal panel.

このプローブユニット１１の交換は、液晶パネルの寸法が小さいときは特に問題になることはない。液晶パネルの寸法が小さければ、プローブユニット１１の寸法も小さくて重くないため、プローブユニット１１の交換作業に支障を来たすことはない。プローブユニット１１を取り付けて、移動機構１５のモータ１８を駆動してリードスクリュー１７を回転させてリードナット１６を移動させ、移動体を介してプローブユニット１１の位置を調整する。これにより、プローブユニット１１を容易に交換することができる。   The replacement of the probe unit 11 is not particularly problematic when the size of the liquid crystal panel is small. If the size of the liquid crystal panel is small, the size of the probe unit 11 is small and not heavy, so that the replacement work of the probe unit 11 is not hindered. The probe unit 11 is attached, the motor 18 of the moving mechanism 15 is driven, the lead screw 17 is rotated to move the lead nut 16, and the position of the probe unit 11 is adjusted via the moving body. Thereby, the probe unit 11 can be easily replaced.

しかし、液晶パネルの寸法が大きくなると、プローブユニット１１の寸法も大きくなって重くなるため、プローブユニット１１の交換作業に支障を来たすようになる。   However, when the dimensions of the liquid crystal panel are increased, the dimensions of the probe unit 11 are also increased and become heavier, which hinders the replacement work of the probe unit 11.

例えば、５２インチクラスの液晶パネルでは、データ側のプローブユニット１１で、その長さは1650ｍｍ、重さは約35ｋｇとなり、一人の作業員だけでプローブユニット１１を交換することができなくなる。即ち、交換作業が危険でかつ二人作業となり、効率が悪いという問題があった。   For example, in a 52-inch class liquid crystal panel, the data-side probe unit 11 has a length of 1650 mm and a weight of about 35 kg, and the probe unit 11 cannot be exchanged by only one worker. That is, there is a problem that the replacement work is dangerous and requires two persons, and the efficiency is low.

本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、交換作業を安全でかつ一人作業が可能なものになるプローブユニット及び検査装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a probe unit and an inspection apparatus that can perform replacement work safely and can be performed by one person.

前記課題を解決するために本発明に係るプローブユニットは、本体側に固定されるプローブステージと、検査対象板の電極に直接接触するプローブを有するプローブ組立体と、前記プローブステージに支持された状態で前記プローブ組立体を支持するプローブベースとを備え、前記プローブベースが、１つの基準板部と、１又は２以上の調整板部と、これら基準板部と調整板部との間及び各調整板部の間に設けられ各調整板部の位置を調整する位置調整機構とを備え、前記プローブベースの基準板部は、前記プローブステージの特定位置にずれることなく取り付けられ、前記調整板部は、前記プローブステージにずれが許容された状態で取り付けられ、前記プローブベースの基準板部は、前記プローブステージに固定する固定用ボルトとほぼ同じ径の丸穴を有し、前記調整板部は、前記固定用ボルトに対してずれを許容する長穴を有することを特徴とする。 In order to solve the above problems, a probe unit according to the present invention includes a probe stage fixed to the main body side, a probe assembly having a probe that directly contacts an electrode of an inspection target plate, and a state supported by the probe stage. And a probe base that supports the probe assembly, wherein the probe base includes one reference plate portion, one or more adjustment plate portions, and between each reference plate portion and the adjustment plate portion, and each adjustment. A position adjustment mechanism that is provided between the plate portions and adjusts the position of each adjustment plate portion, the reference plate portion of the probe base is attached without being shifted to a specific position of the probe stage, and the adjustment plate portion is The probe stage is attached in a state where deviation is allowed, and the reference plate portion of the probe base is substantially the same as a fixing bolt for fixing to the probe stage. Flip has a round hole of diameter, the adjusting plate is characterized in that it has a long hole that allows the deviation with respect to the fixed bolt.

これにより、前記プローブベースの基準板部を先に取り付けて、１又は２以上の調整板部を、位置調整機構でその位置を調整しながら取り付ける。   Thereby, the reference plate part of the probe base is attached first, and one or two or more adjustment plate parts are attached while adjusting their positions by the position adjustment mechanism.

前記位置調整機構は、前記プローブベースの基準板部と調整板部との間隔又は各調整板部の間隔を調整する調整ボルトと、前記基準板部と調整板部又は各調整板のうちの一方に設けられ前記調整ボルトを回動可能に支持する調整ボルトホルダーと、前記基準板部と調整板部又は各調整板のうちの他方に設けられ前記調整ボルトがねじ込まれるネジ穴を有する調整ブロックとから構成されることが望ましい。 The position adjustment mechanism includes an adjustment bolt that adjusts an interval between the reference plate portion and the adjustment plate portion of the probe base or an interval between the adjustment plate portions, and one of the reference plate portion, the adjustment plate portion, and each adjustment plate. An adjustment bolt holder rotatably provided to support the adjustment bolt, and an adjustment block having a screw hole into which the adjustment bolt is screwed and provided on the other of the reference plate and the adjustment plate or each adjustment plate, It is desirable to be composed of

また、検査対象板を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するパネルセット部と、当該パネルセット部から渡された検査対象板を支持して試験する測定部とを備え、前記測定部のプローブユニットとして、前記プローブユニットを用いることが望ましい。   In addition, a panel set unit that carries in the inspection target plate from outside and conveys it to the outside after the inspection is completed, and a measurement unit that supports and tests the inspection target plate passed from the panel set unit, It is desirable to use the probe unit as a probe unit.

以上のように、前記プローブベースを１つの基準板部と１又は２以上の調整板部とに分割して個別に交換するようにしたので、品種交換作業を安全に、且つ一人作業で容易に行うことができる。   As described above, since the probe base is divided into one reference plate part and one or more adjustment plate parts and is individually exchanged, it is possible to safely and easily change the product type by one person. It can be carried out.

以下、本発明の実施形態に係るプローブユニット及び検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, a probe unit and an inspection apparatus according to embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

本実施形態の検査装置は、全体的には前記従来の検査装置とほぼ同様であるため、ここでは、同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。   Since the inspection apparatus of this embodiment is generally the same as the conventional inspection apparatus as a whole, the same members are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted here.

本実施形態の検査装置では、図４，５に示すように、ワークテーブル２１上に載置された液晶パネル２２の周縁に沿うように、プローブユニット２３が設けられている。   In the inspection apparatus of the present embodiment, as shown in FIGS. 4 and 5, a probe unit 23 is provided along the periphery of the liquid crystal panel 22 placed on the work table 21.

プローブユニット２３は主に、プローブステージ２５と、プローブ組立体２６と、プローブベース２７とを備えて構成されている。   The probe unit 23 mainly includes a probe stage 25, a probe assembly 26, and a probe base 27.

プローブステージ２５は、検査装置１の装置本体側に固定されて、プローブベース２７を支持するための部材である。プローブステージ２５は、４分割されて、本体側である検査装置のフレーム１４にそれぞれ固定されている。プローブステージ２５のワークテーブル２１（液晶パネル２２）側にプローブ組立体２６が設けられている。各プローブステージ２５は、ほぼ長方形板状に形成されている。各プローブステージ２５の上側面には、プローブベース２７を取り付けるための嵌合凹部２８が設けられている。この嵌合凹部２８は、その長手方向にプローブベース２７をずらすことができるように、プローブベース２７よりも少し長い寸法に設定されている。嵌合凹部２８には、プローブベース２７を固定するためのネジ穴２８Ａ（図１参照）が設定間隔を空けて複数設けられている。   The probe stage 25 is a member that is fixed to the apparatus main body side of the inspection apparatus 1 and supports the probe base 27. The probe stage 25 is divided into four parts and fixed to the frame 14 of the inspection apparatus on the main body side. A probe assembly 26 is provided on the probe table 25 on the work table 21 (liquid crystal panel 22) side. Each probe stage 25 is formed in a substantially rectangular plate shape. On the upper side surface of each probe stage 25, a fitting recess 28 for attaching the probe base 27 is provided. The fitting recess 28 is set to be slightly longer than the probe base 27 so that the probe base 27 can be displaced in the longitudinal direction. The fitting recess 28 is provided with a plurality of screw holes 28A (see FIG. 1) for fixing the probe base 27 with a set interval.

４つのプローブステージ２５の寸法は、液晶パネル２２の縦横の寸法に合わせて設定されている。具体的には、２つの短プローブステージ２５Ａと２つの長プローブステージ２５Ｂとから構成されている。２つのうちの一方の短プローブステージ２５Ａ及び長プローブステージ２５Ｂにはプローブ組立体２６が取り付けられている。   The dimensions of the four probe stages 25 are set according to the vertical and horizontal dimensions of the liquid crystal panel 22. Specifically, it is composed of two short probe stages 25A and two long probe stages 25B. A probe assembly 26 is attached to one of the short probe stage 25A and the long probe stage 25B.

プローブ組立体２６は、検査対象板としての液晶パネル２２の電極に直接接触して、液晶パネル２２上の回路に検査信号を送信するための部材である。プローブ組立体２６は、サスペンションブロック、スライドブロック等を組み合わせて構成され、その先端にプローブ(図示せず)が設けられている。このプローブは、液晶パネル２２の電極に直接接触されて液晶パネル２２上の回路に検査信号を送信する。   The probe assembly 26 is a member for directly contacting an electrode of the liquid crystal panel 22 as an inspection target plate and transmitting an inspection signal to a circuit on the liquid crystal panel 22. The probe assembly 26 is configured by combining a suspension block, a slide block, and the like, and a probe (not shown) is provided at the tip thereof. The probe is in direct contact with the electrode of the liquid crystal panel 22 and transmits an inspection signal to a circuit on the liquid crystal panel 22.

プローブベース２７は、前記プローブステージ２５に支持された状態で前記プローブ組立体２６を支持するための部材である。短プローブステージ２５Ａに取り付けられるプローブベース２７Ａは、その全長が短くて重量もそれほど重くないため、単一の部材として構成されている。長プローブステージ２５Ｂに取り付けられるプローブベース２７Ｂは、その全長が長くて重量も重くなるため、分割されている。即ち、プローブベース２７Ｂは、基準板部３１と、調整板部３２と、位置調整機構３３とを備えて構成されている。   The probe base 27 is a member for supporting the probe assembly 26 while being supported by the probe stage 25. The probe base 27A attached to the short probe stage 25A has a short overall length and is not so heavy, and thus is configured as a single member. The probe base 27B attached to the long probe stage 25B is divided because it is long and heavy. In other words, the probe base 27 </ b> B includes a reference plate portion 31, an adjustment plate portion 32, and a position adjustment mechanism 33.

基準板部３１は、プローブベース２７の位置合わせの基準になる部材である。基準板部３１は、図１，５に示すように、プローブステージ２５の特定位置にずれることなく正確に取り付けられる。具体的には、長プローブステージ２５Ｂの嵌合凹部２８の一方の端部（図１中の右側端部）にずれないように正確に取り付けられる。基準板部３１は、プローブステージ２５に固定する固定用ボルト３５とほぼ同じ径の丸穴３１Ａを有している。これにより、固定用ボルト３５が丸穴３１Ａに通されて嵌合凹部２８のネジ穴２８Ａにねじ込まれることで、基準板部３１が正確な位置に取り付けられる。基準板部３１には、プローブ組立体２６、位置合わせ用のカメラ３６が取り付けられている。   The reference plate portion 31 is a member that serves as a reference for positioning the probe base 27. As shown in FIGS. 1 and 5, the reference plate portion 31 is accurately attached without being shifted to a specific position of the probe stage 25. Specifically, it is accurately attached so as not to be shifted to one end (the right end in FIG. 1) of the fitting recess 28 of the long probe stage 25B. The reference plate portion 31 has a round hole 31 </ b> A having substantially the same diameter as the fixing bolt 35 that is fixed to the probe stage 25. Accordingly, the fixing bolt 35 is passed through the round hole 31A and screwed into the screw hole 28A of the fitting recess 28, so that the reference plate portion 31 is attached at an accurate position. A probe assembly 26 and an alignment camera 36 are attached to the reference plate portion 31.

調整板部３２は、その位置を調整されて基準板部３１と連結されることでプローブベース２７を構成するための部材である。この調整板部３２は、長プローブステージ２５Ｂの嵌合凹部２８の長さに応じて１又は２以上配設される。本実施形態では、１つの調整板部３２が配設されている。この調整板部３２は、基準板部３１と位置調整機構３３で連結されている。   The adjustment plate part 32 is a member for constituting the probe base 27 by adjusting its position and being connected to the reference plate part 31. One or two or more adjustment plate portions 32 are arranged according to the length of the fitting recess 28 of the long probe stage 25B. In the present embodiment, one adjustment plate portion 32 is disposed. The adjustment plate portion 32 is connected to the reference plate portion 31 by the position adjustment mechanism 33.

調整板部３２は、プローブステージ２５Ｂにずれが許容された状態で取り付けられている。調整板部３２には、固定用ボルト３５に対してずれを許容する長穴３７が設けられている。固定用ボルト３５が長穴３７に挿入されて嵌合凹部２８のネジ穴２８Ａにねじ込まれた状態で、調整板部３２は長穴３７によってずれが許容され、位置調整機構３３で調整板部３２が位置調整されるようになっている。   The adjustment plate portion 32 is attached to the probe stage 25B in a state where deviation is allowed. The adjustment plate portion 32 is provided with a long hole 37 that allows a displacement with respect to the fixing bolt 35. With the fixing bolt 35 inserted into the elongated hole 37 and screwed into the screw hole 28 </ b> A of the fitting recess 28, the adjustment plate portion 32 is allowed to be displaced by the elongated hole 37. Is adjusted.

位置調整機構３３は、基準板部３１と調整板部３２との間及び各調整板部３２の間に設けられて、各調整板部３２の位置を調整するための機構である。位置調整機構３３は、図１，６に示すように、調整ボルト４０と、調整ボルトホルダー４１と、調整ブロック４２とから構成されている。   The position adjustment mechanism 33 is provided between the reference plate portion 31 and the adjustment plate portion 32 and between the adjustment plate portions 32, and is a mechanism for adjusting the position of each adjustment plate portion 32. As shown in FIGS. 1 and 6, the position adjustment mechanism 33 includes an adjustment bolt 40, an adjustment bolt holder 41, and an adjustment block 42.

調整ボルト４０は、プローブベース２７の基準板部３１と調整板部３２との間隔又は各調整板部３２の間隔を調整するためのボルトである。ここでは、基準板部３１と調整板部３２とが１枚ずつ設けられているため、調整ボルト４０は、基準板部３１と調整板部３２との間隔を調整する。調整ボルト４０は、回転許容部４４と、ネジ部４５とから構成されている。回転許容部４４は、頭部４４Ａと、縮径部４４Ｂと、支持盤部４４Ｃとから構成されている。頭部４４Ａには六角穴４４Ｄが設けられている。この六角穴４４Ｄに六角レンチが挿入されて回転される。縮径部４４Ｂは、後述する調整ボルトホルダー４１の嵌合溝４９に回転可能に嵌合する部分である。縮径部４４Ｂは円柱状に形成され、嵌合溝４９に嵌合することで、調整ボルト４０の定位置での回転のみを許容され、軸方向へズレないように支持されている。   The adjustment bolt 40 is a bolt for adjusting the interval between the reference plate portion 31 and the adjustment plate portion 32 of the probe base 27 or the interval between the adjustment plate portions 32. Here, since one reference plate portion 31 and one adjustment plate portion 32 are provided, the adjustment bolt 40 adjusts the distance between the reference plate portion 31 and the adjustment plate portion 32. The adjustment bolt 40 includes a rotation allowing portion 44 and a screw portion 45. The rotation allowing portion 44 includes a head portion 44A, a reduced diameter portion 44B, and a support plate portion 44C. The head 44A is provided with a hexagonal hole 44D. A hexagon wrench is inserted into the hexagon hole 44D and rotated. The reduced diameter portion 44B is a portion that is rotatably fitted in a fitting groove 49 of the adjusting bolt holder 41 described later. The reduced diameter portion 44B is formed in a columnar shape, and is fitted in the fitting groove 49 so that only the adjustment bolt 40 is allowed to rotate at a fixed position and is supported so as not to be displaced in the axial direction.

調整ボルトホルダー４１は、調整ボルト４０を回動可能に支持するための部材である。調整ボルトホルダー４１は、ベース板４７と、このベース板４７から垂直に立ち上げて設けられたホルダー板４８とから構成されている。ベース板４７は、基準板部３１又は調整板部３２の端部に直接固定される。ホルダー板４８は、その上端部に嵌合溝４９が設けられ、調整ボルト４０を回転可能に支持している。嵌合溝４９は、調整ボルト４０の縮径部４４Ｂが回転可能に嵌合するための部分である。この嵌合溝４９の奥部の幅は、縮径部４４Ｂの外径とほぼ同じ寸法に形成されている。これにより、嵌合溝４９に調整ボルト４０の縮径部４４Ｂが回転可能に、且つがたつくことなく正確に嵌合される。さらに、嵌合溝４９は、テーパ状に僅かに開いて構成され、調整ボルト４０の縮径部４４Ｂが容易に嵌合できるようになっている。   The adjustment bolt holder 41 is a member for rotatably supporting the adjustment bolt 40. The adjustment bolt holder 41 is composed of a base plate 47 and a holder plate 48 provided so as to stand upright from the base plate 47. The base plate 47 is directly fixed to the end portion of the reference plate portion 31 or the adjustment plate portion 32. The holder plate 48 is provided with a fitting groove 49 at its upper end, and supports the adjustment bolt 40 so as to be rotatable. The fitting groove 49 is a portion for fitting the reduced diameter portion 44B of the adjusting bolt 40 so as to be rotatable. The width of the inner portion of the fitting groove 49 is formed to be approximately the same as the outer diameter of the reduced diameter portion 44B. As a result, the reduced diameter portion 44B of the adjustment bolt 40 can be fitted into the fitting groove 49 accurately without wobbling. Further, the fitting groove 49 is configured to be slightly opened in a tapered shape so that the reduced diameter portion 44B of the adjusting bolt 40 can be easily fitted.

調整ブロック４２は、調整ボルト４０がねじ込まれて調整ボルトホルダー４１との間隔が調整されるための部材である。調整ブロック４２は、ベース板５０と、このベース板５０から垂直に立ち上げて設けられたネジ板５１とから構成されている。ベース板５０は、調整板部３２又は基準板部３１の端部に直接固定される。ネジ板５１は、調整ボルト４０がねじ込まれるネジ穴５１Ａを有し、調整ボルトホルダー４１のホルダー板４８に面して配設される。   The adjustment block 42 is a member for adjusting the distance from the adjustment bolt holder 41 by screwing the adjustment bolt 40. The adjustment block 42 includes a base plate 50 and a screw plate 51 provided so as to rise vertically from the base plate 50. The base plate 50 is directly fixed to the end portion of the adjustment plate portion 32 or the reference plate portion 31. The screw plate 51 has a screw hole 51 </ b> A into which the adjustment bolt 40 is screwed and is disposed so as to face the holder plate 48 of the adjustment bolt holder 41.

以上のように構成されたプローブユニット２３は、次のようにして交換される。   The probe unit 23 configured as described above is replaced as follows.

プローブユニット２３を取り外す場合は、まず調整板部３２の固定用ボルト３５を取り外す。さらに、位置調整機構３３の調整ボルト４０を弛める。   When removing the probe unit 23, first, the fixing bolt 35 of the adjustment plate portion 32 is removed. Further, the adjustment bolt 40 of the position adjustment mechanism 33 is loosened.

次いで、調整ボルト４０の回転許容部４４を調整ボルトホルダー４１の嵌合溝４９から外すと共に、調整板部３２をプローブステージ２５から取り外す。   Next, the rotation allowing portion 44 of the adjustment bolt 40 is removed from the fitting groove 49 of the adjustment bolt holder 41, and the adjustment plate portion 32 is removed from the probe stage 25.

次いで、基準板部３１の固定用ボルト３５を外し、基準板部３１をプローブステージ２５から取り外す。   Next, the fixing bolt 35 of the reference plate portion 31 is removed, and the reference plate portion 31 is removed from the probe stage 25.

次いで、新品種の液晶パネル２２に合わせたプローブユニット２３を取り付ける。具体的には、液晶パネル２２の電極に合わせてプローブ組立体２６の位置を配置したプローブベース２７をプローブステージ２５の嵌合凹部２８に取り付ける。   Next, the probe unit 23 is attached to the new liquid crystal panel 22. Specifically, a probe base 27 in which the position of the probe assembly 26 is arranged in accordance with the electrode of the liquid crystal panel 22 is attached to the fitting recess 28 of the probe stage 25.

この場合は、まずプローブベース２７の基準板部３１を取り付ける。基準板部３１の丸穴３１Ａとプローブステージ２５の嵌合凹部２８のネジ穴２８Ａとを合わせて、固定用ボルト３５をねじ込む。全ての丸穴３１Ａに固定用ボルト３５をねじ込んで締め付けることで、基準板部３１が正確な位置に固定される。   In this case, first, the reference plate portion 31 of the probe base 27 is attached. The fixing bolt 35 is screwed together by aligning the round hole 31 </ b> A of the reference plate portion 31 with the screw hole 28 </ b> A of the fitting recess 28 of the probe stage 25. By screwing and tightening the fixing bolts 35 into all the round holes 31A, the reference plate portion 31 is fixed at an accurate position.

次いで、調整板部３２を取り付ける。調整板部３２の長穴３７とプローブステージ２５の嵌合凹部２８のネジ穴２８Ａとを合わせると共に、位置調整機構３３の調整ボルト４０を調整ブロック４２のネジ穴５１Ａにねじ込んで調整ボルトホルダー４１の嵌合溝４９に嵌合させる。次いで、全ての長穴３７に固定用ボルト３５をねじ込んで、位置調整機構３３の調整ボルト４０を六角レンチで回転させて調整ボルトホルダー４１と調整ブロック４２との間隔を調整して、基準板部３１と調整板部３２との位置を調整する。   Next, the adjustment plate portion 32 is attached. The long hole 37 of the adjustment plate portion 32 and the screw hole 28A of the fitting recess 28 of the probe stage 25 are aligned with each other, and the adjustment bolt 40 of the position adjustment mechanism 33 is screwed into the screw hole 51A of the adjustment block 42. Fit into the fitting groove 49. Next, fixing bolts 35 are screwed into all the long holes 37, and the adjustment bolt 40 of the position adjustment mechanism 33 is rotated with a hexagon wrench to adjust the distance between the adjustment bolt holder 41 and the adjustment block 42, and the reference plate portion The position of 31 and the adjustment board part 32 is adjusted.

次いで、各固定用ボルト３５を締め付けて調整板部３２を固定する。   Next, the fixing plate 35 is fixed by tightening each fixing bolt 35.

短プローブステージ２５Ａのプローブベース２７は短くて軽いため、そのまま取り替える。   Since the probe base 27 of the short probe stage 25A is short and light, it is replaced as it is.

以上により、プローブユニット２３の交換作業を安全にかつ容易に行うことができる。しかも、長プローブステージ２５Ｂ側のプローブユニット２３のプローブベース２７Ｂは、基準板部３１と調整板部３２とに分割されているため、位置調整機構３３の構造とも相まって交換作業を安全にかつ容易に行うことができる。   As described above, the replacement operation of the probe unit 23 can be performed safely and easily. Moreover, since the probe base 27B of the probe unit 23 on the long probe stage 25B side is divided into the reference plate portion 31 and the adjustment plate portion 32, the replacement work can be performed safely and easily in combination with the structure of the position adjustment mechanism 33. It can be carried out.

これにより、プローブユニット２３の交換作業を作業員一人で行うことができるようになり、作業効率が向上する。   Thereby, the replacement work of the probe unit 23 can be performed by one worker, and the work efficiency is improved.

［変形例］
前記実施形態に係るプローブユニット２３では、プローブベース２７を基準板部３１と調整板部３２の２つに分割した例を説明したが、プローブベース２７の寸法が大きい場合は調整板部３２を２以上にして３分割以上にしてもよい。 [Modification]
In the probe unit 23 according to the embodiment, the example in which the probe base 27 is divided into the reference plate portion 31 and the adjustment plate portion 32 has been described. However, when the probe base 27 has a large size, the adjustment plate portion 32 is divided into two. As described above, it may be divided into three or more.

前記実施形態に係るプローブユニット２３が組み込まれる検査装置としては、従来例として記載した検査装置に限らず、他の検査装置でも良いことは言うまでもない。   Needless to say, the inspection apparatus in which the probe unit 23 according to the embodiment is incorporated is not limited to the inspection apparatus described as the conventional example, but may be other inspection apparatuses.

前記実施形態では、位置調整機構３３の調整ボルトホルダー４１の嵌合溝４９をテーパ状に僅かに開いた形状にしたが、嵌合溝４９は、調整ボルト４０の縮径部４４Ｂが入り込みやすい形状であればよい。例えば、嵌合溝４９の全体にテーパを設けず、入口だけを大きく開いても良い。嵌合溝４９の奥は、安定して回転しやすいように、半円形状に形成する。   In the embodiment, the fitting groove 49 of the adjustment bolt holder 41 of the position adjusting mechanism 33 is slightly opened in a tapered shape, but the fitting groove 49 has a shape in which the reduced diameter portion 44B of the adjustment bolt 40 can easily enter. If it is. For example, the entire fitting groove 49 may not be provided with a taper, and only the inlet may be opened wide. The back of the fitting groove 49 is formed in a semicircular shape so that it can be stably rotated.

前記実施形態では、短プローブステージ２５Ａのプローブベース２７は分割しないで単体の部材として構成したが、全体の寸法が大きくなった場合は、この短プローブステージ２５Ａのプローブベース２７も２または３以上に分割することになる。   In the above-described embodiment, the probe base 27 of the short probe stage 25A is configured as a single member without being divided. Will be divided.

位置調整機構３３は、調整ボルト４０のネジのピッチを利用して基準板部３１と調整板部３２との間隔を調整したが、他の構造で間隔を調整するようにしても良い。   The position adjustment mechanism 33 adjusts the interval between the reference plate portion 31 and the adjustment plate portion 32 using the screw pitch of the adjustment bolt 40, but the interval may be adjusted using another structure.

本発明の実施形態に係るプローブユニットの要部を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the principal part of the probe unit which concerns on embodiment of this invention. 従来の検査装置を示す正面図である。It is a front view which shows the conventional inspection apparatus. 従来の検査装置のプローブユニットを示す平面図である。It is a top view which shows the probe unit of the conventional inspection apparatus. 本発明の実施形態に係る検査装置のプローブユニットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the probe unit of the test | inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る検査装置のプローブユニットを示す平面図である。It is a top view which shows the probe unit of the test | inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る検査装置の位置調整機構を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the position adjustment mechanism of the test | inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

２１：ワークテーブル、２２：液晶パネル、２３：プローブユニット、２５：プローブステージ、２６：プローブ組立体、２７：プローブベース、２８：嵌合凹部、３１：基準板部、３２：調整板部、３３：位置調整機構、３５：固定用ボルト、３７：長穴、４０：調整ボルト、４１：調整ボルトホルダー、４２：調整ブロック、４４：回転許容部、４５：ネジ部、４７：ベース板、４８：ホルダー板、４９：嵌合溝、５０：ベース板、５１：ネジ板。   21: work table, 22: liquid crystal panel, 23: probe unit, 25: probe stage, 26: probe assembly, 27: probe base, 28: fitting recess, 31: reference plate portion, 32: adjustment plate portion, 33 : Position adjustment mechanism, 35: Fixing bolt, 37: Long hole, 40: Adjustment bolt, 41: Adjustment bolt holder, 42: Adjustment block, 44: Rotation allowance part, 45: Screw part, 47: Base plate, 48: Holder plate, 49: fitting groove, 50: base plate, 51: screw plate.

Claims (3)

本体側に固定されるプローブステージと、
検査対象板の電極に直接接触するプローブを有するプローブ組立体と、
前記プローブステージに支持された状態で前記プローブ組立体を支持するプローブベースとを備え、
前記プローブベースが、１つの基準板部と、１又は２以上の調整板部と、これら基準板部と調整板部との間及び各調整板部の間に設けられ各調整板部の位置を調整する位置調整機構とを備え、
前記プローブベースの基準板部は、前記プローブステージの特定位置にずれることなく取り付けられ、前記調整板部は、前記プローブステージにずれが許容された状態で取り付けられ、
前記プローブベースの基準板部は、前記プローブステージに固定する固定用ボルトとほぼ同じ径の丸穴を有し、前記調整板部は、前記固定用ボルトに対してずれを許容する長穴を有することを特徴とするプローブユニット。 A probe stage fixed to the main body,
A probe assembly having a probe in direct contact with the electrode of the inspection object plate;
A probe base that supports the probe assembly in a state of being supported by the probe stage;
The probe base is provided with one reference plate part, one or two or more adjustment plate parts, between the reference plate part and the adjustment plate part, and between each adjustment plate part. A position adjusting mechanism for adjusting,
The probe base reference plate portion is attached without shifting to a specific position of the probe stage, and the adjustment plate portion is attached to the probe stage in a state where displacement is allowed,
The reference plate portion of the probe base has a round hole having substantially the same diameter as a fixing bolt for fixing to the probe stage, and the adjustment plate portion has a long hole that allows a deviation from the fixing bolt. A probe unit characterized by that. 請求項１に記載のプローブユニットにおいて、
前記位置調整機構が、前記プローブベースの基準板部と調整板部との間隔又は各調整板部の間隔を調整する調整ボルトと、前記基準板部と調整板部又は各調整板のうちの一方に設けられ前記調整ボルトを回動可能に支持する調整ボルトホルダーと、前記基準板部と調整板部又は各調整板のうちの他方に設けられ前記調整ボルトがねじ込まれるネジ穴を有する調整ブロックとから構成されたことを特徴とするプローブユニット。 The probe unit according to claim 1 , wherein
The position adjustment mechanism includes an adjustment bolt that adjusts a distance between the reference plate portion and the adjustment plate portion of the probe base or each adjustment plate portion, and one of the reference plate portion, the adjustment plate portion, and each adjustment plate. An adjustment bolt holder rotatably provided to support the adjustment bolt, and an adjustment block having a screw hole into which the adjustment bolt is screwed and provided on the other of the reference plate and the adjustment plate or each adjustment plate, A probe unit comprising: 検査対象板の検査に用いる検査装置であって、
検査対象板を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するパネルセット部と、当該パネルセット部から渡された検査対象板を支持して試験する測定部とを備え、
前記測定部のプローブユニットとして、請求項１又は２に記載のプローブユニットを用いたことを特徴とする検査装置。 An inspection apparatus used for inspecting an inspection object plate,
A panel set unit that carries in the inspection target plate from the outside and conveys it to the outside after the inspection, and a measurement unit that supports and tests the inspection target plate passed from the panel set unit,
An inspection apparatus using the probe unit according to claim 1 or 2 as a probe unit of the measurement unit.
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