JP3187855B2 - Display panel prober - Google Patents

Display panel prober

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JP3187855B2
JP3187855B2 JP08774091A JP8774091A JP3187855B2 JP 3187855 B2 JP3187855 B2 JP 3187855B2 JP 08774091 A JP08774091 A JP 08774091A JP 8774091 A JP8774091 A JP 8774091A JP 3187855 B2 JP3187855 B2 JP 3187855B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、表示パネル用プロー
に関し、例えば大型の液晶(以下、単にLCDという
場合がある)表示パネルに用いられるプローバに利用し
て有効な技術に関するものである。
FIELD OF THE INVENTION This invention relates to a probe for a display panel
The present invention relates to a technology effective for use in a prober used for a large-sized liquid crystal (hereinafter, may be simply referred to as LCD) display panel, for example.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示パネル用プローバとして、例え
ば特開昭61−70579号公報がある。このプローバ
は、表示パネルの載置台に対してX軸ステージにより表
示パネルのX軸に沿って平行移動するXプローブヘッド
と、Y軸ステージにより表示パネルのY軸に沿って平行
移動するYプローブヘッドとともに、表示パネルのX軸
及びY軸に沿って平行移動するXYステージにより表示
パネルの任意の位置に接触する第3のプローブヘッドを
設けるものである。
2. Description of the Related Art As a prober for a liquid crystal display panel, there is, for example, JP-A-61-70579. The prober includes an X probe head that moves in parallel along the X axis of the display panel using an X axis stage with respect to a mounting table of the display panel, and a Y probe head that moves in parallel along the Y axis of the display panel using a Y axis stage. In addition, a third probe head that contacts an arbitrary position on the display panel by an XY stage that moves in parallel along the X axis and the Y axis of the display panel is provided.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記の表示パネル用プ
ローバでは、アクティブマトリックス方式の液晶表示パ
ネルの場合、各画素毎に対して逐一チェックを行うもの
である。このため、液晶表示パネルの大画面、言い換え
るならば、多画素化に伴い試験時間が膨大になるという
問題がある。この発明の目的は、試験時間の大幅短縮化
を実現した表示パネル用プローバを提供することにあ
る。この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特
徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになる
であろう。
In the above-described prober for a display panel, in the case of an active matrix type liquid crystal display panel, each pixel is checked one by one. For this reason, there is a problem that a large screen of the liquid crystal display panel, in other words, the test time becomes enormous as the number of pixels increases. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a display panel prober that can significantly reduce the test time. The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、この発明の表示パネル用プ
ローバは次の構成を備えている。(a)表示パネルの電
極と同一ピッチに配列された配線手段が形成されたフレ
キシブル配線基板と、上記配線手段に接続端側が電気的
に接続され、先端部分が測定すべき電極に合わせて取り
付けられたプローブと、上記フレキシブル配線基板とと
もにプローブを挟むように設けられ、上記プローブが挿
入されるガイド部分が設けられたフィルムとによって
成される積層構造体。(b)上記積層構造体と、上記プ
ローブの先端にバネ性を持たせるための弾性体を介して
上記積層構造体が取り付けられるプローブ取付体とによ
って構成されるプローブアッセンブリ。(c)表示パネ
ルの全電極に対して上記プローブが同時に電気的接触を
得るように複数の上記プローブアッセンブリが一体的に
取り付けられる取付板
The following is a brief description of an outline of a typical invention among the inventions disclosed in the present application. That is, the display panel prober of the present invention has the following configuration. (A) A flexible wiring board on which wiring means arranged at the same pitch as the electrodes of the display panel are formed, and a connection end side is electrically connected to the wiring means, and a tip part is attached to the electrode to be measured. probes and is provided so as to sandwich the probe with the flexible wiring board, configured by a guide portion where the probe is inserted is provided a film
The laminated structure to be formed . (B) the laminated structure and, the flop
A probe assembly comprising: a probe mounting body to which the laminated structure is mounted via an elastic body for imparting a spring property to the tip of the lobe . (C) A mounting plate on which a plurality of the probe assemblies are integrally mounted so that the probes simultaneously make electrical contact with all the electrodes of the display panel.

【0005】[0005]

【作用】上記した手段によれば、表示パネルの大画面化
に伴う電極の増大に対して、比較的少ない数のプローブ
が取り付けられた積層構造のプローブを持つプローブア
ッセンブリの組み合わせにより対処できるから、試験時
間の短縮化が図られるとともに個々のプローブアッセン
ブリはフィルムのプローブガイド部分にプローブの先端
を挿入して、フレキシブル配線基板とフィルムにより積
層構造にしてプローブ取付体に取付ければよいからその
組立が簡単に行える。
According to the above-described means, the increase in the number of electrodes accompanying the enlargement of the screen of the display panel can be dealt with by a combination of probe assemblies having a laminated structure of probes to which a relatively small number of probes are attached. Since the test time can be shortened and each probe assembly can be inserted into the probe guide portion of the film by inserting the tip of the probe into a laminated structure with a flexible printed circuit board and film, it can be attached to the probe mounting body. Easy to do.

【0006】[0006]

【実施例】図1には、この発明に係る表示パネル用プロ
ーバの一実施例の要部が拡大された断面図が示されてい
る。タブ(TAB)基板は、フレキシブルフラットケー
ブル等の製造技術を利用し、フレキシブルなフィルムベ
ースに写真技術を用いて測定すべき表示パネル(以下、
単にLCDパネルという場合がある)の1つの辺に形成
される複数電極ピッチに合わせて、先端部が位置合わ
せされた配線層が形成されてなるものである。上記タブ
基板の先端部に対応してプローブガイド(針穴ガイド)
としてのフィルムが形成される。このフィルムの先端部
分には、上記電極に対応した配列を持つプローブガイド
として長丸又は櫛状に形成される。このプローブガイド
は、特に制限されないが、プレス打ち抜き加工又はレー
ザー光線等を利用して上記電極の配列ピッチに合わせて
正確に形成される。
FIG. 1 shows a display panel professional according to the present invention.
Sectional view main part is enlarged in an embodiment of the over server is shown. The tab (TAB) substrate is a display panel to be measured using a photographic technology on a flexible film base using a manufacturing technology such as a flexible flat cable (hereinafter, referred to as a “TAB”).
(It may be simply referred to as an LCD panel.) A wiring layer whose tip is aligned with a plurality of electrode pitches formed on one side is formed. Probe guide (needle hole guide) corresponding to the tip of the tab board
Is formed. At the leading end of the film, a probe guide having an arrangement corresponding to the electrodes is formed in an oval or comb shape. The probe guide is not particularly limited, but is formed accurately in accordance with the arrangement pitch of the electrodes using a press punching process or a laser beam.

【0007】このプローブガイドには、タングステン等
を主成分とする比較的硬度の高い導電性金属からなるプ
ローブの先端が挿入される。このプローブは、従来の固
定プローブボードに用いられるプローブと基本的には同
じものを用いることができるが、その長さが従来のもの
に比べて大幅に短く形成される。すなわち、この実施例
のプローブは、先端が約90°折り曲げられて、その折
り曲げ部分から数mmの長さで切断されている。上記フ
ィルムのプローブガイドは、LCDパネルの電極ピッチ
に正確に合わせて形成されているので、それに各プロー
ブの折り曲げられた先端部分を挿入することにより、各
プローブの先端を測定すべ表示パネルの電極に正しく揃
えることができる。
The tip of a probe made of a relatively hard conductive metal mainly composed of tungsten or the like is inserted into the probe guide. This probe can be basically the same as the probe used for the conventional fixed probe board, but is formed to be much shorter in length than the conventional one. That is, the probe of this embodiment has a tip bent about 90 ° and cut from the bent portion to a length of several mm. Since the probe guide of the above film is formed exactly in accordance with the electrode pitch of the LCD panel, by inserting the bent tip of each probe into it, the tip of each probe should be measured to the electrode of the display panel. Can be aligned correctly.

【0008】上記のようにフィルムの上に並べられたプ
ローブの上からタブ基板を重ね合わせることより、プロ
ーブの接続端とタブ基板に形成された配線とを電気的に
接触させることができる。この接触をより確実に固定的
にするために、例えばハンダを用いてハンダ付けをする
ものであってもよいし、異方性導電膜のような接続媒体
を用いて接続する。上記ハンダ付けは、例えばタブ基板
に形成される配線手段の接続部とプローブの接続端にハ
ンダ層を形成しておいて、上記のように重ね合わせた状
態で加熱処理することにより比較的簡単に行うことがで
きる。このとき、フィルムベース上のプローブが配列さ
れる部分以外の表面に、プローブの直径(高さ)より若
干薄いスペーサを設けるようにしてもよい。この実施例
では、このスペーサとして、後述するような例えばシリ
コンゴムが用いられる。上記のように、プローブは、タ
ブ基板とフィルムにより上下から挟まれて固定される。
このように信号伝送経路を構成するタブ基板、LCDパ
ネルの電極への接触を行うプローブ及びその先端の位置
合わせを行うフィルムが積層構造に一体化される。表示
パネルの1つの辺に対応した多数の電極のうち、それが
適当な割合で分割され、分割された複数からなる電極に
対応して上記1つの積層構造のプローブが設けられる。
それ故、1つの液晶パネルの1つの辺には複数からなる
積層構造のプローブが用いられる。
By overlapping the tab substrate from above the probes arranged on the film as described above, the connection end of the probe and the wiring formed on the tab substrate can be brought into electrical contact. In order to more reliably fix this contact, soldering may be performed using, for example, solder, or connection may be performed using a connection medium such as an anisotropic conductive film. The above soldering is relatively easy, for example, by forming a solder layer at the connection portion of the wiring means formed on the tab substrate and the connection end of the probe, and performing heat treatment in the state of being overlapped as described above. It can be carried out. At this time, a spacer slightly thinner than the diameter (height) of the probe may be provided on the surface of the film base other than the portion where the probes are arranged. In this embodiment, for example, silicon rubber as described later is used as the spacer. As described above, the probe is fixed by being sandwiched between the tab substrate and the film from above and below.
As described above, the tab substrate forming the signal transmission path, the probe for making contact with the electrode of the LCD panel, and the film for aligning the tip of the probe are integrated into a laminated structure. Among a large number of electrodes corresponding to one side of the display panel, the electrodes are divided at an appropriate ratio, and the above-mentioned one-layer structure probe is provided corresponding to the plurality of divided electrodes.
Therefore, a plurality of probes having a laminated structure are used on one side of one liquid crystal panel.

【0009】上記積層構造にされたプローブは、その先
端部分にバネ性を持たせるために弾性体としての例えば
シリコンゴムを介してプローブ取付体の下面に取付けら
れる。このプローブ取付体の下面は、液晶パネルの面に
対して角度を持つようにテーパー状にされる。そして、
上記積層構造からなるプローブの先端部分に対応して、
弾性体としてのシリコンゴムが設けられる。上記の積層
構造のプローブプローブ取付体への取り付けは、クラ
ンピングプレートにより行われる。このクランピングプ
レートは、フィルムの下面から支えてプローブ組立体の
支持面に押し付けるように固定する。例えば、クランピ
ングプレートは、プローブの軸と直角な方向での断面
が、凹状になっており、その底面で上記積層構造のプロ
ーブを支え、両方の側面にプローブアッセンブリを挟む
ようにしてプローブ取付体に固定される。これにより、
半導体チップへの繰り返し圧着に対して、適度の強度を
以って上記のような柔軟性を持つフィルムやフレキシブ
ル配線基板及びプローブからなる積層構造を維持でき
る。以上のような積層構造のプローブとそれをシリコン
ゴムのような弾性体を介して取付けられるプローブ取付
体とにより表示パネルの1つの辺に設けられる複数の電
極に対応した1つのプローブアッセンブリが構成され
る。
The probe having the above-mentioned laminated structure is mounted on the lower surface of the probe mounting body via, for example, silicon rubber as an elastic body in order to impart a spring property to the tip portion. The lower surface of the probe mounting body is tapered so as to have an angle with respect to the surface of the liquid crystal panel. And
Corresponding to the tip of the probe having the laminated structure,
Silicon rubber is provided as an elastic body. The mounting of the probe having the above-mentioned laminated structure to the probe mounting body is performed by a clamping plate. The clamping plate is fixed so as to be supported by the lower surface of the film and pressed against the support surface of the probe assembly. For example, the clamping plate has a concave cross section in the direction perpendicular to the axis of the probe, and supports the above-described laminated structure probe on the bottom surface, and fixes the probe assembly to the probe mounting body with both sides sandwiching the probe assembly. Is done. This allows
The laminated structure including the flexible film, the flexible wiring board, and the probe having the above-described flexibility can be maintained with appropriate strength against repeated press-bonding to the semiconductor chip. One probe assembly corresponding to a plurality of electrodes provided on one side of the display panel is constituted by the above-described probe having a laminated structure and a probe mounting body which is mounted via an elastic body such as silicon rubber. You.

【0010】特に制限されないが、タブ基板に形成され
る配線は、良好な信号伝達を行うようにするため、各信
号伝送路としての配線間にはシールド線が設けられる。
先端部において配線層が密集することによって上記シー
ルド線を形成するスペースが不足するようなら、その部
分を除いてシールド線が設けられる。プローブ取付体
は、タブ取付基板にプローブ群取付ネジにより仮止めさ
れる。特に制限されないが、プローブ取付体は、上記仮
止め部分から左方向に延びて後述するようなマニピュレ
ータを介して共通の取付板に取付けられる。
Although not particularly limited, the wiring formed on the tab substrate is provided with a shield line between the wirings as signal transmission paths in order to perform good signal transmission.
If the space for forming the shield line becomes insufficient due to the denseness of the wiring layers at the leading end, the shield line is provided except for that part. The probe mounting body is temporarily fixed to the tab mounting board by a probe group mounting screw. Although not particularly limited, the probe mounting body extends leftward from the temporary fixing portion and is mounted on a common mounting plate via a manipulator as described later.

【0011】図2には、上記プローブアッセンブリが取
付板に取り付けられた状態の一実施例の断面図が示され
ている。この実施例では、プローブアッセンブリを構成
するプローブ取付体に設けられたプローブ群取付ねじ
(仮止)に対して右側先端部において、ネジBによりマ
ニピュレータに取付けられ、それを介して取付板に取り
付けられる。すなわち、取付板の上面側に固定的に搭載
されたマニピュレータのアームが取付板の開口部を通し
て下側に延び、プローブ取付体のネジ孔とネジBにより
固定される。マニピュレータのアーム中間部には、貫通
穴が設けられており、これを介して上記仮止されたプロ
ーブ群取付ネジが取り除かれる。このため、プローブ取
付体は、タブ取付基板から解放され、マニピュレータの
アームの動きに従い、X,Y,Z及びθ方向微調整さ
れる。これは、上記タブ取付基板により各辺に対応した
プローブ群のプローブ先端は、位置合わせされている
が、それを1つの取付体に共通に取り付けたときの相互
の位置ずれを上記マニピュレータの調整により補正する
ものである。
FIG. 2 is a sectional view showing an embodiment in which the probe assembly is mounted on a mounting plate. In this embodiment, a probe group mounting screw (temporary fixing) provided on a probe mounting body constituting a probe assembly is mounted on a manipulator by a screw B at a right end portion, and is mounted on a mounting plate via the screw B. . That is, the arm fixedly mounted on the manipulator on the upper surface of the mounting plate extends below the through opening of the mounting plate, is fixed by a screw hole and a screw B of the probe mount. The arm intermediate portion of the manipulators, through holes are provided, the temporary sealed probe group mounting screw is removed through this. Therefore, the probe mounting body is released from the tab mounting substrate, and is finely adjusted in the X, Y, Z, and θ directions according to the movement of the arm of the manipulator. This is because the tip of the probe of the probe group corresponding to each side is aligned by the tab mounting board, but the mutual displacement when it is commonly mounted on one mounting body is adjusted by adjusting the manipulator. It is to be corrected.

【0012】上記プローブ先端の補正は、後述する図4
に示すように、LCDパネルの各電極に各プローブアッ
センブリのプローブ先端が合うよう、各プローブアッセ
ンブリ毎に行うものである。このとき、取付板に対して
ネジBにより固定的にアッセンブリ取付板が取付けら
れ、タブ取付基板とプローブ取付基板とはフレキシブル
配線基板(タブ基板)により接続されている。これによ
り、上記プローブ取付体はマニピュレータのアームの動
きに応じて自由に位置調整が可能にされる。上記のよう
に4個タブ取付基板を各辺に対応した取付基板を介し
て1つの取付板に取り付けるとき、専用の調整治具を用
いて1の辺又は全ピンのプローブの先端が基準面に合う
ように予め調整することにより、取付板に取り付けてか
らマニピュレータによるプローブ先端の微調整を大幅に
簡略化することができる。
The correction of the probe tip is carried out in FIG.
To the shows, so that the probe tip of each probe assembly fits to the electrodes of the LCD panel, is performed for each probe assembly. At this time, the assembly mounting plate is fixedly attached to the mounting plate with screws B, and the tab mounting board and the probe mounting board are connected by a flexible wiring board (tab board). Thereby, the position of the probe mounting body can be freely adjusted according to the movement of the arm of the manipulator. When attached to one mounting plate via a mounting substrate with four tabs attached substrate as described above corresponding to the sides, tip reference plane dedicated adjustment jig 1 side with or all pins probe By performing the adjustment in advance so as to conform to the above, fine adjustment of the probe tip by the manipulator after attaching to the mounting plate can be greatly simplified.

【0013】タブ基板の他端側はドライブ用ICが実装
された基板と接続される。このドライブ用ICは、特に
制限されないが、LCDパネル駆動回路に対応したド
ライブ用ICである。このようにドライブ用ICをタブ
取付基板に搭載させるようにすることにより、それに内
蔵される記憶回路(ラッチ回路)を利用できるから、テ
スター側との間のケーブルを少なくすることができる。
すなわち、試験用のデータをシリアルに入力させること
ができるからである。また、この実施例では、タブ取付
基板は、ネジAにより取付板に対して直接的に取付けら
れる。この構成に代え、後述するようにLCDパネルの
1つの辺に対応した複数プローブアッセンブリを取付
基板に取付け、それを介して間接的に取付板に取り付け
るようにしてもよい。
The other end of the tab board is connected to a board on which a drive IC is mounted. This drive IC for is not particularly limited, a drive IC for corresponding to a driving circuit of the LCD panel. By mounting the drive IC on the tab mounting board in this way, the storage circuit (latch circuit) built therein can be used, and therefore the number of cables between the tester and the tester can be reduced.
That is, test data can be serially input. In this embodiment, the tab mounting board is directly mounted on the mounting plate by the screw A. Instead of this configuration, a plurality of probe assemblies corresponding to one side of the LCD panel may be mounted on the mounting board as described later, and the probe assembly may be indirectly mounted on the mounting board via the mounting.

【0014】図3には、上記フィルムに設けられるプロ
ーブガイド部分の他の一実施例の平面図が示されてい
る。針穴は、完全にそれぞれが独立した長丸形である必
要はなく、プローブがLCDパネルの電極に接触する
際、その先端部分の微小移動量をカバーするような構成
であればよい。それ故、同図のようにプローブガイド部
分はプローブの配列方向に沿った先端部分が櫛状の溝が
連結されたような構成としてもよいし、フィルムベース
のプローブ先端に対応した端部を櫛状にして、それを実
質的なプローブガイドとして構成するものであってもよ
い。
FIG. 3 is a plan view showing another embodiment of the probe guide portion provided on the film. The needle holes do not need to be completely independent of each other in the shape of an elongated circle, and may have any configuration as long as the probe covers the minute movement amount of the tip portion when the probe contacts the electrode of the LCD panel. Therefore, as shown in the figure, the probe guide portion may be configured such that the tip portion along the probe arrangement direction is connected with a comb-shaped groove, or the end portion corresponding to the film-based probe tip may be combed. And may be configured as a substantial probe guide.

【0015】図4には、この発明に係る表示パネル用
ローバの一実施例の全体平面図が示されている。この実
施例では、前述のように試験時間の短縮化等のためにL
CDパネルの全電極に対して同時接触を行うようにす
る。このようにLCDパネルの全電極に対して同時接触
を行うようにする場合、LCDパネルに全電極に対応し
て設けらるプローブの数が膨大となり、その取り付け
作業が難しく、かつ、煩わしいものとなる。
FIG. 4 shows a display panel press according to the present invention.
An overall plan view of one embodiment of the rover is shown. In this embodiment, as described above, L is set to reduce the test time.
Simultaneous contact is made to all electrodes of the CD panel. When such to perform simultaneous contact with all the electrodes of the LCD panel, the number of probes Ru been found provided corresponding to all the electrode becomes enormous in the LCD panel, is difficult its installation work and cumbersome Becomes

【0016】この実施例では、LCDパネルの持つ電極
に対して比較的少ない数からなる複数のプローブが固定
的に設けられる前記のようなプローブアッセンブリを用
いる。すなわち、上記LCDパネルの持つ多数の電極に
対して分担させて上記各プローブアッセンブリを割り当
てるようにする。特に制限されないが、この実施例で
は、LCDパネルを横方向に走るように配置される走査
線に対応した電極を3分割して、3つからなるプローブ
アッセンブリを設ける。また、LCDパネルを縦方向に
走るように配置される信号線に対応した電極を4分割し
て、4つからなるプローブアッセンブリを設ける。この
場合、LCDパネルの長手方向に配置される4つのプロ
ーブアッセンブリは、同一の信号線の両端に対して電気
的接触を行うようにするものである。このようにプロー
ブを配置したときには、両端での導通チェックにより、
信号線電極の途中断線を簡単に検出することが可能とな
る。
In this embodiment, a probe assembly as described above is used in which a relatively small number of probes are fixedly provided for the electrodes of the LCD panel. That is, the probe assemblies are allocated to a large number of electrodes of the LCD panel. Although not particularly limited, in this embodiment, the electrodes corresponding to the scanning lines arranged so as to run in the horizontal direction on the LCD panel are divided into three parts, and three probe assemblies are provided. Further, an electrode corresponding to a signal line arranged so as to run in the vertical direction on the LCD panel is divided into four parts to provide four probe assemblies. In this case, the four probe assemblies arranged in the longitudinal direction of the LCD panel make electrical contact with both ends of the same signal line. When the probe is placed in this way, the continuity check at both ends
The disconnection in the middle of the signal line electrode can be easily detected.

【0017】上記のように同一の信号線の両端にプロー
ブを割り当てるものの他、LCDパネルの信号線電極を
奇数番目と偶数番目のものに分割し、例えば上側のプロ
ーブアッセッブリユニットは1つおきに奇数番目の信号
線電極に接続し、下側のプローブアッセンブリユニット
は、1つのおきに偶数番目の信号線電極に接続するよう
にしてもよい。この場合は、プローブの数を半分にで
き、かつそのピッチを信号線電極のピッチの2倍に大き
くすることができる。その反面、上記信号線に画素信号
を供給し、画素の明点検査や暗点検査により間接的に信
号線の断線等を検出するものとなる。このことは、LC
Dパネルの横方向に延長されるよう配置される走査線電
極に対応して、左右に3個ずつ設けられるプローブアッ
センブリにおいても同様である。
In addition to the above-described arrangement in which probes are assigned to both ends of the same signal line, the signal line electrodes of the LCD panel are divided into odd-numbered and even-numbered ones. For example, every other upper probe assembly unit May be connected to odd-numbered signal line electrodes, and every other probe assembly unit may be connected to even-numbered signal line electrodes. In this case, the number of probes can be halved and the pitch can be twice as large as the pitch of the signal line electrodes. On the other hand, a pixel signal is supplied to the signal line, and a disconnection or the like of the signal line is indirectly detected by a bright spot inspection or a dark spot inspection of the pixel. This means that LC
The same applies to three probe assemblies provided on the left and right sides corresponding to the scanning line electrodes arranged to extend in the lateral direction of the D panel.

【0018】LCDパネルの4つの各辺に対応して設け
られる各プローブアッセンブリは、同図に点線で示した
タブ取付基板によりそれぞれ仮止めされ、1つの辺に対
応した複数のタブ取付基板は、特に制限されないが、取
付基板に取付けられる。この取付基板を介してLCDパ
ネルに対応した枠からなる取付板に取り付けられる。こ
のようにLCDパネルの1つの辺に対応した複数のプロ
ーブアッセンブリを1つの取付基板に取付けるとき、適
当な位置合わせ治具を用いて、各プローブアッセンブリ
におけるプローブの先端が1直線上に並ぶようにする。
このようにすれば、それを枠状の取付板に取り付けると
き、LCDパネルの1つの辺に対応した電極への位置合
わせが簡略化できる。このようにして、LCDパネルの
全電極に同時接触するプローブボードが形成される。
Each probe assembly provided corresponding to each of the four sides of the LCD panel is temporarily fixed by a tab mounting board indicated by a dotted line in FIG. 1, and a plurality of tab mounting boards corresponding to one side are: Although not particularly limited, it is mounted on a mounting substrate. It is mounted on a mounting plate composed of a frame corresponding to the LCD panel via this mounting substrate. When a plurality of probe assemblies corresponding to one side of the LCD panel are mounted on one mounting board in this manner, an appropriate alignment jig is used so that the tips of the probes in each probe assembly are aligned on a straight line. I do.
In this manner, when the LCD panel is mounted on the frame-shaped mounting plate, the alignment with the electrodes corresponding to one side of the LCD panel can be simplified. In this way, a probe board that simultaneously contacts all the electrodes of the LCD panel is formed.

【0019】上記マニピュレータに代えて、上記取付基
板に取付けられた複数のプローブアッセンブリを取付板
にネジ等で取り付けるときに位置合わせして組み立てる
ようにしてもよい。この場合、取付基板に取付けネジを
設け、取付けネジを挟んでX方向とそれに直角なY方向
に楕円の穴を形成しておいて、偏心カム等により取付
板に対してX及びY方向の微調整を行うようにするもの
であってもよい。この場合には、マニピュレータを用い
場合のように個々のプローブアッセンブリのプローブ
先端の微調整を簡単には行えないが、プローバの構成の
簡素化ができる。
Instead of the manipulator, a plurality of probe assemblies mounted on the mounting board may be aligned and mounted on a mounting plate with screws or the like. In this case, the mounting screws provided in the mounting substrate, and allowed to form an X-direction and an oval hole in the perpendicular direction Y to it across the mounting screws, the X and Y directions relative to the mounting plate by the eccentric cam or the like Fine adjustment may be performed. In this case, use a manipulator
Can not be performed as easily fine adjustment of the probe tip of the individual probe assemblies as if can simplify the prober configuration.

【0020】上記の実施例から得られる作用効果は、下
記の通りである。すなわち、 (1) フレキシブル配線基板にLCDパネルの1つの
辺に設けられた電極に対応した配線手段を形成してそれ
に接続端側が電気的に接続され、先端部分が測定すべき
電極に合わせて取付けられたプローブを設け、このフレ
キシブル配線基板とともにプローブを挟むようにしたフ
ィルムにプローブが挿入されるガイド部分を設け、これ
らの積層構造体を上記プローブの先端にバネ性を持たせ
るための弾性体を介在させてプローブ取付体の下面に対
してクランングプレートにより下面側から押し付ける
ように取り付けてプローブアッセンブリ構成し、上記
個々のプローブアッセンブリのプローブ先端位置を調整
可能にするマニピュレータを設けることにより、表示パ
ネルの大画面化に伴う電極の増大に対して、比較的少な
い数のプローブを備える積層構造からなるプローブアッ
センブリの組み合わせにより対処できるから、その組立
が簡単に行えるという効果が得られる。
The functions and effects obtained from the above embodiment are as follows. (1) A wiring means corresponding to an electrode provided on one side of an LCD panel is formed on a flexible wiring board, a connection end side thereof is electrically connected to the wiring means, and a tip portion is attached to an electrode to be measured. Provide a guide portion for inserting the probe into a film which sandwiches the probe together with the flexible wiring board, and provide an elastic body for imparting a spring property to the tip of the probe with the laminated structure. by constitute a probe assembly mounted so as to press from the lower surface side, providing a manipulator that allows adjust the probe tip position of the individual probe assembly by Clan pin ring plate by interposing the lower surface of the probe mounting member, A relatively small number of Since cope with a combination of a probe assembly having a laminated structure comprising a lobe, the effect is obtained that the assembly can be performed easily.

【0021】(2) LCDパネルの電極への接触は、
細い線条からなるプローブ(針)を用いるものであるた
め、LCDパネルの電極と接触するときプローブの先端
がバネ性を持って電極表面を水平方向に擦って、電極表
面の酸化膜やゴミを除去するので、良好な電気的接触を
得ることができるという効果が得られる。 (3) 上記(1)により、LCDパネルの全電極に同
時接触が可能になるから、試験時間の短縮化を可能にな
るという効果が得られる。 (4) プローブは、それ自体で接触圧を決定するバネ
性を持たなくてよく、タブ基板とフィルムより挟まれて
固定されるから極細い線材を用いることができる。これ
により、従来のプローブのように先細りのテーパーを形
成する必要がなく、プローブの加工が簡単になるととも
に多数のプローブを高密度に配列することができるとい
う効果が得られる。
(2) The contact of the electrode of the LCD panel with
Since a probe (needle) made of a thin line is used, the tip of the probe has a spring property and rubs the electrode surface in the horizontal direction when it comes into contact with the electrode of the LCD panel, so that the oxide film and dust on the electrode surface are removed. Since it is removed, an effect that good electrical contact can be obtained is obtained. (3) According to the above (1), all the electrodes of the LCD panel can be simultaneously contacted, so that the effect of shortening the test time can be obtained. (4) The probe does not have to have a spring property for determining the contact pressure by itself, and is fixed by being sandwiched between the tab substrate and the film, so that a very thin wire can be used. This eliminates the need to form a tapered taper as in the case of the conventional probe, and provides an effect that the processing of the probe is simplified and a large number of probes can be arranged at a high density.

【0022】以上本発明者によりなされた発明を実施例
に基づき具体的に説明したが、本願発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。例えば、前
記積層構造からなるプローブにバネ性を持たせるための
弾性体は、シリコンゴムの他、フィルムベース又はタブ
基板にそって板バネを組み込むもの等のように種々の実
施形態を採ることができる。プローブアッセンブリの数
は、検査を行うべきLCDパネルの大きさに対応して区
々となるものである。例えば、ラップトップ型マイクロ
コンピュータ用のLCDパネルでは、縦横の比がカラー
テレビジョンのように3対4にされるものではなく、1
0対4のように任意の横長に設定される。それ故、プロ
ーブアッセンブリの数も信号線に対応して10個設け、
走査線に対応して4個設ける等のように種々の実施形態
を採ることができる。LCDパネルの全電極に対応して
上記プローブアッセンブリを複数個一体的に取り付ける
ための各部材の構成は、種々の実施形態を採ることがで
きるものである。この発明は、LCDパネル等のような
パネル形態の各種表示装置の試験を行う表示パネル用
ローバとして広く利用することができる。
Although the invention made by the inventor has been specifically described based on the embodiment, the invention of the present application is not limited to the embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the invention. Needless to say. For example, the elastic body for imparting the spring property to the probe having the laminated structure may employ various embodiments such as a silicon rubber, a leaf spring incorporated along a film base or a tab substrate, or the like. it can. The number of probe assemblies varies depending on the size of the LCD panel to be inspected. For example, in an LCD panel for a laptop microcomputer, the aspect ratio is not set to 3 to 4 as in a color television, but to 1 to 4.
It is set to any horizontal length, such as 0: 4. Therefore, ten probe assemblies are provided corresponding to the signal lines.
Various embodiments can be adopted, such as providing four scanning lines. The configuration of each member for integrally mounting a plurality of the probe assemblies corresponding to all the electrodes of the LCD panel can employ various embodiments. This invention flop display panel testing the various display device panel form, such as an LCD panel or the like
Can be widely used as rover .

【0023】[0023]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、フレキシブル配線基板に表
示パネルの電極に対応した配線手段を形成してそれに接
続端側が電気的に接続され、先端部分が測定すべき電極
に合わせて取付けられたプローブを設け、このフレキシ
ブル配線基板とともにプローブを挟むようにしたフィル
ムにプローブが挿入されるガイド部分を設け、これらの
積層構造体を上記プローブの先端にバネ性を持たせるた
めの弾性体を介在させてプローブ取付体の下面に対して
クランングプレートにより下面側から押し付けるよう
に取り付けてプローブアッセンブリ構成し、上記個々
のプローブアッセンブリのプローブ先端位置を調整可能
にするマニピュレータを介在させて取付板に取り付ける
ことにより、表示パネルの大画面化に伴う電極の増大に
対して、比較的少ない数のプローブを備える積層構造か
らなるプローブアッセンブリの組み合わせにより対処で
きるからその組立が簡単に行える。
The effects obtained by typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows. That is, a wiring means corresponding to the electrode of the display panel is formed on the flexible wiring board, a connection end side thereof is electrically connected thereto, and a probe whose tip portion is attached to the electrode to be measured is provided. A guide portion for inserting the probe is provided on a film that sandwiches the probe, and an elastic body for imparting a spring property to the tip of the probe is interposed between the laminated structure and the lower surface of the probe mounting body. by constitute a probe assembly mounted so as to press the lower surface side by the clan pin ring plate attached to the mounting plate by interposing a manipulator that allows adjust the probe tip position of the individual probe assembly Te, large display panel against the increase in the electrode due to screen size, a relatively small number of probes The assembling can be performed easily because it addressed by a combination of a probe assembly having a laminated structure comprising.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明に係る表示パネル用プローバの一実施
例を示す要部が拡大された断面図である。
FIG. 1 is an enlarged sectional view showing a main part of an embodiment of a display panel prober according to the present invention.

【図2】この発明に係るプローブアッセンブリが取付板
に取り付けられた状態の一実施例を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing one embodiment of a state in which the probe assembly according to the present invention is mounted on a mounting plate.

【図3】フィルムに設けられるプローブガイドの他の一
実施例を示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view showing another embodiment of the probe guide provided on the film.

【図4】この発明に係る表示パネル用プローバの一実施
例を示す全体平面図である。
FIG. 4 is an overall plan view showing an embodiment of a display panel prober according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

LCD…液晶表示パネル LCD: Liquid crystal display panel

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−273328(JP,A) 特開 平2−118458(JP,A) 特開 昭61−219875(JP,A) 特開 平3−37571(JP,A) 特開 昭51−71782(JP,A) 特開 平3−218472(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 1/073 G01R 31/28 H01L 21/66 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-63-273328 (JP, A) JP-A-2-118458 (JP, A) JP-A-61-219875 (JP, A) JP-A-3- 37571 (JP, A) JP-A-51-71782 (JP, A) JP-A-3-218472 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01R 1/073 G01R 31 / 28 H01L 21/66

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 次の構成を備える表示パネル用プロー
バ。 (a)表示パネルの電極と同一ピッチに配列された配線
手段が形成されたフレキシブル配線基板と、上記配線手
段に接続端側が電気的に接続され、先端部分が測定すべ
き電極に合わせて取り付けられたプローブと、上記フレ
キシブル配線基板とともにプローブを挟むように設けら
れ、上記プローブが挿入されるガイド部分が設けられた
フィルムとによって構成される積層構造体。 (b)上記積層構造体と、上記プローブの先端にバネ性
を持たせるための弾性体を介して上記積層構造体が取り
付けられるプローブ取付体とによって構成されるプロー
ブアッセンブリ。 (c)表示パネルの全電極に対して上記プローブが同時
に電気的接触を得るように複数の上記プローブアッセン
ブリが一体的に取り付けられる取付板
A prober for a display panel having the following configuration. (A) A flexible wiring board on which wiring means arranged at the same pitch as the electrodes of the display panel are formed, and a connection end side is electrically connected to the wiring means, and a tip part is attached to the electrode to be measured. probe, provided so as to sandwich the probe with the flexible wiring board, laminated structure constituted by the guide portion where the probe is inserted is provided films. (B) The laminated structure and the tip of the probe are springy
Via an elastic member for imparting probe constituted by the probe mount which the multilayer structure is attached
Assembly . (C) A mounting plate on which a plurality of the probe assemblies are integrally mounted so that the probes simultaneously make electrical contact with all the electrodes of the display panel.
【請求項2】 上記プローブアッセンブリは、仮止め手
段により表示パネルの1つの辺に対応した取付基板に一
時的に固定され、プローブアッセンブリがマニピュレー
タを介して上記取付板に取り付けられた後は上記取付基
板から開放されて上記マニピュレータの操作によりプロ
ーブ先端の位置調整が可能にされるものであることを特
徴とする請求項1記載の表示パネル用プローバ。
2. The method according to claim 1, wherein the probe assembly is temporarily fixed to a mounting substrate corresponding to one side of the display panel by temporary fixing means, and the probe assembly is mounted on the mounting plate via a manipulator. 2. The prober for a display panel according to claim 1, wherein the prober is released from the substrate so that the position of the probe tip can be adjusted by operating the manipulator.
【請求項3】 上記弾性体はシリコンゴムのような柔軟
性のある弾性材料からなるものであることを特徴とする
請求項1又は請求項2に記載の表示パネル用プローバ。
3. The prober according to claim 1, wherein the elastic body is made of a flexible elastic material such as silicone rubber.
【請求項4】 上記フィルムに設けられるプローブガイ
ド部分は、上記プローブの配列方向に沿った長丸又は櫛
状にされるものであることを特徴とする請求項1から請
求項3までのいずれか1項に記載の表示パネル用プロー
バ。
4. The probe guide portion provided on the film is formed in a shape of a long circle or a comb along the direction in which the probes are arranged . Item 2. A display panel prober according to item 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2668653B2 (en) * 1994-05-17 1997-10-27 日東精工株式会社 Conductive contact terminal
JP2005055343A (en) * 2003-08-06 2005-03-03 Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd Probe device for flat-panel display inspection
JP4903624B2 (en) * 2007-04-17 2012-03-28 株式会社日本マイクロニクス Probe unit and inspection device
KR100972049B1 (en) * 2009-03-10 2010-07-22 주식회사 프로이천 Probe unit for testing panel
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